JP5825890B2 - Inspection apparatus and probe unit attaching / detaching method - Google Patents

Description

本発明は、プローブピンを保持してプロービング機構に着脱される保持部を有するプローブユニットを備えてプロービング対象体についての検査を行う検査装置、およびそのプローブユニットの保持部をプロービング機構に着脱するプローブユニット着脱方法に関するものである。 The present invention is detachable inspection apparatus for inspecting for probing the target object includes a probe unit having a holding portion which is detachably attached to the probing mechanism holding the probe pins, and the holding portion of the probe unit probing mechanism The present invention relates to a probe unit attaching / detaching method.

この種のプローブユニットとして、特開２００１−４１９７５号公報において出願人が開示したプローブユニットが知られている。このプローブユニットは、信号ケーブルがそれぞれ接続された２本のプローブピンを保持するプローブ保持部を、１本の取付用ネジによってプローブ案内機構に固定可能に構成されている。このため、このプローブユニットでは、迅速かつ容易にプローブユニットの交換を行うことが可能となっている。   As this type of probe unit, a probe unit disclosed by the applicant in Japanese Patent Laid-Open No. 2001-41975 is known. This probe unit is configured such that a probe holding portion that holds two probe pins to which signal cables are respectively connected can be fixed to a probe guide mechanism by a single mounting screw. For this reason, in this probe unit, it is possible to replace the probe unit quickly and easily.

特開２００１−４１９７５号公報（第４−６頁、第１図）JP 2001-41975 (page 4-6, FIG. 1)

ところが、上記のプローブユニットには、改善すべき以下の課題がある。すなわち、このプローブユニットでは、プローブ保持部が２本のプローブピンを保持し、各プローブピンに信号ケーブルがそれぞれ接続されている。このため、４端子法で検査を行う際には、このプローブユニットが２つ用いられる。この場合、各プローブユニットは、２つのプローブ案内機構に個別に固定された状態で移動させられて、これによって検査対象体に対するプローブピンのプロービングが行われる。ここで、例えば、抵抗値の僅かな差に基づいて対象体の良否を判定するような検査を行うときには、ノイズの影響を抑制するために、信号ケーブルとしては、被覆導線の周囲にシールドを設け、さらにシールドの周囲を絶縁材料で覆ったものが用いられる。この場合、この種の信号ケーブルを複数用いるときには、各信号ケーブルの絶縁材料およびシールドを剥がして被覆導線を露出させて、各プローブピンに被覆導線の先端部をそれぞれ接続し、露出している被覆導線の根本部分で各信号ケーブルのシールド同士を半田付け等によって接続する。この場合、被覆導線が露出している部分（シールドによって覆われていない部分）によるノイズの拾い込みを低減するために、この部分の長さが短く規定されている。一方、上記のプローブユニットを２つ用いる場合において、プローブユニットのメンテナンス等を行うときには、２つのプローブユニットを２つのプローブ案内機構に対して個別にそれぞれ着脱する必要があるが、上記したように、被覆導線が露出している部分が短く、かつ露出している被覆導線の根本部分でシールド同士が接続されている。このため、このプローブユニットでは、着脱の作業中に誤って２つのプローブユニットを大きく離反させたときに、信号ケーブルが接続されているプローブピンを破損させたり、信号ケーブルを切断させたりするおそれがあり、この点の改善が望まれている。 However, the above probe unit has the following problems to be improved. That is, in this probe unit, the probe holding part holds two probe pins, and a signal cable is connected to each probe pin. For this reason, two probe units are used when the inspection is performed by the four-terminal method. In this case, each probe unit is moved in a state of being individually fixed to the two probe guide mechanisms, thereby probing the probe pin with respect to the inspection object. Here, for example, when performing a test to determine the quality of an object based on a slight difference in resistance value, a signal cable is provided with a shield around the coated conductor in order to suppress the influence of noise. Further, a shield whose periphery is covered with an insulating material is used. In this case, when using a plurality of this type of signal cable, the insulation material and shield of each signal cable are peeled off to expose the covered conductor, and the tip of the covered conductor is connected to each probe pin, respectively, and the exposed sheath The shield of each signal cable is connected by soldering or the like at the base part of the conducting wire. In this case, the length of this portion is defined to be short in order to reduce the noise pick-up by the portion where the coated conductor is exposed (the portion not covered by the shield). On the other hand, in the case where two probe units are used, when performing maintenance or the like of the probe unit, the two probe units need to be individually attached to and detached from the two probe guide mechanisms. The portion where the covered conductor is exposed is short, and the shields are connected to each other at the root portion of the exposed covered conductor. For this reason, in this probe unit, there is a risk of damaging the probe pin to which the signal cable is connected or disconnecting the signal cable when the two probe units are mistakenly separated greatly during the attaching / detaching operation. There is a desire to improve this point.

