JP5852834B2 - 微粒子検出装置の評価システム及び微粒子検出装置の評価方法 - Google Patents
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- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims description 41
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 title claims description 23
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 68
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 claims description 59
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 39
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 14
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 11
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 9
- 239000011859 microparticle Substances 0.000 claims description 8
- 238000003756 stirring Methods 0.000 claims description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 5
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000013618 particulate matter Substances 0.000 claims description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 26
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 8
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 7
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 6
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 5
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000000443 aerosol Substances 0.000 description 2
- CPBQJMYROZQQJC-UHFFFAOYSA-N helium neon Chemical compound [He].[Ne] CPBQJMYROZQQJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 241000894006 Bacteria Species 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000233866 Fungi Species 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000700605 Viruses Species 0.000 description 1
- 239000013566 allergen Substances 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N argon Substances [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 argon ion Chemical class 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 244000005700 microbiome Species 0.000 description 1
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 1
- 239000006199 nebulizer Substances 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 238000004062 sedimentation Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
-
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
- G01N15/075—Investigating concentration of particle suspensions by optical means
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N2015/0042—Investigating dispersion of solids
- G01N2015/0046—Investigating dispersion of solids in gas, e.g. smoke
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N21/49—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid
- G01N21/53—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid within a flowing fluid, e.g. smoke
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
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- Analytical Chemistry (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
上記のように、本発明は実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす記述及び図面はこの発明を限定するものであると理解するべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施の形態及び運用技術が明らかになるはずである。例えば、図1では、微粒子検出装置20A−20Dが試験室1の側面に設置されている例を示したが、微粒子検出装置20A−20Dは、試験室1の底面に設置されていてもよい。
2 注入装置
3 流量計
4 流量制御装置
5 貯蔵槽
6 エアクリーナー
10A、10B、10C、10D 攪拌ファン
11A、11B 給気装置
12 パイプ
20A、20B、20C、20D 微粒子検出装置
31 流路
