JP5896459B2 - Marking apparatus and method - Google Patents

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Description

本発明は、ディスプレイ材料や半導体デバイスなどのマーキング対象物に、識別コードや任意のパターンをマーキングする装置及び方法に関し、特に連続搬送されるマーキング対象物に対してマーキングする技術に関する。   The present invention relates to an apparatus and method for marking an identification code or an arbitrary pattern on a marking object such as a display material or a semiconductor device, and more particularly to a technique for marking a marking object that is continuously conveyed.

ＴＶやパソコン、携帯端末などのディスプレイ材料や、半導体デバイスなどには、生産管理用途や出荷後のトレーサビリティ用途に利用するために、製造ロットや製造年月に関する情報、シリアル番号などの識別コードがマーキングされている。また、製造元や製品の判別を容易にするために、ロゴやマーク、型式、品番などの任意のパターンがマーキングされている。これらの識別コードや任意のパターンは、描画パターンと呼ばれ、複数の描画パターンがマトリクス状に整列された位置にマーキングされている。   Display materials such as TVs, PCs, and mobile devices, and semiconductor devices are marked with identification codes such as serial numbers and production lot information for use in production management and post-shipment traceability. Has been. In addition, an arbitrary pattern such as a logo, a mark, a model, and a product number is marked in order to easily distinguish the manufacturer and the product. These identification codes and arbitrary patterns are called drawing patterns, and are marked at positions where a plurality of drawing patterns are arranged in a matrix.

前記マーキング対象物にマーキングされる描画パターンは、マーキング装置を用いてマーキングされており、前記マーキング対象物を静止させた状態でマーキングされていた（例えば特許文献１）。   The drawing pattern to be marked on the marking object is marked using a marking device, and is marked with the marking object stationary (for example, Patent Document 1).

図１１は、従来技術におけるマーキングの様子を示す側面図であり、従来技術におけるマーキング装置を用いて、マーキング対象物上の２箇所に所定の描画パターン１５ａ，１５ｂをマーキングする様子が示されている。
従来のマーキング装置１ｚは、マーキング対象物１０ｚを静止した状態で保持する載置台２０ｚと、マーキング対象物１０ｚに向けて描画パターンに対応したマーキング用光線４７を照射させるマーキングユニット４とを含んで構成されている。 FIG. 11 is a side view showing a state of marking in the prior art, and shows a state in which predetermined drawing patterns 15a and 15b are marked at two places on the marking object using a marking device in the prior art. .
The conventional marking device 1z includes a mounting table 20z that holds the marking object 10z in a stationary state, and a marking unit 4 that irradiates the marking light beam 47 corresponding to the drawing pattern toward the marking object 10z. Has been.

マーキングユニット４は、マーキング対象物１０ｚとｚ方向に所定の間隔を保ったまま、矢印４０ｙに示す方向（ｙ方向）に移動できるように構成されている。さらに、マーキングユニット４は、描画パターン生成部４０と、マーキング位置補正部４５とを含んで構成されている。描画パターン生成部４０から照射された、描画パターンに対応した光線４２は、光学部品４３に入射される。光学部品４３を経た後、描画パターンに対応した光線４４は、マーキング位置補正部４５のミラー４５ｍに照射され、ミラー４５ｍで反射した光がｆθレンズ４６などの光学部品を通過して、マーキング用光線４７としてマーキング対象物１０ｚに向けて照射される。マーキング位置補正部４５は、ミラー４５ｍをθ方向に回転させることができ、マーキング用光線４７の照射方向を変更することができる。   The marking unit 4 is configured to be movable in the direction (y direction) indicated by the arrow 40y while maintaining a predetermined distance from the marking object 10z in the z direction. Further, the marking unit 4 includes a drawing pattern generation unit 40 and a marking position correction unit 45. The light beam 42 corresponding to the drawing pattern emitted from the drawing pattern generation unit 40 is incident on the optical component 43. After passing through the optical component 43, the light beam 44 corresponding to the drawing pattern is irradiated onto the mirror 45m of the marking position correction unit 45, and the light reflected by the mirror 45m passes through the optical component such as the fθ lens 46, thereby marking light. 47 is irradiated toward the marking object 10z. The marking position correction unit 45 can rotate the mirror 45m in the θ direction, and can change the irradiation direction of the marking light beam 47.

マーキングユニット４は、外部の制御機器と接続されており、マーキングユニット４を矢印４０ｙ（ｙ方向）で示す方向に移動させながら、マーキング位置補正部４５を制御することで、マーキング対象物１０ｚ上の所定の場所に、所定の時間、マーキング用光線４７を照射し続けることができる。   The marking unit 4 is connected to an external control device, and controls the marking position correction unit 45 while moving the marking unit 4 in the direction indicated by the arrow 40y (y direction), so that the marking unit 4 is on the marking object 10z. The marking light beam 47 can be continuously applied to a predetermined place for a predetermined time.

時系列で説明をすると、過去の時刻ｔ１から時刻ｔ２にかけて、マーキングユニット４が破線４０ｔ１から破線４０ｔ２に示す位置に移動しながら、ミラー４５は、破線４５ｍ１から破線４５ｍ２に示す位置に移動する。このとき、マーキング用光線４７は、破線４７ｔ１から破線４７ｔ２に示す位置・方向に変化しながら照射される。そのため、マーキング対象物１０ｚ上には、所定の描画パターン１５ａがマーキングされる。   To explain in time series, the mirror 45 moves from the broken line 45m1 to the position shown by the broken line 45m2 while the marking unit 4 moves from the broken line 40t1 to the position shown by the broken line 40t2 from the past time t1 to time t2. At this time, the marking light beam 47 is irradiated while changing from the broken line 47t1 to the position / direction shown by the broken line 47t2. Therefore, a predetermined drawing pattern 15a is marked on the marking object 10z.

さらに、過去の時刻ｔ３から現在にかけて、マーキングユニット４が破線４０ｔ３に示す位置から実線で示す現在の位置に移動しながら、ミラー４５は、破線４５ｍ３に示す位置から現在の位置に移動する。このとき、マーキング用光線４７は、破線４７ｔ３に示す位置・方向から実線で示す現在の位置・方向に変化しながら照射される。そのため、マーキング対象物１０ｚ上には、所定の描画パターン１５ｂがマーキングされる。
そのため、マーキング対象物１０ｚ上の２箇所に、所定の描画パターン１５ａ，１５ｂをマーキングすることができる。 Further, from the past time t3 to the present time, the mirror 45 moves from the position indicated by the broken line 45m3 to the current position while the marking unit 4 moves from the position indicated by the broken line 40t3 to the current position indicated by the solid line. At this time, the marking light beam 47 is irradiated while changing from the position / direction indicated by the broken line 47t3 to the current position / direction indicated by the solid line. Therefore, a predetermined drawing pattern 15b is marked on the marking object 10z.
Therefore, predetermined drawing patterns 15a and 15b can be marked at two places on the marking object 10z.

特開２００６−２５９５１５号公報JP 2006-259515 A

しかし、マーキング対象物１０ｚを静止させた状態でマーキングさせると、マーキング対象物１０ｚを入れ替えたり、間欠的に搬送させたりする必要があり、生産性を上げることができなかった。生産性を上げるために、マーキング対象物１０ｚを連続搬送させながら、従来の技術を用いて所定の描画パターンをマーキングしようとすると、以下に説明する「位置ずれ」や「ぶれ」が生じてしまうという課題があった。   However, when marking is performed in a state where the marking target object 10z is stationary, the marking target object 10z needs to be replaced or intermittently conveyed, and productivity cannot be increased. In order to increase the productivity, if a predetermined drawing pattern is marked using a conventional technique while the marking object 10z is continuously conveyed, “positional deviation” and “blurring” described below occur. There was a problem.

図１２は、従来技術におけるマーキングの様子を示す平面図であり、マーキング対象物１０ｚを前記マーキングユニット４の移動方向と交差する方向（つまりｘ方向）に移動させながらマーキングした場合の、描画パターン１６ａ，１６ｂのマーキング位置を示している。過去の時刻ｔ１，ｔ２，ｔ３と経過し、現在に至るまで、マーキング対象物１０ｚは矢印１０ｖで示す方向（ｘ方向）に移動しており、マーキング対象物上のとある位置は破線１０ｅ１，１０ｅ２，１０ｅ３で示す位置に移動し、現在は実線１０ｅで示す位置にある。マーキングユニット４は、ｙ方向に移動しながら、ｙ方向のマーキング用光線の照射位置・方向を変化させることができるので、過去の時刻ｔ１からｔ２にかけてマーキングする所定の描画パターン１６ａや、過去の時刻ｔ３から現在にかけてマーキングする所定の描画パターン１６ｂの、ｙ方向の相対移動速度に起因する「ぶれ」は生じない。   FIG. 12 is a plan view showing a state of marking in the prior art, and a drawing pattern 16a when marking is performed while moving the marking object 10z in a direction crossing the moving direction of the marking unit 4 (that is, the x direction). , 16b marking positions are shown. The marking object 10z has moved in the direction indicated by the arrow 10v (x direction) until the current time t1, t2, t3 has passed, and the position on the marking object is indicated by broken lines 10e1, 10e2. , 10e3, and is currently at the position indicated by the solid line 10e. Since the marking unit 4 can change the irradiation position / direction of the marking light beam in the y direction while moving in the y direction, a predetermined drawing pattern 16a for marking from the past time t1 to t2 or a past time There is no “blurring” due to the relative movement speed in the y direction of the predetermined drawing pattern 16b to be marked from t3 to the present.

一方、マーキングされる描画パターン１６ａ，１６ｂは、マーキングユニット４が移動する方向（つまりｙ方向）と交差する方向（つまりｘ方向）にマーキング対象物が搬送される状態でマーキングされるので、当該描画パターンをマトリクス状に整列した状態で規定された場所にマーキングできない、搬送方向（ｘ方向）の「位置ずれ」が生じる。   On the other hand, the marking patterns 16a and 16b to be marked are marked with the marking object being conveyed in a direction (that is, the x direction) that intersects the direction in which the marking unit 4 moves (that is, the y direction). “Position misalignment” occurs in the transport direction (x direction), in which a pattern cannot be marked at a prescribed position in a state where the pattern is arranged in a matrix.

さらに、マーキングされる描画パターン１６ａ，１６ｂは、マーキング対象物１０ｚがマーキングユニットに対して搬送方向に相対移動しているため、搬送方向（ｘ方向）相対移動速度に起因する「ぶれ」が生じてしまう。   Furthermore, since the marking object 10z moves relative to the marking unit relative to the marking unit in the drawing patterns 16a and 16b to be marked, “blurring” due to the relative movement speed in the conveyance direction (x direction) occurs. End up.

つまり、過去の時刻ｔ１からｔ２にかけてマーキングする所定の描画パターン１６ａは、マーキング中に、破線１６ｃ１に示す位置から破線１６ｃ２に示す位置に変化し、搬送方向（ｘ方向）の相対移動速度に起因する「ぶれ」が生じた状態となる。同様に、過去の時刻ｔ３から現在にかけてマーキングする所定の描画パターン１６ｂは、マーキング中に、破線１６ｃ３に示す位置から実線１６ｃ４に示す位置に変化し、搬送方向の相対移動速度に起因する「ぶれ」が生じた状態となる。   That is, the predetermined drawing pattern 16a to be marked from the past time t1 to t2 changes from the position indicated by the broken line 16c1 to the position indicated by the broken line 16c2 during the marking, and is caused by the relative movement speed in the transport direction (x direction). “Blur” occurs. Similarly, the predetermined drawing pattern 16b marked from the past time t3 to the present changes from the position indicated by the broken line 16c3 to the position indicated by the solid line 16c4 during the marking, and “blurring” due to the relative movement speed in the transport direction. Will occur.

また、描画パターン１６ａ，１６ｂは、マーキング開始位置時刻が異なるために、搬送方向（ｘ方向）に「位置ずれ」が生じる。   In addition, since the drawing patterns 16a and 16b have different marking start position times, “position shift” occurs in the transport direction (x direction).

そこで本発明は、連続的に搬送されるマーキング対象物であっても、所定の描画パターンを、「位置ずれ」や「ぶれ」のない状態で連続的にマーキングすることができ、生産性を上げることができる、マーキング装置及び方法を提供することを目的とする。   Accordingly, the present invention can continuously mark a predetermined drawing pattern without any “positional deviation” or “blurring” even for a marking object that is continuously conveyed, thereby increasing productivity. It is an object to provide a marking device and method that can be used.

以上の課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、
マーキング対象物に描画パターンをマーキングするマーキング装置において、
前記マーキング対象物を第一の方向に連続搬送させる搬送部と、
前記マーキング対象物を前記第一の方向に搬送した量を検出する搬送量検出器と、
前記マーキング対象物に向けて、前記描画パターンに対応するマーキング用光線を照射するマーキングユニットと、
前記マーキングユニットを前記第一の方向に移動させるマーキングユニット第一移動部とを備え、
前記搬送量検出器で検出された単位時間当たりに前記マーキング対象物を搬送した量に基づいて、前記マーキングユニット第一移動部を前記第一の方向と同じ方向に同じ量を移動させる、同期移動制御部とを備え、
前記マーキングユニットを前記第一の方向と交差する第二の方向に移動させるマーキングユニット第二移動部と、
前記マーキングユニットの第二の方向の位置を検出する位置検出器と、
前記マーキング用光線を照射する位置を変更して前記マーキング対象物上の同じ位置に前記マーキング用光線が照射されるように補正する、マーキング位置補正部とを備え、
前記マーキングユニットが前記第二の方向に移動している間に、
前記位置検出器で検出された前記マーキングユニットの第二の方向の位置に基づいて、
前記マーキング位置補正部におけるずらし量を制御して、前記マーキング対象物上の第二の方向の同じ位置に前記マーキング用光線を所定時間照射させる、
マーキング位置重ね合わせ制御部を備え、
前記マーキング位置重ね合わせ制御部及び前記同期移動制御部を制御して、
前記マーキング対象物を前記第一の方向に連続搬送しつつ、
前記マーキング対象物上の第一の方向及び第二の方向の同じ位置に、前記マーキング用光線を所定時間照射させる統括制御部を備えた
ことを特徴とするマーキング装置である。 In order to solve the above problems, the invention described in claim 1
In a marking device that marks a drawing pattern on a marking object,
A transport unit for continuously transporting the marking object in a first direction;
A transport amount detector for detecting an amount of transport of the marking object in the first direction;
A marking unit that irradiates a marking beam corresponding to the drawing pattern toward the marking object;
A marking unit first moving part for moving the marking unit in the first direction;
Synchronous movement in which the marking unit first moving unit is moved in the same direction as the first direction based on the amount of the marking object conveyed per unit time detected by the conveyance amount detector. A control unit,
A marking unit second moving section for moving the marking unit in a second direction intersecting the first direction;
A position detector for detecting the position of the marking unit in the second direction;
A marking position correction unit that corrects the marking beam to be irradiated at the same position on the marking object by changing the position where the marking beam is irradiated, and
While the marking unit is moving in the second direction,
Based on the position of the marking unit in the second direction detected by the position detector,
By controlling the amount of shift in the marking position correction unit, the same position in the second direction on the marking object is irradiated with the marking light beam for a predetermined time,
It has a marking position superposition control unit,
Control the marking position overlay control unit and the synchronous movement control unit,
While continuously conveying the marking object in the first direction,
The marking apparatus includes an overall control unit that irradiates the marking light beam for a predetermined time at the same position in the first direction and the second direction on the marking object.

請求項２に記載の発明は、
前記マーキング対象物には位置決め基準用マークが付与されており、
前記位置決め基準用マークの位置に対するマーキングすべき描画パターンの相対位置をマーキング予定位置として登録しておく描画予定位置登録部と、
前記位置決め基準用マークを撮像するマーク撮像部と
前記マーク撮像部で撮像された前記位置決め基準用マークの位置情報を検出するマーク位置検出部とを備え、
前記統括制御部は、前記マーク撮像部と前記マーキングユニットとの間隔と、前記マーク位置検出部で検出された位置決め基準用マークの位置情報に基づいて、前記マーキング位置重ね合わせ制御部及び前記同期移動制御部を制御する
ことを特徴とする、請求項１に記載のマーキング装置である。 The invention described in claim 2
The marking object is provided with a positioning reference mark,
A drawing planned position registration unit that registers a relative position of a drawing pattern to be marked with respect to the position of the positioning reference mark as a marking planned position;
A mark imaging unit that images the positioning reference mark; and a mark position detection unit that detects position information of the positioning reference mark imaged by the mark imaging unit;
The overall control unit includes the marking position overlay control unit and the synchronous movement based on an interval between the mark imaging unit and the marking unit and position information of a positioning reference mark detected by the mark position detection unit. The marking device according to claim 1, wherein the marking device is controlled.

