JP2016183943A - 半導体圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上方に開口する収容凹部11及びその底部に露出する接続端子部12を有する基体部2と、収容凹部の底部に設けられる圧力センサ素子3と、圧力センサ素子及び接続端子部を相互に電気接続するボンディングワイヤ4と、収容凹部に充填され、圧力センサ素子、接続端子部及びボンディングワイヤを覆う保護剤5と、を備え、圧力センサ素子におけるボンディングワイヤの接合位置が、接続端子部におけるボンディングワイヤの接合位置よりも収容凹部の中央C1の近くに位置し、ボンディングワイヤが、接続端子部に第一ボンディングで接合されると共に、圧力センサ素子に第二ボンディングで接合される半導体圧力センサ1を提供する。
【選択図】図2
Description
この種の半導体圧力センサでは、測定対象(外部)の圧力がゲル状樹脂を介して感圧センサチップに伝わることで測定される。
なお、ワイヤの頂部を覆うようにゲル状樹脂の厚みを厚く設定すると、感圧センサチップ上のゲル状樹脂の厚みが大きくなり、外部の圧力を好適に測定できない可能性がある。
一方、ボンディングワイヤは、接続端子部に対して第一ボンディングで接合され、圧力センサ素子に第二ボンディングで接合される。このため、収容凹部の底部上においてループ状に形成されるボンディングワイヤの高さは、圧力センサ素子から接続端子部に向かうにしたがって高くなる。すなわち、ボンディングワイヤの頂部を、圧力センサ素子の外側に位置させることができる。
また、第二ボンディングは、ボンディングワイヤと圧力センサ素子の接合面とを互いに擦り付けるようにして行われるため、第二ボンディングが行われた接合部においては、ボンディングワイヤと圧力センサ素子の表面とが、ほぼ平行となる。
以上のことから、圧力センサ素子上における保護剤の厚みを薄く抑えると共に、ボンディングワイヤを保護剤に埋めることが可能となる。したがって、本発明の半導体圧力センサによれば、測定対象の圧力を好適に測定できると共に、電気的な信頼性向上を図ることも可能となる。
以下、本発明に係る半導体圧力センサの第一実施形態について、図1〜3を参照して説明する。
以下の説明において、「上」及び「下」は、図2における上下に即している。また、高さ方向とは、図2における上方である。「平面視」とは、半導体圧力センサ1を上下方向から見ることを意味する。
図1,2に示すように、本実施形態の半導体圧力センサ1(以下、圧力センサ1と呼ぶ)は、基体部2と、圧力センサ素子3と、ボンディングワイヤ4と、保護剤5と、を備える。
圧力センサ素子3としては、ピエゾ抵抗効果を用いたピエゾ抵抗式の圧力センサ素子の他、静電容量式等、その他の方式の圧力センサ素子であってよい。
本実施形態の収容凹部11の底部には、圧力センサ素子3を搭載する搭載面11aと、接続端子部12が露出する露出面11bとがある。本実施形態では、露出面11bが搭載面11aよりも低く位置する。露出面11bには、複数(図示例では四つ)の接続端子部12が露出している。複数の接続端子部12は、収容凹部11の開口側から見て一列に並んでいる。
本実施形態では、収容凹部11の開口側から見て、搭載面11a及びこれに搭載された圧力センサ素子3の中心を、収容凹部11の中央(中心軸C1)からずらして位置させることで、圧力センサ素子3における各センサ素子用ワイヤ4の接合位置BP2を収容凹部11の中央に近づけている。
次いで、ワイヤWがキャピラリCPから引き出されるようにキャピラリCPを上昇させる。この上昇の際、キャピラリCPは接続端子部12の接合面12aの直上に位置し、少なくとも圧力センサ素子3に近づく方向に移動しない。また、本実施形態では、圧力センサ素子3の回路形成面3aが接続端子部12の接合面12aよりも高く位置するため、上記した上昇の際には、キャピラリCPを圧力センサ素子3の回路形成面3aよりも高い位置まで移動させる。
また、第二ボンディングは、ワイヤWと圧力センサ素子3の回路形成面3aとを互いに擦り付けるようにして行われるため、第二ボンディングが行われた接合部においては、ワイヤWと圧力センサ素子3の回路形成面3aとが、ほぼ平行となる。
以上により、センサ素子用ワイヤ4が形成される。
保護剤5は、測定対象(収容凹部11の外部)から加えられる圧力を圧力センサ素子3に伝達可能である。すなわち、保護剤5としては、例えば、ショアA硬度1未満(ショアA硬度。JIS K 6253に準拠)の柔らかいゲル剤を用いるとよい。この場合、保護剤5は、測定対象から加えられる圧力をそのまま圧力センサ素子3に伝達することができる。
