JP5899151B2 - Method for producing patterned transparent conductive film - Google Patents
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Description
本発明は、両面に導電性金属層が形成された透明導電フィルムであっても、導電性金属層が剥離したり、仮固定用両面粘着テープが糊残りしたりすることなく、導電パターンを形成することができるパターニングされた透明導電フィルムの製造方法に関する。 Even if the present invention is a transparent conductive film having a conductive metal layer formed on both sides, a conductive pattern is formed without peeling off the conductive metal layer or leaving a double-sided adhesive tape for temporary fixing. The present invention relates to a method for producing a patterned transparent conductive film.
携帯用の電子手帳、情報端末等の携帯情報端末等の入力装置として、液晶表示素子の上に透明なタッチパネルを載せたものが用いられており、とりわけ抵抗方式のタッチパネルが普及している。抵抗方式のタッチパネルは、パターニングされた透明導電フィルムと透明導電膜付きガラスとがギャップで隔てられた構造を有するものが一般的である。
パターニングされた透明導電フィルムを製造する方法としては、錫を含む酸化インジウム（ＩＴＯ）等の金属又は金属酸化物を含有する導電性金属層が形成された透明導電フィルムを、仮固定用両面粘着テープを介して作業台に固定した後、アニール処理、フォトリソグラフィー処理及びエッチング処理を施して導電パターンを形成する方法が挙げられる（例えば、特許文献１）。
As an input device for portable information terminals such as portable electronic notebooks and information terminals, a liquid crystal display element on which a transparent touch panel is mounted is used, and resistance type touch panels are particularly popular. A resistive touch panel generally has a structure in which a patterned transparent conductive film and glass with a transparent conductive film are separated by a gap.
As a method for producing a patterned transparent conductive film, a double-sided adhesive tape for temporarily fixing a transparent conductive film on which a conductive metal layer containing a metal or metal oxide such as indium oxide (ITO) containing tin is formed is used. There is a method of forming a conductive pattern by performing annealing, photolithography, and etching after fixing to a workbench via the substrate (for example, Patent Document 1).
ところで近年、両面に導電パターンが形成された透明導電フィルムを用いたタッチパネルが検討されている。このような両面に導電パターンが形成された透明導電フィルムを用いることにより、従来の片面のみに導電パターンが形成された透明導電フィルムを２枚用いた場合に比べて、より薄いタッチパネルを得ることができる。 By the way, in recent years, a touch panel using a transparent conductive film in which a conductive pattern is formed on both sides has been studied. By using a transparent conductive film having a conductive pattern formed on both sides, it is possible to obtain a thinner touch panel as compared with the case where two transparent conductive films having a conductive pattern formed on only one side are used. it can.
このような両面に導電パターンが形成された透明導電フィルムを製造するためには、両面に導電性金属層が形成された透明導電フィルムを原料として、その両面をパターニングする必要がある。しかしながら、両面に導電性金属層が形成された透明導電フィルムを、仮固定用両面粘着テープを介して作業台に固定すると、該仮固定用両面粘着テープを剥離するときに、透明導電フィルムの表面から導電性金属層の一部又は全部が剥離してしまうことがあるという問題があった。また、逆に、透明導電フィルムと仮固定用両面粘着テープとの剥離が不良で、透明導電フィルムの表面に仮固定用両面粘着テープの一部又は全部が残存してしまうことがあるという問題もあった。 In order to manufacture such a transparent conductive film having a conductive pattern formed on both sides, it is necessary to pattern both sides using a transparent conductive film having a conductive metal layer formed on both sides as a raw material. However, when a transparent conductive film having a conductive metal layer formed on both sides is fixed to a work table via a temporary fixing double-sided adhesive tape, the surface of the transparent conductive film is removed when the temporary fixing double-sided adhesive tape is peeled off. There was a problem that part or all of the conductive metal layer might peel off. On the other hand, there is also a problem that peeling between the transparent conductive film and the temporary fixing double-sided pressure-sensitive adhesive tape is poor, and part or all of the temporary fixing double-sided pressure-sensitive adhesive tape may remain on the surface of the transparent conductive film. there were.
本発明者らは、パターニングされた透明導電フィルムの製造方法において、仮固定用両面粘着テープの剥離を容易にする目的で、紫外線硬化型粘着剤からなる粘着剤層を有する仮固定用両面粘着テープを用いることを試みた。しかしながら、このような仮固定用両面粘着テープを用いると、かえって該仮固定用両面粘着テープを剥離するときに透明導電フィルムの表面から導電性金属層が剥離してしまう傾向があることが判った。
導電性金属層が形成された透明導電フィルムの導電性金属層上には、微細な突起が形成されている。このような導電性金属層が形成された透明導電フィルムに仮固定用両面粘着テープを貼付してアニール処理等の加熱処理を加えると、導電性金属層上の微細な突起が仮固定用両面粘着テープに食い込んで強く密着するうえ、剥離時に紫外線を照射して粘着剤層が硬化することにより、よりいっそう導電性金属層と仮固定用両面粘着テープとの接着力が増す。一方、導電性金属層と透明基材フィルムとの接着力は、アニール処理等の加熱処理によって低下する傾向にある。このようにして、導電性金属層と仮固定用両面粘着テープとの接着力が、導電性金属層と透明基材フィルムとの接着力に比べて、相対的に強くなっていくことが、仮固定用両面粘着テープの剥離時に透明導電フィルムの表面から導電性金属層が剥離してしまう原因であると思われた。また、この方法では、剥離不良により、透明導電フィルムの表面に仮固定用両面粘着テープの一部又は全部が残存してしまうことがあるという問題も解決できなかった。
In the method for producing a patterned transparent conductive film, the present inventors have provided a double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing having a pressure-sensitive adhesive layer made of an ultraviolet curable pressure-sensitive adhesive for the purpose of facilitating peeling of the double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixation. Tried to use. However, it was found that when such a double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing was used, the conductive metal layer tended to peel from the surface of the transparent conductive film when the double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing was peeled. .
Fine protrusions are formed on the conductive metal layer of the transparent conductive film on which the conductive metal layer is formed. When a temporary fixing double-sided adhesive tape is applied to a transparent conductive film having such a conductive metal layer and heat treatment such as annealing is applied, fine protrusions on the conductive metal layer become temporarily fixed double-sided adhesive. The adhesive force between the conductive metal layer and the temporary fixing double-sided pressure-sensitive adhesive tape is further increased by digging into the tape and closely adhering to it, and irradiating ultraviolet rays at the time of peeling to cure the pressure-sensitive adhesive layer. On the other hand, the adhesive force between the conductive metal layer and the transparent substrate film tends to be reduced by heat treatment such as annealing treatment. In this way, the temporary adhesion strength between the conductive metal layer and the temporary fixing double-sided pressure-sensitive adhesive tape is relatively stronger than the adhesion strength between the conductive metal layer and the transparent substrate film. This was considered to be the cause of the peeling of the conductive metal layer from the surface of the transparent conductive film when the fixing double-sided adhesive tape was peeled off. Further, this method cannot solve the problem that part or all of the temporary fixing double-sided pressure-sensitive adhesive tape may remain on the surface of the transparent conductive film due to poor peeling.
本発明は、上記現状に鑑み、両面に導電性金属層が形成された透明導電フィルムであっても、導電性金属層が剥離したり、仮固定用両面粘着テープが糊残りしたりすることなく、導電パターンを形成することができるパターニングされた透明導電フィルムの製造方法を提供することを目的とする。 In view of the above situation, the present invention is a transparent conductive film in which a conductive metal layer is formed on both sides, without the conductive metal layer being peeled off or the temporary fixing double-sided pressure-sensitive adhesive tape remaining without adhesive. It aims at providing the manufacturing method of the patterned transparent conductive film which can form a conductive pattern.
本発明は、両面に導電性金属層が形成された透明導電フィルムを、基材の両面に紫外線を照射することにより気体を発生する気体発生剤を含有する紫外線硬化型粘着剤層が形成されており、かつ、一方の表面に形成された粘着剤層に含まれる気体発生剤の含有濃度が他方の表面に形成された粘着剤層に含まれる気体発生剤の含有濃度より高い仮固定用両面粘着テープを介して、前記仮固定用両面粘着テープの気体発生剤の含有濃度が高い側の面が前記透明導電フィルム側に、前記仮固定用両面粘着テープの気体発生剤の含有濃度が低い側の面が前記作業台側になるようにして作業台に固定するフィルム固定工程と、作業台に固定された前記透明導電フィルムにアニール処理、フォトリソグラフィー処理及びエッチング処理を施して、透明導電フィルムの一方の面に導電パターンを形成するパターニング工程と、前記透明導電フィルムの導電パターンが形成された面上に、粘着剤付き支持板を貼り付ける支持板貼付工程と、前記仮固定用両面粘着テープに紫外線を照射することにより、前記粘着剤付き支持板に貼着された透明導電フィルムを仮固定用両面粘着テープから剥離する剥離工程とを有するパターニングされた透明導電フィルムの製造方法である。
以下に本発明を詳述する。
In the present invention, an ultraviolet curable pressure-sensitive adhesive layer containing a gas generating agent that generates a gas by irradiating ultraviolet light onto both surfaces of a transparent conductive film having a conductive metal layer formed on both surfaces is formed. Double-sided adhesive for temporary fixing, wherein the concentration of the gas generating agent contained in the pressure-sensitive adhesive layer formed on one surface is higher than the concentration of the gas generating agent contained in the pressure-sensitive adhesive layer formed on the other surface Through the tape, the side with the higher concentration of the gas generating agent in the double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing is on the transparent conductive film side, and the side with the lower concentration of the gas-generating agent in the double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing. A film fixing process for fixing the work surface to the work table side, and a transparent conductive film obtained by subjecting the transparent conductive film fixed to the work table to an annealing process, a photolithography process and an etching process. A patterning step of forming a conductive pattern on one surface of the film, a support plate attaching step of attaching a support plate with an adhesive on the surface of the transparent conductive film on which the conductive pattern is formed, and the double-sided adhesive for temporary fixing It is a manufacturing method of the patterned transparent conductive film which has a peeling process which peels the transparent conductive film stuck on the said support plate with an adhesive from the double-sided adhesive tape for temporary fixation by irradiating a tape with an ultraviolet-ray.