請求項３に記載の発明は、
前記マーク撮像部で撮像された前記位置決め基準用マークの角度情報を検出するマーク角度検出部をさらに備え、
前記マーキングユニットは、
前記マーキング予定位置に対して、前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向に所定量シフトさせて照射するマーキング位置シフト機能をさらに備え、
前記統括制御部は、
前記マーク撮像部と前記マーキングユニットとの間隔と、
前記マーク位置検出部で検出された位置決め基準用マークの位置情報と、
前記マーク角度検出部で検出された位置決め基準用マークの角度情報に基づいて、
描画パターン毎に前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向に所定量シフトさせ、前記マーキング位置重ね合わせ制御部及び前記同期移動制御部を制御する
ことを特徴とする、請求項２に記載のマーキング装置である。 The invention according to claim 3
A mark angle detector that detects angle information of the positioning reference mark imaged by the mark imaging unit;
The marking unit is
A marking position shift function for irradiating the marking beam by shifting the position for irradiating the marking light beam by a predetermined amount in a predetermined direction,
The overall control unit
An interval between the mark imaging unit and the marking unit;
Position information of the positioning reference mark detected by the mark position detector,
Based on the angle information of the positioning reference mark detected by the mark angle detection unit,
The position of irradiating the marking beam for each drawing pattern is shifted by a predetermined amount in a predetermined direction, and the marking position superposition control unit and the synchronous movement control unit are controlled. It is a marking device.

請求項４に記載の発明は、
前記マーキング対象物には複数の位置決め基準用マークが付与されており、
前記マーク位置検出部は前記複数の位置決め基準用マークの位置情報を検出し、
前記マーク撮像部で撮像された前記複数の位置決め基準用マークの位置情報に基づいて、当該位置決め基準用マークの角度情報を検出する、複数のマーク位置に基づく角度検出部をさらに備え、
前記マーキングユニットは、
前記マーキング予定位置に対して、前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向に所定量シフトさせて照射するマーキング位置シフト機能をさらに備え
前記統括制御部は、
前記マーク撮像部と前記マーキングユニットの間隔と、
前記マーク位置検出部で検出された位置決め基準用マークの位置情報と、
前記複数のマーク位置に基づく角度検出部で検出された位置決め基準用マークの角度情報に基づいて、
描画パターン毎に前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向に所定量シフトさせ、前記マーキング位置重ね合わせ制御部及び前記同期移動制御部を制御する
ことを特徴とする、請求項２に記載のマーキング装置置である。 The invention according to claim 4
The marking object is provided with a plurality of positioning reference marks,
The mark position detector detects position information of the plurality of positioning reference marks;
An angle detection unit based on a plurality of mark positions, which detects angle information of the positioning reference mark based on position information of the plurality of positioning reference marks imaged by the mark imaging unit;
The marking unit is
The overall control unit further includes a marking position shift function for irradiating the marking light by shifting the position for irradiating the marking light beam by a predetermined amount in a predetermined direction.
An interval between the mark imaging unit and the marking unit;
Position information of the positioning reference mark detected by the mark position detector,
Based on the angle information of the positioning reference mark detected by the angle detection unit based on the plurality of mark positions,
The position of irradiating the marking beam for each drawing pattern is shifted by a predetermined amount in a predetermined direction, and the marking position superposition control unit and the synchronous movement control unit are controlled. It is a marking device.

請求項５に記載の発明は、
前記搬送部の搬送速度を演算する搬送速度演算部をさらに備え、
前記描画予定位置登録部には、
前記複数配列して登録されたマーキング予定位置のうち、
第一の方向の方向に繰り返しマーキングする間隔を送りピッチとして登録する、送りピッチ登録部と、
第二の方向に順次マーキングされる最初の描画パターンと最後の描画パターンとの間隔を両端描画パターン間隔として登録する、両端描画パターン間隔登録部とが備えられており、
前記搬送速度演算部は、
前記送りピッチと、前記両端描画パターン間隔と、
前記マーキングユニット第二移動部における順次マーキングのために要する時間と、
前記マーキングユニット第一移動部における繰り返しマーキングのために要する時間とに基づいて前記搬送部の搬送速度の許容値を算出し、
前記統括制御部は、
当該算出された搬送速度の許容値を前記搬送部の搬送速度として設定し、繰り返しマーキングする機能を備えている
ことを特徴とする、請求項２〜４に記載のマーキング装置である。 The invention described in claim 5
A transport speed calculation unit for calculating the transport speed of the transport unit;
In the planned drawing position registration unit,
Among the planned marking positions registered in the plurality of arrays,
A feed pitch registration unit for registering an interval for repeatedly marking in the direction of the first direction as a feed pitch;
A both-end drawing pattern interval registration unit that registers the interval between the first drawing pattern and the last drawing pattern that are sequentially marked in the second direction as the both-end drawing pattern interval;
The transport speed calculator is
The feed pitch, the both-end drawing pattern interval,
Time required for sequential marking in the marking unit second moving unit;
Based on the time required for repeated marking in the marking unit first moving unit, and calculating the allowable value of the conveyance speed of the conveyance unit,
The overall control unit
5. The marking device according to claim 2, further comprising a function of setting the calculated allowable value of the conveyance speed as a conveyance speed of the conveyance unit and performing repetitive marking.

請求項６に記載の発明は、
マーキング対象物に描画パターンをマーキングするマーキング方法において、
前記マーキング対象物を第一の方向に連続搬送させる搬送ステップと、
前記マーキング対象物を第一の方向に搬送した量を検出する、搬送量検出ステップとを有し、
前記マーキング対象物に向けて、前記描画パターンに対応するマーキング用光線を照射するマーキングユニットを用い、
前記マーキングユニットを前記第一の方向に移動させるマーキングユニット第一移動ステップとを有し、
前記搬送量検出ステップで検出された単位時間当たりに前記マーキング対象物を搬送した量に基づいて、前記マーキングユニット第一移動ステップにおける前記第一の方向と同じ方向に同じ量を移動させる、同期移動制御ステップとを有し
前記マーキングユニットを前記第一の方向と交差する第二の方向に移動させるマーキングユニット第二移動ステップと、
前記マーキングユニットの第二の方向の位置を検出する位置検出ステップと、
前記マーキング用光線を照射する位置を変更して前記マーキング対象物上の同じ位置に前記マーキング用光線が照射されるように補正する、マーキング位置補正ステップとを有し、
前記マーキングユニットが前記第二の方向に移動している間に、
前記位置検出ステップで検出された前記マーキングユニットの第二の方向の位置に基づいて、前記マーキング位置補正ステップにおけるずらし量を制御して、前記マーキング対象物上の第二の方向の同じ位置に前記マーキング用光線を所定時間照射させる、
マーキング位置重ね合わせ制御ステップを有し、
前記マーキング位置重ね合わせ制御ステップ及び前記同期移動制御ステップを統括制御して、
前記マーキング対象物が前記第一の方向に連続搬送されている間に、
前記マーキング対象物上の第一の方向及び第二の方向の同じ位置に、前記マーキング用光線を所定時間照射することを特徴とするマーキング方法である。 The invention described in claim 6
In a marking method for marking a drawing pattern on a marking object,
A conveying step for continuously conveying the marking object in a first direction;
A conveyance amount detection step for detecting an amount of conveyance of the marking object in the first direction;
Using a marking unit that irradiates a marking beam corresponding to the drawing pattern toward the marking object,
A marking unit first moving step for moving the marking unit in the first direction;
Synchronous movement that moves the same amount in the same direction as the first direction in the marking unit first movement step based on the amount of the marking object conveyed per unit time detected in the conveyance amount detection step And a marking unit second moving step for moving the marking unit in a second direction intersecting the first direction,
A position detecting step for detecting a position in the second direction of the marking unit;
A marking position correcting step for changing the position for irradiating the marking light beam to correct the marking light beam to be irradiated at the same position on the marking object,
While the marking unit is moving in the second direction,
Based on the position in the second direction of the marking unit detected in the position detection step, the shift amount in the marking position correction step is controlled, and the same position in the second direction on the marking object is Irradiate the marking beam for a predetermined time,
A marking position overlay control step,
Centrally controlling the marking position overlay control step and the synchronous movement control step,
While the marking object is continuously conveyed in the first direction,
The marking method is characterized in that the same position in the first direction and the second direction on the marking object is irradiated with the marking light beam for a predetermined time.

請求項７に記載の発明は、
前記マーキング対象物には位置決め基準用マークが付与されており、
前記位置決め基準用マークの位置に対するマーキングすべき描画パターンの相対位置をマーキング予定位置として登録しておく描画予定位置登録ステップと、
前記位置決め基準用マークを撮像するマーク撮像ステップと、
前記マーク撮像ステップで撮像された前記位置決め基準用マークの位置情報を検出するマーク位置検出ステップとを有し、
前記マーク撮像ステップで用いられるマーク撮像部とマーキングユニットとの間隔と、前記マーク位置検出ステップで検出された位置決め基準用マークの位置情報に基づいて、前記マーキング位置重ね合わせ制御ステップ及び前記同期移動制御ステップを統括制御する
ことを特徴とする、請求項６に記載のマーキング方法である。 The invention described in claim 7
The marking object is provided with a positioning reference mark,
A drawing planned position registration step of registering a relative position of a drawing pattern to be marked with respect to the position of the positioning reference mark as a marking planned position;
A mark imaging step of imaging the positioning reference mark;
A mark position detecting step for detecting position information of the positioning reference mark imaged in the mark imaging step,
The marking position overlay control step and the synchronous movement control based on the interval between the mark imaging unit and the marking unit used in the mark imaging step and the position information of the positioning reference mark detected in the mark position detection step The marking method according to claim 6, wherein the steps are collectively controlled.

請求項８に記載の発明は、
前記マーク撮像ステップで撮像された前記位置決め基準用マークの角度情報を検出するマーク角度検出ステップをさらに備え、
前記マーキングユニットは、
前記マーキング予定位置に対して、前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向に所定量シフトさせて照射するマーキング位置シフト機能をさらに有し、
前記マーク撮像部と前記マーキングユニットとの間隔と、
前記マーク位置検出ステップで検出された位置決め基準用マークの位置情報と、
前記マーク角度検出ステップで検出された位置決め基準用マークの角度情報に基づいて、
描画パターン毎に前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向に所定量シフトさせ、前記マーキング位置重ね合わせ制御ステップ及び前記同期移動制御ステップを統括制御する
ことを特徴とする、請求項７に記載のマーキング方法である。 The invention according to claim 8 provides:
A mark angle detection step of detecting angle information of the positioning reference mark imaged in the mark imaging step;
The marking unit is
A marking position shift function of irradiating the marking beam by shifting the position of irradiating the marking light beam by a predetermined amount in a predetermined direction,
An interval between the mark imaging unit and the marking unit;
Position information of the positioning reference mark detected in the mark position detecting step;
Based on the angle information of the positioning reference mark detected in the mark angle detection step,
The position for irradiating the marking light beam for each drawing pattern is shifted by a predetermined amount in a predetermined direction, and the marking position superposition control step and the synchronous movement control step are comprehensively controlled. It is a marking method.

請求項９に記載の発明は、
前記マーキング対象物には複数の位置決め基準用マークが付与されており、
前記マーク位置検出ステップでは、前記複数の位置決め基準用マークの位置情報を検出し、
前記マーク撮像ステップで撮像された前記複数の位置決め基準用マークの位置情報に基づいて、当該位置決め基準用マークの角度情報を検出するマーク角度検出ステップをさらに備え、
前記マーキングユニットは、
前記マーキング予定位置に対して、前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向に所定量シフトさせて照射するマーキング位置シフト機能をさらに有し、
前記マーク撮像部と前記マーキングユニットの間隔と、
前記マーク位置検出ステップで検出された位置決め基準用マークの位置情報と、
前記マーク角度検出ステップで検出された位置決め基準用マークの角度情報に基づいて、
描画パターン毎に前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向に所定量シフトさせ、前記マーキング位置重ね合わせ制御ステップ及び前記同期移動制御ステップを統括制御する
ことを特徴とする、請求項７に記載のマーキング方法である。 The invention according to claim 9 is:
The marking object is provided with a plurality of positioning reference marks,
In the mark position detection step, position information of the plurality of positioning reference marks is detected,
A mark angle detection step of detecting angle information of the positioning reference marks based on position information of the plurality of positioning reference marks imaged in the mark imaging step;
The marking unit is
A marking position shift function of irradiating the marking beam by shifting the position of irradiating the marking light beam by a predetermined amount in a predetermined direction,
An interval between the mark imaging unit and the marking unit;
Position information of the positioning reference mark detected in the mark position detecting step;
Based on the angle information of the positioning reference mark detected in the mark angle detection step,
The position for irradiating the marking light beam for each drawing pattern is shifted by a predetermined amount in a predetermined direction, and the marking position superposition control step and the synchronous movement control step are comprehensively controlled. It is a marking method.

請求項１０に記載の発明は、
前記搬送ステップの搬送速度を演算する搬送速度演算ステップをさらに有し、
前記描画予定位置登録ステップでは、
前記複数配列して登録されたマーキング予定位置のうち、
第一の方向の方向に繰り返しマーキングする間隔を送りピッチとして登録する、送りピッチ登録ステップと、
第二の方向に順次マーキングされる最初の描画パターンと最後の描画パターンとの間隔を両端描画パターン間隔として登録する、両端描画パターン間隔登録ステップとが備えられており、
前記搬送速度演算ステップは、
前記送りピッチと、前記両端描画パターン間隔と、
前記マーキングユニット第二移動ステップにおける順次マーキングのために要する時間と、
前記マーキングユニット第一移動ステップにおける繰り返しマーキングのために要する時間とに基づいて前記搬送ステップの搬送速度の許容値を算出し、
当該算出された搬送速度の許容値を前記搬送ステップの搬送速度として設定し、繰り返しマーキングする機能を備えている
ことを特徴とする、請求項７〜９に記載のマーキング方法である。 The invention according to claim 10 is:
A transport speed calculating step for calculating a transport speed of the transport step;
In the drawing planned position registration step,
Among the planned marking positions registered in the plurality of arrays,
A feed pitch registration step for registering an interval for repeatedly marking in the direction of the first direction as a feed pitch;
A both-end drawing pattern interval registration step for registering the interval between the first drawing pattern and the last drawing pattern sequentially marked in the second direction as the both-end drawing pattern interval;
The transport speed calculating step includes:
The feed pitch, the both-end drawing pattern interval,
The time required for sequential marking in the marking unit second movement step;
Based on the time required for repeated marking in the marking unit first movement step, the allowable value of the conveyance speed of the conveyance step is calculated,
10. The marking method according to claim 7, further comprising a function of setting the calculated allowable value of the conveyance speed as a conveyance speed of the conveyance step and performing repetitive marking.

連続的に搬送されるマーキング対象物に対して、所定の描画パターンを、「位置ずれ」や「ぶれ」のない状態で連続的にマーキングすることができ、生産性を上げることができる。   A predetermined drawing pattern can be continuously marked on a marking object to be continuously conveyed in a state free from “position shift” and “blur”, and productivity can be increased.

本発明を具現化する形態の一例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows an example of the form which embodies this invention. 本発明を具現化する形態の一例に用いられる機器の概略図である。It is the schematic of the apparatus used for an example of the form which embodies this invention. 本発明を具現化する形態の一例を示すシステム構成図である。It is a system configuration figure showing an example of the form which embodies the present invention. 本発明を具現化する形態の一例を示すフロー図である。It is a flowchart which shows an example of the form which embodies this invention. 本発明を具現化する形態の一例におけるマーキング例を示す平面図である。It is a top view which shows the example of marking in an example of the form which embodies this invention. 本発明を具現化する形態の別の一例におけるマーキング例を示す平面図である。It is a top view which shows the example of marking in another example of the form which embodies this invention. 本発明を具現化する形態のさらに別の一例におけるマーキング例を示す平面図である。It is a top view which shows the example of marking in another example of the form which embodies this invention. 本発明を具現化する形態の別の一例を示すフロー図である。It is a flowchart which shows another example of the form which embodies this invention. 本発明を具現化する形態の別の一例におけるタイムチャート図である。It is a time chart figure in another example of the form which embodies the present invention. 本発明を具現化する別の形態の一例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows an example of another form which embodies this invention. 従来技術におけるマーキングの様子を示す側面図である。It is a side view which shows the mode of marking in a prior art. 従来技術におけるマーキングの様子を示す平面図である。It is a top view which shows the mode of marking in a prior art.

本発明を実施するための形態について、図を用いながら説明する。以下の説明では、マーキング対象物１０の一例として、シート状の連続体を用いて説明する。
各図中の直交座標系の３軸をＸ、Ｙ、Ｚとし、ＸＹ平面を水平面、Ｚ方向を鉛直方向とする。特にＺ方向は矢印の方向を上とし、その逆方向を下と表現する。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description, a sheet-like continuous body will be described as an example of the marking object 10.
The three axes of the orthogonal coordinate system in each figure are X, Y, and Z, the XY plane is the horizontal plane, and the Z direction is the vertical direction. In particular, in the Z direction, the direction of the arrow is represented as the top, and the opposite direction is represented as the bottom.

図１は、本発明を具現化する形態の一例を示す斜視図である。
本発明にかかるマーキング装置１は、搬送部２と、搬送量検出器２２と、マーキングユニット４と、マーキングユニット第一移動部５と、マーキングユニット第二移動部６と、制御部９を含んで構成されている。 FIG. 1 is a perspective view showing an example of a form embodying the present invention.
The marking device 1 according to the present invention includes a transport unit 2, a transport amount detector 22, a marking unit 4, a marking unit first moving unit 5, a marking unit second moving unit 6, and a control unit 9. It is configured.

