JP5851191B2

JP5851191B2 - 測定装置

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Publication number: JP5851191B2
Application number: JP2011224004A
Authority: JP
Inventors: 恒夫小川; 桜井　裕徳; 裕徳桜井; 拓郎森角
Original assignee: Hioki EE Corp
Current assignee: Hioki EE Corp
Priority date: 2011-10-11
Filing date: 2011-10-11
Publication date: 2016-02-03
Anticipated expiration: 2031-10-11
Also published as: JP2013083565A

Description

本発明は、複数の測定レンジの中の一つの測定レンジで測定対象物のパラメータを測定する測定装置に関するものである。

測定装置は、一般的に、測定値の大小に応じて切り換え可能な複数の測定レンジ（入力レンジ）を有している。このような測定装置は、装置が自動的に最適な一つの測定レンジを選択するオートレンジ機能と、測定者の手動設定操作で一つの測定レンジが選択されるホールド（固定）レンジ機能とを備えるものが多い。例えば特許文献１には、オートレンジ機能を備えるインピーダンス測定器が記載されている。

また、測定装置では、測定対象のパラメータ、測定周波数、測定レベル、測定スピード、測定値の平均処理を行う平均回数などの測定条件が予め設定されて、この測定条件で測定を実行するが、このような測定条件は、全測定レンジで共通の条件が用いられている。

特開平５−２８８７７８号公報

例えば、測定装置の一例であるインピーダンス測定装置を用いて、インピーダンスの異なる複数の測定対象物を順に取り換えて測定する検査を、繰り返し行う場合がある。このような検査では、例えば測定値を精度良く安定して測定するために、測定レンジをオートレンジ機能やホールドレンジ機能で設定した後に、測定スピードや平均回数などの測定精度や安定性に関係する測定条件を、手動や制御用のコンピュータで設定してから測定を実行する場合が多い。例えば、測定対象物が１０ｋΩのように比較的大きなインピーダンスの場合、短時間で測定しても比較的精度良く測定できるので、測定スピードを早く設定したり、平均回数を１回又は少ない回数に設定したりして短時間で測定できるように設定する。また、測定対象物が５ｍΩのように低いインピーダンスの場合、１０ｋΩの測定条件で測定を行うと測定精度がノイズの影響で悪化し測定値の安定性が悪くなるため、測定スピードを遅く設定したり、平均回数を多く設定したりして、測定に時間は掛かるが精度良く安定して測定できる測定条件に設定し直して測定を実行する。

このように、測定対象物を取り換えるたびに、測定精度や測定値の安定性に関係する測定条件を設定し直す作業は煩雑であり、設定ミスを生じさせる原因にもなる。

また、例えば静電容量の大きなコンデンサやインダクタンスの大きなコイルなどの測定対象物に測定用信号を印加すると、過渡現象などによって測定値が安定するまでに多少時間が掛かる。一方、静電容量の小さなコンデンサやインダクタンスの小さなコイルなどの測定対象物では、過渡現象の時間が短く測定値は比較的早く安定する。そのため、静電容量の大きなコンデンサや静電容量の小さなコンデンサを順に取り換えて測定したり、インダクタンスの大きなコイルやインダクタンスの小さなコイルを順に取り換えて測定したりするときに、測定対象物を交換するたびに、測定用信号の出力を開始してから測定を行うまでの期間（測定遅延期間）を長くしたり短くしたり設定し直して測定を実行する場合がある。また、測定対象物によっては、例えば測定対象物のインピーダンスの大小によって、測定開始トリガから測定用信号の出力を開始するまでの期間（信号遅延期間）の長短を、設定し直さなければならない場合がある。

このように、測定対象物を取り換えるたびに、測定遅延期間や信号遅延期間のような、測定開始前の期間に関係する測定条件を設定し直す作業は煩雑であり、設定ミスを生じさせる原因にもなる。

本発明は前記の課題を解決するためになされたもので、複数の測定レンジのうちの一つの測定レンジで測定対象物のパラメータを測定する測定装置において、測定条件の設定を簡便に行うことのできる測定装置を提供することを目的とする。

