JP5833299B2 - レーザー加工装置 - Google Patents
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Description
該光伝送手段は、該パルスレーザー光線発振器が発振したパルスレーザー光線の波長域を拡張する波長域拡張手段と、
該波長域拡張手段によって波長域が拡張されたパルスレーザー光線のパルス時間幅を拡張するパルス時間幅拡張手段と、
該パルス時間幅拡張手段によってパルス時間幅が拡張されたパルスレーザー光線を集光する集光レンズと、
該集光レンズによって集光されたパルスレーザー光線を入光して伝送する光ファイバーと、
該光ファイバーによって伝送されたパルスレーザー光線を平行光に修正する修正レンズと、
該修正レンズによって平行光に修正されたパルスレーザー光線を元のパルス時間幅に圧縮して該集光器に伝送するパルス時間幅圧縮手段と、を具備し、
該パルス時間幅拡張手段は該波長域拡張手段により波長域が拡張されたパルスレーザー光線を透過する第1のビームスプリッターと、該第1のビームスプリッターを透過した直線偏光のパルスレーザー光線を円偏光のパルスレーザー光線に変換する第1の1/4波長板と、該第1の1/4波長板によって変換された円偏光のパルスレーザー光線を波長域に渡ってパルス時間幅を拡張して反射するボリュームブラッググレーティング(Volume Bragg Grating)からなるパルス時間幅拡張素子と、からなり、該パルスレーザー光線発振器が発振するパルスレーザー光線はピコ秒の時間幅を有する、
ことを特徴とするレーザー加工装置が提供される。
また、上記パルス時間幅拡張素子で反射し回転方向が逆転した円偏光のパルスレーザー光線を該第1の1/4波長板によって偏光面を90度回転して2次直線偏光にした後、該第1のビームスプリッターを介して該集光レンズに導き、上記パルス時間幅圧縮手段は、上記修正レンズによって平行光に修正されたパルスレーザー光線を透過する第2のビームスプリッターと、該第2のビームスプリッターを透過したパルスレーザー光線を円偏光のパルスレーザー光線に変換する第2の1/4波長板と、該第2の1/4波長板によって変換された円偏光のパルスレーザー光線を波長域に渡ってパルス時間幅を圧縮して反射するパルス時間幅圧縮素子とを備え、該パルス時間幅圧縮素子で反射し回転方向が逆転した円偏光のパルスレーザー光線を該第2の1/4波長板によって偏光面を90度回転して2次直線偏光のパルスレーザー光線を該パルスレーザー光線発振器が発振したパルスレーザー光線に戻した後、該第2のビームスプリッターを介して上記集光器に導く。
波長 :1030nm
パルス時間幅 :10ps
繰り返し周波数 :200kHz
出力 :3W
直径 :3.5mm
図2に示す実施形態における光伝送手段63は、パルスレーザー光線発振器61が発振したパルスレーザー光線LBの波長域を拡張する波長域拡張手段64と、該波長域拡張手段64によって波長域が拡張されたパルスレーザー光線のパルス時間幅を拡張するパルス時間幅拡張手段65と、該パルス時間幅拡張手段65によってパルス時間幅が拡張されたパルスレーザー光線を集光する集光レンズ66と、該集光レンズ66によって集光されたパルスレーザー光線を入光して伝送する光ファイバー67と、該光ファイバー67によって伝送されたパルスレーザー光線を平行光に修正する修正レンズ68と、該修正レンズ68によって平行光に修正されたパルスレーザー光線を元のパルス時間幅に圧縮して集光器62に伝送するパルス時間幅圧縮手段69とによって構成されている。
3:チャックテーブル機構
31:案内レール
36:チャックテーブル
37:加工送り手段
38:第1の割り出し送り手段
4:レーザー光線照射ユニット支持機構
41:案内レール
42:可動支持基台
43:第2の割り出し送り手段
5:レーザー光線照射ユニット
6:パルスレーザー光線照射手段
61:パルスレーザー光線発振器
62:集光器
63:光伝送手段
