JP5916895B2 - リソグラフィ装置、セットポイントデータを提供する装置、デバイス製造方法、セットポイントデータを提供する方法、およびコンピュータプログラム - Google Patents
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Description
本出願は、2012年1月12日に出願された米国特許仮出願第61/586,053号の利益を主張し、その全体が本明細書に援用される。
一実施形態では、カーネルは行列として実装される。
一実施形態では、行列の要素は、カーネルが適用されるスーパーピクセル領域302内に存在する複数のスポット露光グリッド点のそれぞれに付与されるべき相対的な重みを定義する。
Claims (18)
- ターゲットに個別に制御可能なドーズを与える複数の放射ビームを生成するように構成されたプログラマブルパターニングデバイスと、
ターゲット上のそれぞれの場所に各放射ビームを投影するように構成された投影システムと、
ターゲット上に所望のドーズパターンを形成するために複数の異なる時点で複数の放射ビームによって付与されるべきターゲットドーズ値を計算するように構成されたコントローラであって、各ターゲットドーズ値は、ターゲットドーズ値が付与される放射ビームによって形成されるスポット露光のドーズ分布を定義する、コントローラと、を備え、
当該露光装置が生成可能であるスポット露光のそれぞれのドーズ分布内の特徴点の公称位置が、スポット露光グリッドのある点に存在し、
前記コントローラは、
スポット露光グリッドよりも解像度が低い低解像度グリッド上のグリッド点におけるターゲットドーズ値を、前記投影システムの特性を考慮するインバースオプティクス計算により計算し、
計算されたターゲットドーズ値のそれぞれに対し、予め定義されたカーネルを適用してスポット露光グリッド内の複数の点のそれぞれにおけるターゲットドーズ値を導出する
ことによって、スポット露光グリッドの解像度でターゲットドーズ値を提供するように構成される
ことを特徴とする露光装置。 - 前記プログラマブルパターニングデバイスは、個別に制御可能な強度を有する複数の放射ビームを生成するように構成され、
前記コントローラは、ターゲットドーズ値としてターゲット強度値を計算するように構成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の露光装置。 - 前記プログラマブルパターニングデバイスは、個別に制御可能な露光時間を有する複数の放射ビームを生成するように構成され、
前記コントローラは、ターゲットドーズ値としてターゲット露光時間を計算するように構成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の露光装置。 - 前記プログラマブルパターニングデバイスは、個別に制御可能な強度と個別に制御可能な露光時間とを有する複数の放射ビームを生成するように構成され、
前記コントローラは、前記ターゲットドーズ値としてターゲット露光時間値とターゲット強度値の組み合わせを計算するように構成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の露光装置。 - 前記プログラマブルパターニングデバイスは、放射源とターゲットの間に配置されたシャッタ要素またはシャッタ要素マトリクスの要素の一部の開閉の制御、または放射源の駆動期間の制御のうち一つまたは両方を行うことで、露光時間を個別に制御するように構成されていることを特徴とする請求項3または4に記載の露光装置。
- 前記低解像度グリッド内の点のそれぞれが、複数のスーパーピクセル領域のうち異なるものの中に存在することを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の露光装置。
- 前記複数のスーパーピクセル領域がぴったり嵌り合うことを特徴とする請求項6に記載の露光装置。
- 前記複数のスーパーピクセル領域は、少なくとも一つの他のスーパーピクセル領域と重なり合う一つまたは複数のスーパーピクセル領域を含むことを特徴とする請求項6または7に記載の露光装置。
- 前記コントローラは、同一のスーパーピクセル領域内に存在するスポット露光グリッド内の各グリッドポイントに同一のターゲットドーズ値を付与するように構成されていることを特徴とする請求項6ないし8のいずれかに記載の露光装置。
- 前記コントローラは、同一のスーパーピクセル領域内に存在するスポット露光グリッド内の二つ以上のグリッド点に異なるターゲットドーズ値を付与するように構成されていることを特徴とする請求項6ないし8のいずれかに記載の露光装置。
- 前記異なるターゲットドーズ値は、スーパーピクセル領域の横方向の周辺領域に向けて減少するドーズ分布を、前記スーパーピクセル領域のうち少なくとも一つについて定義することを特徴とする請求項10に記載の露光装置。
- ローカルメモリと、該ローカルメモリへのアクセスを制御するローカルコントローラと、を有するローカル計算ユニットをさらに備え、
一つのスポット露光グリッド点について導出されたターゲットドーズ値が前記ローカルメモリ内に一時的に記憶され、少なくとも一つの他のスポット露光グリッド点のターゲットドーズ値の導出に再使用されるように、前記ローカルメモリと前記ローカルコントローラが構成されることを特徴とする請求項1ないし11のいずれかに記載の露光装置。 - ターゲットのレベルで各列を形成する放射ビームの強度が、その列内に異なる時間に形成されるスポット露光の間でゼロにならない列の中に、スポット露光のサブセットが形成されることを特徴とする請求項1ないし12のいずれかに記載の露光装置。
- 前記プログラマブルパターニングデバイスはマイクロミラーアレイを含むことを特徴とする請求項1ないし13のいずれかに記載の露光装置。