The present invention is described in detail below.
本発明者らは、鋭意検討の結果、両面に導電性金属層が形成された透明導電フィルムを作業台に固定するための仮固定用両面粘着テープとして、両面で気体発生剤の含有濃度が相違する紫外線硬化型粘着剤層が形成された仮固定用両面粘着テープを採用し、かつ、気体発生剤の含有濃度が高い側の面が透明導電フィルム側に、気体発生剤の含有濃度が低い側の面が作業台側になるようにして作業台に固定した場合には、導電性金属層が剥離したり、仮固定用両面粘着テープが糊残りしたりすることなく導電パターンを形成できることを見出し、本発明を完成した。
本発明のパターニングされた透明導電フィルムの製造方法の一例を示す模式図を図１に示した。以下、図１を参照しながら、本発明を詳しく説明する。
As a result of intensive studies, the inventors have found that the concentration of the gas generating agent is different on both sides as a temporary fixing double-sided pressure-sensitive adhesive tape for fixing a transparent conductive film having a conductive metal layer formed on both sides to a work table. Adopting a temporary fixing double-sided pressure-sensitive adhesive tape on which an ultraviolet curable pressure-sensitive adhesive layer is formed, and the side having a higher concentration of gas generating agent on the transparent conductive film side and the side having a lower concentration of gas generating agent It was found that the conductive pattern can be formed without peeling off the conductive metal layer or leaving the adhesive double-sided adhesive tape unbonded when it is fixed to the workbench with the surface facing the workbench. The present invention has been completed.
The schematic diagram which shows an example of the manufacturing method of the patterned transparent conductive film of this invention was shown in FIG. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to FIG.
本発明のパターニングされた透明導電フィルムの製造方法では、まず、両面に導電性金属層が形成された透明導電フィルムを、基材の両面に紫外線を照射することにより気体を発生する気体発生剤を含有する紫外線硬化型粘着剤層が形成された仮固定用両面粘着テープを介して作業台に固定するフィルム固定工程を行う。 In the method for producing a patterned transparent conductive film of the present invention, first, a gas generating agent that generates a gas by irradiating the both surfaces of the substrate with ultraviolet rays on the transparent conductive film having a conductive metal layer formed on both sides is provided. A film fixing step of fixing to a work table via a temporary fixing double-sided pressure-sensitive adhesive tape on which an ultraviolet curable pressure-sensitive adhesive layer is formed is performed.
上記両面に導電性金属層が形成された透明導電フィルムは、例えば、透明基材フィルムの両面に導電性金属からなる層を形成したフィルムが挙げられる。
上記透明基材フィルムは、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のポリエステル系樹脂や、ポリカーボネート系樹脂、ノルボルネン樹脂（ＣＯＰ）等からなるフィルムが挙げられる。なかでも、ＰＥＴからなるフィルムが一般的である。
上記導電性金属層を構成する金属としては、例えば、金、銀、銅等の金属や酸化インジウム、酸化亜鉛、酸化錫、酸化チタン等の金属酸化物が挙げられる。なかでも、錫を含む酸化インジウム（ＩＴＯ）が一般的である。また、ＩＴＯ層上に更に金、銀、銅等の金属層を形成する態様も一般的である。
図２に、両面に導電性金属層が形成された透明導電フィルムの一例を示す模式図を示した。
図２において、透明導電フィルム１は、ノルボルネン樹脂からなる透明基材フィルム１１の両面に、ＩＴＯ層１２及び銅層１３がこの順に積層されている。
Examples of the transparent conductive film in which the conductive metal layer is formed on both surfaces include a film in which layers made of a conductive metal are formed on both surfaces of the transparent base film.
Examples of the transparent substrate film include films made of polyester resins such as polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate (PEN), polycarbonate resins, norbornene resin (COP), and the like. Especially, the film which consists of PET is common.
Examples of the metal constituting the conductive metal layer include metals such as gold, silver, and copper, and metal oxides such as indium oxide, zinc oxide, tin oxide, and titanium oxide. Of these, indium oxide (ITO) containing tin is common. Moreover, the aspect which forms metal layers, such as gold | metal | money, silver, copper, further on an ITO layer is also common.
The schematic diagram which shows an example of the transparent conductive film in which the electroconductive metal layer was formed in FIG. 2 on both surfaces was shown.
In FIG. 2, the transparent
本発明においては、仮固定用両面粘着テープとして、基材の両面に紫外線を照射することにより気体を発生する気体発生剤を含有する紫外線硬化型粘着剤層が形成された仮固定用両面粘着テープを用いる。上記気体発生剤を含有する紫外線硬化型粘着剤からなることにより、剥離時に紫外線を照射することにより、各面の紫外線硬化型粘着剤層の全体が架橋して弾性率が上昇するとともに、該弾性率が上昇した紫外線硬化型粘着剤層中において気体発生剤から発生した気体がテープ外に放出される。
ここで、上記仮固定用両面粘着テープにおいては、各面の紫外線硬化型粘着剤層中に含まれる気体発生剤の含有濃度に差異を設けたことが重要である。このような気体発生剤の含有濃度の差異によって、各面での剥離挙動に差異が発生する。気体発生剤の含有濃度が高い面では、紫外線照射により大量の気体が発生してテープ外に放出され、放出された気体の圧力によって接着界面の剥離が進む。一方、気体発生剤の含有濃度が低い面においても、紫外線照射により気体が発生してテープ外に放出されるが、含有濃度が高い面に比べるとその放出量は少なく、接着界面の剥離も少ないものとなる。その結果、紫外線照射後の接着力低下は、気体発生剤の含有濃度が高い面では大きく、気体発生剤の含有濃度が低い面では小さいものとなる。
この性質を利用して、仮固定用両面粘着テープの気体発生剤の含有濃度が高い側の面が透明導電フィルム側に、仮固定用両面粘着テープの気体発生剤の含有濃度が低い側の面が作業台側になるようにして透明導電フィルムを作業台に固定することにより、紫外線照射後の剥離が仮固定用両面粘着テープと透明導電フィルムとの間でのみ起こり、透明導電フィルムの導電性金属層が剥離してしまったり、透明導電フィルム上に仮固定用両面粘着テープが糊残りしたりすることを防止することができる。なお、気体発生剤の含有濃度が低い面から発生した気体は、その放出量が少ないことから完全な剥離までは起こらないものの、発生した気体によって形成される空気溜りにより仮固定用両面粘着テープ全体がジグザグ形状に変形して、気体発生後に透明導電フィルムや作業台の重みによって再密着するのを防止する効果を発揮する。
In the present invention, as a double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixation, a double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixation in which an ultraviolet curable pressure-sensitive adhesive layer containing a gas generating agent that generates gas by irradiating ultraviolet rays onto both surfaces of a substrate is formed. Is used. By comprising the ultraviolet curable pressure-sensitive adhesive containing the gas generating agent, the entire ultraviolet curable pressure-sensitive adhesive layer on each surface is cross-linked by irradiating ultraviolet rays at the time of peeling, and the elasticity increases, and the elasticity The gas generated from the gas generating agent in the ultraviolet curable pressure-sensitive adhesive layer having an increased rate is released out of the tape.
Here, in the temporary fixing double-sided pressure-sensitive adhesive tape, it is important to provide a difference in the concentration of the gas generating agent contained in the ultraviolet curable pressure-sensitive adhesive layer on each surface. Due to the difference in the concentration of the gas generating agent, a difference occurs in the peeling behavior on each surface. On the surface where the concentration of the gas generating agent is high, a large amount of gas is generated by ultraviolet irradiation and released out of the tape, and peeling of the adhesive interface proceeds by the pressure of the released gas. On the other hand, even on the surface where the concentration of the gas generating agent is low, gas is generated by ultraviolet irradiation and released to the outside of the tape, but the amount released is small compared to the surface where the concentration is high and the adhesion interface is less peeled. It will be a thing. As a result, the decrease in adhesive strength after irradiation with ultraviolet rays is large on the surface with a high concentration of the gas generating agent, and small on the surface with a low concentration of the gas generating agent.
Utilizing this property, the surface of the double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing having the higher concentration of the gas generating agent is on the transparent conductive film side, and the surface of the double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporarily fixing having the lower concentration of the gas generating agent. By fixing the transparent conductive film to the workbench so that it is on the workbench side, peeling after UV irradiation occurs only between the double-sided adhesive tape for temporary fixing and the transparent conductive film, and the conductivity of the transparent conductive film It is possible to prevent the metal layer from peeling off or the temporary fixing double-sided pressure-sensitive adhesive tape from remaining on the transparent conductive film. Note that the gas generated from the surface with a low concentration of the gas generating agent does not occur until complete peeling because of its low release amount, but the entire double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing due to the air pocket formed by the generated gas Is deformed into a zigzag shape and exhibits the effect of preventing re-adhesion due to the weight of the transparent conductive film or workbench after gas generation.
上記仮固定用両面粘着テープの基材としては、光を透過又は通過するものであれば特に限定されず、例えば、ポリアクリル、ポリオレフィン、ポリカーボネート、塩化ビニル、ＡＢＳ、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ナイロン、ポリウレタン、ポリイミド等の透明な樹脂からなるシート、網目状の構造を有するシート、孔が開けられたシート等が挙げられる。 The substrate of the double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing is not particularly limited as long as it transmits or passes light. For example, polyacryl, polyolefin, polycarbonate, vinyl chloride, ABS, polyethylene terephthalate (PET), nylon, Examples thereof include a sheet made of a transparent resin such as polyurethane and polyimide, a sheet having a network structure, and a sheet having holes.
上記基材の厚さの好ましい下限は１２μｍ、好ましい上限は７５μｍである。上記基材の厚さが１２μｍ未満であると、得られる仮固定用両面粘着テープの自立性が不足し取扱いが困難になることがあり、７５μｍを超えると、柔軟性が不足して、貼付や剥離の作業性が劣ることがある。上記基材の厚さのより好ましい下限は２５μｍ、より好ましい上限は５０μｍである。 The minimum with the preferable thickness of the said base material is 12 micrometers, and a preferable upper limit is 75 micrometers. If the thickness of the base material is less than 12 μm, the resulting self-supporting double-sided pressure-sensitive adhesive tape may have insufficient self-supporting properties and may be difficult to handle. Peeling workability may be inferior. The minimum with more preferable thickness of the said base material is 25 micrometers, and a more preferable upper limit is 50 micrometers.