64:波長域拡張手段
641:ロッド型ホトニクス結晶ファイバー
65:パルス時間幅拡張手段
651:第1のビームスプリッター
652:第1の1/4波長板
653:パルス時間幅拡張素子
66:集光レンズ
67:光ファイバー
68:修正レンズ
69:パルス時間幅圧縮手段
691:第2のビームスプリッター
692:第2の1/4波長板
693:パルス時間幅圧縮素子
Claims (3)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物にレーザー光線を照射するパルスレーザー光線照射手段とを備え、該パルスレーザー光線照射手段がパルスレーザー光線を発振するパルスレーザー光線発振器と、該パルスレーザー光線発振器が発振したパルスレーザー光線を集光してチャックテーブルに保持された被加工物に照射する集光器と、該パルスレーザー光線発振器が発振したパルスレーザー光線を集光器に導く光伝送手段とを具備しているレーザー加工装置において、
該光伝送手段は、該パルスレーザー光線発振器が発振したパルスレーザー光線の波長域を拡張する波長域拡張手段と、
該波長域拡張手段によって波長域が拡張されたパルスレーザー光線のパルス時間幅を拡張するパルス時間幅拡張手段と、
該パルス時間幅拡張手段によってパルス時間幅が拡張されたパルスレーザー光線を集光する集光レンズと、
該集光レンズによって集光されたパルスレーザー光線を入光して伝送する光ファイバーと、
該光ファイバーによって伝送されたパルスレーザー光線を平行光に修正する修正レンズと、
該修正レンズによって平行光に修正されたパルスレーザー光線を元のパルス時間幅に圧縮して該集光器に伝送するパルス時間幅圧縮手段と、を具備し、
該パルス時間幅拡張手段は該波長域拡張手段により波長域が拡張されたパルスレーザー光線を透過する第1のビームスプリッターと、該第1のビームスプリッターを透過した直線偏光のパルスレーザー光線を円偏光のパルスレーザー光線に変換する第1の1/4波長板と、該第1の1/4波長板によって変換された円偏光のパルスレーザー光線を波長域に渡ってパルス時間幅を拡張して反射するボリュームブラッググレーティング(Volume Bragg Grating)からなるパルス時間幅拡張素子と、からなり、該パルスレーザー光線発振器が発振するパルスレーザー光線はピコ秒の時間幅を有する、
ことを特徴とするレーザー加工装置。 - 該波長域拡張手段は、ロッド型ホトニクス結晶ファイバーと、該ロッド型ホトニクス結晶ファイバーの入光側に配設されパルスレーザー発振器が発振したパルスレーザー光線を集光する集光レンズと、該ロッド型ホトニクス結晶ファイバーの出光側に配設され該ロッド型ホトニクス結晶ファイバーから出光するパルスレーザー光線を平行光に修正する修正レンズとからなっている、請求項1のレーザー加工装置。
- 該パルス時間幅拡張素子で反射し回転方向が逆転した円偏光のパルスレーザー光線を該第1の1/4波長板によって偏光面を90度回転して2次直線偏光にした後、該第1のビームスプリッターを介して該集光レンズに導き、
該パルス時間幅圧縮手段は、該修正レンズによって平行光に修正されたパルスレーザー光線を透過する第2のビームスプリッターと、該第2のビームスプリッターを透過したパルスレーザー光線を円偏光のパルスレーザー光線に変換する第2の1/4波長板と、該第2の1/4波長板によって変換された円偏光のパルスレーザー光線を波長域に渡ってパルス時間幅を圧縮して反射するパルス時間幅圧縮素子とを備え、該パルス時間幅圧縮素子で反射し回転方向が逆転した円偏光のパルスレーザー光線を該第2の1/4波長板によって偏光面を90度回転して2次直線偏光のパルスレーザー光線を該パルスレーザー光線発振器が発振したパルスレーザー光線に戻した後、該第2のビームスプリッターを介して該集光器に導く、請求項1又は2記載のレーザー加工装置。
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