本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、信号ケーブルが接続されているプローブピンの破損や信号ケーブルの切断を防止しつつプローブユニットの着脱を行い得る検査装置およびプローブユニット着脱方法を提供することを主目的とする。 The present invention, according improvements to has been made in view of the problems to, inspection apparatus and Ru obtain perform attachment and detachment of the probe unit while preventing damage or disconnection of the signal cable of the probe pin the signal cables are connected The main object is to provide a probe unit attaching / detaching method .

上記目的を達成すべく請求項１記載の検査装置は、プローブピンをそれぞれ保持可能に構成されると共に当該プローブピンをプロービング対象体にプロービングさせるプロービング機構における一対の取付部にそれぞれ着脱可能に構成された一対の保持部を備え、当該各保持部が、互いに近接し、かつ連結部材によって連結されている状態で前記各取付部にそれぞれ着脱可能に構成されているプローブユニットと、当該プローブユニットの前記各保持部が装着される一対の取付部を有して当該各保持部によって保持されているプローブピンをプロービング対象体にプロービングさせるプロービング機構と、前記プロービング対象体にプロービングされている前記プローブピンを介して入出力した電気信号に基づいて当該プロービング対象体についての検査を行う検査部とを備えている検査装置であって、前記プロービング機構は、前記連結部材によって前記各保持部が連結されていない状態において前記プローブユニットの着脱を指示されたときに、前記各保持部が互いに近接する近接状態となる着脱位置に前記各取付部を移動させる。 Inspection apparatus according to claim 1, wherein to achieve the above object, respectively detachably attached to the pair of mounting portions in the probing mechanism for probing the probe pin together the probe pin probing subject holdable configured respectively a pair of holding portions that are, the respective holding part, close to each other, and the probe unit the are detachably configured to each mounting portion in a state of being connected by the connecting member, of the probe unit A probing mechanism having a pair of attachment parts to which each holding part is mounted and probing a probe pin held by each holding part to a probing object, and the probe pin probing to the probing object To the probing object based on the electrical signals input / output via The probing mechanism is instructed to attach and detach the probe unit in a state where the holding parts are not connected by the connecting member, Each attachment part is moved to an attaching / detaching position where the holding parts are close to each other .

また、請求項２記載の検査装置は、請求項１記載の検査装置において、前記プローブユニットは、前記連結部材を備え、前記各保持部および前記連結部材には、装着時において互いに嵌合し合って位置決めを行うための位置決め用嵌合部がそれぞれ形成されている。 Further, the inspection apparatus according to claim 2, wherein, in the inspection apparatus according to claim 1, wherein the probe unit includes the coupling member, to the each holding portion and the connecting member, each other fit together during mounting Positioning positioning portions for positioning are formed.

また、請求項３記載の検査装置は、請求項２記載の検査装置において、前記位置決め用嵌合部は、前記各保持部に形成された嵌合用の凹部および凸部のいずれか一方と、前記連結部材に形成されて当該連結部材の装着時において前記いずれか一方に嵌合して当該連結部材を位置決めする前記凹部および前記凸部の他方とで構成されている。 Further, the inspection apparatus according to claim 3, wherein, in the inspection apparatus according to claim 2, wherein the positioning fitting portion, and one of the concave and convex portions for fitting formed in said respective holder, said The concave portion and the other convex portion that are formed on a connecting member and are fitted to either one of the connecting members when the connecting member is mounted to position the connecting member.