搬送部２は、マーキング対象物１０の被マーキング領域を水平に保った状態で、矢印１０ｖで示す第一の方向に、搬送速度ＶＳで連続搬送させるものである。なお本説明においては、矢印１０ｖで示す第一の方向と、図中の直交座標系ｘ方向とは一致させている。
具体的には、マーキング装置１の筐体フレーム１１（図中において点線で示す）に取り付けられた、ｙ方向に所定の長さを有する円筒状のローラ２１と、円筒状のローラ２１を回転させるモータ２１ｍを適宜配置して構成することができる。 The transport unit 2 continuously transports the marking target object 10 in the first direction indicated by the arrow 10v at the transport speed VS while keeping the marking target region 10 horizontal. In the present description, the first direction indicated by the arrow 10v and the orthogonal coordinate system x direction in the figure are made to coincide.
Specifically, a cylindrical roller 21 having a predetermined length in the y direction, which is attached to a housing frame 11 (indicated by a dotted line in the drawing) of the marking device 1, and a cylindrical roller 21 are rotated. The motor 21m can be appropriately arranged and configured.

搬送量検出器２２は、マーキング対象物１０が矢印１０ｖで示す第一の方向（つまり、ｘ方向）に搬送した量を検出するものであり、本発明における搬送量検出器を構成する。
具体的には、搬送量検出器２２は、円筒状のローラ２１やモータ２１ｍにロータリエンコーダやＦＶカウンタなどを取り付けたものが例示できる。搬送量検出器２２は、マーキング対象物１０が搬送した量に応じたパルス信号を出力するものや、単位時間当たりの搬送速度に比例した電圧信号を出力するものを用いて構成することができる。
あるいは、搬送量検出器２２は、レーザ測長器などの、マーキング対象物１０に設けられた凸凹や端面の位置を検出して、搬送した量を検出するようにしたものでも良い。 The carry amount detector 22 detects the amount carried by the marking object 10 in the first direction (that is, the x direction) indicated by the arrow 10v, and constitutes the carry amount detector in the present invention.
Specifically, the conveyance amount detector 22 can be exemplified by a cylindrical roller 21 or a motor 21m provided with a rotary encoder, an FV counter, or the like. The conveyance amount detector 22 can be configured using one that outputs a pulse signal corresponding to the amount conveyed by the marking object 10 or one that outputs a voltage signal proportional to the conveyance speed per unit time.
Alternatively, the conveyance amount detector 22 may be a laser length measuring device or the like that detects the amount of conveyance by detecting the position of the unevenness or end face provided on the marking object 10.

マーキングユニット４は、詳細を後述するが、マーキング対象物１０に向けて所定の描画パターンに対応するマーキング用光線を照射するものである。   As will be described in detail later, the marking unit 4 irradiates the marking object 10 with a marking beam corresponding to a predetermined drawing pattern.

マーキングユニット第一移動部５は、マーキングユニット４を第一の方向に移動させるものである。本説明においては、第一の方向と、図中の直交座標系ｘ方向とは一致させている。
具体的には、マーキングユニット第一移動部５は、Ｘ軸スライダーユニット５０を含んで構成することができる。Ｘ軸スライダーユニット５０は、マーキング対象物１０の表面と平行であってｘ方向に延びるレールと当該レール上を移動可能に取り付けられた、Ｘ軸スライダー５１を用いて構成することができる。Ｘ軸スライダー５１は、外部からの制御信号に基づいて、当該レール上を所定の速度で移動したり、当該レール上の所定の位置で静止したりすることができる。さらに、Ｘ軸スライダー５１にはマーキングユニット４が取り付けられている。 The marking unit first moving unit 5 moves the marking unit 4 in the first direction. In the present description, the first direction and the orthogonal coordinate system x direction in the figure are matched.
Specifically, the marking unit first moving unit 5 can be configured to include an X-axis slider unit 50. The X-axis slider unit 50 can be configured using a rail that is parallel to the surface of the marking object 10 and extends in the x direction, and an X-axis slider 51 that is movably attached on the rail. The X-axis slider 51 can move on the rail at a predetermined speed or can rest at a predetermined position on the rail based on a control signal from the outside. Further, the marking unit 4 is attached to the X-axis slider 51.

マーキングユニット第二移動部６は、マーキングユニット４を第一の方向と交差する第二の方向（矢印４０ｙで示す方向）に移動させるものである。なお本説明においては、第二の方向と、図中の直交座標系ｙ方向とは一致させている。
具体的には、マーキングユニット第二移動部６は、筐体フレーム１１の上に配置された一組の支柱１２と、支柱１２の上に取り付けられたＹ軸スライダーユニット６０を含んで構成することができる。Ｙ軸スライダーユニット６０は、マーキング対象物１０の表面と平行であってｙ方向に延びるレールと当該レール上を移動可能に取り付けられた、Ｙ軸スライダー６１を用いて構成することができる。Ｙ軸スライダー６１は、外部からの制御信号に基づいて、当該レール上を所定の速度で移動したり、当該レール上の所定の位置で静止したりすることができる。さらに、Ｙ軸スライダー６１には、Ｘ軸スライダーユニット５０が取り付けられている。 The marking unit second moving unit 6 moves the marking unit 4 in a second direction (direction indicated by the arrow 40y) intersecting the first direction. In the present description, the second direction and the orthogonal coordinate system y direction in the figure are matched.
Specifically, the marking unit second moving unit 6 includes a pair of support columns 12 arranged on the housing frame 11 and a Y-axis slider unit 60 attached on the support columns 12. Can do. The Y-axis slider unit 60 can be configured using a rail that is parallel to the surface of the marking object 10 and extends in the y direction, and a Y-axis slider 61 that is movably attached on the rail. The Y-axis slider 61 can move on the rail at a predetermined speed or can rest at a predetermined position on the rail based on a control signal from the outside. Further, an X-axis slider unit 50 is attached to the Y-axis slider 61.

制御部９は、詳細を後述するが、上述の各機器を制御して、マーキング対象物１０上の所定の位置に描画コードをマーキングするものである。   As will be described in detail later, the control unit 9 controls the above-described devices to mark a drawing code at a predetermined position on the marking object 10.

そのため、マーキングユニット４は、マーキング対象物１０とｚ方向に所定の間隔を保ったまま、制御部９からの制御信号に基づいて、ｘ方向及びｙ方向に、それぞれ独立して移動したり静止したりすることができる。
さらに、マーキング装置１は、マーキングユニット４の第二の方向の位置を検出する位置検出器６２を含んで構成されている。具体的には、位置検出器６２は、Ｙ軸スライダーユニット６０に組み込まれたリニアエンコーダで構成することができ、Ｙ軸スライダー６１のｙ方向の位置や移動量に応じた信号を外部機器に出力する形態のものが例示できる。 Therefore, the marking unit 4 moves or stops independently in the x direction and the y direction based on the control signal from the control unit 9 while keeping a predetermined distance from the marking object 10 in the z direction. Can be.
Furthermore, the marking device 1 includes a position detector 62 that detects the position of the marking unit 4 in the second direction. Specifically, the position detector 62 can be configured by a linear encoder incorporated in the Y-axis slider unit 60, and outputs a signal corresponding to the position and amount of movement of the Y-axis slider 61 in the y direction to an external device. The thing of the form to do can be illustrated.

［マーキングユニット詳細］
図２は、本発明を具現化する形態の一例に用いられる機器の概略図であり、マーキングユニット４の内部の機器レイアウトを示す図である。
マーキングユニット４は、描画パターン生成部４０と、マーキング位置補正部４５とが含まれて構成されている。 [Details of marking unit]
FIG. 2 is a schematic diagram of a device used in an example of a form embodying the present invention, and is a diagram showing a device layout inside the marking unit 4.
The marking unit 4 includes a drawing pattern generation unit 40 and a marking position correction unit 45.

描画パターン生成部４０は、光源４０ａと、パターン表示器４０ｍとが含まれて構成されている。また、反射ミラー４０ｃ、ビームエキスパンダ４０ｅ、リレーレンズ４３ａが必要に応じて配置されている。光源４０ａから照射されたレーザビーム４０ｂは、反射ミラー４０ｃで反射され、ビームエキスパンダ４０ｅを通過した後、ビーム幅が拡大されたレーザビーム４０ｆとなる。ビーム幅が拡大されたレーザビーム４０ｆは、パターン表示器４０ｍに照射される。パターン表示器４０ｍの表面で選択的に反射したビーム４２ａは、リレーレンズ４３ａを通過し、描画パターンに対応した光線４２として描画パターン生成部４０から照射される。   The drawing pattern generation unit 40 includes a light source 40a and a pattern display 40m. Further, a reflection mirror 40c, a beam expander 40e, and a relay lens 43a are arranged as necessary. The laser beam 40b emitted from the light source 40a is reflected by the reflection mirror 40c, and after passing through the beam expander 40e, becomes a laser beam 40f with an expanded beam width. The laser beam 40f with the expanded beam width is irradiated onto the pattern display 40m. The beam 42a selectively reflected by the surface of the pattern display 40m passes through the relay lens 43a, and is irradiated from the drawing pattern generation unit 40 as a light beam 42 corresponding to the drawing pattern.

描画パターンに対応した光線４２は、必要に応じて、反射ミラー４３ｍで反射され、リレーレンズ４３ｂを通過し、描画パターンに対応した光線４４としてマーキング位置補正部のミラー４５ｍに照射される。描画パターンに対応した光線４４は、ミラー４５ｍに照射され、ｆθレンズ４６を通過し、マーキング用光線４７として、マーキング対象物１０に照射される。ミラー４５ｍは、マーキング位置補正部４５に取り付けられており、外部機器からマーキング位置補正部４５に制御信号を送信することにより、ミラー４５ｍの角度が変更され、マーキング用光線４７の照射方向が変更される。   The light beam 42 corresponding to the drawing pattern is reflected by the reflection mirror 43m as necessary, passes through the relay lens 43b, and is irradiated to the mirror 45m of the marking position correction unit as the light beam 44 corresponding to the drawing pattern. A light beam 44 corresponding to the drawing pattern is applied to the mirror 45 m, passes through the fθ lens 46, and is applied to the marking object 10 as a marking light beam 47. The mirror 45m is attached to the marking position correction unit 45. By transmitting a control signal from an external device to the marking position correction unit 45, the angle of the mirror 45m is changed and the irradiation direction of the marking light beam 47 is changed. The

光源４０ａは、レーザダイオード、レーザ発振器、ＬＥＤ照明、ＵＶランプなどを用いて構成することができ、外部機器から信号を入力してＯＮ／ＯＦＦや出力が制御される。パターン表示器４０ｍは、ＤＭＤ（デジタル・マイクロミラー・デバイス）を用いて構成することができ、外部機器からデータを入力して所定の描画パターンを得ることができる。   The light source 40a can be configured by using a laser diode, a laser oscillator, an LED illumination, a UV lamp, and the like, and a signal is input from an external device and ON / OFF and output are controlled. The pattern display 40m can be configured using a DMD (digital micromirror device), and can input data from an external device to obtain a predetermined drawing pattern.

マーキング位置補正部４５は、ガルバノメータスキャナを用いて構成することができ、外部機器から信号を入力して、ミラー４５ｍの角度を調節することができる。   The marking position correction unit 45 can be configured using a galvanometer scanner, and can adjust the angle of the mirror 45m by inputting a signal from an external device.

［システム構成］
マーキング装置１の制御部９は、マーキング位置重ね合わせ制御部９１と、同期移動制御部９３と、統括制御部９５とを含んで構成されている。
図３は、本発明を具現化する形態の一例を示すシステム構成図であり、マーキング装置１を構成する各機器がどのように接続されているかを示している。 [System configuration]
The control unit 9 of the marking apparatus 1 includes a marking position superposition control unit 91, a synchronous movement control unit 93, and an overall control unit 95.
FIG. 3 is a system configuration diagram showing an example of a form embodying the present invention, and shows how the respective devices constituting the marking device 1 are connected.

マーキング位置重ね合わせ制御部９１は、
マーキングユニット４が第二の方向に移動している間に、
搬送量検出器２２で検出されたマーキングユニット４の、第二の方向の位置に基づいて、マーキング位置補正部４５におけるずらし量を制御して、前記マーキング対象物１０上の第二の方向が同じ位置となるようにマーキング用光線４７を所定時間照射させるものである。 The marking position overlay control unit 91
While the marking unit 4 is moving in the second direction,
Based on the position of the marking unit 4 detected by the transport amount detector 22 in the second direction, the shift amount in the marking position correction unit 45 is controlled, and the second direction on the marking object 10 is the same. The marking light beam 47 is irradiated for a predetermined time so as to be positioned.

具体的には、マーキング位置重ね合わせ制御部９１は、制御用コンピュータ及び制御用コンピュータの実行プログラムにおける処理ブロックにて構成されており、以下の動作を具現化するものである。
マーキング位置重ね合わせ制御部９１は、光源４０ａ、描画パターン表示器４０ｍ、マーキング位置補正部４５と接続されており、光源４０ａ、描画パターン表示器４０ｍを制御して所定の描画パターンに対応した光線４４をミラー４５ｍに照射させることができる。さらに、マーキング位置補正部４５を制御して、マーキング用光線４７の方向を変えることができる。 Specifically, the marking position overlay control unit 91 is configured by a control computer and processing blocks in an execution program of the control computer, and embodies the following operations.
The marking position superposition control unit 91 is connected to the light source 40a, the drawing pattern display unit 40m, and the marking position correction unit 45, and controls the light source 40a and the drawing pattern display unit 40m to emit light 44 corresponding to a predetermined drawing pattern. Can be irradiated to the mirror 45m. Furthermore, the direction of the marking light beam 47 can be changed by controlling the marking position correction unit 45.

マーキング位置重ね合わせ制御部９１は、さらに位置検出器６２と接続されており、位置検出器６２で検出されたマーキングユニット４の第二の方向の位置や移動量に応じた信号を入力する。また、この位置や移動量に応じた信号に基づいて、マーキング位置補正部４５におけるずらし量を制御するように、実行プログラムにおける処理ブロックが構成されている。   The marking position superposition control unit 91 is further connected to the position detector 62, and inputs a signal corresponding to the position and movement amount of the marking unit 4 detected by the position detector 62 in the second direction. Further, a processing block in the execution program is configured to control the shift amount in the marking position correction unit 45 based on the signal corresponding to the position and the movement amount.

マーキング位置重ね合わせ制御部９１は、詳細を後述する統合制御部９５と接続されており、マーキングユニット４の位置や移動量、並びに、統合制御部９５からの制御指令に基づいて、光源４０ａ、描画パターン表示器４０ｍ、マーキング位置補正部４５を制御することができる。   The marking position superposition control unit 91 is connected to an integrated control unit 95, which will be described in detail later, and based on the position and movement amount of the marking unit 4 and a control command from the integrated control unit 95, the light source 40a, the drawing The pattern display 40m and the marking position correction unit 45 can be controlled.

マーキング位置重ね合わせ制御部９１は、このような構成をしているので、
マーキングユニット４が第二の方向に移動している間に、前記マーキング対象物１０上の第二の方向の位置を変えず、マーキング対象物１０上の同じ位置に、所定の描画パターンに対応したマーキング用光線４７を所定時間だけ照射し、一列の描画パターン群を所定の位置に整列させた状態でマーキングすることができる。 Since the marking position overlay control unit 91 has such a configuration,
While the marking unit 4 is moving in the second direction, the position in the second direction on the marking object 10 is not changed, and the same position on the marking object 10 corresponds to a predetermined drawing pattern. The marking light beam 47 is irradiated for a predetermined time, and marking can be performed in a state in which a line of drawing pattern groups is aligned at a predetermined position.

同期移動制御部９３は、搬送部２と、マーキングユニット第一移動部５と、マーキングユニット第二移動部６と接続されており、搬送量検出器２２で検出された単位時間当たりにマーキング対象物１０を搬送した量に基づいて、マーキングユニット第一移動部５を第一の方向と同じ方向に同じ量を移動させるものである。   The synchronous movement control unit 93 is connected to the conveyance unit 2, the marking unit first movement unit 5, and the marking unit second movement unit 6, and is a marking object per unit time detected by the conveyance amount detector 22. The marking unit first moving unit 5 is moved in the same direction as the first direction by the same amount based on the amount of transported 10.