上記紫外線硬化型粘着剤層を構成する紫外線硬化型粘着剤としては、例えば、分子内にラジカル重合性の不飽和結合を有してなるアクリル酸アルキルエステル系及び／又はメタクリル酸アルキルエステル系の重合性ポリマーと、ラジカル重合性の多官能オリゴマー又はモノマーとを主成分とし、必要に応じて光重合開始剤を含んでなる紫外線硬化型粘着剤が挙げられる。
このような紫外線硬化型粘着剤は、紫外線を照射することにより粘着剤の全体が均一にかつ速やかに重合架橋して一体化するため、重合硬化による弾性率の上昇が著しくなり、粘着力が大きく低下する。また、弾性率の上昇した硬い硬化物中で気体発生剤から気体を発生させると、発生した気体の大半は外部に放出され、放出された気体は、仮固定用両面粘着テープと被着体との接着界面の少なくとも一部を剥離し、接着力を低下させる。
Examples of the ultraviolet curable pressure-sensitive adhesive that constitutes the ultraviolet curable pressure-sensitive adhesive layer include, for example, an acrylic acid alkyl ester-based and / or methacrylic acid alkyl ester-based polymer having a radical polymerizable unsaturated bond in the molecule. UV curable pressure-sensitive adhesives comprising a photopolymer and a radically polymerizable polyfunctional oligomer or monomer as main components and a photopolymerization initiator as required.
Such ultraviolet curable adhesives are uniformly and rapidly polymerized and integrated by being irradiated with ultraviolet rays, so that the elastic modulus increases significantly due to polymerization and curing, and the adhesive strength is large. descend. In addition, when a gas is generated from a gas generating agent in a hard cured material having an increased elastic modulus, most of the generated gas is released to the outside, and the released gas is separated from the temporary fixing double-sided adhesive tape and the adherend. At least a part of the adhesive interface is peeled off to reduce the adhesive force.
上記重合性ポリマーは、例えば、分子内に官能基を持った（メタ）アクリル系ポリマー（以下、官能基含有（メタ）アクリル系ポリマーという）をあらかじめ合成し、分子内に上記の官能基と反応する官能基とラジカル重合性の不飽和結合とを有する化合物（以下、官能基含有不飽和化合物という）と反応させることにより得ることができる。 The polymerizable polymer is prepared by, for example, previously synthesizing a (meth) acrylic polymer having a functional group in the molecule (hereinafter referred to as a functional group-containing (meth) acrylic polymer) and reacting with the functional group in the molecule. It can obtain by making it react with the compound (henceforth a functional group containing unsaturated compound) which has a functional group to perform and a radically polymerizable unsaturated bond.
上記官能基含有（メタ）アクリル系ポリマーは、常温で粘着性を有するポリマーとして、一般の（メタ）アクリル系ポリマーの場合と同様に、アルキル基の炭素数が通常２〜１８の範囲にあるアクリル酸アルキルエステル及び／又はメタクリル酸アルキルエステルを主モノマーとし、これと官能基含有モノマーと、更に必要に応じてこれらと共重合可能な他の改質用モノマーとを常法により共重合させることにより得られるものである。上記官能基含有（メタ）アクリル系ポリマーの重量平均分子量は通常２０万〜２００万程度である。 The functional group-containing (meth) acrylic polymer is an acrylic having an alkyl group usually in the range of 2 to 18 as a polymer having adhesiveness at room temperature, as in the case of a general (meth) acrylic polymer. By copolymerizing an acid alkyl ester and / or methacrylic acid alkyl ester as a main monomer, a functional group-containing monomer, and, if necessary, another modifying monomer copolymerizable therewith by a conventional method It is obtained. The weight average molecular weight of the functional group-containing (meth) acrylic polymer is usually about 200,000 to 2,000,000.
上記官能基含有モノマーとしては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸等のカルボキシル基含有モノマー；アクリル酸ヒドロキシエチル、メタクリル酸ヒドロキシエチル等のヒドロキシル基含有モノマー；アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル等のエポキシ基含有モノマー；アクリル酸イソシアネートエチル、メタクリル酸イソシアネートエチル等のイソシアネート基含有モノマー；アクリル酸アミノエチル、メタクリル酸アミノエチル等のアミノ基含有モノマー等が挙げられる。
上記共重合可能な他の改質用モノマーとしては、例えば、酢酸ビニル、アクリロニトリル、スチレン等の一般の（メタ）アクリル系ポリマーに用いられている各種のモノマーが挙げられる。
Examples of the functional group-containing monomer include a carboxyl group-containing monomer such as acrylic acid and methacrylic acid; a hydroxyl group-containing monomer such as hydroxyethyl acrylate and hydroxyethyl methacrylate; and an epoxy group containing glycidyl acrylate and glycidyl methacrylate. Monomers; Isocyanate group-containing monomers such as isocyanate ethyl acrylate and isocyanate ethyl methacrylate; and amino group-containing monomers such as aminoethyl acrylate and aminoethyl methacrylate.
Examples of other modifying monomers that can be copolymerized include various monomers used in general (meth) acrylic polymers such as vinyl acetate, acrylonitrile, and styrene.
上記官能基含有（メタ）アクリル系ポリマーに反応させる官能基含有不飽和化合物としては、上記官能基含有（メタ）アクリル系ポリマーの官能基に応じて上述した官能基含有モノマーと同様のものを使用できる。例えば、上記官能基含有（メタ）アクリル系ポリマーの官能基がカルボキシル基の場合はエポキシ基含有モノマーやイソシアネート基含有モノマーが用いられ、同官能基がヒドロキシル基の場合はイソシアネート基含有モノマーが用いられ、同官能基がエポキシ基の場合はカルボキシル基含有モノマーやアクリルアミド等のアミド基含有モノマーが用いられ、同官能基がアミノ基の場合はエポキシ基含有モノマーが用いられる。 The functional group-containing unsaturated compound to be reacted with the functional group-containing (meth) acrylic polymer is the same as the functional group-containing monomer described above according to the functional group of the functional group-containing (meth) acrylic polymer. it can. For example, when the functional group of the functional group-containing (meth) acrylic polymer is a carboxyl group, an epoxy group-containing monomer or an isocyanate group-containing monomer is used, and when the functional group is a hydroxyl group, an isocyanate group-containing monomer is used. When the functional group is an epoxy group, a carboxyl group-containing monomer or an amide group-containing monomer such as acrylamide is used, and when the functional group is an amino group, an epoxy group-containing monomer is used.
上記多官能オリゴマー又はモノマーとしては、分子量が１万以下であるものが好ましく、より好ましくは加熱又は光の照射による粘着剤層の三次元網状化が効率よくなされるように、その分子量が５０００以下でかつ分子内のラジカル重合性の不飽和結合の数が２〜２０個のものである。このようなより好ましい多官能オリゴマー又はモノマーとしては、例えば、トリメチロールプロパントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート又は上記同様のメタクリレート類等が挙げられる。その他、１，４−ブチレングリコールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、市販のオリゴエステルアクリレート、上記同様のメタクリレート類等が挙げられる。これらの多官能オリゴマー又はモノマーは、単独で用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。 The polyfunctional oligomer or monomer preferably has a molecular weight of 10,000 or less, and more preferably has a molecular weight of 5000 or less so that the three-dimensional network of the pressure-sensitive adhesive layer can be efficiently formed by heating or light irradiation. And the number of radically polymerizable unsaturated bonds in the molecule is 2 to 20. As such more preferred polyfunctional oligomers or monomers, for example, trimethylolpropane triacrylate, tetramethylolmethane tetraacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol monohydroxypentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate Or the above-mentioned methacrylates etc. are mentioned. Other examples include 1,4-butylene glycol diacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, polyethylene glycol diacrylate, commercially available oligoester acrylate, and methacrylates similar to those described above. These polyfunctional oligomers or monomers may be used alone or in combination of two or more.
上記光重合開始剤としては、例えば、２５０〜８００ｎｍの波長の光を照射することにより活性化されるものが挙げられ、このような光重合開始剤としては、例えば、メトキシアセトフェノン等のアセトフェノン誘導体化合物や、ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエーテル系化合物や、ベンジルジメチルケタール、アセトフェノンジエチルケタール等のケタール誘導体化合物や、フォスフィンオキシド誘導体化合物や、ビス（η５−シクロペンタジエニル）チタノセン誘導体化合物、ベンゾフェノン、ミヒラーケトン、クロロチオキサントン、ドデシルチオキサントン、ジメチルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、α−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシメチルフェニルプロパン等の光ラジカル重合開始剤が挙げられる。これらの光重合開始剤は、単独で用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。
上記光重合開始剤を用いる場合には、酸素による硬化阻害を防止するために、２ｐｈｒ以上配合することが好ましい。
Examples of the photopolymerization initiator include those activated by irradiation with light having a wavelength of 250 to 800 nm. Examples of such a photopolymerization initiator include acetophenone derivative compounds such as methoxyacetophenone. Benzoin ether compounds such as benzoin propyl ether and benzoin isobutyl ether, ketal derivative compounds such as benzyldimethyl ketal and acetophenone diethyl ketal, phosphine oxide derivative compounds, bis (η5-cyclopentadienyl) titanocene derivative compounds , Benzophenone, Michler ketone, chlorothioxanthone, dodecylthioxanthone, dimethylthioxanthone, diethylthioxanthone, α-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-hydroxymethylphenol Examples include photo radical polymerization initiators such as nylpropane. These photoinitiators may be used independently and 2 or more types may be used together.
When the photopolymerization initiator is used, it is preferably blended in an amount of 2 phr or more in order to prevent curing inhibition due to oxygen.