請求項４記載の検査装置は、請求項１から３のいずれかに記載の検査装置において、前記各保持部は、固定用ネジで前記各取付部に固定され、前記連結部材は、前記各保持部を連結している状態において、前記各保持部から取り外した固定用ネジで前記各保持部に固定される。 Inspection apparatus according to claim 4, wherein, in the inspection apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the holding portion is fixed to the respective mounting portions in fixing screws, the connecting member, each retaining In the state which connected the part, it fixes to each said holding | maintenance part with the fixing screw removed from each said holding | maintenance part.

請求項５記載のプローブユニット着脱方法は、プローブピンをそれぞれ保持可能に構成されると共に当該プローブピンをプロービング対象体にプロービングさせるプロービング機構における一対の取付部にそれぞれ着脱可能に構成された一対の保持部を備えたプローブユニットにおける当該各保持部を当該各取付部にそれぞれ着脱するプローブユニット着脱方法であって、前記プロービング機構に対して、前記各取付部に装着されている前記各保持部が互いに近接する近接状態となる取り外し位置に当該各取付部を移動させ、前記各保持部に連結部材を装着して当該各保持部を前記近接状態のまま連結し、当該連結されている状態の当該各保持部を前記各取付部から取り外す。 Probe unit removable method of claim 5, wherein the probe pins can hold configuration as the pair of which together respectively detachably attached to the pair of mounting portions in the probing mechanism for probing the probe pin probing object, respectively A probe unit attaching / detaching method for attaching / detaching each holding part in a probe unit provided with a holding part to each attaching part, wherein each holding part attached to each attaching part with respect to the probing mechanism includes: Move each attachment portion to a removal position that is close to each other, attach a connecting member to each holding portion, connect the holding portions in the proximity state, and connect the holding portions to each other. Each holding part is removed from each mounting part.

請求項６記載のプローブユニット着脱方法は、プローブピンをそれぞれ保持可能に構成されると共に当該プローブピンをプロービング対象体にプロービングさせるプロービング機構における一対の取付部にそれぞれ着脱可能に構成された一対の保持部を備えたプローブユニットにおける当該各保持部を当該各取付部にそれぞれ着脱するプローブユニット着脱方法であって、前記プロービング機構に対して、前記各取付部に装着されたときに前記各保持部が互いに近接する近接状態となる取付け位置に当該各取付部を移動させ、連結部材によって前記近接状態のまま連結されている状態の前記各保持部を前記各取付部に取り付けた後に、前記連結部材を前記各保持部から取り外す。 Probe unit removable method of claim 6 wherein the probe pins can hold configuration as the pair of which together respectively detachably attached to the pair of mounting portions in the probing mechanism for probing the probe pin probing object, respectively A probe unit attaching / detaching method for attaching / detaching each holding part to / from each attaching part in a probe unit having a holding part , wherein each holding part is attached to each attaching part with respect to the probing mechanism. There is moved the respective mounting portions to the attachment position where the proximity state to be close to each other, each of said holding portion in a state in which the consolidated member are coupled while the proximity state after attaching to each mounting portion, said coupling A member is removed from each holding part .