具体的には、位置決め制御ユニットを備えたプログラマブルコントローラの、実行プログラムにおける処理ブロックにて構成することができる。
同期移動制御部９３は、搬送部２のモータ２１ｍと接続されており、モータ２１ｍを所定の回転数で回転させたり、停止させたり、回転数を変化させたりすることができる。
同期移動制御部９３は、搬送部２の搬送量検出器２２と接続されており、搬送量検出器２２から出力された信号を入力する。搬送量検出器２２から出力された信号は、現在位置や移動量を示すパルス信号であれば、単位時間当たりの前記パルス信号のカウント数に基づいて、単位時間当たりにマーキング対象物１０を搬送した量を取得する。
さらに、同期移動制御部９３は、Ｘ軸スライダー５１と接続されており、当該単位時間当たりにマーキング対象物１０を搬送した量に基づいて、Ｘ軸スライダー５１に対して制御信号を出力し、Ｘ軸スライダー５１を第一の方向（ｘ方向）に移動させることができる。同様に、同期移動制御部９３は、Ｙ軸スライダー６１と接続されており、Ｙ軸スライダー６１に対して制御信号を出力し、Ｙ軸スライダー６１を第二の方向（ｙ方向）に移動させることができる。 Specifically, it can be constituted by a processing block in an execution program of a programmable controller provided with a positioning control unit.
The synchronous movement control unit 93 is connected to the motor 21m of the transport unit 2, and can rotate the motor 21m at a predetermined rotational speed, stop it, or change the rotational speed.
The synchronous movement control unit 93 is connected to the transport amount detector 22 of the transport unit 2 and receives a signal output from the transport amount detector 22. If the signal output from the conveyance amount detector 22 is a pulse signal indicating the current position or movement amount, the marking object 10 is conveyed per unit time based on the count number of the pulse signal per unit time. Get the quantity.
Furthermore, the synchronous movement control unit 93 is connected to the X-axis slider 51 and outputs a control signal to the X-axis slider 51 based on the amount of the marking object 10 conveyed per unit time. The axis slider 51 can be moved in the first direction (x direction). Similarly, the synchronous movement control unit 93 is connected to the Y-axis slider 61, outputs a control signal to the Y-axis slider 61, and moves the Y-axis slider 61 in the second direction (y direction). Can do.

同期移動制御部９３は、詳細を後述する統合制御部９５と接続されており、搬送量検出器２２から取得したマーキング対象物１０の搬送量と、統合制御部９５からの制御指令に基づいて、マーキング対象物１０のｘ方向の移動と、Ｘ軸スライダー５１のｘ方向の移動とが、互いに移動方向及び移動量とが同じになるように制御しながら、Ｘ軸スライダー５１に対して制御信号を出力する。   The synchronous movement control unit 93 is connected to an integrated control unit 95 described later in detail, and based on the conveyance amount of the marking object 10 acquired from the conveyance amount detector 22 and the control command from the integrated control unit 95, While controlling the movement of the marking object 10 in the x direction and the movement of the X axis slider 51 in the x direction so that the movement direction and the movement amount are the same, a control signal is sent to the X axis slider 51. Output.

統括制御部９５は、
マーキング位置重ね合わせ制御部９１と、同期移動制御部９３とを制御して、マーキング対象物１０が第一の方向（ｘ方向）に連続搬送されている間に、マーキング対象物上の第一の方向（ｘ方向）及び第二の方向（ｙ方向）の同じ位置に、マーキング用光線４７を所定時間照射するものである。
具体的には、統括制御部９５は、制御用コンピュータを用い、その実行プログラムにおける処理ブロックにて構成され、以下のような処理ができるように構成されている。 The overall control unit 95
While the marking position superimposing control unit 91 and the synchronous movement control unit 93 are controlled and the marking target object 10 is continuously conveyed in the first direction (x direction), the first on the marking target object is controlled. The marking light beam 47 is applied to the same position in the direction (x direction) and the second direction (y direction) for a predetermined time.
Specifically, the overall control unit 95 is configured by processing blocks in its execution program using a control computer, and is configured to perform the following processing.

統括制御部９５は、予めマーキング位置情報や、マーキング対象物１０の搬送速度、Ｘ軸スライダーやＹ軸スライダーの制御パラメータ、その他マーキングに必要な制御パラメータが設定されている。これらの情報は、マーキング位置重ね合わせ制御部９１や、同期移動制御部９３を通じて各部機器へ出力しておく。各部は、制御指令に基づいてマーキング動作が開始できる、マーキング待機状態にしておく。   The overall control unit 95 is previously set with marking position information, the conveyance speed of the marking object 10, control parameters for the X-axis slider and Y-axis slider, and other control parameters necessary for marking. These pieces of information are output to each unit device through the marking position superposition control unit 91 and the synchronous movement control unit 93. Each unit is in a marking standby state in which a marking operation can be started based on a control command.

統括制御部９５は、搬送量検出器２２から出力された信号に基づいて、現在位置からマーキング対象物１０がどれだけ（例えば、何パルス分）移動した後に、Ｘ軸スライダー５１とＹ軸スライダー６１の移動を開始させれば、移動中のマーキング対象物１０上の所定の位置に、描画パターン群をマーキングできるか、を演算する。
そして、統括制御部９５は、当該演算結果に基づいて、搬送量検出器２２から出力されるマーキング対象物１０の現在位置情報を参照しながら、同期移動制御部９３を通じてＸ軸スライダー５１とＹ軸スライダー６１とを制御しつつ、マーキング位置重ね合わせ制御部９１を通じてマーキングユニット４の描画パターン生成部４０とマーキング位置補正部４５とを制御して、マーキング対象物１０上の所定の位置に所定の描画パターンがマーキングされるように、統括的な制御を行う。 Based on the signal output from the transport amount detector 22, the overall control unit 95 moves the X-axis slider 51 and the Y-axis slider 61 after the marking object 10 has moved from the current position (for example, how many pulses). If the movement is started, it is calculated whether the drawing pattern group can be marked at a predetermined position on the moving marking object 10.
Then, the overall control unit 95 refers to the current position information of the marking object 10 output from the conveyance amount detector 22 based on the calculation result, and the X-axis slider 51 and the Y-axis through the synchronous movement control unit 93. While controlling the slider 61, the drawing pattern generation unit 40 and the marking position correction unit 45 of the marking unit 4 are controlled through the marking position superposition control unit 91 to perform predetermined drawing at a predetermined position on the marking object 10. Take overall control so that the pattern is marked.

本発明にかかるマーキング装置１は、上述の様な構成をしているため、連続搬送されるマーキング対象物１０に対して、所定の描画パターンを、「位置ずれ」や「ぶれ」のない状態で連続的にマーキングすることができる。また、マーキング対象物１０を連続的に搬送させながらマーキングするため、間欠送りの場合に必要となる加減速時間や静止時間を省くことができ、生産性を上げることができる。   Since the marking device 1 according to the present invention has the above-described configuration, a predetermined drawing pattern can be applied to the marking object 10 that is continuously conveyed without any “positional deviation” or “blur”. Marking can be performed continuously. Further, since marking is performed while the marking object 10 is continuously conveyed, acceleration / deceleration time and stationary time required for intermittent feeding can be omitted, and productivity can be improved.

［フローチャート］
図４は、本発明を具現化する形態の一例を示すフロー図であり、マーキング対象物１０上に所定の描画パターンをマーキングするための一連のフローが、ステップ毎に示されている。 [flowchart]
FIG. 4 is a flowchart showing an example of a form embodying the present invention. A series of steps for marking a predetermined drawing pattern on the marking object 10 is shown step by step.

先ず、マーキング対象物１０を搬送部２のローラ２１にセットする（ｓ１０１）。次に、モータ２１ｍを回転させ、所定の速度でマーキング対象物１０を連続搬送させる（ｓ１０２）。そして、搬送量検出器２２から検出されたマーキング対象物１０の搬送量を検出する（ｓ１０４）。   First, the marking object 10 is set on the roller 21 of the transport unit 2 (s101). Next, the motor 21m is rotated to continuously convey the marking object 10 at a predetermined speed (s102). And the conveyance amount of the marking target object 10 detected from the conveyance amount detector 22 is detected (s104).

マーキング対象物１０を連続搬送させたまま、マーキングユニット第一移動部を用いて、マーキングユニット４を第一の方向に移動させる（ｓ１１１）。このステップｓ１０２からステップｓ１１１の一連のステップを、同期移動制御ステップ（ｓ１０）という。   While the marking object 10 is continuously conveyed, the marking unit 4 is moved in the first direction by using the marking unit first moving unit (s111). A series of steps from step s102 to step s111 is referred to as a synchronous movement control step (s10).

一方、マーキング対象物１０を連続搬送させたまま、マーキングユニット４を第一の方向に移動させながら、マーキングユニット第二移動部を用いて、マーキングユニット４を第二の方向に移動させる（ｓ１２１）。このとき、位置検出器６２からマーキングユニット４の第二の方向の位置を検出する（ｓ１２２）。そして、マーキングユニット４の第二の方向の位置に基づいて、ミラー４５の角度を調整する（ｓ１２３）。このとき、ミラー４５ｍの角度は、マーキング用光線２７を照射する位置を変更し、マーキング対象物１０上の同じ位置にマーキング用光線２７が照射されるように補正している。つまり、マーキングユニット４が移動する方向とは逆向きにマーキング用光線２７を照射する角度を変更し、ｙ方向の相対速度が無い状態となるように補正している。そのようにして、所定時間、同じ場所にマーキング用光線２７をマーキング対象物１０上に照射している（ｓ１２４）。   On the other hand, the marking unit 4 is moved in the second direction using the marking unit second moving unit while the marking unit 4 is moved in the first direction while the marking object 10 is continuously conveyed (s121). . At this time, the position of the marking unit 4 in the second direction is detected from the position detector 62 (s122). Then, the angle of the mirror 45 is adjusted based on the position of the marking unit 4 in the second direction (s123). At this time, the angle of the mirror 45m is corrected so that the marking light beam 27 is irradiated to the same position on the marking object 10 by changing the position where the marking light beam 27 is irradiated. That is, the angle at which the marking light beam 27 is irradiated is changed in the direction opposite to the direction in which the marking unit 4 moves, and correction is performed so that there is no relative speed in the y direction. In this way, the marking light beam 27 is irradiated onto the marking object 10 at the same place for a predetermined time (s124).

そして、一列の描画パターン群に対してマーキングが完了したかどうかを判断する（ｓ１２５）。ステップｓ１２５で、一列の描画パターン群に対してマーキングが完了していないと判断されれば、上記ステップｓ１２１〜ｓ１２５を繰り返す。一方、ステップｓ１２５で、一列の描画パターン群に対してマーキングが完了していると判断されれば、次のステップへ進む。このステップｓ１２１からステップｓ１２５までの一連のステップ（つまり、一列の描画パターン群を順次マーキングする動作）を、マーキング位置重ね合わせ制御ステップ（ｓ２０）という。   Then, it is determined whether or not marking has been completed for a line of drawing pattern groups (s125). If it is determined in step s125 that marking has not been completed for a line of drawing pattern groups, steps s121 to s125 are repeated. On the other hand, if it is determined in step s125 that marking has been completed for a line of drawing pattern groups, the process proceeds to the next step. A series of steps from step s121 to step s125 (that is, an operation of sequentially marking a line of drawing pattern groups) is referred to as a marking position superposition control step (s20).

そして、同期移動制御ステップ（ｓ１０）と、マーキング位置重ね合わせ制御ステップ（ｓ２０）とを連携させながら制御して、マーキング対象物１０が第一の方向に連続搬送されている間に、マーキング対象物上の第一の方向及び第二の方向の同じ位置に、マーキング用光線２７を所定時間照射する。   Then, while the synchronous movement control step (s10) and the marking position superposition control step (s20) are controlled in cooperation, the marking object 10 is continuously conveyed in the first direction. The marking light beam 27 is irradiated to the same position in the first direction and the second direction above for a predetermined time.

マーキングユニット４が第二の方向に移動し終われば、マーキングユニット４をｘ方向と逆向きに動かし、元のｘ位置に戻す（ｓ１３１）。そして、マーキングが終了したかどうかを判断し（ｓ１３２）、マーキングが終了していると判断されれば、一連のフローが完了する。一方、マーキングが終了していないと判断されれば、上述のステップｓ１０４以降の動作が繰り返し行われ、複数列の描画パターン群に対して繰り返しマーキングが行われる。   When the marking unit 4 finishes moving in the second direction, the marking unit 4 is moved in the direction opposite to the x direction and returned to the original x position (s131). Then, it is determined whether or not marking has been completed (s132). If it is determined that marking has been completed, a series of flows is completed. On the other hand, if it is determined that the marking is not completed, the operations after step s104 are repeatedly performed, and the marking is repeatedly performed on the drawing pattern group of a plurality of columns.

［マーキング例１］
図５は、本発明を具現化する形態の一例におけるマーキング例を示す平面図であり、マーキング対象物１０上に、所定の描画パターンが良好にマーキングされている様子が示されている。
マーキング対象物１０は、矢印１０ｖに示す方向に、所定の速度ＶＳで搬送されており、
マーキングユニット４は、矢印４０ｖ１に示す方向に相対移動しながら、マーキング対象物１０上の所定の位置に、描画パターン１７ａ〜１７ｄを順次マーキングする。
その後、マーキングユニット４は、矢印４０ｖ２に示す方向に相対移動しながら、マーキング対象物１０上の所定の位置に、描画パターン１７ｅ〜１７ｈを順次マーキングする。 [Marking example 1]
FIG. 5 is a plan view showing an example of marking in an example embodying the present invention, and shows a state in which a predetermined drawing pattern is well marked on the marking object 10.
The marking object 10 is conveyed at a predetermined speed VS in the direction indicated by the arrow 10v.
The marking unit 4 sequentially marks the drawing patterns 17a to 17d at predetermined positions on the marking object 10 while relatively moving in the direction indicated by the arrow 40v1.
Thereafter, the marking unit 4 sequentially marks the drawing patterns 17e to 17h at predetermined positions on the marking object 10 while relatively moving in the direction indicated by the arrow 40v2.

なお、１７ａ〜１７ｄを一列の描画パターン群、１７ｅ〜１７ｈを次の一列の描画パターン群とし、これらの列の間隔を、送りピッチＰＸと呼ぶ。つまり、一列の描画パターン群は、順次マーキングされるが、その動作が繰り返し行われ、送りピッチＰＸ毎に、順次マーキングが繰り返し行われる。
また、一列の描画パターン群の両端（１７ａと１７ｄ）の描画パターンの間隔や、次の一列の描画パターン群の両端（１７ｅと１７ｈ）の描画パターンの間隔は、第二の方向に順次マーキングされる最初の描画パターンと最後の描画パターンとの間隔であり、両端ピッチＬＹと呼ぶ。 Note that 17a to 17d are a row of drawing pattern groups, and 17e to 17h are the next row of drawing pattern groups, and the interval between these rows is called a feed pitch PX. That is, although a line of drawing pattern groups is sequentially marked, the operation is repeatedly performed, and the marking is sequentially repeated for each feed pitch PX.
In addition, the interval between the drawing patterns at both ends (17a and 17d) of the drawing pattern group in one row and the drawing pattern interval at both ends (17e and 17h) in the next drawing pattern group are sequentially marked in the second direction. The interval between the first drawing pattern and the last drawing pattern is called an end pitch LY.

このとき、マーキングユニット４のマーキング可能エリアの中心位置に着目し、当該中心位置が、前記描画パターン１７ａ〜１７ｈをマーキングする際に通過した軌跡（以下、マーキングユニットの動作軌跡と呼ぶ）を、破線４０ｋとして、図に示す。
以下、マーキングユニット４の当該中心位置について、Ｘ軸スライダー５１，Ｙ軸スライダー６１などの動作と併せて説明をする。なお、ｙ方向の矢印の方向を往路、その逆方向を復路と呼ぶ。 At this time, paying attention to the center position of the markable area of the marking unit 4, the locus that the center position has passed when marking the drawing patterns 17 a to 17 h (hereinafter, referred to as the operation locus of the marking unit) is a broken line. It is shown in the figure as 40k.
Hereinafter, the center position of the marking unit 4 will be described together with the operations of the X-axis slider 51, the Y-axis slider 61, and the like. The direction of the arrow in the y direction is called the forward path, and the opposite direction is called the backward path.