前記の目的を達成するためになされた、特許請求の範囲の請求項１に記載された測定装置は、複数の測定レンジの中の一つの測定レンジで測定対象物のパラメータを測定する測定部と、該測定レンジごとの測定条件を個別に入力設定するための測定条件入力手段と、それぞれの該測定レンジに対応させて該測定条件を記憶するメモリと、測定に用いる該一つの測定レンジを該測定部に設定すると共に、該一つの測定レンジに対応する該測定条件を該メモリから読み込んで、該測定条件で該測定部に測定させる測定制御部とを備える測定装置において、該測定条件が、測定値の平均回数、および測定対象物に対するサンプリング期間の長短である測定スピードであって、値の小さな該測定レンジで該平均回数を多く且つ該測定スピードを遅く条件設定し、値の大きな該測定レンジでは平均回数を少なく且つ測定スピードを速く条件設定してあることを特徴とする。

本発明の測定装置によれば、測定レンジごとの測定条件を個別に設定できるので、例えばインピーダンスの異なる複数の測定対象物を順に取り換えて測定する検査を、繰り返し行う場合であっても、従来の測定装置のように測定レンジが変更されるたびに測定条件を設定する必要がない。測定を行う前に測定レンジごとに測定条件を１回設定しておくだけでよいので、測定条件の設定を簡便に行うことができる。

測定条件が、測定スピード、測定値の平均回数である場合、測定精度、測定値の安定性を測定レンジに対応させて設定することができる。このため、例えば値の小さな測定レンジでは、測定スピードを遅く設定したり、平均回数を多く設定したりしておくことで、多少測定に時間は掛かるがノイズの影響を受けずに精度良く安定して測定を行い、値の大きな測定レンジでは、ノイズの影響を受けにくいので、測定スピードを速く設定したり、平均回数を少なく設定したりしておくことで、短時間で測定を行うようにすることができる。また、測定条件が、測定開始前の期間である場合、例えば測定対象物のパラメータの大小に起因する過渡現象などの影響を受けずに測定することができる。

期間が、測定開始トリガから測定用信号の出力を開始するまでの信号遅延期間、測定用信号の出力の開始から測定を開始するまでの測定遅延期間、及び、測定開始トリガから測定を開始するまでの総合遅延期間の少なくとも一つである場合、測定対象物のパラメータの大小に起因する過渡現象などの影響を一層受けずに、測定することができる。

本発明を適用する測定装置の一例であるインピーダンス測定装置１の測定状態を示すブロック図である。インピーダンス測定装置１のタッチパネル１０に表示された「測定条件の設定画面」を示す概要図である。インピーダンス測定装置１のタッチパネル１０に表示された「レンジリスト編集画面」を示す概要図である。インピーダンス測定装置１の測定タイミングチャートである。インピーダンス測定装置１のタッチパネル１０に表示された「測定スピードの個別設定画面」を示す概要図である。インピーダンス測定装置１のタッチパネル１０に表示された「測定画面」を示す概要図である。

以下、本発明の実施例を詳細に説明するが、本発明の範囲はこれらの実施例に限定されるものではない。

本発明を適用する測定装置の一例として、インピーダンス測定装置１の構成を図１に示す。このインピーダンス測定装置１は、測定部２、ＣＰＵ（中央演算処理装置）３、メモリ４、タッチパネル１０を備え、ＤＵＴ（測定対象物）９０のパラメータを測定可能に構成されている。