また、保護剤5は、光透過性が低いことが望ましい。これによって、可視光や紫外線を遮断することができるため、圧力センサ素子3に光起電力を発生させることを防ぎ、測定誤差を低減できる。また、圧力センサ素子3やその周囲の配線の劣化を防ぐ効果も期待できる。保護剤5は、例えば顔料等を含有させることによって、光透過性を低くすることができる。
本実施形態の圧力センサ1は、制御素子6を備える。制御素子6は、上記した圧力センサ素子3に電気接続される。本実施形態において、制御素子6は、ボンディングワイヤ7(後述)、接続端子部12、センサ素子用ワイヤ4を介して圧力センサ素子3に電気接続される。
制御素子6は、圧力センサ素子3からのセンサ信号が入力された際に、センサ信号を処理して圧力検出信号として出力するように構成されている。また、制御素子6は、例えば、圧力センサ素子3のON/OFF制御、内蔵する温度センサによる検出値の補正、検出データのA/D変換、リニアリティの補正、信号波形の整形などの機能を有する。
演算処理部では、上記した温度信号に基づいて、圧力センサ素子3からのセンサ信号に補正処理を行うことができる。
温度センサとしては、抵抗式(ブリッジ抵抗式)、ダイオード式、熱電対式、赤外線式などがある。温度センサは、制御素子6の内部において回路形成面6aに近接した位置に設けることができる。
配線構成部には、前述した接続端子部12が含まれている。本実施形態の配線構成部は、導電性を有する板材からなるリードフレーム20である。リードフレーム20の形成材料としては、例えば銅(Cu)、鉄(Fe)等の金属が挙げられる。
リードフレーム20は、前述した接続端子部12をなすセンサ用リード部21と、圧力センサ1の回路を外部と電気接続する外部端子をなす端子リード部22と、を備える。センサ用リード部21及び端子リード部22は、いずれも短冊状に形成されている。
内部リード部23は、前述したセンサ用リード部21と同じ高さ位置に配され、センサ用リード部21から離れる方向に延びる第一延出部23Aと、第一延出部23Aの延出方向先端から下方に延びる第二延出部23Bと、を備える。第二延出部23Bの延出方向先端は、支持体30の下面30bから外方に露出する。
外部リード部24は、内部リード部23の第二延出部23Bの延出方向先端に連ねて形成されている。外部リード部24は、支持体30の下面30bに沿って延びるように支持体30の下面30bに配されている。外部リード部24の延出方向は、内部リード部23の第一延出部23Aの延出方向と逆向きとなっている。
実装部25は、前述したセンサ用リード部21及び端子リード部22の第一延出部23Aと同じ高さに位置し、これらセンサ用リード部21と第一延出部23Aとの間に配される。センサ用リード部21及び端子リード部22の第一延出部23Aは、いずれも実装部25の周囲に間隔をあけて配され、実装部25から離れるように延びている。
支持体30は、基台31と、基台31の上面に設けられて上方に突出する環状壁部32と、を備える。
本実施形態において、基台31は平面視円形の板状に形成されている。基台31の板厚は、リードフレーム20の厚み(リードフレーム20をなす板材の厚み)と比較して十分に大きく設定されている。基台31の上面のうち環状壁部32の内縁側に位置する一部は、収容凹部11の底部をなす。
平面視円環状に形成された環状壁部32の上端面は、基準面32aと、基準面32aに対して階段状に低く位置する段差面32bと、を有する。基準面32aは、環状壁部32の上端面のうち内縁側の領域をなす。段差面32bは、環状壁部32の上端面のうち外縁側の領域をなす。図示例では、段差面32bが基体部2の搭載面11aよりも高く位置している。
台座部33は、環状壁部32の高さ寸法に対して十分に小さい厚さ寸法を有する板状に形成されている。台座部33は、基台31の上面の一部を覆う。具体的には、台座部33は、環状壁部32の内縁側において、基台31の上面から露出する実装部25及び端子リード部22の第一延出部23Aの上面を覆い、センサ用リード部21の上面を覆わない。
台座部33の上面は、本実施形態における収容凹部11の搭載面11aに対応する。また、台座部33によって覆われない基台31の上面は、本実施形態における収容凹部11の露出面11bに対応する。