最初、マーキング開始前の当該中心位置は、往路マーキング前待機位置４８ｚ１にある。
その後、Ｘ軸スライダー５１とＹ軸スライダー６１が移動し、矢印４８ｖ１で示す方向に移動する。
その後、地点４８ａの前後で描画パターン１７ａが、地点４８ｂの前後で描画パターン１７ｂが、地点４８ｃの前後で描画パターン１７ｃが、地点４８ｄの前後で描画パターン１７ｄが、描画される。
その後、Ｘ軸スライダー５１とＹ軸スライダーが減速し、往路マーキング後停止位置４８ｚ２で停止する。
その後、Ｘ軸スライダー５１が矢印４８ｖ２で示す方向に移動し、復路マーキング前待機位置４８ｚ３で停止する。
その後、Ｘ軸スライダー５１とＹ軸スライダー６１が矢印４８ｖ３で示す方向に移動する。その後、地点４８ｅの前後で描画パターン１７ｅが、地点４８ｆの前後で描画パターン１７ｆが、地点４８ｇの前後で描画パターン１７ｇが、地点４８ｈの前後で描画パターン１７ｈが、マーキングされる。
その後、Ｘ軸スライダー５１とＹ軸スライダーが減速し、復路マーキング後停止位置４８ｚ４で停止する。
その後、Ｘ軸スライダー５１が矢印４８ｖ４で示す方向に移動し、往路マーキング前待機位置４８ｚ５で停止する。
その後、再びＸ軸スライダー５１とＹ軸スライダー６１が移動し、矢印４８ｖ１で示す方向に移動し、上記と同様の動作が繰り返される。このような動作を繰り返すことで、マーキングユニット４は、図５に示す破線４０ｋのような軌跡を描きながら、所定の位置に描画パターンをマーキングする。 Initially, the center position before the start of marking is at the waiting position 48z1 before forward marking.
Thereafter, the X-axis slider 51 and the Y-axis slider 61 move and move in the direction indicated by the arrow 48v1.
Thereafter, the drawing pattern 17a is drawn before and after the point 48a, the drawing pattern 17b before and after the point 48b, the drawing pattern 17c before and after the point 48c, and the drawing pattern 17d before and after the point 48d.
Thereafter, the X-axis slider 51 and the Y-axis slider decelerate and stop at the stop position 48z2 after forward marking.
Thereafter, the X-axis slider 51 moves in the direction indicated by the arrow 48v2 and stops at the standby position 48z3 before return marking.
Thereafter, the X-axis slider 51 and the Y-axis slider 61 move in the direction indicated by the arrow 48v3. Thereafter, the drawing pattern 17e is marked before and after the point 48e, the drawing pattern 17f before and after the point 48f, the drawing pattern 17g before and after the point 48g, and the drawing pattern 17h before and after the point 48h.
Thereafter, the X-axis slider 51 and the Y-axis slider decelerate and stop at the stop position 48z4 after return path marking.
Thereafter, the X-axis slider 51 moves in the direction indicated by the arrow 48v4 and stops at the standby position 48z5 before forward marking.
Thereafter, the X-axis slider 51 and the Y-axis slider 61 move again and move in the direction indicated by the arrow 48v1, and the same operation as described above is repeated. By repeating such an operation, the marking unit 4 marks a drawing pattern at a predetermined position while drawing a locus like a broken line 40k shown in FIG.

［マーキング例２］
上述説明では、Ｘ軸スライダー５１、Ｙ軸スライダー６１の双方が停止後に、Ｘ軸スライダー５１が戻る形態について説明した。しかし、時間短縮のためにマーキング位置通過後に、Ｙ軸スライダー６１が減速中に、Ｘ軸スライダー５１が減速完了後、すぐに逆方向に移動を開始する場合もある。この場合、前記マーキング可能エリアの中心位置は、図５を用いて説明した前記位置４８ｚ２，４８ｚ４には到達せず、異なる軌跡で移動する。 [Marking example 2]
In the above description, the configuration in which the X-axis slider 51 returns after both the X-axis slider 51 and the Y-axis slider 61 are stopped has been described. However, in order to shorten the time, the Y-axis slider 61 may start moving in the reverse direction immediately after the Y-axis slider 61 is decelerating and the X-axis slider 51 is decelerated after the marking position. In this case, the center position of the markable area does not reach the positions 48z2 and 48z4 described with reference to FIG.

図６は、本発明を具現化する形態の別の一例におけるマーキング例を示す平面図であり、図５と異なる軌跡で移動する例が、図６（ａ）に示されている。   FIG. 6 is a plan view showing an example of marking in another example of a form embodying the present invention, and an example of movement along a locus different from FIG. 5 is shown in FIG.

図６（ａ）に示す形態の場合、マーキングユニット４は、地点４８ｄの前後で描画パターン１７ｄをマーキングするまでは、図５を用いて上述した形態と同じ動きであり、Ｘ軸スライダー５１とＹ軸スライダー６１は、描画パターン１７ｄをマーキングした後に減速を開始する。
しかし、Ｘ軸スライダー５１は、停止後直ぐに、復路マーキング前待機位置４８ｚ３に向かって移動を開始し、その移動中に、Ｙ軸スライダー６１が停止状態となる。
その後、Ｘ軸スライダー５１、Ｙ軸スライダー６１は、復路マーキング前待機位置４８ｚ３で停止状態となる。 In the case of the form shown in FIG. 6A, the marking unit 4 operates in the same manner as the form described above with reference to FIG. 5 until the drawing pattern 17d is marked before and after the point 48d. The axis slider 61 starts decelerating after marking the drawing pattern 17d.
However, the X-axis slider 51 starts moving toward the standby position 48z3 before the return marking immediately after the stop, and the Y-axis slider 61 is stopped during the movement.
Thereafter, the X-axis slider 51 and the Y-axis slider 61 are stopped at the standby position 48z3 before return path marking.

その後、マーキングユニット４は、再び図５を用いて上述した形態と同じ動きで、描画パターン１７ｅ〜１７ｈをマーキングする。そして、Ｘ軸スライダー５１とＹ軸スライダー６１は、描画パターン１７ｅをマーキングした後に減速を開始する。
しかし、Ｘ軸スライダー５１は、停止後直ぐに、復路マーキング前待機位置４８ｚ５に向かって移動を開始し、その移動中に、Ｙ軸スライダー６１が停止状態となる。
その後、Ｘ軸スライダー５１、Ｙ軸スライダー６１は、往路マーキング前待機位置４８ｚ５で停止状態となる。
上述の動作を繰り返すことで、マーキングユニット４は、図６（ａ）に示す破線４０ｋ１のような軌跡を描きながら、所定の位置に描画パターンをマーキングする。 Thereafter, the marking unit 4 again marks the drawing patterns 17e to 17h with the same movement as described above with reference to FIG. Then, the X-axis slider 51 and the Y-axis slider 61 start decelerating after marking the drawing pattern 17e.
However, immediately after the stop, the X-axis slider 51 starts moving toward the standby position 48z5 before return marking, and the Y-axis slider 61 is stopped during the movement.
Thereafter, the X-axis slider 51 and the Y-axis slider 61 are stopped at the standby position 48z5 before the forward marking.
By repeating the above-described operation, the marking unit 4 marks a drawing pattern at a predetermined position while drawing a locus like a broken line 40k1 shown in FIG.

［マーキング例３］
図６（ｂ）には、マーキングユニット４の前記中心位置が、図５，図６（ａ）と異なる軌跡で移動する例が示されている。
この形態では、Ｙ軸スライダー６１が停止状態となった後、Ｘ軸スライダー５１が停止する前に、Ｙ軸スライダー６１は、次の列のマーキングをするために移動し始める。
上述の動作を繰り返すことで、マーキングユニット４は、図６（ｂ）に示す破線４０ｋ２のような軌跡を描きながら、所定の位置に描画パターンをマーキングする。 [Marking example 3]
FIG. 6B shows an example in which the center position of the marking unit 4 moves along a different locus from that in FIGS. 5 and 6A.
In this embodiment, after the Y-axis slider 61 is stopped, before the X-axis slider 51 stops, the Y-axis slider 61 starts to move for marking the next row.
By repeating the above-described operation, the marking unit 4 marks a drawing pattern at a predetermined position while drawing a locus like a broken line 40k2 shown in FIG.

［アライメント］
マーキング対象物１０上に予め準備されているマーキング用エリアの配列は、ｘ方向やｙ方向にずれている場合がある。これは、前工程で形成される主回路パターンなどが、マーキング対象物の搬送速度方向や幅方向に位置ずれした状態で、形成されてしまったためである。このように位置ずれしたマーキング用エリアの配列に対しても、所定の場所にマーキングすることが求められる。そのため、マーキング装置１は、さらにマーク撮像部７と、描画予定位置登録部９４と、マーク位置検出部９７とを含んで構成することが好ましい。 [alignment]
The arrangement of the marking areas prepared in advance on the marking object 10 may be shifted in the x direction or the y direction. This is because the main circuit pattern or the like formed in the previous process has been formed in a state of being displaced in the conveyance speed direction or the width direction of the marking object. It is required to mark a predetermined place even for the arrangement of the marking areas that are displaced in this way. Therefore, it is preferable that the marking device 1 further includes a mark imaging unit 7, a scheduled drawing position registration unit 94, and a mark position detection unit 97.

マーク撮像部７は、マーキング対象物１０に付与された、位置決め基準用マークを撮像するものである。具体的には、マーク撮像部７は、撮像カメラ７１、レンズ、照明などで構成し、図１に示すような場所に配置することができる。   The mark imaging unit 7 images the positioning reference mark given to the marking object 10. Specifically, the mark imaging unit 7 includes an imaging camera 71, a lens, illumination, and the like, and can be arranged at a place as shown in FIG.

描画予定位置登録部９４は、マーキング対象物１０上の、位置決め基準用マークの位置に対するマーキングすべき描画パターンの相対位置を、マーキング予定位置として登録しておくものである。   The planned drawing position registration unit 94 registers the relative position of the drawing pattern to be marked with respect to the position of the positioning reference mark on the marking object 10 as the planned marking position.

マーク位置検出部９７は、マーク撮像部７で撮像された前記位置決め基準用マークの位置情報を検出するものである。具体的には、マーク位置検出部９７は、市販の画像処理ユニットを用い、当該画像処理ユニットの実行プログラムにおける処理ブロックにて構成することができ、マーク観察部７の視野内のどの位置に当該マークの中心位置又は基準位置があるか、画像処理を行って検出する。さらに、図３に示すように、マーク位置検出部９７は、統括制御部９５と接続して用い、検出された前記位置決め基準用マークの位置情報を、統括制御部９５に出力する。   The mark position detection unit 97 detects position information of the positioning reference mark imaged by the mark imaging unit 7. Specifically, the mark position detecting unit 97 can be configured by a processing block in an execution program of the image processing unit using a commercially available image processing unit, and at any position in the visual field of the mark observing unit 7 Whether the center position or the reference position of the mark is present is detected by performing image processing. Further, as shown in FIG. 3, the mark position detection unit 97 is used in connection with the overall control unit 95, and outputs the detected position information of the positioning reference mark to the overall control unit 95.

統括制御部９５は、予め登録された、撮像カメラ７１とマーキングユニット４の間隔（つまり、ｘ方向の距離と、ｙ方向の距離）と、検出された前記位置決め基準用マークの位置情報に基づいて、マーキング対象物１０上のどの位置にマーキングすべきかを演算し、その演算結果に基づいて、マーキング位置重ね合わせ制御部９１と、同期移動制御部９３とを制御して、所定の位置にマーキングを行う。   The overall control unit 95 is based on the pre-registered distance between the imaging camera 71 and the marking unit 4 (that is, the distance in the x direction and the distance in the y direction) and the detected position information of the positioning reference mark. , The position on the marking object 10 to be marked is calculated, and the marking position superposition control unit 91 and the synchronous movement control unit 93 are controlled based on the calculation result to mark the predetermined position. Do.

そうすることで、本発明にかかるマーキング装置及び方法により、マーキング対象物１０上に予め準備されているマーキング用エリアの配列が、ｘ方向やｙ方向にずれていても、所定の場所にマーキングすることができる。   By doing so, with the marking device and method according to the present invention, even if the arrangement of the marking areas prepared in advance on the marking object 10 is shifted in the x direction or the y direction, the marking is performed at a predetermined place. be able to.

［マーキング位置シフト機能］
マーキング対象物１０上に予め準備されているマーキング用エリアの配列が、ｘ方向及びｙ方向のずれのみならず、ローテート（いわゆる、θずれ）している場合がある。ここで、θ方向とは、ｚ方向を回転中心とた回転方向（紙面に向かって時計回り）をいい、θずれとは、図７に示すような例が示される。 [Marking position shift function]
The arrangement of marking areas prepared in advance on the marking object 10 may be rotated (so-called θ deviation) as well as deviation in the x direction and y direction. Here, the θ direction refers to the rotation direction (clockwise toward the paper surface) with the z direction as the center of rotation, and the θ shift is an example as shown in FIG.

図７は、本発明を具現化する形態のさらに別の一例におけるマーキング例を示す平面図であり、前記θずれが無い場合の配置として設定し、登録された、破線で示すマーキング用エリア１９ａ〜１９ｄ，１９ｅ〜１９ｈと、それらに対応する位置決め基準用マーク７６ａ，７７ａが図示されている。そして、実際のマーキング対象物１０上に付された位置決め基準用マーク７６ａ’，７７ａ’を撮像し、位置情報と角度情報とから、実際にマーキングすべきエリア１９ａ’〜１９ｄ’，１９ｅ’〜１９ｈ’の位置を演算し、一連のマーキング動作を行う。   FIG. 7 is a plan view showing a marking example in yet another example of the embodiment embodying the present invention, and is set as an arrangement when there is no θ deviation and registered marking areas 19a to 19d indicated by broken lines 19d and 19e to 19h and positioning reference marks 76a and 77a corresponding to them are shown. Then, the positioning reference marks 76a ′ and 77a ′ attached on the actual marking object 10 are imaged, and the areas 19a ′ to 19d ′ and 19e ′ to 19h to be actually marked are determined from the position information and the angle information. Calculate the position of 'and perform a series of marking operations.

このとき、矢印４０ｖ１’，４０ｖ２’の方向にマーキングユニット４を相対移動させてしまうと、マーキング対象物１０とマーキングユニット４との間に、ｘ方向の相対移動速度が発生してしまう。この状態で一連のマーキング動作を行うと、マーキングされる描画パターンは、所定の位置に「位置ずれ」なくマーキングされるが、搬送方向の相対移動速度に起因する「ぶれ」のある状態でマーキングされるおそれがある。   At this time, if the marking unit 4 is relatively moved in the directions of the arrows 40 v 1 ′ and 40 v 2 ′, a relative movement speed in the x direction is generated between the marking object 10 and the marking unit 4. When a series of marking operations are performed in this state, the marking pattern to be marked is marked at a predetermined position without any "positional deviation", but is marked with "blurring" due to the relative movement speed in the transport direction. There is a risk.

そのために、本発明にかかるマーキング装置１は、マーク角度検出部９８と、マーキング位置シフト機能とをさらに備えて構成することが好ましい。
マーク角度検出部９８は、マーク撮像部で撮像された前記位置決め基準用マークの角度情報を検出するものであり、位置決め基準用マークの形状や特徴点を抽出して、角度情報を取得するものである。
具体的には、マーク角度検出部９８は、マーク位置検出部９７を構成する画像処理ユニットと共通の機器を用い、当該画像処理ユニットの実行プログラムにおける処理ブロックにて構成することができる。当該画像処理ユニットでは、撮像カメラ７１で撮像されたマークの、位置や角度を検出することができるように、当該処理ブロックが構成されている。 Therefore, it is preferable that the marking device 1 according to the present invention further includes a mark angle detection unit 98 and a marking position shift function.
The mark angle detection unit 98 detects angle information of the positioning reference mark imaged by the mark imaging unit, and acquires the angle information by extracting the shape and feature points of the positioning reference mark. is there.
Specifically, the mark angle detection unit 98 can be configured by a processing block in an execution program of the image processing unit using the same device as the image processing unit configuring the mark position detection unit 97. In the image processing unit, the processing block is configured so that the position and angle of the mark imaged by the imaging camera 71 can be detected.

マーク位置検出部９７で検出された位置決め基準用マークの位置情報と、マーク角度検出部９８で検出された位置決め基準用マークの角度情報は、統括制御部９５へ出力される。   Position information of the positioning reference mark detected by the mark position detection unit 97 and angle information of the positioning reference mark detected by the mark angle detection unit 98 are output to the overall control unit 95.

マーキング位置シフト機能は、予め設定登録されたマーキング予定位置に対して、マーキング用光線を照射する位置を所定の方向に所定量シフトさせて照射するものである。
具体的には、マーキングユニット４は、マーキング対象物１０に対して矢印４０ｖ１，４０ｖ２の方向に相対移動するものとし、ｘ方向の相対移動速度が無い状態で、一連のマーキング動作を行う。このとき、統括制御部９５は、マーク撮像部７の撮像カメラ７１とマーキングユニット４との間隔と、マーク位置検出部９７で検出された位置決め基準用マークの位置情報と、マーク角度検出部９８で検出された位置決め基準用マークの角度情報に基づいて、描画パターン毎に前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向にシフトさせる所定量を決定し、当該シフトさせる所定量をマーキングユニット４に出力する。そして、実際に描画パターンをマーキングする際のＹ軸スライダー６１の位置情報に基づいて、描画パターン毎に前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向（ｘ方向、ｙ方向の一方或いは双方）に所定量シフトさせるとともに、マーキング位置重ね合わせ制御部９１と、前記同期移動制御部９３と制御し、一連のマーキング動作を行う。 The marking position shift function irradiates the marking target position set and registered in advance by shifting the position where the marking light beam is irradiated by a predetermined amount in a predetermined direction.
Specifically, the marking unit 4 is assumed to move relative to the marking object 10 in the directions of arrows 40v1 and 40v2, and performs a series of marking operations without a relative movement speed in the x direction. At this time, the overall control unit 95 uses the interval between the imaging camera 71 of the mark imaging unit 7 and the marking unit 4, the position information of the positioning reference mark detected by the mark position detection unit 97, and the mark angle detection unit 98. Based on the detected angle information of the positioning reference mark, a predetermined amount for shifting the marking light irradiation position in a predetermined direction is determined for each drawing pattern, and the predetermined amount to be shifted is output to the marking unit 4 To do. Then, based on the positional information of the Y-axis slider 61 when actually marking the drawing pattern, the position where the marking light beam is irradiated for each drawing pattern is set in a predetermined direction (one or both of the x direction and the y direction). While shifting by a predetermined amount, the marking position superposition control unit 91 and the synchronous movement control unit 93 are controlled to perform a series of marking operations.