- 露光装置にセットポイントデータを提供する装置であって、
前記露光装置は、ターゲットに個別に制御可能なドーズを与える複数の放射ビームを生成するように構成されたプログラマブルパターニングデバイスと、ターゲット上のそれぞれの場所の上に各放射ビームを投影するように構成された投影システムと、を有しており、
当該装置は、
ターゲット上に所望のドーズパターンを形成するために複数の異なる時点で複数の放射ビームによって付与されるべきターゲットドーズ値を計算し、各ターゲットドーズ値は、ターゲットドーズ値が付与される放射ビームによって形成されるスポット露光のドーズ分布を定義し、
ターゲットドーズ値を付与するビームを提供するように前記プログラマブルパターニングデバイスを制御するための一連のセットポイントデータを計算する
ように構成されたデータ処理ユニットを備え、
当該装置が生成可能であるスポット露光のそれぞれのドーズ分布内の特徴点の公称位置が、スポット露光グリッドのある点に存在し、
前記データ処理ユニットは、
スポット露光グリッドよりも解像度が低い低解像度グリッド上のグリッド点におけるターゲットドーズ値を、前記投影システムの特性を考慮するインバースオプティクス計算により計算し、
計算されたターゲットドーズ値のそれぞれに対し、予め定義されたカーネルを適用してスポット露光グリッド内の複数の点のそれぞれにおけるターゲットドーズ値を導出する
ことによって、スポット露光グリッドの解像度でターゲットドーズ値を提供するように構成される
ことを特徴とする装置。 - 所望のドーズパターンでターゲットが照射されるようにするデバイス製造方法であって、
ターゲットの照射に使用されるべき複数の放射ビームのそれぞれについてターゲットドーズ値を計算し、各ターゲットドーズ値は、ターゲットドーズ値が付与される放射ビームによって形成されるスポット露光のドーズ分布を定義し、
計算されたターゲットドーズ値を持つ放射ビームを投影システムを使用して投影してスポット露光を形成する
ことを含み、
生成可能であるスポット露光のそれぞれのドーズ分布内の特徴点の公称位置が、スポット露光グリッドのある点に存在し、
スポット露光グリッドよりも解像度が低い低解像度グリッド上のグリッド点におけるターゲットドーズ値を前記投影システムの特性を考慮するインバースオプティクス計算により計算し、計算されたターゲットドーズ値のそれぞれに対し、予め定義されたカーネルを適用してスポット露光グリッド内の複数の点のそれぞれにおけるターゲットドーズ値を導出することによって、スポット露光グリッドの解像度でターゲットドーズ値が提供される
ことを特徴とするデバイス製造方法。 - 露光装置用のセットポイントデータを提供する方法であって、
前記露光装置は、ターゲットに個別に制御可能なドーズを与える複数の放射ビームを生成するように構成されたプログラマブルパターニングデバイスと、ターゲット上のそれぞれの場所の上に各放射ビームを投影するように構成された投影システムと、を有しており、
当該方法は、
ターゲット上に所望のドーズパターンを形成するために複数の異なる時点で複数の放射ビームにより付与されるべきターゲットドーズ値を計算し、各ターゲットドーズ値は、ターゲットドーズ値が付与される放射ビームによって形成されるスポット露光のドーズ分布を定義し、
ターゲットドーズ値を付与するビームを提供するようにプログラマブルパターニングデバイスを制御するための一連のセットポイントデータを計算する
ことを含み、
前記露光装置が生成可能であるスポット露光のそれぞれのドーズ分布内の特徴点の公称位置が、スポット露光グリッドのある点に存在し、
スポット露光グリッドよりも解像度が低い低解像度グリッド上のグリッド点におけるターゲットドーズ値を前記投影システムの特性を考慮するインバースオプティクス計算により計算し、計算されたターゲットドーズ値のそれぞれに対し、予め定義されたカーネルを適用してスポット露光グリッド内の複数の点のそれぞれにおけるターゲットドーズ値を導出することによって、スポット露光グリッドの解像度でターゲットドーズ値が提供される
ことを特徴とする方法。 - 露光装置用のセットポイントデータを提供するコンピュータプログラムであって、
前記露光装置は、ターゲットに個別に制御可能なドーズを与える複数の放射ビームを生成するように構成されたプログラマブルパターニングデバイスと、ターゲット上のそれぞれの場所の上に各放射ビームを投影するように構成された投影システムと、を有しており、
当該コンピュータプログラムは、
ターゲット上に所望のドーズパターンを形成するために複数の異なる時点で複数の放射ビームにより付与されるべきターゲットドーズ値を計算し、各ターゲットドーズ値は、ターゲットドーズ値が付与される放射ビームによって形成されるスポット露光のドーズ分布を定義し、
ターゲットドーズ値を付与するビームを提供するようにプログラマブルパターニングデバイスを制御するための一連のセットポイントデータを計算する
ことを実行するようにプロセッサに命令するコードを含み、
前記露光装置が生成可能であるスポット露光のそれぞれのドーズ分布内の特徴点の公称位置が、スポット露光グリッドのある点に存在し、
スポット露光グリッドよりも解像度が低い低解像度グリッド上のグリッド点におけるターゲットドーズ値を前記投影システムの特性を考慮するインバースオプティクス計算により計算し、計算されたターゲットドーズ値のそれぞれに対し、予め定義されたカーネルを適用してスポット露光グリッド内の複数の点のそれぞれにおけるターゲットドーズ値を導出することによって、スポット露光グリッドの解像度でターゲットドーズ値が提供される
ことを特徴とするコンピュータプログラム。
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