測定部２は、例えば同図に示すように、ＤＵＴ９０の両端に接触させたプローブ２ａ、プローブ２ｂを介して測定周波数の測定用電流をＤＵＴ９０に流し、流れた測定電流を検出すると共に、その測定用電流によってＤＵＴ９０の両端に発生した電圧を検出し、検出した測定用電流及び両端電圧からＤＵＴ９０のパラメータを、２端子法で測定可能に構成されている。測定部２は、４端子法や公知の他の方法でパラメータを測定するものであってもよい。測定部２が測定可能なパラメータとしては、具体的には例えば、抵抗Ｒ、静電容量Ｃ、インダクタンスＬ、複素インピーダンスＺ、インピーダンスの絶対値|Ｚ|（以下において「インピーダンス|Ｚ|」ともいう）、インピーダンスの位相角θ、リアクタンスＸ、複素アドミタンスＹ、アドミタンスの絶対値｜Ｙ｜（以下において「アドミタンス|Ｙ|」ともいう）、アドミタンスの位相角φ、コンダクタンスＧ、サセプタンスＢであったり、抵抗、コンデンサ、及びコイルを直列接続した直列等価回路における直列等価抵抗Ｒｓ、直列等価静電容量Ｃｓ、直列等価インダクタンスＬｓであったり、抵抗、コンデンサ、及びコイルを並列接続した並列等価回路における並列等価抵抗Ｒｐ、並列等価静電容量Ｃｐ、並列等価インダクタンスＬｐであったり、Ｑ（Ｑファクタ）や損失係数Ｄ（Ｄ＝１／Ｑ＝ｔａｎδ）であったり、直流抵抗Ｒｄｃなどの電気的な特性値である。測定するパラメータは、タッチパネル１０の操作により、任意に複数（例えば２つ）選択可能になっている。

測定部２は、入力レベルを適正な検出レベルに増幅又は減衰するために、入力部の増幅度又は減衰度を多段階で切換え可能に構成した複数の測定レンジを有している。測定部２は、測定制御部によって設定された一つの測定レンジで測定対象物のパラメータを測定する。各測定レンジは、一例として、インピーダンス|Ｚ|で規定されている。また、測定レンジは、一例として、測定可能なインピーダンス|Ｚ|の最大値で表されている。各測定レンジで測定可能なインピーダンス|Ｚ|（測定値）の範囲は、一例として、１００ｍΩレンジでは０〜１００ｍΩ、１Ωレンジでは８０ｍΩ〜１Ω、１０Ωレンジでは８００ｍΩ〜１０Ω、３００Ωレンジでは８Ω〜３００Ω、１ｋΩレンジでは２４０Ω〜１ｋΩ、３ｋΩレンジでは８００Ω〜３ｋΩ、１０ｋΩレンジでは２．４ｋΩ〜１０ｋΩ、３０ｋΩレンジでは８ｋΩ〜３０ｋΩ、１００ｋΩレンジでは２４ｋΩ〜１００ｋΩ、１ＭΩレンジでは８０ｋΩ〜１ＭΩ、１０ＭΩレンジでは８００ｋΩ〜１０ＭΩ、１００ＭΩレンジでは８ＭΩ〜１００ＭΩの範囲である。なお、測定レンジの値は、測定するパラメータの種類にかかわらず常にインピーダンス|Ｚ|で表してもよいし、例えば静電容量Ｃを測定するときは、１ｐＦ、・・・、１μＦ、・・・１Ｆのようにパラメータの種類に対応させた単位で表してもよい。

ＣＰＵ３は、メモリ４に記憶されているプログラムに従って動作して、インピーダンス測定装置１の各部の動作を統括的に制御する。また、ＣＰＵ３は、本発明における測定制御部を兼ねている。ＣＰＵ３は、測定制御部として、測定に用いる一つの測定レンジを測定部２に設定すると共に、その一つの測定レンジに対応する測定条件をメモリから読み込んで測定部２に設定する。また、ＣＰＵ３は、タッチパネル１０に画像を表示させ、タッチパネル１０で操作された内容を判別する。

メモリ４は、例えば、プログラムを記憶するＲＯＭ（リードオンリーメモリ）、ＣＰＵ３の作業エリアとなるＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）、及び、測定値、測定条件、及び各種設定値を記憶する例えばフラッシュＲＯＭなどの書き換え可能な不揮発性メモリ（いずれも図示せず）で構成されている。メモリ４として、書き換え可能な磁気ディスク記録装置であるハードディスクを用いてもよい。