そうすることで、θずれに起因して、予め設定されるマーキング用エリアが、Ｘ方向，Ｙ方向の一方又は双方に位置ずれしていたとしても、所定のエリア内に整列させた「位置ずれ」も「ぶれ」もない状態で、所定の場所にマトリクス状に整列させた状態で描画パターンをマーキングすることができる。   By doing so, even if the marking area set in advance is displaced in one or both of the X direction and the Y direction due to the θ deviation, It is possible to mark a drawing pattern in a state of being arranged in a matrix at a predetermined place without any “” or “blur”.

［２マークアライメント］
前述では一列の描画コード群をマーキングするために、対応する１つのマークを撮像してアライメントする形態を述べた。１つのアライメントマークを撮像する場合、θずれの角度が検出しづらい。 [2-mark alignment]
In the above description, an embodiment has been described in which a single corresponding mark is imaged and aligned in order to mark a line of drawing code groups. When imaging one alignment mark, it is difficult to detect the angle of θ deviation.

そのために、本発明にかかるマーキング装置１は、マーキング対象物に予め付与された複数の位置決め基準用マークを撮像するマーク撮像部と、複数のマーク位置に基づく角度検出部９８ｂと、マーキング位置シフト機能とをさらに備え、前記θずれを補正するように構成することが好ましい。   Therefore, the marking device 1 according to the present invention includes a mark imaging unit that images a plurality of positioning reference marks previously given to a marking object, an angle detection unit 98b based on a plurality of mark positions, and a marking position shift function. It is preferable that the above-described θ deviation is corrected.

２マークアライメントに用いるマーク撮像部７は、図１に示すように、複数の撮像カメラ７１，７２を用いて構成する。或いは、マーク撮像部７は、それ以外の形態でも良く、１つの撮像カメラ７１を用いて、複数の位置決め基準用マークを観察し、それぞれの撮像位置情報を取得する形態でも良い。
例えば、図７を用いて説明すると、マーキング用エリア１９ａ〜１９ｄに対しては、位置決め基準用マーク７６ａ，７６ｂを設定し、マーキング用エリア１９ｅ〜１９ｈに対しては、位置決め基準用マーク７７ａ，７７ｂを設定しておく。 As shown in FIG. 1, the mark imaging unit 7 used for two-mark alignment is configured using a plurality of imaging cameras 71 and 72. Alternatively, the mark imaging unit 7 may have other forms, or may use a single imaging camera 71 to observe a plurality of positioning reference marks and acquire respective imaging position information.
For example, referring to FIG. 7, positioning reference marks 76a and 76b are set for the marking areas 19a to 19d, and positioning reference marks 77a and 77b are set for the marking areas 19e to 19h. Is set in advance.

２マークアライメントの場合、描画予定位置登録部９４には、マーキング対象物１０上の、複数の位置決め基準用マーク位置に対応するマーキングすべき描画パターンの相対位置を、マーキング予定位置として設定し、登録しておく。   In the case of two-mark alignment, the drawing position registration unit 94 sets and registers the relative positions of the drawing patterns to be marked on the marking object 10 corresponding to a plurality of positioning reference mark positions as the marking positions. Keep it.

マーク位置検出部９７は、マーク撮像部７の撮像カメラ７１，７２とマーキングユニット４との間隔と、前記撮像された複数の位置決め基準用マークの撮像位置情報を検出し、複数のマーク位置に基づく角度検出部９８ｂに当該位置情報を出力する。   The mark position detection unit 97 detects the interval between the imaging cameras 71 and 72 of the mark imaging unit 7 and the marking unit 4 and the imaging position information of the plurality of positioning reference marks, and based on the plurality of mark positions. The position information is output to the angle detection unit 98b.

複数のマーク位置に基づく角度検出部９８ｂは、マーク撮像部７で撮像された複数の位置決め基準用マークの位置情報に基づいて、角度情報を取得するものである。
具体的には、マーク角度検出部９８ｂは、マーク位置検出部９７を構成する画像処理ユニットと共通の機器を用い、当該画像処理ユニットの実行プログラムにおける処理ブロックにて構成することができる。 The angle detection unit 98b based on the plurality of mark positions acquires angle information based on the position information of the plurality of positioning reference marks imaged by the mark imaging unit 7.
Specifically, the mark angle detection unit 98b can be configured by a processing block in an execution program of the image processing unit using the same device as the image processing unit configuring the mark position detection unit 97.

当該画像処理ユニットでは、撮像カメラ７１，７２で撮像された複数のマークの位置情報を、複数のマーク位置に基づく角度検出部９８ｂに出力する。そして、複数のマーク位置に基づく角度検出部９８ｂは、当該複数のマークの位置情報に基づいて、角度を検出するための演算が行われるように当該処理ブロックが構成されている。マーク位置検出部９７で検出された位置決め基準用マークの位置情報と、複数のマーク位置に基づく角度検出部９８ｂで検出された位置決め基準用マークの角度情報とは、統括制御部９５へ出力される。   In the image processing unit, position information of a plurality of marks captured by the imaging cameras 71 and 72 is output to the angle detection unit 98b based on the plurality of mark positions. Then, the processing block is configured such that the angle detection unit 98b based on the plurality of mark positions performs calculations for detecting angles based on the position information of the plurality of marks. Position information of the positioning reference mark detected by the mark position detection unit 97 and angle information of the positioning reference mark detected by the angle detection unit 98b based on the plurality of mark positions are output to the overall control unit 95. .

マーキング位置シフト機能は、予め設定登録されたマーキング予定位置に対して、マーキング用光線を照射する位置を所定の方向に所定量シフトさせて照射するものである。
具体的には、マーキングユニット４は、マーキング対象物１０に対して矢印４０ｖ１，４０ｖ２の方向に相対移動するものとし、ｘ方向の相対移動速度が無い状態で、一連のマーキング動作を行う。このとき、統括制御部９５は、マーク撮像部７の撮像カメラ７１，７２とマーキングユニット４との間隔と、マーク位置検出部９７で検出された位置決め基準用マークの位置情報と、複数のマーク位置に基づく角度検出部９８ｂで検出された位置決め基準用マークの角度情報に基づいて、描画パターン毎に前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向にシフトさせる所定量を決定し、当該シフトさせる所定量をマーキングユニット４に出力する。そして、実際に描画パターンをマーキングする際のＹ軸スライダー６１の位置情報に基づいて、描画パターン毎に前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向（ｘ方向、ｙ方向の一方或いは双方）に所定量シフトさせるとともに、マーキング位置重ね合わせ制御部９１と、前記同期移動制御部９３と制御し、一連のマーキング動作を行う。 The marking position shift function irradiates the marking target position set and registered in advance by shifting the position where the marking light beam is irradiated by a predetermined amount in a predetermined direction.
Specifically, the marking unit 4 is assumed to move relative to the marking object 10 in the directions of arrows 40v1 and 40v2, and performs a series of marking operations without a relative movement speed in the x direction. At this time, the overall control unit 95 includes the interval between the imaging cameras 71 and 72 of the mark imaging unit 7 and the marking unit 4, the position information of the positioning reference mark detected by the mark position detection unit 97, and a plurality of mark positions. A predetermined amount for shifting the position where the marking light beam is irradiated in a predetermined direction is determined for each drawing pattern based on the angle information of the positioning reference mark detected by the angle detection unit 98b based on The fixed amount is output to the marking unit 4. Then, based on the positional information of the Y-axis slider 61 when actually marking the drawing pattern, the position where the marking light beam is irradiated for each drawing pattern is set in a predetermined direction (one or both of the x and y directions). While shifting by a predetermined amount, the marking position superposition control unit 91 and the synchronous movement control unit 93 are controlled to perform a series of marking operations.

そうすることで、マーキング対象物１０上に予め準備されている、マーキング用エリアが、θ方向に位置ずれした状態であっても、離れた位置にある複数の位置決め基準用マークを観察するので、θずれの補正精度を高めることができる。   By doing so, even if the marking area prepared in advance on the marking object 10 is in a state shifted in the θ direction, a plurality of positioning reference marks at a distant position are observed. The correction accuracy of θ deviation can be improved.

［搬送速度許容値計算］
生産性を上げるために、マーキング対象物１０を第一の方向に連続搬送する搬送速度ＶＳをなるべく速くすることが求められる。しかし、マーキング対象物の搬送速度ＶＳを上げすぎると、Ｘ軸スライダー５１の繰り返し動作やＹ軸スライダー６１の動作が間に合わず、所定の位置にマーキングできないおそれがある。例えば、以下のケースに示すような状態が例示できる。
（ケース１）送りピッチＰＸが狭く、一列の描画パターンをマーキングするためにＹ軸スライダー６１が往路又は復路を移動する間に、次のマーキング位置が過ぎてしまう。
（ケース２）送りピッチＰＸが狭く、一列の描画パターンをマーキングするためにＸ軸スライダー５１が往復移動する間に、次のマーキング位置が過ぎてしまう。 [Calculation of allowable transport speed]
In order to increase productivity, it is required to increase the conveying speed VS for continuously conveying the marking object 10 in the first direction as much as possible. However, if the conveying speed VS of the marking object is increased too much, the repetitive operation of the X-axis slider 51 and the operation of the Y-axis slider 61 may not be in time, and there is a possibility that marking cannot be performed at a predetermined position. For example, a state as shown in the following case can be exemplified.
(Case 1) The feed pitch PX is narrow, and the next marking position passes while the Y-axis slider 61 moves in the forward path or the return path in order to mark a line of drawing patterns.
(Case 2) The feed pitch PX is narrow, and the next marking position passes while the X-axis slider 51 reciprocates to mark a line of drawing patterns.

このような状態になることを防ぎ、なるべく早い搬送速度ＶＳで運用するためには、搬送速度ＶＳは、Ｘ軸スライダー５１の繰り返し動作やＹ軸スライダー６１の動作が確実に行える、搬送速度の許容値を算出し、その値に設定する必要がある。   In order to prevent such a situation from occurring and to operate at a transport speed VS as fast as possible, the transport speed VS can reliably perform the repetitive operation of the X-axis slider 51 and the operation of the Y-axis slider 61. A value needs to be calculated and set to that value.

そのため、本発明にかかるマーキング装置１は、搬送速度の許容値を算出する、搬送速度演算部９９をさらに含んで構成することが好ましい。
搬送速度演算部９９は、送りピッチＰＸと、両端ピッチＬＹと、
Ｙ軸スライダー６１が一列の描画パターン群を順次マーキングするために要する時間と、
Ｘ軸スライダー５１が一列の描画パターン群を繰り返しマーキングするために要する（つまり、往復移動のための）時間と
に基づいて前記搬送部の搬送速度の許容値を算出するものである。 Therefore, it is preferable that the marking device 1 according to the present invention further includes a conveyance speed calculation unit 99 that calculates an allowable value of the conveyance speed.
The conveyance speed calculation unit 99 includes a feed pitch PX, a both-end pitch LY,
The time required for the Y-axis slider 61 to sequentially mark a line of drawing patterns;
Based on the time required for the X-axis slider 51 to repeatedly mark a line of drawing pattern groups (that is, for reciprocal movement), an allowable value of the conveyance speed of the conveyance unit is calculated.

さらに統括制御部９５は、
当該算出された搬送速度の許容値を、搬送部の搬送速度ＶＳとして設定し、複数配列して登録されたマーキング予定位置に基づいて、マーキング対象物１０を連続搬送させながら、
マーキング位置重ね合わせ制御部９１と、同期移動制御部９３とを制御して、複数配列して登録された描画パターンを、繰り返しマーキングを行うものである。 Furthermore, the general control unit 95
While setting the permissible value of the calculated transport speed as the transport speed VS of the transport unit, while continuously transporting the marking object 10 based on the marking planned positions that are registered in a plurality,
The marking position superposition control unit 91 and the synchronous movement control unit 93 are controlled to repeatedly mark a plurality of drawn and registered drawing patterns.

具体的には、搬送速度演算部９９では、以下の手順で前記搬送部の搬送速度の許容値が算出される。
図８は、本発明を具現化する形態の別の一例を示すフロー図であり、マーキング対象物１０上に所定の描画パターンを繰り返しマーキングするための、搬送速度の許容値を算出する一連のフローが、ステップ毎に示されている。 Specifically, the transport speed calculation unit 99 calculates an allowable value of the transport speed of the transport unit in the following procedure.
FIG. 8 is a flowchart showing another example of a form embodying the present invention, and a series of flows for calculating an allowable value of the conveyance speed for repeatedly marking a predetermined drawing pattern on the marking object 10. Is shown step by step.

先ず、仮の搬送速度Ｖｐを設定する（ｓ２０１）。
次に、送りピッチＰＸと、仮の搬送速度Ｖｐから、繰り返しマーキングに費やせる時間ＴＳを算出する（ｓ２０２）。この時間ＴＳは、繰り返しマーキングのインターバル時間（いわゆる、タクトタイム）となり、この時間毎に繰り返しマーキング動作が実行される。
次に、マーキングユニット４が一列の描画パターン群を順次マーキングするために必要な時間ＴＹを算出する（ｓ２０３）。この時間ＴＹは、Ｙ軸スライダー６１が停止状態から加速し、等速移動し、減速し、停止するまでの合計時間である。 First, a temporary transport speed Vp is set (s201).
Next, a time TS that can be repeatedly used for marking is calculated from the feed pitch PX and the provisional conveyance speed Vp (s202). This time TS becomes an interval time (so-called tact time) of repeated marking, and the repeated marking operation is executed every this time.
Next, a time TY required for the marking unit 4 to sequentially mark a line of drawing pattern groups is calculated (s203). This time TY is the total time from when the Y-axis slider 61 accelerates from the stopped state, moves at a constant speed, decelerates, and stops.

併せて、マーキングユニット４が一列の描画パターン群を繰り返しマーキングするために必要な時間ＴＸを算出する（ｓ２０４）。この時間ＴＸは、Ｘ軸スライダー５１が停止状態から加速し、等速移動し、減速し、停止するまでの合計時間ＴＸ１と、元の位置に戻るための時間ＴＸ２とを合算した時間となる。   At the same time, the time TX required for the marking unit 4 to repeatedly mark a line of drawing pattern groups is calculated (s204). This time TX is the sum of the total time TX1 until the X-axis slider 51 accelerates from the stopped state, moves at a constant speed, decelerates, and stops and the time TX2 for returning to the original position.

次に、上記ステップで算出した時間ＴＸ，ＴＹが、前記時間ＴＳより小さいかどうかを比較し、インターバル時間内に各マーキング動作が完了するかどうかを判断する（ｓ２０５）。   Next, it is compared whether or not the times TX and TY calculated in the above steps are smaller than the time TS, and it is determined whether or not each marking operation is completed within the interval time (s205).

そして、ステップｓ２０５で、前記時間ＴＸ，ＴＹが、前記時間ＴＳより小さいと判断されれば、その時の仮の搬送速度Ｖｐの値を、搬送速度の許容値とし、実際の搬送速度ＶＳとして設定する。   If it is determined in step s205 that the times TX and TY are smaller than the time TS, the value of the temporary transport speed Vp at that time is set as an allowable transport speed and set as the actual transport speed VS. .

一方、前記時間ＴＸ，ＴＹのいずれかが前記時間ＴＳより大きいと判断されれば、仮の搬送速度Ｖｐを小さい値に変更し（ｓ２１１）、前記ステップｓ２０２〜ｓ２０５を繰り返す。   On the other hand, if it is determined that one of the times TX and TY is greater than the time TS, the temporary transport speed Vp is changed to a small value (s211), and the steps s202 to s205 are repeated.

図９は、本発明を具現化する形態の別の一例におけるタイムチャート図である。図９は、横軸を時間ｔとし、縦軸をＹ軸スライダー６１の速度、Ｘ軸スライダー５１の速度とし、マーキングユニット４のマーキング可能エリアの中心位置が図６（ａ）に示す軌跡を描くように移動する場合の、Ｙ軸スライダー６１の動作と、Ｘ軸スライダー５１の動作が示されている。図９に示すタイムチャートは、図６（ａ）を用いて上述した形態に対応するものである。マーキング対象物１０の搬送速度をＶＳとすると、Ｘ軸スライダーと、Ｙ軸スライダーとは、下記の様に制御される。   FIG. 9 is a time chart in another example of a form embodying the present invention. In FIG. 9, the horizontal axis is time t, the vertical axis is the speed of the Y-axis slider 61, the speed of the X-axis slider 51, and the center position of the marking possible area of the marking unit 4 draws a locus shown in FIG. The movement of the Y-axis slider 61 and the movement of the X-axis slider 51 when moving in this way are shown. The time chart shown in FIG. 9 corresponds to the form described above with reference to FIG. If the conveying speed of the marking object 10 is VS, the X-axis slider and the Y-axis slider are controlled as follows.