上記紫外線を照射することにより気体を発生する気体発生剤としては、例えば、アゾ化合物、アジド化合物、テトラゾール化合物等が挙げられる。
上記アゾ化合物としては、例えば、２，２’−アゾビス（Ｎ−シクロヘキシル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−メチルプロピル）−２−メチルプロピオンアミド］、２，２’−アゾビス（Ｎ−ブチル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−メチルエチル）−２−メチルプロピオンアミド］、２，２’−アゾビス（Ｎ−ヘキシル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス（Ｎ−プロピル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス（Ｎ−エチル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス｛２−メチル−Ｎ−［１，１−ビス（ヒドロキシメチル）−２−ヒドロキシエチル］プロピオンアミド｝、２，２’−アゾビス｛２−メチル−Ｎ−［２−（１−ヒドロキシブチル）］プロピオンアミド｝、２，２’−アゾビス［２−メチル−Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）プロピオンアミド］、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−プロペニル）−２−メチルプロピオンアミド］、２，２’−アゾビス［２−（５−メチル−２−イミダゾリン２−イル）プロパン］ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス［２−（２−イミダゾリン２−イル）プロパン］ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス［２−（２−イミダゾリン２−イル）プロパン］ジサルフェイトジハイドロレート、２，２’−アゾビス［２−（３，４，５，６−テトラハイドロピリミジン−２−イル）プロパン］ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス｛２−［１−（２−ヒドロキシエチル）−２−イミダゾリン２−イル］プロパン｝ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス［２−（２−イミダゾリン２−イル）プロパン］、２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオンアミジン）ハイドロクロライド、２，２’−アゾビス（２−アミノプロパン）ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−カルボキシアシル）−２−メチル−プロピオンアミジン］、２，２’−アゾビス｛２−［Ｎ−（２−カルボキシエチル）アミジン］プロパン｝、２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオンアミドオキシム）、ジメチル２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオネート）、ジメチル２，２’−アゾビスイソブチレート、４，４’−アゾビス（４−シアンカルボニックアシッド）、４，４’−アゾビス（４−シアノペンタノイックアシッド）、２，２’−アゾビス（２，４，４−トリメチルペンタン）等が挙げられる。これらのアゾ化合物は、光、とりわけ波長３６５ｎｍ程度の紫外線を照射することにより窒素ガスを発生する。なかでも、比較的耐熱性に優れ、（メタ）アクリル系ポリマーへの溶解性にも優れることから、アゾアミド化合物が好適である。
Examples of the gas generating agent that generates gas when irradiated with the ultraviolet rays include azo compounds, azide compounds, and tetrazole compounds.
Examples of the azo compound include 2,2′-azobis (N-cyclohexyl-2-methylpropionamide), 2,2′-azobis [N- (2-methylpropyl) -2-methylpropionamide], 2 , 2′-azobis (N-butyl-2-methylpropionamide), 2,2′-azobis [N- (2-methylethyl) -2-methylpropionamide], 2,2′-azobis (N-hexyl) -2-methylpropionamide), 2,2′-azobis (N-propyl-2-methylpropionamide), 2,2′-azobis (N-ethyl-2-methylpropionamide), 2,2′-azobis {2-methyl-N- [1,1-bis (hydroxymethyl) -2-hydroxyethyl] propionamide}, 2,2′-azobis {2-methyl-N- [2- (1-hydroxy) Butyl)] propionamide}, 2,2′-azobis [2-methyl-N- (2-hydroxyethyl) propionamide], 2,2′-azobis [N- (2-propenyl) -2-methylpropionamide 2,2'-azobis [2- (5-methyl-2-imidazolin-2-yl) propane] dihydrochloride, 2,2'-azobis [2- (2-imidazolin-2-yl) propane] dihydro Chloride, 2,2′-azobis [2- (2-imidazolin-2-yl) propane] disulfate dihydrolate, 2,2′-azobis [2- (3,4,5,6-tetrahydropyrimidine- 2-yl) propane] dihydrochloride, 2,2′-azobis {2- [1- (2-hydroxyethyl) -2-imidazolin-2-yl] propane} dihydrochloride Id, 2,2'-azobis [2- (2-imidazolin-2-yl) propane], 2,2'-azobis (2-methylpropionamidine) hydrochloride, 2,2'-azobis (2-aminopropane) Dihydrochloride, 2,2′-azobis [N- (2-carboxyacyl) -2-methyl-propionamidine], 2,2′-azobis {2- [N- (2-carboxyethyl) amidine] propane} 2,2′-azobis (2-methylpropionamidooxime), dimethyl 2,2′-azobis (2-methylpropionate), dimethyl 2,2′-azobisisobutyrate, 4,4′-azobis (4-cyanocarbonic acid), 4,4′-azobis (4-cyanopentanoic acid), 2,2′-azobis (2,4,4-trimethylpentane) Etc. These azo compounds generate nitrogen gas when irradiated with light, particularly ultraviolet rays having a wavelength of about 365 nm. Of these, azoamide compounds are preferred because they are relatively excellent in heat resistance and excellent in solubility in (meth) acrylic polymers.
上記アゾアミド化合物としては、例えば、２，２’−アゾビス（Ｎ−シクロヘキシル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−メチルプロピル）−２−メチルプロピオンアミド］、２，２’−アゾビス（Ｎ−ブチル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−メチルエチル）−２−メチルプロピオンアミド］、２，２’−アゾビス（Ｎ−ヘキシル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス（Ｎ−プロピル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス（Ｎ−エチル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス｛２−メチル−Ｎ−［１，１−ビス（ヒドロキシメチル）−２−ヒドロキシエチル］プロピオンアミド｝、２，２’−アゾビス｛２−メチル−Ｎ−［２−（１−ヒドロキシブチル）］プロピオンアミド｝、２，２’−アゾビス［２−メチル−Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）プロピオンアミド］、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−プロペニル）−２−メチルプロピオンアミド］等が挙げられる。 Examples of the azoamide compound include 2,2′-azobis (N-cyclohexyl-2-methylpropionamide), 2,2′-azobis [N- (2-methylpropyl) -2-methylpropionamide], 2 , 2′-azobis (N-butyl-2-methylpropionamide), 2,2′-azobis [N- (2-methylethyl) -2-methylpropionamide], 2,2′-azobis (N-hexyl) -2-methylpropionamide), 2,2′-azobis (N-propyl-2-methylpropionamide), 2,2′-azobis (N-ethyl-2-methylpropionamide), 2,2′-azobis {2-Methyl-N- [1,1-bis (hydroxymethyl) -2-hydroxyethyl] propionamide}, 2,2′-azobis {2-methyl-N- [ -(1-hydroxybutyl)] propionamide}, 2,2'-azobis [2-methyl-N- (2-hydroxyethyl) propionamide], 2,2'-azobis [N- (2-propenyl)- 2-methylpropionamide] and the like.
上記アジド化合物としては、例えば、３−アジドメチル−３−メチルオキセタン、テレフタルアジド、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルベンズアジド；３−アジドメチル−３−メチルオキセタンを開環重合することにより得られるグリシジルアジドポリマー等のアジド基を有するポリマー等が挙げられる。これらのアジド化合物は、光、とりわけ波長３６５ｎｍ程度の紫外線を照射することにより窒素ガスを発生する。 Examples of the azide compound include 3-azidomethyl-3-methyloxetane, terephthalazide, p-tert-butylbenzazide; glycidyl azide polymer obtained by ring-opening polymerization of 3-azidomethyl-3-methyloxetane, and the like. Examples thereof include a polymer having an azide group. These azide compounds generate nitrogen gas when irradiated with light, particularly ultraviolet rays having a wavelength of about 365 nm.
上記テトラゾール化合物としては、例えば、１Ｈ−テトラゾール、５−フェニル−１Ｈ−テトラゾール、５，５−アゾビス−１Ｈ−テトラゾール、５−アミノ−１Ｈ−テトラゾール、５−メチル−１Ｈ−テトラゾール、１−メチル−５−メルカプト−１Ｈ−テトラゾール、１−メチル−５−エチル−１Ｈ−テトラゾール、１−（ジメチルアミノエチル）−５−メルカプト−１Ｈ−テトラゾール等が挙げられる。 Examples of the tetrazole compounds include 1H-tetrazole, 5-phenyl-1H-tetrazole, 5,5-azobis-1H-tetrazole, 5-amino-1H-tetrazole, 5-methyl-1H-tetrazole, 1-methyl- Examples include 5-mercapto-1H-tetrazole, 1-methyl-5-ethyl-1H-tetrazole, 1- (dimethylaminoethyl) -5-mercapto-1H-tetrazole.
上記気体発生剤は、上記紫外線硬化型粘着剤中に粒子として存在しないことが好ましい。上記紫外線硬化型粘着剤中に気体発生剤が粒子として存在しないことにより、紫外線を照射して気体発生剤から気体を発生したときに、紫外線硬化型粘着剤が発泡しにくくなり、発生した気体の大部分が粘着剤の外に放出されることから、剥離性が向上する。
なお、本明細書において、気体発生剤が粒子として存在しないとは、電子顕微鏡により上記紫外線硬化型粘着剤を観察したときに気体発生剤を確認することができないことを意味する。
It is preferable that the gas generating agent does not exist as particles in the ultraviolet curable adhesive. Since the gas generating agent does not exist as particles in the UV curable pressure sensitive adhesive, the UV curable pressure sensitive adhesive becomes difficult to foam when irradiated with UV light to generate gas from the gas generating agent. Since most is released out of the pressure-sensitive adhesive, the peelability is improved.
In addition, in this specification, that a gas generating agent does not exist as a particle means that a gas generating agent cannot be confirmed when the said ultraviolet curing adhesive is observed with an electron microscope.
上記仮固定用両面粘着テープにおいては、各面の紫外線硬化型粘着剤層中に含まれる気体発生剤の含有濃度が相違する。なお、各面の紫外線硬化型粘着剤層中に含まれる気体発生剤は同種であってもよいし、異種であってもよい。
なお、本明細書において気体発生剤の含有濃度とは、紫外線硬化型粘着剤層に含まれる紫外線硬化型粘着剤の重量に対する、紫外線硬化型粘着剤層に配合した気体発生剤が全て分解した場合に生じうる気体分子の総重量の割合を百分率で示した値である。
In the temporary fixing double-sided pressure-sensitive adhesive tape, the concentration of the gas generating agent contained in the ultraviolet curable pressure-sensitive adhesive layer on each surface is different. In addition, the gas generating agent contained in the ultraviolet curable adhesive layer on each surface may be the same or different.
In this specification, the concentration of the gas generating agent refers to the case where all of the gas generating agent blended in the UV curable pressure sensitive adhesive layer is decomposed with respect to the weight of the UV curable pressure sensitive adhesive contained in the UV curable pressure sensitive adhesive layer. The percentage of the total weight of gas molecules that can be generated is expressed as a percentage.