請求項１記載の検査装置では、各保持部が、互いに近接しかつ連結部材によって連結されている状態でプロービング機構の各取付部にそれぞれ着脱可能に構成されている。このため、取付部に各保持部を着脱する際に、各プローブピンに接続されている各信号ケーブルを互いに近接した状態に維持することができる。したがって、この検査装置によれば、信号ケーブルに接続されているプローブピンの破損や、信号ケーブルの切断を確実に防止しつつ取付部に対するプローブユニットの着脱を行うことができる。また、この検査装置、および請求項５記載のプローブユニット着脱方法では、プロービング機構に対して各保持部が近接状態となる取り外し位置（着脱位置）に各取付部を移動させ、各保持部に連結部材を装着して各保持部を近接状態のまま連結した後に、連結されている状態の各保持部を各取付部から取り外す。このため、この検査装置およびプローブユニット着脱方法によれば、取付部を手作業で取り外し位置（着脱位置）に移動させる構成および方法と比較して、各取付部を取り外し位置（着脱位置）に正確かつ容易に移動させることができる結果、信号ケーブルに接続されているプローブピンの破損や、信号ケーブルの切断を確実に防止しつつ各保持部を各取付部から容易に取り外すことができる。また、この検査装置、および請求項６記載のプローブユニット着脱方法では、プロービング機構に対して各保持部が近接状態となる取付け位置（着脱位置）に各取付部を移動させ、連結部材によって近接状態のまま連結されている各保持部を各取付部に取り付ける。このため、この検査装置およびプローブユニット着脱方法によれば、取付部を手作業で取付け位置（着脱位置）に移動させる構成および方法と比較して、各取付部を取付け位置（着脱位置）に正確かつ容易に移動させることができる結果、信号ケーブルに接続されているプローブピンの破損や、信号ケーブルの切断を確実に防止しつつ各保持部を各取付部に容易に取り付けることができる。 In inspection apparatus according to claim 1, each holding portion, are respectively detachably attached to the respective mounting portion of the probing mechanism in a state of being connected by adjacent and connecting members together. For this reason, when attaching and detaching each holding | maintenance part to an attaching part, each signal cable connected to each probe pin can be maintained in the mutually close state. Therefore, according to the inspection apparatus of this can be done breakage of the probe pins connected to the signal cable, the attachment and detachment of the probe unit with respect to the mounting portion while reliably preventing the disconnection of the signal cable. Further, in this inspection apparatus and the probe unit attaching / detaching method according to claim 5, each attaching portion is moved to an detaching position (attaching / detaching position) where each holding portion comes close to the probing mechanism and connected to each holding portion. After attaching the members and connecting the holding portions in the proximity state, the holding portions in the connected state are removed from the mounting portions. For this reason, according to this inspection apparatus and probe unit attaching / detaching method, each attaching portion is accurately moved to the removing position (attaching / detaching position) as compared with the configuration and method in which the attaching portion is manually moved to the removing position (attaching / detaching position). As a result of being able to move easily, each holding part can be easily detached from each mounting part while reliably preventing damage to the probe pins connected to the signal cable and cutting the signal cable. Further, in this inspection apparatus and the probe unit attaching / detaching method according to claim 6, each attaching portion is moved to an attaching position (attaching / detaching position) where each holding portion comes close to the probing mechanism, and is brought into the close state by the connecting member. Each holding part connected as it is is attached to each attachment part. For this reason, according to this inspection apparatus and probe unit attaching / detaching method, each attaching portion is accurately set to the attaching position (attaching / detaching position) as compared with the configuration and method in which the attaching portion is manually moved to the attaching position (attaching / detaching position). As a result of being able to move easily, each holding portion can be easily attached to each attachment portion while reliably preventing breakage of the probe pins connected to the signal cable and cutting of the signal cable.

また、請求項２記載の検査装置によれば、装着時において互いに嵌合し合って位置決めを行うための位置決め用嵌合部を各保持部および連結部材にそれぞれ形成したことにより、各位置決め用嵌合部同士を嵌合させるだけで各保持部と連結部材との位置決めを行うことができるため、各保持部を連結部材で連結する作業を容易に行うことができる。 Further, according to the inspection apparatus according to claim 2, by the positioning fitting portion for positioning with each other fit together during mounting are formed respectively in the holding portion and the coupling member, for the positioning Since the holding portions and the connecting member can be positioned simply by fitting the fitting portions together, the operation of connecting the holding portions with the connecting member can be easily performed.

また、請求項３記載の検査装置によれば、各保持部に形成された凹部および凸部のいずれか一方と、連結部材に形成されて各保持部の凹部および凸部のいずれか一方に嵌合して連結部材を位置決めする凹部および凸部の他方とで位置決め用嵌合部を構成したことにより、簡易な構成でありながら、凹部と凸部とを確実に嵌合させて各保持部と連結部材とを確実に位置決めすることができる。 Further, according to the inspection apparatus according to claim 3, one of the one of concave and convex portions formed on the holding portion, is formed in the coupling member to one of the concave and convex portion of the holding portion Since the positioning fitting portion is configured by the other of the concave portion and the convex portion that are fitted to position the connecting member, each holding portion can be surely fitted into the concave portion and the convex portion while having a simple configuration. And the connecting member can be reliably positioned.