圧力センサ1を製造する際には、はじめに、制御素子6をリードフレーム20の実装部25の下面に搭載し、制御素子用ワイヤ7によってセンサ用リード部21(接続端子部12)及び端子リード部22の第一延出部23Aに電気接続する。
次いで、樹脂成形等により支持体30を形成する。これにより、制御素子6及び制御素子用ワイヤ7は、支持体30に埋設され、外部に露出しない。また、センサ用リード部21の上面の一部は、収容凹部11の底部に露出する。
最後に、図2に示すように、収容凹部11に保護剤5を充填することで、収容凹部11の底部に露出するセンサ用リード部21の上面、圧力センサ素子3及びセンサ素子用ワイヤ4を覆う。この際には、保護剤5の表面5aが収容凹部11の上方の開口端よりも低く位置するように、保護剤5を収容凹部11に充填する。
以上により、圧力センサ1の製造が完了する。
一方、収容凹部11の底部上でループ状に形成されるセンサ素子用ワイヤ4の高さは、圧力センサ素子3から接続端子部12(センサ用リード部21)に向かうにしたがって高くなる。
以上のことから、圧力センサ素子3上における保護剤5の厚みを薄く抑えると共に、センサ素子用ワイヤ4を保護剤5に埋めることが可能となる。したがって、本実施形態の圧力センサ1によれば、測定対象の圧力を好適に測定できると共に、電気的な信頼性向上を図ることも可能となる。
次に、本発明の第二実施形態について、図4,5を参照して第一実施形態との相違点を中心に説明する。なお、第一実施形態と共通する構成については、同一符号を付し、その説明を省略する。
本実施形態の基体部2は、第一実施形態と同様に、上方に開口する収容凹部11、及び、収容凹部11の底部に露出する接続端子部12を有する。また、本実施形態の収容凹部11の底部には、第一実施形態と同様の搭載面11aと露出面11bとがある。また、接続端子部12の接合面12aは収容凹部11の露出面11bと同一平面上に位置する。また、露出面11bには、複数(図示例では四つ)の接続端子部12が露出している。
これにより、本実施形態では、第一実施形態と同様に、収容凹部11の開口側から見て、圧力センサ素子3における各センサ素子用ワイヤ4の接合位置BP2が、接続端子部12における各センサ素子用ワイヤ4の接合位置BP1よりも収容凹部11の中央の近くに位置する。
そして、センサ素子用ワイヤ4は、第一実施形態と同様に、接続端子部12の接合面12aに対して第一ボンディングで接合されると共に、圧力センサ素子3の回路形成面3aに対して第二ボンディングで接合される。
ただし、本実施形態の基台51は、その上面から窪んで形成された窪み部51Aを有する。窪み部51Aは、前述した収容凹部11の一部を構成し、圧力センサ素子3の収容領域となっている。すなわち、窪み部51Aの底面は、本実施形態における収容凹部11の搭載面11aに対応する。図1において、窪み部51Aは、圧力センサ素子3の平面視形状に対応するように平面視矩形状に形成されているが、これに限ることはない。
ただし、本実施形態では、複数(図示例では四つ)のセンサ用リード部41が、窪み部51Aの周囲に等間隔で配列されている。
ただし、本実施形態では、環状壁部52の外径寸法が基台51よりも小さく設定されている。また、環状壁部52の上端面は、基台51の上面に対して階段状に高く位置する。さらに、本実施形態では、環状壁部52の内縁側に位置する基台51の上面が、本実施形態における収容凹部11の露出面11bに対応する。
Claims (2)
- 上方に開口する収容凹部、及び、前記収容凹部の底部に露出する接続端子部を有する基体部と、
前記収容凹部の底部に設けられる圧力センサ素子と、
前記圧力センサ素子及び前記接続端子部を相互に電気接続するボンディングワイヤと、
前記収容凹部に充填され、前記圧力センサ素子、前記接続端子部及び前記ボンディングワイヤを覆う保護剤と、を備え、
前記収容凹部の開口側から見て、前記圧力センサ素子における前記ボンディングワイヤの接合位置が、前記接続端子部における前記ボンディングワイヤの接合位置よりも前記収容凹部の中央の近くに位置し、
前記ボンディングワイヤが、前記接続端子部に第一ボンディングで接合されると共に、前記圧力センサ素子に第二ボンディングで接合されることを特徴とする半導体圧力センサ。 - 前記ボンディングワイヤの第一端を接合する前記接続端子部の接合面が、前記ボンディングワイヤの第二端を接合する前記圧力センサ素子の接合面よりも低く位置することを特徴とする請求項1に記載の半導体圧力センサ。
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