上記仮固定用両面粘着テープにおける上記気体発生剤の含有濃度が高い側の粘着剤層（以下、「高気体発生剤濃度粘着剤層」ともいう。）中の気体発生剤の配合量の好ましい下限は０．４５重量％、好ましい上限は３．５重量％である。上記気体発生剤の配合量が０．４５重量％未満であると、充分な剥離性が得られないことがあり、３．５重量％を超えると、粘着力が低下することがある。上記高気体発生剤濃度粘着剤層における気体発生剤の配合量のより好ましい下限は０．７重量％、より好ましい上限は３．０重量％である。 Preferred lower limit of the blending amount of the gas generating agent in the pressure-sensitive adhesive layer (hereinafter also referred to as “high gas generating agent concentration adhesive layer”) having a higher concentration of the gas generating agent in the double-sided adhesive tape for temporary fixing. Is 0.45% by weight, and the preferred upper limit is 3.5% by weight. When the blending amount of the gas generating agent is less than 0.45% by weight, sufficient peelability may not be obtained, and when it exceeds 3.5% by weight, the adhesive strength may be lowered. The more preferable lower limit of the blending amount of the gas generating agent in the high gas generating agent concentration pressure-sensitive adhesive layer is 0.7% by weight, and the more preferable upper limit is 3.0% by weight.
上記仮固定用両面粘着テープにおける上記気体発生剤の含有濃度が低い側の粘着剤層（以下、「低気体発生剤濃度粘着剤層」ともいう。）中の気体発生剤の配合量の好ましい下限は０．１重量％、好ましい上限は１．８重量％である。上記気体発生剤の配合量が０．１重量％未満であると、紫外線照射後に仮固定用両面粘着テープと作業台との間に充分な空気溜りが形成されず、仮固定用両面粘着テープ全体をジグザグ形状に変形させることができないことがあり、１．８重量％を超えると、仮固定用両面粘着テープと作業台との間でも剥離して透明導電フィルム上に仮固定用両面粘着テープが糊残りすることがある。上記低気体発生剤濃度粘着剤層における気体発生剤の配合量のより好ましい下限は０．３重量％、より好ましい上限は１．３重量％である。 Preferred lower limit of the blending amount of the gas generating agent in the pressure-sensitive adhesive layer having a low concentration of the gas generating agent in the double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing (hereinafter also referred to as “low gas generating agent concentration adhesive layer”). Is 0.1% by weight, and the preferred upper limit is 1.8% by weight. If the blending amount of the gas generating agent is less than 0.1% by weight, a sufficient air pocket is not formed between the temporary fixing double-sided pressure-sensitive adhesive tape and the workbench after ultraviolet irradiation, and the temporary fixing double-sided pressure-sensitive adhesive tape as a whole May not be deformed into a zigzag shape, and if it exceeds 1.8% by weight, the temporary fixing double-sided pressure-sensitive adhesive tape peels off even between the temporary fixing double-sided pressure-sensitive adhesive tape and the workbench, and the temporary fixing double-sided pressure-sensitive adhesive tape is formed on the transparent conductive film. The glue may remain. The more preferable lower limit of the blending amount of the gas generating agent in the low gas generating agent concentration pressure-sensitive adhesive layer is 0.3% by weight, and the more preferable upper limit is 1.3% by weight.
上記高気体発生剤濃度粘着剤層中における上記気体発生剤の含有濃度と、上記低気体発生剤濃度粘着剤層中における上記気体発生剤の含有濃度との差の好ましい下限は０．７重量％である。上記低気体発生剤濃度粘着剤層中における上記気体発生剤の含有濃度との差を０．７重量％以上とすることにより、より確実に透明導電フィルム上に仮固定用両面粘着テープが糊残りするのを防止することができる。含有濃度との差のより好ましい下限は０．７重量％である。 The preferable lower limit of the difference between the concentration of the gas generating agent in the high gas generating agent concentration adhesive layer and the concentration of the gas generating agent in the low gas generating agent concentration adhesive layer is 0.7% by weight. It is. By making the difference from the content of the gas generating agent in the low gas generating agent concentration adhesive layer 0.7% by weight or more, the double-sided adhesive tape for temporary fixing is more reliably left on the transparent conductive film. Can be prevented. A more preferred lower limit of the difference from the content concentration is 0.7% by weight.
上記紫外線硬化型粘着剤は、粘着剤としての凝集力の調節を図る目的で、所望によりイソシアネート化合物、メラミン化合物、エポキシ化合物等の一般の粘着剤に配合される各種の多官能性化合物を適宜配合してもよい。また、可塑剤、樹脂、界面活性剤、ワックス、微粒子充填剤等の公知の添加剤を加えることもできる。 The above UV curable pressure-sensitive adhesive is appropriately blended with various polyfunctional compounds blended in general pressure-sensitive adhesives such as isocyanate compounds, melamine compounds and epoxy compounds for the purpose of adjusting the cohesive force as pressure-sensitive adhesives. May be. Moreover, well-known additives, such as a plasticizer, resin, surfactant, wax, and a fine particle filler, can also be added.
上記仮固定用両面粘着テープにおける上記高気体発生剤濃度粘着剤層、低気体発生剤濃度粘着剤層の厚さの好ましい下限は５μｍである。これらの粘着剤層の厚さが５μｍ未満であると、充分な接着力が得られないことがある。上記高気体発生剤濃度粘着剤層、低気体発生剤濃度粘着剤層の厚さのより好ましい下限は１０μｍである。上記高気体発生剤濃度粘着剤層、低気体発生剤濃度粘着剤層の厚さの上限は特に限定されないが、好ましい上限は４０μｍである。 The minimum with preferable thickness of the said high gas generating agent density | concentration adhesive layer in the said double-sided adhesive tape for temporary fixing, and the low gas generating agent density | concentration adhesive layer is 5 micrometers. If the thickness of these pressure-sensitive adhesive layers is less than 5 μm, sufficient adhesive strength may not be obtained. A more preferable lower limit of the thicknesses of the high gas generating agent concentration adhesive layer and the low gas generating agent concentration adhesive layer is 10 μm. Although the upper limit of the thickness of the said high gas generating agent density | concentration adhesive layer and the low gas generating agent density | concentration adhesive layer is not specifically limited, A preferable upper limit is 40 micrometers.
上記フィルム固定工程では、上記両面に導電性金属層が形成された透明導電フィルムを、上記仮固定用両面粘着テープを介して作業台に固定する。このとき、上記仮固定用両面粘着テープの高気体発生剤濃度粘着剤層が透明導電フィルム側に、低気体発生剤濃度粘着剤層が作業台側になるようにして固定を行う。
図１（１）においては、まず両面に導電性金属層が形成された透明導電フィルム１の一方の面に仮固定用両面粘着テープ２の高気体発生剤濃度粘着剤層２２を、ローラー４を用いて押圧しながら貼付した後、仮固定用両面粘着テープ２の低気体発生剤濃度粘着剤層２３を、ローラー４を用いて押圧しながら作業台３上に貼付して固定を行っている。
In the film fixing step, the transparent conductive film having a conductive metal layer formed on both sides is fixed to a work table via the temporary fixing double-sided adhesive tape. At this time, fixing is performed such that the high gas generating agent concentration adhesive layer of the double-sided adhesive tape for temporary fixing is on the transparent conductive film side and the low gas generating agent concentration adhesive layer is on the work table side.
In FIG. 1 (1), the high gas generant concentration pressure-
上記作業台としては、例えば、ガラス板、プラスチック板、厚手のポリエチレンテレフタレートフィルム等が挙げられる。
なお、図１（１）においては、仮固定用両面粘着テープ２を両面に導電性金属層が形成された透明導電フィルム１に貼付した後、作業台３上に貼付して固定を行っているが、上記作業台３に仮固定用両面粘着テープ２を貼付した後、これに両面に導電性金属層が形成された透明導電フィルム１を貼り付けてもよい。
Examples of the workbench include a glass plate, a plastic plate, and a thick polyethylene terephthalate film.
In FIG. 1 (1), the double-sided pressure-sensitive
本発明のパターニングされた透明導電フィルムの製造方法では、次いで、作業台に固定された前記透明導電フィルムにアニール処理、フォトリソグラフィー処理及びエッチング処理を施して、透明導電フィルムの一方の面に導電パターンを形成するパターニング工程を行う。アニール処理、フォトリソグラフィー処理及びエッチング処理は、順不同である。
これらの処理を通じて、上記透明導電フィルムの一方の面に導電パターンが形成される（図１（２））。
In the method for producing a patterned transparent conductive film according to the present invention, the transparent conductive film fixed on a workbench is then subjected to an annealing process, a photolithography process, and an etching process to form a conductive pattern on one surface of the transparent conductive film. A patterning process is performed to form a film. The annealing process, the photolithography process, and the etching process are in no particular order.
Through these treatments, a conductive pattern is formed on one surface of the transparent conductive film (FIG. 1 (2)).
本明細書においてアニール処理とは、上記透明導電フィルムを加熱処理することにより、ＩＴＯ等の導電性金属層を構成する金属の結晶性を向上させる処理を意味する。アニール処理を施すことにより、透明導電フィルムの電気特性や光学特性を向上させることができる。
上記アニール処理の条件は特に限定されないが、１１０〜１７０℃、１時間程度の条件で行うことが一般的である。
In this specification, the annealing treatment means a treatment for improving the crystallinity of the metal constituting the conductive metal layer such as ITO by heat-treating the transparent conductive film. By applying the annealing treatment, the electrical characteristics and optical characteristics of the transparent conductive film can be improved.
The conditions for the annealing treatment are not particularly limited, but it is generally performed under conditions of 110 to 170 ° C. for about 1 hour.
本明細書においてフォトリソグラフィー処理とは、レジスト等の感光性材料を用いて回路描写し、薬液やガス処理等によるエッチングや洗浄により上記透明導電フィルムを所定のパターン状に成型加工する処理を意味する。
上記フォトリソグラフィー処理に用いるレジストの種類や露光等の条件は特に限定されず、一般的なフォトリソグラフィー処理で用いられるレジストを用いて、一般的な条件で露光等を行えばよい。
In this specification, the photolithography process refers to a process of drawing a circuit using a photosensitive material such as a resist, and molding and processing the transparent conductive film into a predetermined pattern by etching or cleaning using a chemical solution or a gas treatment. .