また、請求項４記載の検査装置では、各保持部が固定用ネジで各取付部に固定され、連結部材が各保持部を連結している状態において固定用ネジで各保持部に固定される。このため、この検査装置によれば、取付部に各保持部を確実に装着することができると共に、各保持部を連結部材によって確実に連結することができる。また、この検査装置によれば、例えば、各取付部に対する保持部の固定に用いる固定用ネジを各保持部に対する連結部材の固定に用いることにより、固定用ネジの紛失を確実に防止することができる。 Further, in inspection apparatus according to claim 4, each holder is fixed to the mounting portions by the fixing screws, the connecting member is fixed to the holder by the fixing screws in a state that connects each retaining portion The Therefore, according to the inspection apparatus of this, together with the respective holding portions can be reliably mounted to the mounting portion, it can be reliably connected by connecting members each holding portion. Further, according to the inspection apparatus of this, for example, by using a fixing screw used for fixing the holding portion relative to the mounting portions to the fixing of the connecting member relative to the holding portion, reliably prevent loss of fixing screw be able to.

基板検査装置１の構成を示す構成図である。1 is a configuration diagram showing a configuration of a substrate inspection apparatus 1. FIG. プローブユニット３およびプロービング機構４の構成を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing configurations of a probe unit 3 and a probing mechanism 4. プローブユニット３をプロービング機構４の取付部６２から取り外した状態の斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of a state in which the probe unit 3 is detached from the attachment portion 62 of the probing mechanism 4. 連結部材１２を表面側から見た斜視図である。It is the perspective view which looked at the connection member 12 from the surface side. 連結部材１２を裏面側から見た斜視図である。It is the perspective view which looked at the connection member 12 from the back surface side. プローブユニット３の着脱方法を説明する第１の説明図である。FIG. 5 is a first explanatory view illustrating a method for attaching and detaching the probe unit 3. プローブユニット３の着脱方法を説明する第２の説明図である。It is the 2nd explanatory view explaining how to attach and detach the probe unit. プローブユニット３の着脱方法を説明する第３の説明図である。It is a 3rd explanatory drawing explaining the attachment or detachment method of the probe unit.

以下、プローブユニット、検査装置およびプローブユニット着脱方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。   Hereinafter, embodiments of a probe unit, an inspection apparatus, and a probe unit attaching / detaching method will be described with reference to the accompanying drawings.

最初に、検査装置の一例としての基板検査装置１の構成について説明する。図１に示す基板検査装置１は、例えば、プロービング対象体としての回路基板１００の導体パターン１０１の抵抗を４端子法または２端子法で測定し、その測定値に基づいて導体パターン１０１（回路基板１００）の良否を検査可能に構成されている。具体的には、基板検査装置１は、基板支持台２、プローブユニット３、プロービング機構４、測定部５、操作部６、記憶部７および制御部８を備えて構成されている。   First, the configuration of the substrate inspection apparatus 1 as an example of the inspection apparatus will be described. A board inspection apparatus 1 shown in FIG. 1 measures, for example, the resistance of a conductor pattern 101 of a circuit board 100 as a probing object by a four-terminal method or a two-terminal method, and based on the measured value, the conductor pattern 101 (circuit board 100). Specifically, the substrate inspection apparatus 1 includes a substrate support 2, a probe unit 3, a probing mechanism 4, a measurement unit 5, an operation unit 6, a storage unit 7, and a control unit 8.

基板支持台２は、図外のクランプ等を備え、検査対象の回路基板１００を支持可能に構成されている。   The board support 2 includes a clamp or the like not shown, and is configured to be able to support the circuit board 100 to be inspected.

