JP5899585B2 - マスクの製造方法 - Google Patents
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Description
又は、前記第2ステップは、前記保持部材に前記フィルムを接着させて一体化するように実施されてもよい。
また、前記第2ステップは、平板状の母材の上面に載置された前記保持部材の上面にフィルム用樹脂溶液を塗布した後、乾燥してフィルムを形成し、前記保持部材と前記フィルムとを一体化するように実施されてもよい。
より好ましくは、前記フィルムは、ポリイミドであるのが望ましい。
この第2の実施形態は、第2ステップが接着剤を使用して保持部材1にフィルム2を接着して行われる点で第1の実施形態と相違している。
この第2ステップは、同図(a)に示すように、例えば平坦な面を有する図示省略の静電チャック上に静電吸着されたフィルム2の一面にスパッタリングやメッキ等の公知の成膜技術により銅等の金属膜11を成膜するステップと、同図(b)に示すように金属膜11上にノンフラックス半田12を塗布するステップと、同図(c)に示すようにノンフラックス半田12により金属膜11を保持部材1に半田付けしてフィルム2を保持部材1に接着して一体化するステップと、を含むものである。ノンフラックス半田12により接着する場合には、成膜時に不純物ガスが発生するおそれがない。したがって、例えば有機EL発光層を蒸着形成する際に、不純物ガスにより有機EL発光層がダメージを受けるという問題を解消することができる。
この第3の実施形態は、第2ステップが半乾燥状態のフィルム状樹脂に保持部材1を圧着して行われる点で第1の実施形態と相違している。
この第2ステップは、先ず、同図(a)に示すようにガラス等の母材7上にフォトレジストや感光性ポリイミド等の感光性の樹脂溶液13を約30μmの厚みにスピンコート又はディップコートするステップと、同図(b)に示すようにフォトマスクを使用して上記感光性樹脂を露光した後、現像して保持部材1の開口部6に対応した位置に突状パターン14を形成するステップと、同図(c)に示すように保持部材1の開口部6と突状パターン14とを合致させた状態で保持部材1を感光性樹脂上に圧着した後、予め定められた温度で加熱乾燥して保持部材1に一体的に保持されたフィルム2を形成するステップと、同図(d)に示すように例えば図示省略の磁気チャックの平坦な吸着面に保持部材1を吸着してフィルム2を母材7の表面から剥離するステップと、を含んでいる。
この第4の実施形態は、第2ステップが保持部材1上に樹脂溶液13を塗布して行われる点で第1の実施形態と相違している。
この第5の実施形態は、第1の実施形態における第1ステップと第2ステップとの順番を入れ替えて実施する点で第1の実施形態と相違している。
2…フィルム
3…基板
4…開口パターン
5…ブリッジ
6…開口部
7…母材
13…樹脂溶液
15…島パターン
16…金属製母材
17…第1の磁気チャック
18…第2の磁気チャック
Claims (7)
- 基板上に一定形状の薄膜パターンを形成するためのマスクの製造方法であって、
平板状の磁性金属材料に、前記薄膜パターンの形成領域に対応して該薄膜パターンよりも形状が大きい貫通する複数の開口部を設けて保持部材を形成する第1ステップと、
前記保持部材の一面に、該保持部材と一体化させて可視光を透過する樹脂製のフィルムを保持する第2ステップと、
第1の磁気チャック上に載置された前記基板上の前記薄膜パターン形成領域が前記保持部材の前記開口部内に位置するように前記保持部材を前記基板に対して位置合わせした後、前記第1の磁気チャックの磁力により前記保持部材を吸着して前記フィルムを前記基板面に密着させる第3ステップと、
前記保持部材の前記開口部内の前記薄膜パターン形成領域に対応した前記フィルムの部分にレーザ光を照射して、前記薄膜パターンと同形状の貫通する開口パターンを形成する第4ステップと、
第2の磁気チャックの磁力により前記保持部材を吸着して該保持部材及び前記フィルムを一体的に前記基板上から剥離する第5ステップと、
を行なうことを特徴とするマスクの製造方法。 - 前記第2ステップは、一定の温度及び圧力の下で前記保持部材と前記フィルムとを熱圧着して一体化するように実施されることを特徴とする請求項1記載のマスクの製造方法。
- 前記第2ステップは、前記保持部材に前記フィルムを接着させて一体化するように実施されることを特徴とする請求項1記載のマスクの製造方法。
- 前記第2ステップは、平板状の母材の上面に塗布され、半乾燥状態にされたフィルム用樹脂に前記保持部材を圧着した後、前記樹脂を完全乾燥させて前記保持部材と前記フィルムとを一体化するように実施されることを特徴とする請求項1記載のマスクの製造方法。
- 前記第2ステップは、平板状の母材の上面に載置された前記保持部材の上面にフィルム用樹脂溶液を塗布した後、乾燥してフィルムを形成し、前記保持部材と前記フィルムとを一体化するように実施されることを特徴とする請求項1記載のマスクの製造方法。
- 前記第2ステップは、平板状の金属製母材の上面に塗布された感光性樹脂を露光及び現像して前記保持部材の前記開口部に対応した位置にフィルム用島パターンを形成した後、該島パターンの周囲領域に磁性膜をメッキして保持部材を形成することにより、前記保持部材と前記フィルムとを一体化するように実施されることを特徴とする請求項1記載のマスクの製造方法。
- 前記フィルムは、ポリイミドであることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載のマスクの製造方法。
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