タッチパネル１０は、表示部５及び操作部６を兼ねており、液晶パネルやＣＲＴなどの表示装置と、タッチパッドなどの位置入力装置とが組み合わされていて、画像を表示すると共に、指や専用ペン等が画面に触れたときに、その触れた画面上の位置情報をＣＰＵ３に出力する。なお、表示部５として液晶パネルなどの表示装置を用い、操作部６としてキーボードなどの入力装置を用いてもよい。

次に、インピーダンス測定装置１の動作について説明する。

インピーダンス測定装置１を動作させるにあたり、まず、測定を行うパラメータなどの各種測定条件を設定する。図２に、タッチパネル１０に「測定条件の設定画面」が表示されている例を示す。この画面は、測定者がタッチパネル１０を操作して設定モードを選択したときにＣＰＵ３が表示させる。

同画面中に表示されている、レンジリスト設定ボタン１１が本発明で新たに設けられた操作用のボタンである。

レンジリスト表示ボタン１１は、前述した各測定レンジで測定を行うときの測定条件を、測定レンジ毎に個別に設定を行うためのボタンである。このレンジリスト設定ボタン１１が測定者によってタッチされる（触れられる）と、ＣＰＵ３は、図３に示す「レンジリスト編集画面」をタッチパネル１０に表示する。

図３に示す「レンジリスト編集画面」では、各測定レンジに対応させて、測定スピード、平均回数、信号遅延期間、及び測定遅延期間（それぞれ測定条件の一例）が一覧表形式で表示される。同図では、測定レンジの数が多いため、タッチパネル１０に一度に全ての測定レンジを表示しきれないので、スクロールバー２６を指で上下に移動させて一覧表を上下にスクロールさせることで、所望の測定レンジを表示できるようになっている。

ここで、図４に示す測定タイミングチャートを用いて、測定スピード、平均回数、信号遅延期間、及び測定遅延期間について説明する。同図に示すように、信号遅延期間は、測定開始トリガの入力から測定用信号の出力を開始するまでの期間である。また、測定遅延期間は、測定用信号の出力の開始から１回目の測定を開始するまでの期間である。測定は、１回目の測定が終了すると２回目の測定を開始し、２回目の測定が終了すると３回目の測定を開始するというように、平均回数で設定されたｎ回（ｎは１以上の整数）測定を繰り返す。ＣＰＵ３は、得られたｎ個の測定値を平均化して最終的な測定値とする。各回の測定は、測定スピード（後述するＦＡＳＴ、ＭＥＤ、ＳＬＯＷ、ＳＬＯＷ２）で設定されたサンプリング期間（測定期間）Ｔで測定を行う。これらの測定条件のうち、測定スピード、平均回数は、測定精度や測定値の安定性に関係する測定条件である。また、信号遅延期間、測定遅延期間は、測定開始前の期間に関係する測定条件である。

図３に戻って説明すると、測定者が一覧表中で設定したい測定条件の個所を指でタッチすることで、ＣＰＵ３は、その測定条件を変更するための「測定条件個別設定画面」を表示させる。

測定スピードでは、測定を行う際のサンプリング期間Ｔの長短を設定する。例えば、測定レンジ「３００Ω」の測定スピードを変更設定するときには、測定レンジ「３００Ω」で現在測定スピードとして設定されている「ＳＬＯＷ２」（白抜き文字で表示）を指でタッチする。これにより、ＣＰＵ３は、「測定条件個別設定画面」の一例として、図５に示す「測定スピードの個別設定画面」を表示させる。

図５に示す「測定スピードの個別設定画面」では、測定レンジ「３００Ω」の測定スピードを選択するためのＦＡＳＴボタン３１ａ、ＭＥＤボタン３１ｂ、ＳＬＯＷボタン３１ｃ、ＳＬＯＷ２ボタン３１ｄが表示されている。ボタン３１ａ〜３１ｄのいずれかを選択することで、ＦＡＳＴ（早い）、ＭＥＤ（中間、通常）、ＳＬＯＷ（遅い）、ＳＬＯＷ２（より遅い）の４つの中から測定スピードを選択できる。測定スピードを遅くするほど、測定に時間が掛かるようになるが、測定精度や測定値の安定度が良くなる。同図に示すように、一例としてＦＡＳＴボタン３１ａ（白抜き文字で表示）を選択すると、ＣＰＵ３は、メモリ４に記憶された測定レンジ「３００Ω」の測定スピードを「ＳＬＯＷ２」から「ＦＡＳＴ」に書き換えると共に、図３や図５の測定レンジ「３００Ω」の測定スピードを「ＦＡＳＴ」と画面表示する。