プローブユニット３は、図２に示すように、保持部１１ａ，１１ｂ（以下、区別しないときには「保持部１１」ともいう）、連結部材１２（図４，５参照）および４本のプローブピン１３を備えて構成されている。   As shown in FIG. 2, the probe unit 3 includes holding portions 11 a and 11 b (hereinafter, also referred to as “holding portion 11” when not distinguished), a connecting member 12 (see FIGS. 4 and 5), and four probe pins 13. It is prepared for.

各保持部１１は、図２，３に示すように、プローブピン１３を保持可能に構成されると共に、プロービング機構４における一対のアーム６１の先端部に設けられている各取付部６２にそれぞれ着脱することが可能に構成されている。具体的には、各保持部１１は、本体部２１、２つのリンク機構２２、固定板２３をそれぞれ備えて構成されている。   As shown in FIGS. 2 and 3, each holding portion 11 is configured to be able to hold the probe pin 13 and is attached to and detached from each mounting portion 62 provided at the distal end portion of the pair of arms 61 in the probing mechanism 4. It is configured to be able to. Specifically, each holding portion 11 includes a main body portion 21, two link mechanisms 22, and a fixing plate 23.

本体部２１は、図２，３に示すように、２つのリンク機構２２の基端部を固定可能に構成されると共に、固定板２３の先端部を固定可能に構成されている。リンク機構２２は、基端部が本体部２１に固定され、先端部にプローブピン１３を固定可能に構成されている。この場合、リンク機構２２は、一例として、４節回転リンク機構であって、プロービング機構４によって行われるプロービングの際に、回路基板１００にプローブピン１３が接触したときの反力を吸収する機能を有している。   As shown in FIGS. 2 and 3, the main body 21 is configured to be able to fix the base ends of the two link mechanisms 22 and to be able to fix the distal end of the fixing plate 23. The link mechanism 22 is configured such that the base end portion is fixed to the main body portion 21 and the probe pin 13 can be fixed to the distal end portion. In this case, as an example, the link mechanism 22 is a four-node rotation link mechanism, and has a function of absorbing a reaction force when the probe pin 13 contacts the circuit board 100 during the probing performed by the probing mechanism 4. Have.

固定板２３は、プロービング機構４の取付部６２に保持部１１を固定するための部材であって、図３に示すように、取付部６２に形成されている凸部６３を嵌合（挿入）させる２つの凹部４１が裏面（同図における紙面奥側の面）に形成されると共に、固定用ネジ７０を挿通させる挿通孔４２が形成されている。この場合、これらの凹部４１に各凸部６３をそれぞれ嵌合させることにより、固定板２３が取付部６２に位置決めされ、その状態で、挿通孔４２に挿通させた固定用ネジ７０の先端部を取付部６２に形成されているネジ孔６４にねじ込ませることによって保持部１１が取付部６２に固定（装着）される。   The fixing plate 23 is a member for fixing the holding portion 11 to the attachment portion 62 of the probing mechanism 4, and as shown in FIG. 3, the protrusion 63 formed on the attachment portion 62 is fitted (inserted). Two recesses 41 to be formed are formed on the back surface (surface on the back side in the drawing), and an insertion hole 42 through which the fixing screw 70 is inserted is formed. In this case, the fixing plate 23 is positioned by the mounting portion 62 by fitting the convex portions 63 to the concave portions 41, and in this state, the distal end portion of the fixing screw 70 inserted through the insertion hole 42 is inserted. The holding portion 11 is fixed (attached) to the attachment portion 62 by being screwed into a screw hole 64 formed in the attachment portion 62.