32 筐体
38 流れセンサ
42 弁座
43、44 流路
45 弁室
46 弁体
47 プランジャ
48 ソレノイドコイル
50 光シート形成装置
51 光シート
60 基板
61 発熱素子
62 第1の測温素子
63 第2の測温素子
64 保温素子
65 絶縁膜
66 キャビティ
68 断熱部材
70 撮影装置
100 コンピュータ
120A、120B、120C、120D 吸引口
Claims (16)
- それぞれ微粒子検出装置が設置される複数の吸引口が一面に設けられた試験室と、
前記試験室内部に微粒子を注入する注入装置と、
前記複数の吸引口が設けられた試験室の一面と平行に、前記複数の吸引口に沿って、前記試験室内部に光シートを形成する光シート形成装置と、
前記光シートによって可視化された前記微粒子を撮影する撮影装置と、
前記微粒子検出装置が吸引を開始した後、前記複数の吸引口のそれぞれに対応する複数の箇所で前記可視化された微粒子の量を計測する計測部と、
前記複数の箇所で計測された前記微粒子の量の分布を算出する分布算出部と、
を備える、微粒子検出装置の評価システム。 - それぞれ微粒子検出装置が設置される複数の吸引口が一面に設けられた試験室と、
前記試験室内部に微粒子を注入する注入装置と、
前記複数の吸引口が設けられた試験室の一面と平行に、前記複数の吸引口に沿って、前記試験室内部に光シートを形成する光シート形成装置と、
前記光シートによって可視化された前記微粒子を撮影する撮影装置と、
前記微粒子検出装置が吸引を開始した後、前記複数の吸引口のそれぞれの近傍で前記可視化された微粒子の量を計測する計測部と、
前記複数の吸引口のそれぞれの近傍で計測された前記微粒子の量の分布を算出する分布算出部と、
を備える、微粒子検出装置の評価システム。 - 前記光シートが、レーザ光シートである、請求項1又は2に記載の微粒子検出装置の評価システム。
- 前記光シート形成装置が、レーザ光をシリンドリカルレンズに通すことにより、前記レーザ光シートを形成する、請求項3に記載の微粒子検出装置の評価システム。
- 前記光シート形成装置が、レーザ光を振動反射鏡で反射することにより、前記レーザ光シートを形成する、請求項3に記載の微粒子検出装置の評価システム。
- 前記光シート形成装置が、レーザ光を回転するポリゴンミラーで反射することにより、前記レーザ光シートを形成する、請求項3に記載の微粒子検出装置の評価システム。
- 前記試験室内部の気体を攪拌する攪拌装置を更に備える、請求項1乃至6のいずれか1項に記載の微粒子検出装置の評価システム。
- 前記試験室内部の気体を清浄化する清浄化装置を更に備える、請求項1乃至7のいずれか1項に記載の微粒子検出装置の評価システム。
- 試験室の一面に設けられた複数の吸引口のそれぞれに、微粒子検出装置を設置することと、
前記試験室内部に微粒子を注入することと、
前記複数の吸引口が設けられた試験室の一面と平行に、前記複数の吸引口に沿って、前記試験室内部に光シートを形成することと、
前記微粒子検出装置によって、前記複数の吸引口のそれぞれから、前記試験室内部の気体を吸引することと、
前記光シートによって可視化された前記微粒子を撮影することと、
前記微粒子検出装置が吸引を開始した後、前記複数の吸引口のそれぞれに対応する複数の箇所で前記可視化された微粒子の量を計測することと、
前記複数の箇所で計測された前記微粒子の量の分布を算出することと、
を含む、微粒子検出装置の評価方法。 - 試験室の一面に設けられた複数の吸引口のそれぞれに、微粒子検出装置を設置することと、
前記試験室内部に微粒子を注入することと、
前記複数の吸引口が設けられた試験室の一面と平行に、前記複数の吸引口に沿って、前記試験室内部に光シートを形成することと、
前記微粒子検出装置によって、前記複数の吸引口のそれぞれから、前記試験室内部の気体を吸引することと、
前記光シートによって可視化された前記微粒子を撮影することと、
前記微粒子検出装置が吸引を開始した後、前記複数の吸引口のそれぞれの近傍で前記可視化された微粒子の量を計測することと、
前記複数の吸引口のそれぞれの近傍で計測された前記微粒子の量の分布を算出することと、
を含む、微粒子検出装置の評価方法。 - 前記光シートが、レーザ光シートである、請求項9又は10に記載の微粒子検出装置の評価方法。
- 前記レーザ光シートを形成することにおいて、レーザ光をシリンドリカルレンズに通すことにより、前記レーザ光シートを形成する、請求項11に記載の微粒子検出装置の評価方法。
- 前記レーザ光シートを形成することにおいて、レーザ光を振動反射鏡で反射することにより、前記レーザ光シートを形成する、請求項11に記載の微粒子検出装置の評価方法。
- 前記レーザ光シートを形成することにおいて、レーザ光を回転するポリゴンミラーで反射することにより、前記レーザ光シートを形成する、請求項11に記載の微粒子検出装置の評価方法。
- 前記試験室内部の気体を攪拌することを更に含む、請求項9乃至14のいずれか1項に記載の微粒子検出装置の評価方法。
- 前記試験室内部に前記微粒子を注入することの前に、前記試験室内部の気体を清浄化することを更に含む、請求項9乃至15のいずれか1項に記載の微粒子検出装置の評価方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011220084A JP5852834B2 (ja) | 2011-10-04 | 2011-10-04 | 微粒子検出装置の評価システム及び微粒子検出装置の評価方法 |
US13/644,960 US8869594B2 (en) | 2011-10-04 | 2012-10-04 | Particle detecting device evaluating system and particle detecting device evaluating method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011220084A JP5852834B2 (ja) | 2011-10-04 | 2011-10-04 | 微粒子検出装置の評価システム及び微粒子検出装置の評価方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013079867A JP2013079867A (ja) | 2013-05-02 |
JP5852834B2 true JP5852834B2 (ja) | 2016-02-03 |
Family
ID=47991365
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011220084A Active JP5852834B2 (ja) | 2011-10-04 | 2011-10-04 | 微粒子検出装置の評価システム及び微粒子検出装置の評価方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8869594B2 (ja) |
JP (1) | JP5852834B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015094652A1 (en) * | 2013-12-17 | 2015-06-25 | 3M Innovative Properties Company | Air quality indicator |