測定スピードに対応するサンプリング期間Ｔは、具体的には、例えば表１に示す算出式で求める。同表に示すように、サンプリング期間Ｔは、測定スピードで場合分けされるだけではなく、測定周波数の範囲によって場合分けされて算出するようになっている。これは、測定周波数が高くなるとサンプリングする周期の数を多くしても測定期間があまり長くならないこと、及び、測定精度を確保するために測定周波数が高くなるほどサンプリングする周期の数を多くする必要性が有ることの理由による。表１に対応するテーブルは、ＣＰＵ３が参照可能にメモリ４に予め記憶されている。

表中、Ｔｆ（ｓ）＝１／測定周波数である。言い換えるとＴｆは測定周波数の１周期分の期間である。

なお、予め設定されたＦＡＳＴ、ＭＥＤ、ＳＬＯＷ、ＳＬＯＷ２の４つの中から測定スピードを選択して設定する例を説明したが、これに限定されず、例えば５ミリ秒のようにサンプリング期間Ｔを数値で設定したり、例えば８周期のように測定周波数の周期の数で設定したりするようにしてもよい。

図５の「測定スピードの個別設定画面」中のＥＸＩＴボタン３２が指でタッチされると、ＣＰＵ３は、この画面表示を終了し、設定された測定スピードを反映させて図３に示す「レンジリスト編集画面」を再度表示する。

図３の「レンジリスト編集画面」に示す平均回数では、測定値の平均化処理を行う回数を設定する。図３の一覧表中の平均回数の数値が指でタッチされると、ＣＰＵ３は、その測定レンジの平均回数を設定するための「平均回数の個別設定画面」（図示せず）をタッチパネル１０に表示させる。「平均回数の個別設定画面」では、平均回数を１〜２５６回のように設定可能な例えば数値キーを表示する。なお、平均回数が１回に設定されたときには、１回だけ測定を行い、平均化処理は行わない。

また、図３の一覧表中で信号遅延期間や測定遅延期間の数値が指でタッチされると、ＣＰＵ３は、その測定レンジの信号遅延期間や測定遅延期間を設定するために数値キーを表示した「信号遅延期間の個別設定画面」（図示せず）や「測定遅延期間の個別設定画面」（図示せず）をタッチパネル１０に表示させる。

このように、測定レンジ毎に個別に、測定スピード、平均回数、信号遅延期間、測定遅延期間を設定することができる。設定されたこれら測定条件は、ＣＰＵ３が、それぞれの測定レンジに対応させて、例えば図３の一覧表のようなテーブル形式で、メモリ４に記憶する。これらの値を個別に入力設定するために表示した図２のレンジリスト設定ボタン１１、図３の「レンジリスト編集画面」、図５の「測定スピードの個別設定画面」や、「平均回数の個別設定画面」（不図示）、「信号遅延期間の個別設定画面」（不図示）、「測定遅延期間の個別設定画面」（不図示）などの「測定条件個別設定画面」、画面を表示させたＣＰＵ３、及びタッチパネル１０が、本発明における測定条件入力手段に相当する。

なお、測定スピード、平均回数、信号遅延期間、測定遅延期間を設定する例について説明したが、これらを全て設定できるようにしてもよいし、これらの中のいずれか一つ又は複数を設定できるようにしてもよい。また、測定を開始するまでの時間に関係する測定条件として、測定開始トリガから直ちに又は所定の時間経過後に測定用信号の出力を開始するようにしておき、測定開始トリガから測定を開始するまでの期間（総合遅延期間）を各測定レンジで個別に設定できるようにしてもよい。