There are no particular limitations on the type of resist used in the photolithography process and the conditions such as exposure, and exposure or the like may be performed under general conditions using a resist used in general photolithography processes.
本明細書においてエッチング処理とは、薬液、ガス等の化学反応を用いて、ある物質を部分的に除去する成型処理を意味する。
上記エッチング処理は、必要に応じて、ドライエッチング法、ウエットエッチング法のいずれを用いることも可能であり、一般的な条件で処理を行えばよい。
In this specification, the etching process means a molding process in which a certain substance is partially removed using a chemical reaction such as a chemical solution or a gas.
As the etching treatment, either a dry etching method or a wet etching method can be used as necessary, and the treatment may be performed under general conditions.
本発明のパターニングされた透明導電フィルムの製造方法では、次いで、上記透明導電フィルムの導電パターンが形成された面上に、粘着剤付き支持板を貼り付ける支持板貼付工程を行う。
図１（３）においては、透明導電フィルムの導電パターンが形成された面上に、基材５１上に粘着剤層５２が形成された粘着剤付き支持板５が貼付されている。
上記粘着剤付き支持板としては、例えば、ガラス板等に上記仮固定剤用粘着テープを貼り付けたものを用いることができ、自立性のある厚いポリエチレンテレフタレートフィルム等に再剥離型の粘着剤が塗布された市販の粘着剤付き支持材を用いてもよい。
In the method for producing a patterned transparent conductive film of the present invention, a support plate pasting step is then performed in which a support plate with an adhesive is pasted on the surface on which the conductive pattern of the transparent conductive film is formed.
In FIG. 1 (3), the
As the support plate with the pressure-sensitive adhesive, for example, a glass plate or the like with the above-mentioned temporary fixing agent pressure-sensitive adhesive tape can be used. A self-supporting thick polyethylene terephthalate film or the like has a re-peelable pressure-sensitive adhesive. You may use the apply | coated commercial support material with an adhesive.
本発明のパターニングされた透明導電フィルムの製造方法では、次いで、上記仮固定用両面粘着テープに紫外線を照射することにより、上記粘着剤付き支持板に貼着された透明導電フィルムを仮固定用両面粘着テープから剥離する剥離工程を行う。
図１（４）においては、作業台３側から仮固定用両面粘着テープ２に紫外線を照射している。紫外線を照射することにより仮固定用両面粘着テープ２の高気体発生剤濃度粘着剤層２２及び低気体発生剤濃度粘着剤層２３が硬化して弾性率が上昇するとともに、気体発生剤から発生した気体が高気体発生剤濃度粘着剤層２２と透明導電フィルム１との間、及び、低気体発生剤濃度粘着剤層２３と作業台３との間に放出される。高気体発生剤濃度粘着剤層２２と透明導電フィルム１との間には大量の気体が放出されることから、放出された気体の圧力によって接着界面の剥離が進む。一方、低気体発生剤濃度粘着剤層２３と作業台３に放出される気体量は少ないことから、剥離は進まないものの、低気体発生剤濃度粘着剤層２３と作業台３との間に空気溜り７が形成され、これにより仮固定用両面粘着テープ２の全体がジグザグ形状に変形する。紫外線照射後には、透明導電フィルム上に仮固定用両面粘着テープが糊残りしたりすることなく、容易に透明導電フィルム１を仮固定用両面粘着テープ２から剥離することができる。
In the method for producing a patterned transparent conductive film of the present invention, the transparent conductive film stuck to the pressure-sensitive adhesive support plate is then temporarily fixed by irradiating the temporary fixing double-sided pressure-sensitive adhesive tape with ultraviolet rays. The peeling process which peels from an adhesive tape is performed.
In FIG. 1 (4), the temporary fixing double-sided pressure-sensitive
本発明のパターニングされた透明導電フィルムの製造方法は、更に、粘着剤付き支持板に貼着された透明導電フィルムにフォトリソグラフィー処理及びエッチング処理を施して、透明導電フィルムの一方の面に導電パターンを形成するパターニング工程（以下、「第２パターニング工程」ともいう。）を行ってもよい。第２パターニング工程を行うことにより、両面に導電パターンが形成された透明導電フィルム６を得ることができる（図１（５））。 In the method for producing a patterned transparent conductive film of the present invention, the transparent conductive film adhered to the support plate with the adhesive is further subjected to photolithography treatment and etching treatment, and the conductive pattern is formed on one surface of the transparent conductive film. A patterning step (hereinafter also referred to as a “second patterning step”) for forming the film may be performed. By performing a 2nd patterning process, the transparent conductive film 6 in which the conductive pattern was formed in both surfaces can be obtained (FIG. 1 (5)).
本発明によれば、両面に導電性金属層が形成された透明導電フィルムであっても、導電性金属層が剥離したり、仮固定用両面粘着テープが糊残りしたりすることなく、導電パターンを形成することができるパターニングされた透明導電フィルムの製造方法を提供することができる。 According to the present invention, even in a transparent conductive film in which a conductive metal layer is formed on both sides, the conductive metal layer does not peel off or the temporary fixing double-sided pressure-sensitive adhesive tape does not leave an adhesive pattern. The manufacturing method of the patterned transparent conductive film which can form can be provided.
以下に実施例を挙げて本発明の態様を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例にのみ限定されるものではない。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to examples. However, the present invention is not limited to these examples.
（実施例１）
（１）高気体発生剤濃度粘着剤の調製
下記の化合物を還流冷却器、攪拌機、温度計及び滴下ロートが設置されたフラスコ中に投入し、過酸化ベンゾイルのキシレン溶液（過酸化ベンゾイル０．０５重量部及びキシレン３．７重量部を混合したもの）を滴下し、還流下で３０分間反応させた時点で過酸化ベンゾイルのキシレン希釈溶液（過酸化ベンゾイル０．０３重量部及びキシレン３重量部を混合したもの）を滴下した。次いで５時間反応させた後、更に過酸化ベンゾイルのキシレン希釈溶液（過酸化ベンゾイル０．０３重量部及びキシレン３重量部を混合したもの）を滴下し、２時間熟成した。得られたアクリル粘着剤の酢酸エチル溶液の樹脂固形分１００重量部に対して、ポリイソシアネート１重量部を加え粘着剤の酢酸エチル溶液を調製した。
ブチルアクリレート ３８重量部
２−エチルヘキシルアクリレート ５５重量部
エチルアクリレート ４重量部
アクリルアミド ３重量部
酢酸エチル ８５重量部
次いで、酢酸ビニル溶液の樹脂固形分１００重量部に対して、２，２’−アゾビス−（Ｎ−ブチル−２−メチルプロピオンアミド）４０重量部を混合して、高気体発生剤濃度粘着剤の酢酸エチル溶液を調製した。（気体発生剤の含有濃度（理論値）＝３．２％）
(Example 1)
(1) Preparation of high gas generant concentration adhesive The following compound was put into a flask equipped with a reflux condenser, a stirrer, a thermometer and a dropping funnel, and a xylene solution of benzoyl peroxide (benzoyl peroxide 0.05 1 part by weight and a mixture of 3.7 parts by weight of xylene) was added dropwise, and when reacted for 30 minutes under reflux, a diluted solution of benzoyl peroxide in xylene (0.03 parts by weight of benzoyl peroxide and 3 parts by weight of xylene was added). The mixture was added dropwise. Next, after reacting for 5 hours, a diluted solution of benzoyl peroxide in xylene (a mixture of 0.03 parts by weight of benzoyl peroxide and 3 parts by weight of xylene) was added dropwise and aged for 2 hours. 1 part by weight of polyisocyanate was added to 100 parts by weight of the resin solid content of the ethyl acetate solution of the acrylic adhesive thus obtained to prepare an ethyl acetate solution of the adhesive.
Butyl acrylate 38 parts by weight 2-ethylhexyl acrylate 55 parts by
（２）低気体発生剤濃度粘着剤の調製
下記の化合物を酢酸エチルに溶解させ、紫外線を照射して重合を行い、重量平均分子量７０万のアクリル共重合体を得た。得られたアクリル共重合体を含む酢酸エチル溶液の樹脂固形分１００重量部に対して、ペンタエリスリトールトリアクリレート２０重量部、ベンゾフェノン０．５重量部、ポリイソシアネート０．３重量部を混合し粘着剤の酢酸エチル溶液を調製した。
ブチルアクリレート ７９重量部
エチルアクリレート １５重量部
アクリル酸 １重量部
２ーヒドロキシエチルアクリレート ５重量部
光重合開始剤 ０．２重量部
（イルガキュア６５１、５０％酢酸エチル溶液）
ラウリルメルカプタン ０．０１重量部
次いで、酢酸ビニル溶液の樹脂固形分１００重量部に対して、２，２’−アゾビス−（Ｎ−ブチル−２−メチルプロピオンアミド）５重量部を混合して、低気体発生剤濃度粘着剤の酢酸エチル溶液を調製した。（気体発生剤の含有濃度（理論値）＝０．４７％）
(2) Preparation of low gas generator concentration adhesive The following compounds were dissolved in ethyl acetate and polymerized by irradiating with ultraviolet rays to obtain an acrylic copolymer having a weight average molecular weight of 700,000. Adhesive by mixing 20 parts by weight of pentaerythritol triacrylate, 0.5 parts by weight of benzophenone, and 0.3 parts by weight of polyisocyanate with respect to 100 parts by weight of the resin solid content of the ethyl acetate solution containing the obtained acrylic copolymer. An ethyl acetate solution was prepared.