時刻ｔ１にて、アライメントマークを読み取り、アライメントマークの現在位置と、基準位置との距離を測定する。
時刻ｔ２からＹ軸スライダーをＹ方向に加速させ、時刻ｔ４で等速移動に切り替える。
時刻ｔ４から時刻ｔ５まで、Ｙ軸スライダーを等速移動させる。
時刻ｔ５からＹ軸スライダーを減速させ、時刻ｔ７で停止させる。
時刻ｔ７から次のマーク観察時刻ｔ１１まで、Ｙ軸スライダーを待機させる。
一方、時刻ｔ３からＸ軸スライダーを加速させ、時刻ｔ４で等速移動に切り替える。
時刻ｔ５からＸ軸スライダーを減速させ、時刻ｔ６で停止させる。
その後、Ｘ軸スライダーを逆方向に移動させ、時刻ｔ８で待機位置に戻して停止させる。
次のマーク観察時刻ｔ１１の後、時刻ｔ１２からＹ軸スライダーを逆方向に加速させ、時刻ｔ１３で等速移動に切り替える。
一方、時刻ｔ１２からＸ軸スライダーを加速させ、時刻ｔ１４で等速移動に切り替える。
なお、時刻ｔ４から時刻ｔ５の間に、マーキングユニットにて、マーキング対象物にマーキングが行われる。 At time t1, the alignment mark is read, and the distance between the current position of the alignment mark and the reference position is measured.
The Y-axis slider is accelerated in the Y direction from time t2, and is switched to constant speed movement at time t4.
From time t4 to time t5, the Y-axis slider is moved at a constant speed.
The Y-axis slider is decelerated from time t5 and stopped at time t7.
From the time t7 to the next mark observation time t11, the Y-axis slider is put on standby.
On the other hand, the X-axis slider is accelerated from time t3 and switched to constant speed movement at time t4.
The X-axis slider is decelerated from time t5 and stopped at time t6.
Thereafter, the X-axis slider is moved in the reverse direction, returned to the standby position at time t8, and stopped.
After the next mark observation time t11, the Y-axis slider is accelerated in the reverse direction from time t12, and switched to constant speed movement at time t13.
On the other hand, the X-axis slider is accelerated from time t12 and switched to constant speed movement at time t14.
The marking object is marked by the marking unit between time t4 and time t5.

なお、時刻ｔ８，ｔ１１のタイミングは、実際の運用においては、同時でも良いし、前後しても良い。例えば、時刻ｔ７の直後に時刻ｔ１２に示したＹ軸スライダー６１の加速を開始させ、時刻ｔ８の直後に時刻ｔ１３に示したＸ軸スライダー５１の加速を開始させる形態が例示できる。この形態の場合、マーキングユニット４は、当該中心位置が図６（ｂ）に示すような軌跡を描くように移動を繰り返し、連続搬送されるマーキング対象物１０上の所定の位置に、描画パターンをマーキングできる。   Note that the timings at times t8 and t11 may be simultaneous or may be mixed in actual operation. For example, a mode in which acceleration of the Y-axis slider 61 shown at time t12 is started immediately after time t7 and acceleration of the X-axis slider 51 shown at time t13 is started immediately after time t8 can be exemplified. In the case of this form, the marking unit 4 repeatedly moves so that the center position draws a locus as shown in FIG. 6B, and draws a drawing pattern at a predetermined position on the marking object 10 that is continuously conveyed. Can be marked.

一方、時刻ｔ６に示す、Ｘ軸スライダー５１の戻り移動のための加速を、時刻ｔ７に示すＹ軸スライダー６１の減速完了後に開始させ、時刻ｔ８に示すＸ軸スライダー５１の戻り移動のための減速完了まで、Ｙ軸スライダー６１を静止状態にさせる形態が例示できる。この形態の場合、マーキングユニット４は、当該中心位置が図５に示すような軌跡を描くように移動を繰り返し、連続搬送されるマーキング対象物１０上の所定の位置に、描画パターンをマーキングできる。   On the other hand, the acceleration for the return movement of the X-axis slider 51 shown at time t6 is started after the deceleration of the Y-axis slider 61 shown at time t7 is completed, and the deceleration for the return movement of the X-axis slider 51 shown at time t8. A mode in which the Y-axis slider 61 is kept stationary until completion can be exemplified. In the case of this form, the marking unit 4 can repeat the movement so that the center position draws a locus as shown in FIG. 5, and can mark the drawing pattern at a predetermined position on the marking object 10 that is continuously conveyed.

いずれの場合も、一列の描画パターン群をマーキングする間、マーキングユニット４は、マーキング対象物１０の搬送方向に相対移動速度がないので「ぶれ」が生じない。   In any case, while marking a line of drawn pattern groups, the marking unit 4 does not have a “blur” because there is no relative movement speed in the conveying direction of the marking object 10.

［バリエーション］
図１０は、本発明を具現化する別の形態の一例を示す斜視図である。図１０に示すマーキング装置１ａは、マーキングユニット４をｘ方向及びｙ方向に移動させる、マーキングユニット第一移動部５と、マーキングユニット第二移動部６とが、図１に示すマーキング装置１と形態が異なる。マーキング装置１ａにおけるマーキングユニット第一移動部５ａは、筐体フレーム１１の上に取り付けられたＸ軸スライダーユニット５０ａと、Ｘ軸スライダー５１ａとを含んで構成されている。 [variation]
FIG. 10 is a perspective view showing an example of another embodiment embodying the present invention. The marking device 1a shown in FIG. 10 includes a marking unit first moving unit 5 and a marking unit second moving unit 6 that move the marking unit 4 in the x and y directions. Is different. The marking unit first moving unit 5a in the marking device 1a includes an X-axis slider unit 50a attached on the housing frame 11 and an X-axis slider 51a.

マーキングユニット第一移動部５ａは、Ｘ軸スライダーユニット５０ａと平行となるように、筐体フレーム１１の上に取り付けられたＸ軸補助スライダーユニット５０ｂと、Ｘ軸補助スライダー５１ｂとを含んで構成されている。   The marking unit first moving unit 5a includes an X-axis auxiliary slider unit 50b mounted on the housing frame 11 and an X-axis auxiliary slider 51b so as to be parallel to the X-axis slider unit 50a. ing.

マーキングユニット第二移動部６は、Ｘ軸スライダー５１ａと、Ｘ軸補助スライダー５１ｂの上に取り付けられたＹ軸スライダーユニット６０と、Ｙ軸スライダー６１とを含んで構成されている。
Ｙ軸スライダーユニット６０は、Ｘ軸スライダー５１ａとＸ軸補助スライダー５１ｂ上に支柱１３を介して取り付けられており、マーキング対象物１０とｚ方向の距離を一定に保ちながら、ｘ方向に移動できるように取り付けられている。Ｙ軸スライダーユニット６０は、ｙ方向に移動可能なＹ軸スライダー６１が含まれて構成されており、外部からの制御信号に基づいて、Ｙ軸スライダー６１を所定の位置に移動・静止させることができる。
マーキングユニット４は、マーキングユニット第二移動部６のＹ軸スライダー６１に取り付けられている。そのため、マーキングユニット４は、ｘ方向とｙ方向の一方又は双方に、独立して移動することができる。 The marking unit second moving unit 6 includes an X-axis slider 51a, a Y-axis slider unit 60 attached on the X-axis auxiliary slider 51b, and a Y-axis slider 61.
The Y-axis slider unit 60 is mounted on the X-axis slider 51a and the X-axis auxiliary slider 51b via the support column 13, so that the Y-axis slider unit 60 can move in the x direction while keeping the distance from the marking object 10 in the z direction constant. Is attached. The Y-axis slider unit 60 is configured to include a Y-axis slider 61 that can move in the y direction, and the Y-axis slider 61 can be moved to a predetermined position and stopped based on a control signal from the outside. it can.
The marking unit 4 is attached to the Y-axis slider 61 of the marking unit second moving unit 6. Therefore, the marking unit 4 can move independently in one or both of the x direction and the y direction.

その他の機器や、システム構成は、図１及び図２を用いて示した形態と同じである。そのため、マーキング装置１ａは、上述のマーキング装置１と同様に、連続的に搬送されるマーキング対象物１０に対して、所定の描画パターンを、搬送方向の相対移動速度に起因する「ぶれ」のない状態で連続的にマーキングすることができる。   Other devices and the system configuration are the same as those shown in FIGS. 1 and 2. For this reason, the marking device 1a, like the marking device 1 described above, does not “shake” due to the relative movement speed in the transport direction with respect to the marking object 10 that is continuously transported. It can be continuously marked in the state.

［別のマーキングユニット例］
上述の説明においては、マーキングユニット４に用いる描画パターン生成部４１は、パターン表示器４０ｍとして、ＤＭＤ（デジタル・マイクロミラー・デバイス）を用いて構成する例を示して説明した。しかし、パターン表示器４０ｍは、他の方式でも良く、例えば透過式液晶マスク方式のパターン表示器を用いることができる。この場合、Ｙ軸スライダー６１とマーキングユニットの間に、もう１つＹ軸スライダー６１ｂを配置し、マーキング中にもう１つのＹ軸スライダー６１ｂをＹ軸スライダー６１と逆方向に同じ速度で移動させてマーキングするような、マーキング位置補正部を構成する。そうすることで、マーキング対象物１０上の同じ場所に所定時間、描画パターンに対応したエネルギーを照射し続けるように位置補正し、本発明を適用したマーキングを行うことができる。

[Another marking unit example]
In the above description, the drawing pattern generation unit 41 used in the marking unit 4 has been described with reference to an example in which the pattern display 40m is configured using a DMD (digital micromirror device). However, the pattern display 40m may be of another type, for example, a transmissive liquid crystal mask type pattern display can be used. In this case, another Y-axis slider 61b is arranged between the Y-axis slider 61 and the marking unit, and the other Y-axis slider 61b is moved in the opposite direction to the Y-axis slider 61 at the same speed during marking. A marking position correction unit that performs marking is configured. By doing so, the position correction is performed so that the energy corresponding to the drawing pattern is continuously applied to the same place on the marking object 10 for a predetermined time, and the marking to which the present invention is applied can be performed.

１ マーキング装置
１ａ マーキング装置
２ 搬送部（ｘ方向）
４ マーキングユニット
５ マーキングユニット第一移動部（ｘ方向）
６ マーキングユニット第二移動部（ｙ方向）
７ マーク撮像部
９ 制御部
１０ マーキング対象物
１０ｖ 搬送方向
１０ｚ マーキング対象物
１１ 筐体フレーム
１２ 支柱
１３ 支柱
１５ 描画パターン（従来：静止ＯＫ）
１６ 描画パターン（従来：搬送中ＮＧ）
１７ 描画パターン（本願：搬送中ＯＫ）
１８ 描画パターン（本願：搬送速すぎ：ＮＧ）

２０ｚ 載置台
２１ ローラ
２１ｍ モータ
２２ 搬送量検出器
４０ 描画パターン生成部
４０ａ 光源
４０ｂ レーザビーム
４０ｃ ＤＭＤミラー
４０ｖ１ 矢印（マーキングユニットの相対移動方向・往路）
４０ｖ２ 矢印（マーキングユニットの相対移動方向・復路）
４１ 描画パターン生成部
４１ａ ＵＶランプ
４１ｂ ＵＶ光線
４１ｃ 液晶マスク
４２ 描画パターンに対応した光線
４３ 光学部品
４３ｍ ミラー
４３ａ リレーレンズ
４３ｂ リレーレンズ
４４ 描画パターンに対応した光線
４５ マーキング位置補正部（ガルバノミラー等）
４６ ｆθレンズ
４７ マーキング用光線
４７ａ
４８ｖ１ 矢印（往路マーキング）
４８ｖ２ 矢印（復路待機位置へ移動）
４８ｖ３ 矢印（復路マーキング）
４８ｖ４ 矢印（往路待機位置へ移動）
４８ｚ１ 往路マーキング前待機位置
４８ｚ２ 往路マーキング後停止位置
４８ｚ３ 復路マーキング前待機位置
４８ｚ４ 復路マーキング後停止位置
５０ Ｘ軸スライダーユニット
５１ Ｘ軸スライダー
５０ａ Ｘ軸スライダーユニット
５１ａ Ｘ軸スライダー
５０ｂ Ｘ軸補助スライダーユニット
５１ｂ Ｘ軸補助スライダー
６０ Ｙ軸スライダーユニット
６１ Ｙ軸スライダー
６２ 位置検出器
７１ 撮像カメラ
７２ 撮像カメラ
７６ａ 位置決め基準用マーク
７６ｂ 位置決め基準用マーク（２マークアライメント用）
７７ａ 位置決め基準用マーク
７７ｂ 位置決め基準用マーク（２マークアライメント用）
９１ マーキング位置重ね合わせ制御部
９３ 同期移動制御部
９４ 描画予定位置登録部
９５ 統括制御部
９７ マーク位置検出部
９８ マーク角度検出部
９９ 搬送速度演算部
９８ｂ 複数のマーク位置に基づく角度検出部
ＰＸ 送りピッチ
ＬＹ 両端ピッチ
ＴＳ 繰り返しマーキングに費やせる時間
ＴＸ 一列の描画パターン群を繰り返しマーキングするために必要な時間
ＴＹ 一列の描画パターン群を順次マーキングするために必要な時間
Ｖｐ 仮の搬送速度
ＶＳ マーキング対象物の搬送速度
ＶＸ マーキングユニットの移動速度（ｘ方向）
ＶＹ マーキングユニットの移動速度（ｙ方向） DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Marking apparatus 1a Marking apparatus 2 Conveyance part (x direction)
4 Marking unit 5 Marking unit first moving part (x direction)
6 Marking unit second moving part (y direction)
7 Mark imaging unit 9 Control unit 10 Marking target object 10v Transport direction 10z Marking target object 11 Housing frame 12 Support column 13 Support column 15 Drawing pattern (conventional: stationary OK)
16 Drawing pattern (Conventional: NG during transport)
17 Drawing pattern (this application: OK during transport)
18 Drawing pattern (application: transport speed too high: NG)

20z mounting table 21 roller 21m motor 22 transport amount detector 40 drawing pattern generation unit 40a light source 40b laser beam 40c DMD mirror 40v1 arrow (relative movement direction / outward path of marking unit)
40v2 arrow (Relative movement direction / return path of marking unit)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 41 Drawing pattern production | generation part 41a UV lamp 41b UV light 41c Liquid crystal mask 42 Light beam corresponding to a drawing pattern 43 Optical component 43m Mirror 43a Relay lens 43b Relay lens 44 Light beam corresponding to a drawing pattern 45 Marking position correction | amendment part (galvano mirror etc.)
46 fθ lens 47 light beam for marking 47a
48v1 arrow (outward marking)
48v2 arrow (Move to return path standby position)
48v3 arrow (return mark)
48v4 arrow (move to forward standby position)
48z1 Standby position before forward marking 48z2 Stop position after forward marking 48z3 Standby position before backward marking 48z4 Stop position after backward marking 50 X-axis slider unit 51 X-axis slider 50a X-axis slider unit 51a X-axis slider 50b X-axis auxiliary slider unit 51b X Axis auxiliary slider 60 Y-axis slider unit 61 Y-axis slider 62 Position detector 71 Imaging camera 72 Imaging camera 76a Positioning reference mark 76b Positioning reference mark (for two-mark alignment)
77a Positioning reference mark 77b Positioning reference mark (for 2-mark alignment)
91 Marking Position Overlay Control Unit 93 Synchronous Movement Control Unit 94 Draw Scheduled Position Registration Unit 95 General Control Unit 97 Mark Position Detection Unit 98 Mark Angle Detection Unit 99 Conveyance Speed Calculation Unit 98b Angle Detection Unit Based on Multiple Mark Positions PX Feeding Pitch LY End pitch TS Time required for repeated marking TX Time required for repeated marking of a row of drawing patterns TY Time required for sequentially marking a row of drawing patterns Vp Temporary transport speed VS Marking object Conveying speed VX Marking unit moving speed (x direction)
VY Marking unit moving speed (y direction)

Claims (10)

