JP5928678B2 - 平行ずれ吸収機構を備えた位置決め装置 - Google Patents
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Claims (1)
- 第1の方向に沿って互いに平行に設けられた一対の第1のレールと、
前記第1のレールに摺動可能に取り付けられた複数の第1のスライドブロックと、
前記第1のレールと前記第1のスライドブロックを相対的に移動させる第1の送り機構と、を第1の直動要素として有する第1の位置決め手段と、
を備え、
板状の部材であって、前記第1のレール同士を連結し、前記第1のレール同士の幅方向にのみ弾性を有する凹凸形状の板バネ部を含む、前記第1の位置決め手段に配置された中間板からなる平行ずれ吸収機構を備え、
前記第1の方向と直交する第2の方向に沿って互いに平行に設けられた一対の第2のレールと、
前記第2のレールに摺動可能に取り付けられた複数の第2のスライドブロックと、
前記第2のレールと前記第2のスライドブロックを相対的に移動させる第2の送り機構と、を第2の直動要素として有する第2の位置決め手段と、を備え、
板状の部材であって、前記第2のレール同士を連結し、前記第2のレール同士の幅方向にのみ弾性を有する凹凸形状の板バネ部を含む、前記第2の位置決め手段に配置された中間板からなる平行ずれ吸収機構を備え、
前記第2の方向は前記第1の方向に直交する方向であり、
前記第2の位置決め手段は前記第1の位置決め手段に積み重ねられる2段構造であり、
前記第1の位置決め手段に配置された中間板からなる平行ずれ吸収機構及び前記第2の位置決め手段に配置された中間板からなる平行ずれ吸収機構は、全体として一つのカタカナのロ字状に形成された連続した1枚の板状の金属製の部材であり、前記カタカナのロ字状に形成された連続した1枚の板状の金属製の部材の4つの角部が前記第1のスライドブロックと前記第2のスライドブロックとで上下から挟まれており、
前記第1のレール及び前記第2のレールのうち一方は固定部材であるベースに固定され、
前記第1のレール及び前記第2のレールのうち他方はテーブルが固定される平行ずれ吸収機構を備えた位置決め装置。
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