Butyl acrylate 79 parts by weight Ethyl acrylate 15 parts by
0.01 parts by weight of lauryl mercaptan Next, 5 parts by weight of 2,2′-azobis- (N-butyl-2-methylpropionamide) is mixed with 100 parts by weight of the resin solid content of the vinyl acetate solution. An ethyl acetate solution of a gas generating agent concentration adhesive was prepared. (Concentration of gas generating agent (theoretical value) = 0.47%)
（３）仮固定用両面粘着テープの作製
高気体発生剤濃度粘着剤の酢酸エチル溶液を、両面にコロナ処理を施した厚さ１２μｍの透明なポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムの片面に乾燥皮膜の厚さが約３０μｍとなるようにドクターナイフで塗工し１１０℃、５分間加熱して塗工溶液を乾燥させて高気体発生剤濃度粘着剤層を形成した。乾燥後の高気体発生剤濃度粘着剤層は乾燥状態で粘着性を示した。次いで、高気体発生剤濃度粘着剤層の表面に離型処理が施されたＰＥＴフィルムを貼り付けた。その後、４０℃、３日間静置養生を行った。
低気体発生剤濃度粘着剤の酢酸エチル溶液を、表面に離型処理が施されたＰＥＴフィルムの上に乾燥皮膜の厚さが約３０μｍとなるようにドクターナイフで塗工し１１０℃、５分間加熱して溶剤を揮発させ塗工溶液を乾燥させて低気体発生剤濃度粘着剤層を形成した。乾燥後の低気体発生剤濃度粘着剤層は乾燥状態で粘着性を示した。次いで、低気体発生剤濃度粘着剤層の表面に離型処理が施されたＰＥＴフィルムを貼り付けた。その後、４０℃、３日間静置して養生を行った。
次いで、高気体発生剤濃度粘着剤層を設けたＰＥＴフィルムの高気体発生剤濃度粘着剤層のないコロナ処理を施した面と、低気体発生剤濃度粘着剤層を設けたＰＥＴフィルムの低気体発生剤濃度粘着剤層の面とを貼り合わせた。これにより基材の両面に高気体発生剤濃度粘着剤層と低気体発生剤濃度粘着剤層とが設けられ、その表面が離型処理が施されたＰＥＴフィルムで保護された仮固定用両面粘着テープを得た。
(3) Preparation of double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixation A dry film thickness on one side of a 12 μm-thick transparent polyethylene terephthalate (PET) film with a corona treatment on an ethyl acetate solution of a high gas generant concentration pressure-sensitive adhesive The coating solution was dried at 110 ° C. for 5 minutes to form a high gas generator concentration pressure-sensitive adhesive layer. The high gas generant concentration adhesive layer after drying showed adhesiveness in a dry state. Next, a PET film having been subjected to a release treatment was attached to the surface of the high gas generating agent concentration pressure-sensitive adhesive layer. Then, static curing was performed at 40 ° C. for 3 days.
An ethyl acetate solution of a low gas generating agent concentration adhesive is applied on a PET film having a release treatment on the surface with a doctor knife so that the thickness of the dry film is about 30 μm, and 110 ° C. for 5 minutes. The solvent was evaporated by heating and the coating solution was dried to form a low gas generating agent concentration adhesive layer. The low gas generating agent concentration adhesive layer after drying showed adhesiveness in the dry state. Next, a PET film having been subjected to a release treatment was attached to the surface of the low gas generating agent concentration pressure-sensitive adhesive layer. Thereafter, the film was allowed to stand at 40 ° C. for 3 days for curing.
Next, the surface of the PET film provided with the high gas generant concentration pressure-sensitive adhesive layer and subjected to corona treatment without the high gas generant concentration pressure-sensitive adhesive layer, and the low gas content of the PET film provided with the low gas generant concentration pressure-sensitive adhesive layer The surface of the generator concentration pressure-sensitive adhesive layer was bonded together. Thereby, a high gas generating agent concentration adhesive layer and a low gas generating agent concentration adhesive layer are provided on both surfaces of the base material, and the surface is protected by a release-treated PET film. I got a tape.
（４）パターンニングされた透明導電フィルムの製造
原料として、ノルボルネン樹脂からなる透明基材フィルムの両面にＩＴＯ層及び銅層がこの順に積層された、両面に導電性金属層が形成された透明導電フィルムを準備した。
得られた仮固定用両面粘着テープの高気体発生剤濃度粘着剤層側の離型フィルムを剥がして、ローラーを用いて押圧しながら透明基材フィルムの一方の面に貼付した。次いで、仮固定用両面粘着テープの低気体発生剤濃度粘着剤層側の離型フィルムを剥がして、ローラーを用いて押圧しながら作業台として利用するガラス板に貼付した。
透明導電フィルムを作業台に固定した状態で、９０℃のオーブン内で１時間加熱を行ってアニール処理を行った。次いで、透明導電フィルムの銅層の表面にレジストを塗布し、露光、現像を行った後、銅層を部分的にエッチングしてレジストを除去し、導電パターンを形成した。
次いで、粘着剤付き支持板を透明導電フィルムの導電パターンが形成された側の面に貼り付けた。
次いで、作業台側から、超高圧水銀灯を用いて３６５ｎｍの紫外線を作業台表面への照射強度が４０ｍＷ／ｃｍ２となるよう照度を調節して２分間照射した。仮固定用両面粘着テープの表面に気泡が発生したのを確認した後、透明導電フィルムから仮固定用両面粘着テープを剥離した。
(4) As a raw material for producing a patterned transparent conductive film, a transparent conductive film in which an ITO layer and a copper layer are laminated in this order on both sides of a transparent substrate film made of norbornene resin, and a conductive metal layer is formed on both sides. A film was prepared.
The release film on the high gas generant concentration pressure-sensitive adhesive layer side of the obtained double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing was peeled off and attached to one surface of the transparent substrate film while pressing with a roller. Next, the release film on the low gas generating agent concentration pressure-sensitive adhesive layer side of the double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing was peeled off and stuck to a glass plate used as a work table while being pressed using a roller.
With the transparent conductive film fixed to the work table, annealing was performed by heating in a 90 ° C. oven for 1 hour. Subsequently, after apply | coating a resist to the surface of the copper layer of a transparent conductive film, performing exposure and image development, the copper layer was partially etched and the resist was removed, and the conductive pattern was formed.
Next, the support plate with the pressure-sensitive adhesive was attached to the surface on which the conductive pattern of the transparent conductive film was formed.
Next, from the work bench side, irradiation was performed for 2 minutes using an ultra-high pressure mercury lamp while adjusting the illuminance so that the irradiation intensity on the work bench surface was 40 mW / cm 2 using 365 nm ultraviolet rays. After confirming that bubbles were generated on the surface of the temporary fixing double-sided pressure-sensitive adhesive tape, the temporary fixing double-sided pressure-sensitive adhesive tape was peeled from the transparent conductive film.
紫外線照射後、仮固定用両面粘着テープは、手で容易に剥離することができた。また、仮固定用両面粘着テープの剥離時に、透明導電フィルムが粘着剤付き支持板から剥離したりすることはなかった。更に、仮固定用両面粘着テープ剥離後の透明導電フィルムの表面を観察したところ、銅層が剥離した個所は観察されなかった。 After the ultraviolet irradiation, the double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing could be easily peeled by hand. Moreover, the transparent conductive film did not peel from the support plate with the adhesive when the double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing was peeled off. Furthermore, when the surface of the transparent conductive film after peeling of the temporarily fixing double-sided pressure-sensitive adhesive tape was observed, the portion where the copper layer was peeled off was not observed.
（実施例２）
高気体発生剤濃度粘着材の気体発生剤として酢酸ビニル溶液の樹脂固形分１００重量部に対して、グリシジルアジドポリマー（ＧＡＰ４００６）を２０重量部混合（気体発生剤の含有濃度（理論値）＝３．５％）し、低気体発生剤濃度粘着材の気体発生剤としてグリシジルアジドポリマー（ＧＡＰ４００６）を５重量部混合（気体発生剤の含有濃度（理論値）＝０．９５％）した以外は実施例１と同様にして仮固定用両面粘着テープを作製し、これを用いてパターニングされた透明導電フィルムの製造を行った。
仮固定用両面粘着テープの剥離時に、仮固定用両面粘着テープは作業台側との間で剥離しその全てが透明導電フィルム側に残った。残った仮固定用両面粘着テープを透明導電フィルムから剥離後、透明導電フィルムの表面を観察したところ、銅層が剥離した個所は観察されなかった。
(Example 2)
20 parts by weight of glycidyl azide polymer (GAP4006) is mixed with 100 parts by weight of the resin solid content of the vinyl acetate solution as the gas generating agent of the high gas generating agent concentration adhesive material (the concentration of the gas generating agent (theoretical value) = 3). And 5% by weight of glycidyl azide polymer (GAP4006) as the gas generating agent of the low gas generating agent concentration adhesive material (the concentration of the gas generating agent (theoretical value) = 0.95%). A double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing was produced in the same manner as in Example 1, and a patterned transparent conductive film was produced using this.
When the double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing was peeled off, the double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing was peeled between the work bench side and all remained on the transparent conductive film side. The remaining double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing was peeled from the transparent conductive film, and then the surface of the transparent conductive film was observed. As a result, the portion where the copper layer was peeled was not observed.
（実施例３）
高気体発生剤濃度粘着材の気体発生剤として酢酸ビニル溶液の樹脂固形分１００重量部に対して、２，２’−アゾビス−（Ｎ−ブチル−２−メチルプロピオンアミド）を３０重量部混合（気体発生剤の含有濃度（理論値）＝２．３％）し、低気体発生剤濃度粘着材の気体発生剤としてグリシジルアジドポリマー（ＧＡＰ４００６）を５重量部混合（気体発生剤の含有濃度（理論値）＝０．９５％）した以外は実施例１と同様にして仮固定用両面粘着テープを作製し、これを用いてパターニングされた透明導電フィルムの製造を行った。
仮固定用両面粘着テープの剥離時に、仮固定用両面粘着テープは作業台側との間で剥離しその全てが透明導電フィルム側に残った。残った仮固定用両面粘着テープを透明導電フィルムから剥離後、透明導電フィルムの表面を観察したところ、銅層が剥離した個所は観察されなかった。
(Example 3)
30 parts by weight of 2,2′-azobis- (N-butyl-2-methylpropionamide) is mixed with 100 parts by weight of the resin solid content of the vinyl acetate solution as a gas generator for the high gas generator concentration adhesive ( The concentration of the gas generating agent (theoretical value) = 2.3%), and 5 parts by weight of glycidyl azide polymer (GAP4006) as the gas generating agent of the low gas generating agent concentration adhesive material (the concentration of the gas generating agent (theoretical) Value) = 0.95%) A double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing was produced in the same manner as in Example 1, and a patterned transparent conductive film was produced using this.
