JP5839167B2 - 観察装置 - Google Patents
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Description
(2)光源装置100からの光束が偏光板111のほぼ中央部を通過するように、ステッピングモータ115を制御する。
(3)イメージセンサ155の出力を第1偏光イメージとして、筐体180の位置情報とともにRAMに保存する。
(4)光源装置100からの光束が偏光板112のほぼ中央部を通過するように、ステッピングモータ115を制御する。
(5)イメージセンサ155の出力を第2偏光イメージとして、筐体180の位置情報とともにRAMに保存する。
(6)水平駆動装置240を介して、筐体180を次の観察位置に移動させる。
(7)上記(2)〜(5)を行う。
(8)すべての観察位置での観察が完了するまで、上記(6)及び(7)を繰り返し行う。
(9)すべての観察位置での観察が完了すると、筐体180の位置情報毎に、第1偏光イメージと第2偏光イメージを合成する。ここで合成されたイメージは、入力装置210に表示される。
(10)筐体180の位置情報毎に、上記合成結果に基づいて、異物及び欠陥の有無を判断し、その判断結果を筐体180の位置情報とともにRAMに保存する。
(11)異物及び欠陥の少なくとも一方が有れば、その形状及び大きさを求め、筐体180の位置情報とともにRAMに保存する。
(12)異物が有れば、その像の階調から、該異物が金属、樹脂、セラミックのいずれであるかを判断し、筐体180の位置情報とともにRAMに保存する。なお、像の階調と材質との関係は予め求められ、ROMに格納されている。
(13)異物及び欠陥の少なくとも一方が有れば、筐体180の位置情報から、対象物300における該異物及び欠陥の位置情報を求め、RAMに保存する。
(14)対象物300における異物及び欠陥の有無情報、形状、大きさ、材質、対象物300における該異物及び欠陥の位置情報を、入力装置210に表示するとともに、ネットワークを介して他の装置に通知する。
(15)観察結果を、観察日時、対象物300を特定することができる情報(例えば、ID番号)とともに、HDD装置230に保存する。
(16)次の対象物を待つ。
Claims (10)
- 対象物の表面を光学的に観察する観察装置であって、
前記対象物を介した光の光路上に配置されたレンズと、
前記レンズを通過した光の光路上に配置された偏光フィルタと、
前記偏光フィルタを通過した光の光路上に配置されたマイクロレンズアレイと、
前記マイクロレンズアレイを介した光の光路上に配置され、複数の受光部を有するイメージセンサとを備え、
前記偏光フィルタと前記マイクロレンズアレイとの間隔が、前記マイクロレンズアレイにおけるレンズピッチ以下である観察装置。 - 前記偏光フィルタと前記マイクロレンズアレイとの間隔が、前記イメージセンサにおける受光部の大きさ以下であることを特徴とする請求項1に記載の観察装置。
- 前記偏光フィルタは、前記イメージセンサにおける最も近接する2つの受光部が、それぞれ互いに直交する直線偏光を受光するように形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の観察装置。
- 前記偏光フィルタと前記マイクロレンズアレイと前記イメージセンサは、一体化されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の観察装置。
- 光源と、
互いに直交する2つの直線偏光のいずれかが選択され、前記光源からの光を該選択された直線偏光に変換して射出する偏光変換機構と、
前記レンズと前記偏光フィルタとの間に配置され、前記偏光変換機構からの直線偏光の一部を前記レンズを介して前記対象物に向かう方向に反射する反射部材と、を備えることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の観察装置。 - 前記反射部材は、ハーフミラーであることを特徴とする請求項5に記載の観察装置。
- 前記偏光変換機構は、前記2つの直線偏光の一方を透過させる第1の偏光選択部材と、他方を透過させる第2の偏光選択部材と、前記第1の偏光選択部材及び前記第2の偏光選択部材のうち前記選択された直線偏光を透過させるほうを、前記光源からの光の光路上に配置させる駆動機構と、を有することを特徴とする請求項5又は6に記載の観察装置。
- 前記イメージセンサの出力信号に基づいて、前記対象物における異物及び欠陥の少なくとも一方の有無を判断する処理装置とを備えることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の観察装置。
- 前記処理装置は、更に前記対象物における異物及び欠陥の少なくとも一方の形状を求めることを特徴とする請求項8に記載の観察装置。
- 前記処理装置は、更に前記対象物における異物及び欠陥の少なくとも一方が存在する位置情報を求めることを特徴とする請求項8又は9に記載の観察装置。
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