マーキング対象物に描画パターンをマーキングするマーキング装置において、
前記マーキング対象物を第一の方向に連続搬送させる搬送部と、
前記マーキング対象物を前記第一の方向に搬送した量を検出する搬送量検出器と、
前記マーキング対象物に向けて、前記描画パターンに対応するマーキング用光線を照射するマーキングユニットと、
前記マーキングユニットを前記第一の方向に移動させるマーキングユニット第一移動部とを備え、
前記搬送量検出器で検出された単位時間当たりに前記マーキング対象物を搬送した量に基づいて、前記マーキングユニット第一移動部を前記第一の方向と同じ方向に同じ量を移動させる、同期移動制御部とを備え、
前記マーキングユニットを前記第一の方向と交差する第二の方向に移動させるマーキングユニット第二移動部と、
前記マーキングユニットの第二の方向の位置を検出する位置検出器と、
前記マーキング用光線を照射する位置を変更して前記マーキング対象物上の同じ位置に前記マーキング用光線が照射されるように補正する、マーキング位置補正部とを備え、
前記マーキングユニットが前記第二の方向に移動している間に、
前記位置検出器で検出された前記マーキングユニットの第二の方向の位置に基づいて、
前記マーキング位置補正部におけるずらし量を制御して、前記マーキング対象物上の第二の方向の同じ位置に前記マーキング用光線を所定時間照射させる、
マーキング位置重ね合わせ制御部を備え、
前記マーキング位置重ね合わせ制御部及び前記同期移動制御部を制御して、
前記マーキング対象物を前記第一の方向に連続搬送しつつ、
前記マーキング対象物上の第一の方向及び第二の方向の同じ位置に、前記マーキング用光線を所定時間照射させる統括制御部を備えた
ことを特徴とするマーキング装置。 In a marking device that marks a drawing pattern on a marking object,
A transport unit for continuously transporting the marking object in a first direction;
A transport amount detector for detecting an amount of transport of the marking object in the first direction;
A marking unit that irradiates a marking beam corresponding to the drawing pattern toward the marking object;
A marking unit first moving part for moving the marking unit in the first direction;
Synchronous movement in which the marking unit first moving unit is moved in the same direction as the first direction based on the amount of the marking object conveyed per unit time detected by the conveyance amount detector. A control unit,
A marking unit second moving section for moving the marking unit in a second direction intersecting the first direction;
A position detector for detecting the position of the marking unit in the second direction;
A marking position correction unit that corrects the marking beam to be irradiated at the same position on the marking object by changing the position where the marking beam is irradiated, and
While the marking unit is moving in the second direction,
Based on the position of the marking unit in the second direction detected by the position detector,
By controlling the amount of shift in the marking position correction unit, the same position in the second direction on the marking object is irradiated with the marking light beam for a predetermined time,
It has a marking position superposition control unit,
Control the marking position overlay control unit and the synchronous movement control unit,
While continuously conveying the marking object in the first direction,
A marking apparatus, comprising: an overall control unit that irradiates the marking light beam for a predetermined time at the same position in the first direction and the second direction on the marking object. 前記マーキング対象物には位置決め基準用マークが付与されており、
前記位置決め基準用マークの位置に対するマーキングすべき描画パターンの相対位置をマーキング予定位置として登録しておく描画予定位置登録部と、
前記位置決め基準用マークを撮像するマーク撮像部と
前記マーク撮像部で撮像された前記位置決め基準用マークの位置情報を検出するマーク位置検出部とを備え、
前記統括制御部は、前記マーク撮像部と前記マーキングユニットとの間隔と、前記マーク位置検出部で検出された位置決め基準用マークの位置情報に基づいて、前記マーキング位置重ね合わせ制御部及び前記同期移動制御部を制御する
ことを特徴とする、請求項１に記載のマーキング装置。 The marking object is provided with a positioning reference mark,
A drawing planned position registration unit that registers a relative position of a drawing pattern to be marked with respect to the position of the positioning reference mark as a marking planned position;
A mark imaging unit that images the positioning reference mark; and a mark position detection unit that detects position information of the positioning reference mark imaged by the mark imaging unit;
The overall control unit includes the marking position overlay control unit and the synchronous movement based on an interval between the mark imaging unit and the marking unit and position information of a positioning reference mark detected by the mark position detection unit. The marking device according to claim 1, wherein the controller is controlled. 前記マーク撮像部で撮像された前記位置決め基準用マークの角度情報を検出するマーク角度検出部をさらに備え、
前記マーキングユニットは、
前記マーキング予定位置に対して、前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向に所定量シフトさせて照射するマーキング位置シフト機能をさらに備え、
前記統括制御部は、
前記マーク撮像部と前記マーキングユニットとの間隔と、
前記マーク位置検出部で検出された位置決め基準用マークの位置情報と、
前記マーク角度検出部で検出された位置決め基準用マークの角度情報に基づいて、
描画パターン毎に前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向に所定量シフトさせ、前記マーキング位置重ね合わせ制御部及び前記同期移動制御部を制御する
ことを特徴とする、請求項２に記載のマーキング装置。 A mark angle detector that detects angle information of the positioning reference mark imaged by the mark imaging unit;
The marking unit is
A marking position shift function for irradiating the marking beam by shifting the position for irradiating the marking light beam by a predetermined amount in a predetermined direction,
The overall control unit
An interval between the mark imaging unit and the marking unit;
Position information of the positioning reference mark detected by the mark position detector,
Based on the angle information of the positioning reference mark detected by the mark angle detection unit,
The position of irradiating the marking beam for each drawing pattern is shifted by a predetermined amount in a predetermined direction, and the marking position superposition control unit and the synchronous movement control unit are controlled. Marking device. 前記マーキング対象物には複数の位置決め基準用マークが付与されており、
前記マーク位置検出部は前記複数の位置決め基準用マークの位置情報を検出し、
前記マーク撮像部で撮像された前記複数の位置決め基準用マークの位置情報に基づいて、当該位置決め基準用マークの角度情報を検出する、複数のマーク位置に基づく角度検出部をさらに備え、
前記マーキングユニットは、
前記マーキング予定位置に対して、前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向に所定量シフトさせて照射するマーキング位置シフト機能をさらに備え
前記統括制御部は、
前記マーク撮像部と前記マーキングユニットの間隔と、
前記マーク位置検出部で検出された位置決め基準用マークの位置情報と、
前記複数のマーク位置に基づく角度検出部で検出された位置決め基準用マークの角度情報に基づいて、
描画パターン毎に前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向に所定量シフトさせ、前記マーキング位置重ね合わせ制御部及び前記同期移動制御部を制御する
ことを特徴とする、請求項２に記載のマーキング装置。 The marking object is provided with a plurality of positioning reference marks,
The mark position detector detects position information of the plurality of positioning reference marks;
An angle detection unit based on a plurality of mark positions, which detects angle information of the positioning reference mark based on position information of the plurality of positioning reference marks imaged by the mark imaging unit;
The marking unit is
The overall control unit further includes a marking position shift function for irradiating the marking light by shifting the position for irradiating the marking light beam by a predetermined amount in a predetermined direction.
An interval between the mark imaging unit and the marking unit;
Position information of the positioning reference mark detected by the mark position detector,
Based on the angle information of the positioning reference mark detected by the angle detection unit based on the plurality of mark positions,
The position of irradiating the marking beam for each drawing pattern is shifted by a predetermined amount in a predetermined direction, and the marking position superposition control unit and the synchronous movement control unit are controlled. Marking device. 前記搬送部の搬送速度を演算する搬送速度演算部をさらに備え、
前記描画予定位置登録部には、
前記複数配列して登録されたマーキング予定位置のうち、
第一の方向の方向に繰り返しマーキングする間隔を送りピッチとして登録する、送りピッチ登録部と、
第二の方向に順次マーキングされる最初の描画パターンと最後の描画パターンとの間隔を両端描画パターン間隔として登録する、両端描画パターン間隔登録部とが備えられており、
前記搬送速度演算部は、
前記送りピッチと、前記両端描画パターン間隔と、
前記マーキングユニット第二移動部における順次マーキングのために要する時間と、
前記マーキングユニット第一移動部における繰り返しマーキングのために要する時間とに基づいて前記搬送部の搬送速度の許容値を算出し、
前記統括制御部は、
当該算出された搬送速度の許容値を前記搬送部の搬送速度として設定し、繰り返しマーキングする機能を備えている
ことを特徴とする、請求項２〜４に記載のマーキング装置。 A transport speed calculation unit for calculating the transport speed of the transport unit;
In the planned drawing position registration unit,
Among the planned marking positions registered in the plurality of arrays,
A feed pitch registration unit for registering an interval for repeatedly marking in the direction of the first direction as a feed pitch;
A both-end drawing pattern interval registration unit that registers the interval between the first drawing pattern and the last drawing pattern that are sequentially marked in the second direction as the both-end drawing pattern interval;
The transport speed calculator is
The feed pitch, the both-end drawing pattern interval,
Time required for sequential marking in the marking unit second moving unit;
Based on the time required for repeated marking in the marking unit first moving unit, and calculating the allowable value of the conveyance speed of the conveyance unit,
The overall control unit
The marking apparatus according to claim 2, further comprising a function of setting the calculated allowable value of the conveyance speed as a conveyance speed of the conveyance unit and performing repetitive marking. マーキング対象物に描画パターンをマーキングするマーキング方法において、
前記マーキング対象物を第一の方向に連続搬送させる搬送ステップと、
前記マーキング対象物を第一の方向に搬送した量を検出する、搬送量検出ステップとを有し、
前記マーキング対象物に向けて、前記描画パターンに対応するマーキング用光線を照射するマーキングユニットを用い、
前記マーキングユニットを前記第一の方向に移動させるマーキングユニット第一移動ステップとを有し、
前記搬送量検出ステップで検出された単位時間当たりに前記マーキング対象物を搬送した量に基づいて、前記マーキングユニット第一移動ステップにおける前記第一の方向と同じ方向に同じ量を移動させる、同期移動制御ステップとを有し
前記マーキングユニットを前記第一の方向と交差する第二の方向に移動させるマーキングユニット第二移動ステップと、
前記マーキングユニットの第二の方向の位置を検出する位置検出ステップと、
前記マーキング用光線を照射する位置を変更して前記マーキング対象物上の同じ位置に前記マーキング用光線が照射されるように補正する、マーキング位置補正ステップとを有し、
前記マーキングユニットが前記第二の方向に移動している間に、
前記位置検出ステップで検出された前記マーキングユニットの第二の方向の位置に基づいて、前記マーキング位置補正ステップにおけるずらし量を制御して、前記マーキング対象物上の第二の方向の同じ位置に前記マーキング用光線を所定時間照射させる、
マーキング位置重ね合わせ制御ステップを有し、
前記マーキング位置重ね合わせ制御ステップ及び前記同期移動制御ステップを統括制御して、
前記マーキング対象物が前記第一の方向に連続搬送されている間に、
前記マーキング対象物上の第一の方向及び第二の方向の同じ位置に、前記マーキング用光線を所定時間照射することを特徴とするマーキング方法。 In a marking method for marking a drawing pattern on a marking object,
A conveying step for continuously conveying the marking object in a first direction;
A conveyance amount detection step for detecting an amount of conveyance of the marking object in the first direction;
Using a marking unit that irradiates a marking beam corresponding to the drawing pattern toward the marking object,
A marking unit first moving step for moving the marking unit in the first direction;
Synchronous movement that moves the same amount in the same direction as the first direction in the marking unit first movement step based on the amount of the marking object conveyed per unit time detected in the conveyance amount detection step And a marking unit second moving step for moving the marking unit in a second direction intersecting the first direction,
A position detecting step for detecting a position in the second direction of the marking unit;
A marking position correcting step for changing the position for irradiating the marking light beam to correct the marking light beam to be irradiated at the same position on the marking object,
While the marking unit is moving in the second direction,
Based on the position in the second direction of the marking unit detected in the position detection step, the shift amount in the marking position correction step is controlled, and the same position in the second direction on the marking object is Irradiate the marking beam for a predetermined time,
A marking position overlay control step,
Centrally controlling the marking position overlay control step and the synchronous movement control step,
While the marking object is continuously conveyed in the first direction,
A marking method comprising irradiating the marking light beam for a predetermined time at the same position in the first direction and the second direction on the marking object. 前記マーキング対象物には位置決め基準用マークが付与されており、
前記位置決め基準用マークの位置に対するマーキングすべき描画パターンの相対位置をマーキング予定位置として登録しておく描画予定位置登録ステップと、
前記位置決め基準用マークを撮像するマーク撮像ステップと、
前記マーク撮像ステップで撮像された前記位置決め基準用マークの位置情報を検出するマーク位置検出ステップとを有し、
前記マーク撮像ステップで用いられるマーク撮像部とマーキングユニットとの間隔と、前記マーク位置検出ステップで検出された位置決め基準用マークの位置情報に基づいて、前記マーキング位置重ね合わせ制御ステップ及び前記同期移動制御ステップを統括制御する
ことを特徴とする、請求項６に記載のマーキング方法。 The marking object is provided with a positioning reference mark,
A drawing planned position registration step of registering a relative position of a drawing pattern to be marked with respect to the position of the positioning reference mark as a marking planned position;
A mark imaging step of imaging the positioning reference mark;
A mark position detecting step for detecting position information of the positioning reference mark imaged in the mark imaging step,
The marking position overlay control step and the synchronous movement control based on the interval between the mark imaging unit and the marking unit used in the mark imaging step and the position information of the positioning reference mark detected in the mark position detection step The marking method according to claim 6, wherein the steps are comprehensively controlled. 前記マーク撮像ステップで撮像された前記位置決め基準用マークの角度情報を検出するマーク角度検出ステップをさらに備え、
前記マーキングユニットは、
前記マーキング予定位置に対して、前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向に所定量シフトさせて照射するマーキング位置シフト機能をさらに有し、
前記マーク撮像部と前記マーキングユニットとの間隔と、
前記マーク位置検出ステップで検出された位置決め基準用マークの位置情報と、
前記マーク角度検出ステップで検出された位置決め基準用マークの角度情報に基づいて、
描画パターン毎に前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向に所定量シフトさせ、前記マーキング位置重ね合わせ制御ステップ及び前記同期移動制御ステップを統括制御する
ことを特徴とする、請求項７に記載のマーキング方法。 A mark angle detection step of detecting angle information of the positioning reference mark imaged in the mark imaging step;
The marking unit is
A marking position shift function of irradiating the marking beam by shifting the position of irradiating the marking light beam by a predetermined amount in a predetermined direction,
An interval between the mark imaging unit and the marking unit;
Position information of the positioning reference mark detected in the mark position detecting step;
Based on the angle information of the positioning reference mark detected in the mark angle detection step,
The position for irradiating the marking light beam for each drawing pattern is shifted by a predetermined amount in a predetermined direction, and the marking position superposition control step and the synchronous movement control step are comprehensively controlled. Marking method. 前記マーキング対象物には複数の位置決め基準用マークが付与されており、
前記マーク位置検出ステップでは、前記複数の位置決め基準用マークの位置情報を検出し、
前記マーク撮像ステップで撮像された前記複数の位置決め基準用マークの位置情報に基づいて、当該位置決め基準用マークの角度情報を検出するマーク角度検出ステップをさらに備え、
前記マーキングユニットは、
前記マーキング予定位置に対して、前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向に所定量シフトさせて照射するマーキング位置シフト機能をさらに有し、
前記マーク撮像部と前記マーキングユニットの間隔と、
前記マーク位置検出ステップで検出された位置決め基準用マークの位置情報と、
前記マーク角度検出ステップで検出された位置決め基準用マークの角度情報に基づいて、
描画パターン毎に前記マーキング用光線を照射する位置を所定の方向に所定量シフトさせ、前記マーキング位置重ね合わせ制御ステップ及び前記同期移動制御ステップを統括制御する
ことを特徴とする、請求項７に記載のマーキング方法。 The marking object is provided with a plurality of positioning reference marks,
In the mark position detection step, position information of the plurality of positioning reference marks is detected,
A mark angle detection step of detecting angle information of the positioning reference marks based on position information of the plurality of positioning reference marks imaged in the mark imaging step;
The marking unit is
A marking position shift function of irradiating the marking beam by shifting the position of irradiating the marking light beam by a predetermined amount in a predetermined direction,
An interval between the mark imaging unit and the marking unit;
Position information of the positioning reference mark detected in the mark position detecting step;
Based on the angle information of the positioning reference mark detected in the mark angle detection step,
The position for irradiating the marking light beam for each drawing pattern is shifted by a predetermined amount in a predetermined direction, and the marking position superposition control step and the synchronous movement control step are comprehensively controlled. Marking method. 前記搬送ステップの搬送速度を演算する搬送速度演算ステップをさらに有し、
前記描画予定位置登録ステップでは、
前記複数配列して登録されたマーキング予定位置のうち、
第一の方向の方向に繰り返しマーキングする間隔を送りピッチとして登録する、送りピッチ登録ステップと、
第二の方向に順次マーキングされる最初の描画パターンと最後の描画パターンとの間隔を両端描画パターン間隔として登録する、両端描画パターン間隔登録ステップとが備えられており、
前記搬送速度演算ステップは、
前記送りピッチと、前記両端描画パターン間隔と、
前記マーキングユニット第二移動ステップにおける順次マーキングのために要する時間と、
前記マーキングユニット第一移動ステップにおける繰り返しマーキングのために要する時間とに基づいて前記搬送ステップの搬送速度の許容値を算出し、
当該算出された搬送速度の許容値を前記搬送ステップの搬送速度として設定し、繰り返しマーキングする機能を備えている
ことを特徴とする、請求項７〜９に記載のマーキング方法。 A transport speed calculating step for calculating a transport speed of the transport step;
In the drawing planned position registration step,
Among the planned marking positions registered in the plurality of arrays,
A feed pitch registration step for registering an interval for repeatedly marking in the direction of the first direction as a feed pitch;
A both-end drawing pattern interval registration step for registering the interval between the first drawing pattern and the last drawing pattern sequentially marked in the second direction as the both-end drawing pattern interval;
The transport speed calculating step includes:
The feed pitch, the both-end drawing pattern interval,
The time required for sequential marking in the marking unit second movement step;
Based on the time required for repeated marking in the marking unit first movement step, the allowable value of the conveyance speed of the conveyance step is calculated,
The marking method according to claim 7, further comprising a function of setting the calculated allowable value of the conveyance speed as a conveyance speed of the conveyance step and performing repetitive marking.
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