When the double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing was peeled off, the double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing was peeled between the work bench side and all remained on the transparent conductive film side. The remaining double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing was peeled from the transparent conductive film, and then the surface of the transparent conductive film was observed. As a result, the portion where the copper layer was peeled was not observed.
（比較例１）
両面の粘着剤層に気体発生剤を配合しなかった以外は、実施例１と同様にして仮固定用両面粘着テープを作製し、これを用いてパターンニングされた透明導電フィルムの製造を行った。
仮固定用両面粘着テープの剥離時に、透明導電フィルムの一部が粘着剤付き支持板から剥離して浮き上がった。また、仮固定用両面粘着テープ剥離後の透明導電フィルムの表面を観察したところ、銅層が剥離した個所が観察された。
(Comparative Example 1)
A temporary fixing double-sided pressure-sensitive adhesive tape was prepared in the same manner as in Example 1 except that the gas generating agent was not blended in the double-sided pressure-sensitive adhesive layer, and a patterned transparent conductive film was produced using this. .
When the double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing was peeled off, a part of the transparent conductive film was peeled off from the support plate with the pressure-sensitive adhesive. Moreover, when the surface of the transparent conductive film after peeling the double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing was observed, a portion where the copper layer was peeled was observed.
（比較例２）
実施例１と同様にして仮固定用両面粘着テープを作製した。
原料として、ノルボルネン樹脂からなる透明基材フィルムの両面にＩＴＯ層及び銅層がこの順に積層された、両面に導電性金属層が形成された透明導電フィルムを準備した。
得られた仮固定用両面粘着テープの高気体発生剤濃度粘着剤層側の離型フィルムを剥がして、ローラーを用いて押圧しながら作業台として利用するガラス板に貼付した。次いで、仮固定用両面粘着テープの低気体発生剤濃度粘着剤層側の離型フィルムを剥がして、ローラーを用いて押圧しながら透明導電フィルムの一方の面に貼付した。
透明導電フィルムを作業台に固定した状態で、９０℃のオーブン内で１時間加熱を行ってアニール処理を行った。次いで、透明導電フィルムの銅層の表面にレジストを塗布し、露光、現像を行った後、銅層を部分的にエッチングしてレジストを除去し、導電パターンを形成した。
次いで、粘着剤付き支持板を透明導電フィルムの導電パターンが形成された側の面に貼り付けた。
次いで、作業台側から、超高圧水銀灯を用いて３６５ｎｍの紫外線を作業台表面への照射強度が４０ｍＷ／ｃｍ２となるよう照度を調節して２分間照射した。仮固定用両面粘着テープを剥離した。
(Comparative Example 2)
A double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing was produced in the same manner as in Example 1.
As a raw material, a transparent conductive film in which an ITO layer and a copper layer were laminated in this order on both sides of a transparent base film made of norbornene resin and a conductive metal layer was formed on both sides was prepared.
The release film on the high gas generant concentration pressure-sensitive adhesive layer side of the obtained double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing was peeled off and adhered to a glass plate used as a work table while being pressed with a roller. Next, the release film on the low gas generating agent concentration pressure-sensitive adhesive layer side of the double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing was peeled off and stuck to one surface of the transparent conductive film while pressing with a roller.
With the transparent conductive film fixed to the work table, annealing was performed by heating in a 90 ° C. oven for 1 hour. Subsequently, after apply | coating a resist to the surface of the copper layer of a transparent conductive film, performing exposure and image development, the copper layer was partially etched and the resist was removed, and the conductive pattern was formed.
Next, the support plate with the pressure-sensitive adhesive was attached to the surface on which the conductive pattern of the transparent conductive film was formed.
Next, from the work bench side, irradiation was performed for 2 minutes using an ultra-high pressure mercury lamp while adjusting the illuminance so that the irradiation intensity on the work bench surface was 40 mW / cm 2 using 365 nm ultraviolet rays. The double-sided adhesive tape for temporary fixing was peeled off.
仮固定用両面粘着テープの剥離時に、仮固定用両面粘着テープは作業台側との間で剥離しその全てが透明導電フィルム側に残った。残った仮固定用両面粘着テープを透明導電フィルムから剥離した後、透明導電フィルムの表面を観察したところ、銅層が剥離した個所が観察された。 When the double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing was peeled off, the double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing was peeled between the work bench side and all remained on the transparent conductive film side. After the remaining double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing was peeled from the transparent conductive film, the surface of the transparent conductive film was observed, and the portion where the copper layer was peeled was observed.
（比較例３）
低気体発生剤濃度粘着剤の調製において配合する気体発生剤の含有濃度を高気体発生剤濃度粘着剤と同量にした以外は実施例１と同様にして、基材の両面に高気体発生剤濃度粘着剤層が設けられ、その表面が離型処理が施されたＰＥＴフィルムで保護された仮固定用両面粘着テープを作製し、これを用いてパターンニングされた透明導電フィルムの製造を行った。
仮固定用両面粘着テープの剥離時に、仮固定用両面粘着テープの一部が透明導電フィルム側に、一部が作業台側に残った。透明導電フィルムから仮固定用両面粘着テープを剥離した後、透明導電フィルムを観察したところ、銅層が剥離した箇所が観察された。
(Comparative Example 3)
In the same manner as in Example 1 except that the concentration of the gas generating agent blended in the preparation of the low gas generating agent pressure-sensitive adhesive is the same as that of the high gas generating agent concentration adhesive, the high gas generating agent is formed on both surfaces of the substrate. A double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing, in which a concentration pressure-sensitive adhesive layer was provided and the surface thereof was protected with a release film, was prepared, and a patterned transparent conductive film was produced using this. .
When the double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing was peeled off, a part of the double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing remained on the transparent conductive film side, and a part remained on the work bench side. After peeling the temporary fixing double-sided pressure-sensitive adhesive tape from the transparent conductive film, the transparent conductive film was observed, and the location where the copper layer was peeled was observed.
（比較例４）
高気体発生剤濃度粘着剤の調製において配合する気体発生剤の含有濃度を低気体発生剤濃度粘着剤と同量にした以外は実施例１と同様にして、基材の両面に低気体発生剤濃度粘着剤層が設けられ、その表面が離型処理が施されたＰＥＴフィルムで保護された仮固定用両面粘着テープを作製し、これを用いてパターンニングされた透明導電フィルムの製造を行った。
仮固定用両面粘着テープの剥離時に、透明導電フィルムの一部が粘着剤付き支持板から剥離して浮き上がった。また、仮固定用両面粘着テープ剥離後の透明導電フィルムの表面を観察したところ、銅層が剥離した個所が観察された。
(Comparative Example 4)
The low gas generating agent is formed on both sides of the base material in the same manner as in Example 1 except that the concentration of the gas generating agent blended in the preparation of the high gas generating agent concentration adhesive is the same as that of the low gas generating agent concentration adhesive. A double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing, in which a concentration pressure-sensitive adhesive layer was provided and the surface thereof was protected with a release film, was prepared, and a patterned transparent conductive film was produced using this. .
When the double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing was peeled off, a part of the transparent conductive film was peeled off from the support plate with the pressure-sensitive adhesive. Moreover, when the surface of the transparent conductive film after peeling the double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing was observed, a portion where the copper layer was peeled was observed.
本発明によれば、両面に導電性金属層が形成された透明導電フィルムであっても、導電性金属層が剥離したり、仮固定用両面粘着テープが糊残りしたりすることなく、導電パターンを形成することができるパターニングされた透明導電フィルムの製造方法を提供することができる。 According to the present invention, even in a transparent conductive film in which a conductive metal layer is formed on both sides, the conductive metal layer does not peel off or the temporary fixing double-sided pressure-sensitive adhesive tape does not leave an adhesive pattern. The manufacturing method of the patterned transparent conductive film which can form can be provided.
１ 透明導電フィルム
１１ ノルボルネン樹脂からなる透明基材フィルム
１２ ＩＴＯ層
１３ 銅層
２ 仮固定用両面粘着テープ
２１ 基材
２２ 高気体発生剤濃度粘着剤層
２３ 低気体発生剤濃度粘着剤層
３ 作業台
４ ローラー
５ 粘着剤付き支持板
５１ 基材
５２ 粘着剤層
６ 両面に導電パターンが形成された透明導電フィルム
７ 空気溜り
DESCRIPTION OF
Claims (2)
作業台に固定された前記透明導電フィルムにアニール処理、フォトリソグラフィー処理及びエッチング処理を施して、透明導電フィルムの一方の面に導電パターンを形成するパターニング工程と、
前記透明導電フィルムの導電パターンが形成された面上に、粘着剤付き支持板を貼り付ける支持板貼付工程と、
前記仮固定用両面粘着テープに紫外線を照射することにより、前記粘着剤付き支持板に貼着された透明導電フィルムを仮固定用両面粘着テープから剥離する剥離工程とを有する
ことを特徴とするパターニングされた透明導電フィルムの製造方法。 A transparent conductive film having a conductive metal layer formed on both sides, an ultraviolet curable pressure-sensitive adhesive layer containing a gas generating agent that generates gas by irradiating ultraviolet rays on both sides of the substrate, and Via a double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing, the content concentration of the gas generating agent contained in the pressure-sensitive adhesive layer formed on one surface is higher than the content concentration of the gas generating agent contained in the pressure-sensitive adhesive layer formed on the other surface The surface of the double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing having the higher concentration of the gas generating agent is on the transparent conductive film side, and the surface of the double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing having the lower concentration of the gas generating agent is the work. A film fixing process for fixing the work table to the work table side;
A patterning step for forming a conductive pattern on one surface of the transparent conductive film by subjecting the transparent conductive film fixed to the workbench to an annealing treatment, a photolithography treatment and an etching treatment;
On the surface on which the conductive pattern of the transparent conductive film is formed, a support plate attaching step of attaching a support plate with an adhesive,
A patterning process comprising: a peeling step of peeling the transparent conductive film attached to the support plate with the adhesive from the double-sided adhesive tape for temporary fixation by irradiating the double-sided adhesive tape for temporary fixation with ultraviolet rays. Method for producing a transparent conductive film.
Furthermore, it has a patterning step of forming a conductive pattern on the other surface of the transparent conductive film by subjecting the transparent conductive film attached to the support plate with the adhesive to annealing treatment, photolithography treatment and etching treatment. The method for producing a patterned transparent conductive film according to claim 1.
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