図３のＥＸＩＴボタン２７が指でタッチされると、ＣＰＵ３は、「レンジリスト編集画面」の表示を終了し、図２の「測定条件の設定画面」を表示する。

図２の「測定条件の設定画面」に表示されている、パラメータ設定ボタン１２ａ、周波数設定ボタン１２ｂ、信号レベル設定ボタン１２ｃ、レンジ設定ボタン１２ｄ、トリガ設定ボタン１２ｅ、リミット設定ボタン１２ｆ、ＥＸＩＴボタン１３は、従来のインピーダンス測定装置でも表示される操作用のボタンである。

パラメータ設定ボタン１２ａは、インピーダンス測定装置１（測定部２）によって測定が行われるパラメータを設定するためのボタンである。パラメータ設定ボタン１２ａが指でタッチされると、ＣＰＵ３は、測定可能なパラメータを選択可能に表示したパラメータ選択画面（図示せず）を表示する。ここでは、すでにパラメータ選択画面で、インピーダンス|Ｚ|、及びインダクタンスＬの２種のパラメータが選択されている例として、それを示す「|Ｚ|」の測定パラメータ表示１４、及び「Ｌ」の測定パラメータ表示１６が表示されている。周波数設定ボタン１２ｂは、測定周波数を設定するためのボタンである。周波数設定ボタン１２ｂが測定者によりタッチされると、ＣＰＵ３は、数値キーなどを表示した周波数設定画面（図示せず）を表示し、測定者によって周波数が設定される。信号レベル設定ボタン１２ｃは、測定用信号のレベルを設定するためのボタンである。信号レベル設定ボタン１２ｃが測定者によりタッチされると、ＣＰＵ３は、数値キーなどを表示した信号レベル設定画面（図示せず）を表示し、測定者によって電圧値などで信号用信号のレベルが設定される。

レンジ設定ボタン１２ｄは、オートレンジ機能で測定を行うか、ホールドレンジ機能で測定を行うかを設定するためのボタンである。レンジ設定ボタン１２ｄが測定者によりタッチされると、ＣＰＵ３は、オートレンジ機能とホールドレンジ機能とを選択可能なボタン、及びホールドレンジ機能のときに何れのレンジで測定を行うか測定レンジを選択可能なボタンを表示したレンジ設定画面（図示せず）を表示する。トリガ設定ボタン１２ｅは、測定を開始するトリガを外部トリガとするか、内部トリガとするかを選択可能なトリガ設定画面（図示せず）を表示する。リミット設定ボタン１２ｆは、ＤＵＴ９０に流す測定用電流の最大値（リミット値）やＤＵＴ９０に印加する電圧の最大値（リミット値）を設定するためのボタンである。リミット値を設定しておくことで、ＤＵＴ９０の破損を防止することができる。ＣＰＵ３は、各ボタン１２ａ〜１２ｆで設定されたパラメータや値などをメモリ４に記憶させる。

以上で、測定条件の設定が終了する。設定が終了したときに、測定者は、図２に示されるＥＸＩＴボタン１３を指でタッチする。

図２のＥＸＩＴボタン１３がタッチされると、ＣＰＵ３は、「測定条件の設定画面」の表示を終了し、例えば図６に示す「測定画面」を表示する。

図６の「測定画面」は、ＤＵＴ９０のパラメータの測定を実行するための画面である。ＣＰＵ３は、メモリ４から読み込んだ測定条件で測定を行う。ホールドレンジ機能が設定されているときには、ＣＰＵ３は、測定制御部として、測定に用いる一つの測定レンジを測定部２に設定すると共に、この一つの測定レンジに対応する測定条件（測定スピード、平均回数、信号遅延期間、測定遅延期間）をメモリ４から読み込んで、読み込んだ測定条件で測定部２に測定させる。続いて、ＣＰＵ３は、得られたｎ個の測定値を平均化処理して、最終的な測定値を算出し、例えば同図に示すように、インピーダンス|Ｚ|の測定値表示１５やインダクタンスＬの測定値表示１７のように、タッチパネル１０に表示させる。また、ＣＰＵ３は、ＤＵＴ９０に流れた測定用電流や発生した両端電圧を、電流電圧表示１８として表示させてもよい。また、ＣＰＵ３は、設定された各種測定条件を、測定条件表示４１としてタッチパネル１０に表示してもよい。