CN104614295A (zh) * | 2015-03-04 | 2015-05-13 | 郑波 | 一种根据移动终端检测空气污染指数的方法及*** |
CA2928138A1 (en) | 2015-11-10 | 2017-05-10 | 3M Innovative Properties Company | Air filter use indicators |
CN107290255A (zh) * | 2016-04-12 | 2017-10-24 | 中兴通讯股份有限公司 | 一种空气颗粒物检测方法、装置及相关设备 |
CN106959262B (zh) * | 2017-03-31 | 2023-09-26 | 中煤科工集团重庆研究院有限公司 | 基于光学的无动力粉尘检测***、装置和检测方法 |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3661460A (en) * | 1970-08-28 | 1972-05-09 | Technicon Instr | Method and apparatus for optical analysis of the contents of a sheathed stream |
US4568190A (en) * | 1984-02-06 | 1986-02-04 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Electrooptical system and technique for direct quantitative measurement of the mass concentration of monodisperse aerosols |
JPS613444U (ja) * | 1984-06-12 | 1986-01-10 | 日新製鋼株式会社 | 粉塵計感度調整装置 |
JPH0245802Y2 (ja) * | 1985-09-20 | 1990-12-04 | ||
US4794086A (en) * | 1985-11-25 | 1988-12-27 | Liquid Air Corporation | Method for measurement of impurities in liquids |
US4938592A (en) * | 1987-07-28 | 1990-07-03 | Amherst Process Instruments, Inc. | Beam forming and sensing apparatus for aerodynamic particle sizing system |
US5311290A (en) * | 1992-09-30 | 1994-05-10 | Pulp And Paper Research Institute Of Canada | Imaging apparatus and method of fiber analysis |
US5296910A (en) * | 1992-10-05 | 1994-03-22 | University Of Akransas | Method and apparatus for particle analysis |
US6040004A (en) * | 1995-03-09 | 2000-03-21 | 3M Innovative Properties Company | Method and apparatus for fabricating a particle-coated substrate, and such substrate |
JPH08304262A (ja) * | 1995-05-08 | 1996-11-22 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | 微粒子検出器調整用の標準粒子供給装置 |
JP3901347B2 (ja) * | 1998-06-08 | 2007-04-04 | 新日本空調株式会社 | エアロゾル検出装置の検出能力評価装置およびその方法 |
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TWI240601B (en) * | 2002-11-26 | 2005-09-21 | Tokyo Electron Ltd | Plasma processing system and method |
JP3815681B2 (ja) * | 2003-09-01 | 2006-08-30 | 新日本空調株式会社 | レーザー光による微粒子の可視化方法および装置 |
GB0503184D0 (en) * | 2005-02-16 | 2005-03-23 | Greenbank Terotech Ltd | A method and a device for generating data relating to particles in a particulate material |
JP4229951B2 (ja) * | 2006-04-10 | 2009-02-25 | ダイハツディーゼル株式会社 | ミスト濃度検出装置の検査装置 |
JP2008022764A (ja) * | 2006-07-20 | 2008-02-07 | Sharp Corp | 環境評価方法 |
JP2008022765A (ja) | 2006-07-20 | 2008-02-07 | Sharp Corp | 環境評価装置及び環境評価方法 |
JP2009002733A (ja) * | 2007-06-20 | 2009-01-08 | Toshiba Corp | 浮遊パーティクル検出装置及び浮遊パーティクル検出方法 |
US7573571B2 (en) * | 2007-10-12 | 2009-08-11 | Los Alamos National Security Llc | Airborne particulate discriminator |
-
2011
- 2011-10-04 JP JP2011220084A patent/JP5852834B2/ja active Active
-
2012
- 2012-10-04 US US13/644,960 patent/US8869594B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20130081446A1 (en) | 2013-04-04 |
US8869594B2 (en) | 2014-10-28 |
JP2013079867A (ja) | 2013-05-02 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140917 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150518 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150521 |
|
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151201 |
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