ホールドレンジ機能で、他の一つの測定レンジが設定されたときには、ＣＰＵ３は、他の一つの測定レンジで測定部２に測定させると共に、他の一つの測定レンジに対応する測定条件（測定スピード、平均回数、信号遅延期間、測定遅延期間）をメモリ４から読み込んで、読み込んだ測定条件で測定部２に測定させる。したがって、従来の測定装置のように、測定レンジを切換えるたびに、測定条件を手動で設定する必要がない。

また、オートレンジ機能が設定されているときには、ＣＰＵ３は、測定制御部として、例えばインピーダンス|Ｚ|が最大の測定レンジから徐々に小さな測定レンジに切り換えつつ測定部２に測定させるなどして、入力レベル（測定したインピーダンス|Ｚ|）の測定に最も適した一つの測定レンジを選択する。測定制御部は、選択した一つの測定レンジで測定部２に測定値を測定させる。このとき、測定制御部は、選択した一つの測定レンジに対応する測定条件（測定スピード、平均回数、信号遅延期間、測定遅延期間）をメモリ４から読み込んで、読み込んだ測定条件で測定部２に測定させる。したがって、従来の測定装置のように、オートレンジ機能で測定レンジが決定されるたびに、測定条件を手動で設定する必要がない。

なお、各測定レンジに対応する測定条件を手動で設定する例について説明したが、インピーダンス測定装置１に制御用のコンピュータを有線又は無線で接続し、このコンピュータから測定条件をデータで送信することでインピーダンス測定装置１に設定するようにしてもよい。また、測定装置の例として、インピーダンス測定装置１について説明したが、複数の測定レンジを有して、一つの測定レンジで測定を行う測定装置であれば、これに限定されず、例えば、デジタルマルチメータ、電流測定装置、電圧測定装置、電力測定装置、ＬＣＲメータ、抵抗測定装置、静電容量測定装置、Ｑメータ、絶縁抵抗測定装置などに本発明を適用してもよい。

１はインピーダンス測定装置、２は測定部、３はＣＰＵ、４はメモリ、５は表示部、６は操作部、１０はタッチパネル、１１はレンジリスト設定ボタン、１２ａはパラメータ設定ボタン、１２ｂは周波数設定ボタン、１２ｃは信号レベル設定ボタン、１２ｄはレンジ設定ボタン、１２ｅはトリガ設定ボタン、１２ｆはリミット設定ボタン、１３はＥＸＩＴボタン、１４は測定パラメータ表示、１５は測定値表示、１６は測定パラメータ表示、１７は測定値表示、１８は電流電圧表示、２６はスクロールバー、２７はＥＸＩＴボタン、３１ａはＦＡＳＴボタン、３１ｂはＭＥＤボタン、３１ｃはＳＬＯＷボタン、３１ｄはＳＬＯＷ２ボタン、３２はＥＸＩＴボタン、４１は測定条件表示、９０はＤＵＴである。

Claims

複数の測定レンジの中の一つの測定レンジで測定対象物のパラメータを測定する測定部と、該測定レンジごとの測定条件を個別に入力設定するための測定条件入力手段と、それぞれの該測定レンジに対応させて該測定条件を記憶するメモリと、測定に用いる該一つの測定レンジを該測定部に設定すると共に、該一つの測定レンジに対応する該測定条件を該メモリから読み込んで、該測定条件で該測定部に測定させる測定制御部とを備える測定装置において、
該測定条件が、測定値の平均回数、および測定対象物に対するサンプリング期間の長短である測定スピードであって、
値の小さな該測定レンジで該平均回数を多く且つ該測定スピードを遅く条件設定し、値の大きな該測定レンジでは平均回数を少なく且つ測定スピードを速く条件設定してあることを特徴とする測定装置。