また、固定板２３には、図３に示すように、後述する連結部材１２（図４参照）の凸部５１を嵌合（挿入）させる２つの平面視円形の凹部（穴）４４が表面（同図における紙面手前側の面）に形成されると共に、固定用ネジ７０をねじ込ませるネジ孔４３が形成されている。この場合、これらの凹部４４（合計で４つの凹部４４）に各凸部５１をそれぞれ嵌合させることにより、連結部材１２が各保持部１１に位置決めされ、その状態で、各保持部１１から取り外した固定用ネジ７０を連結部材１２の挿通孔５２（図４参照）に挿通させ、挿通させた固定用ネジ７０の先端部をネジ孔４３にねじ込ませることによって連結部材１２が各保持部１１に固定（装着）される（図７，８参照）。   Further, as shown in FIG. 3, the fixing plate 23 has two concave portions (holes) 44 having a circular shape in a plan view for fitting (inserting) a convex portion 51 of a connecting member 12 (see FIG. 4) described later. A screw hole 43 into which a fixing screw 70 is screwed is formed. In this case, by connecting the convex portions 51 to these concave portions 44 (a total of four concave portions 44), the connecting member 12 is positioned on each holding portion 11, and in this state, is removed from each holding portion 11. The fixing screw 70 is inserted into the insertion hole 52 (see FIG. 4) of the connecting member 12 and the tip of the inserted fixing screw 70 is screwed into the screw hole 43 so that the connecting member 12 is inserted into each holding portion 11. Fixed (mounted) (see FIGS. 7 and 8).

また、図２，３に示すように、保持部１１ａの固定板２３（以下、保持部１１ａの固定板２３を区別するときには、「固定板２３ａ」ともいう）には、信号ケーブル８０を支持するケーブル支持部３１が設けられて、このケーブル支持部３１には、信号ケーブル８０を挿通させるケーブル挿通孔３２が形成されている。   As shown in FIGS. 2 and 3, the signal cable 80 is supported by the fixing plate 23 of the holding portion 11 a (hereinafter, also referred to as “fixing plate 23 a” when the fixing plate 23 of the holding portion 11 a is distinguished). A cable support portion 31 is provided, and a cable insertion hole 32 through which the signal cable 80 is inserted is formed in the cable support portion 31.

この場合、信号ケーブル８０は、一例として、被覆導線８１（図２参照）の周囲に図外のシールドが配設され、さらにシールドの周囲が絶縁体で覆われて構成されている。この基板検査装置１では、４本の信号ケーブル８０が保持部１１ａにおける固定板２３ａのケーブル挿通孔３２に挿通された状態でケーブル支持部３１によって支持されている。   In this case, as an example, the signal cable 80 is configured such that a shield (not shown) is disposed around the covered conductor 81 (see FIG. 2), and the shield is covered with an insulator. In this board inspection apparatus 1, four signal cables 80 are supported by the cable support portion 31 in a state of being inserted into the cable insertion holes 32 of the fixing plate 23a in the holding portion 11a.

また、ケーブル支持部３１の下部において、各信号ケーブル８０の絶縁体およびシールドが剥がされて被覆導線８１がそれぞれ露出すると共に、各シールドが半田付け等によって互いに接続されている。また、露出した被覆導線８１は、図２に示すように、弛み（遊び）が生じる状態で各プローブピン１３に接続されている。また、各信号ケーブル８０の基端部（同図における上方の端部）には図外のコネクタが取り付けられており、各信号ケーブル８０は、このコネクタを介して測定部５に接続される。   Further, at the lower part of the cable support portion 31, the insulator and shield of each signal cable 80 are peeled off to expose the covered conductor 81, and the shields are connected to each other by soldering or the like. Further, as shown in FIG. 2, the exposed covered conductor 81 is connected to each probe pin 13 in a state where slack (play) occurs. Further, a connector (not shown) is attached to the base end portion (upper end portion in the figure) of each signal cable 80, and each signal cable 80 is connected to the measurement unit 5 via this connector.

連結部材１２は、図４，５に示すように、略矩形の板状に構成されている。また、連結部材１２の裏面（図４における紙面奥側の面であって、図５における紙面手前側の面）には、保持部１１の固定板２３に形成されている各凹部４４にそれぞれ嵌合可能な略円錐状の４つの凸部５１が形成されている。また、連結部材１２には、固定用ネジ７０を挿通させる挿通孔５２が形成されている。この連結部材１２は、図８に示すように、互いに近接した状態（近接状態）の各保持部１１に装着されることで、各保持部１１を近接状態のまま連結する機能を有している。   As shown in FIGS. 4 and 5, the connecting member 12 has a substantially rectangular plate shape. Further, the back surface of the connecting member 12 (the back surface in FIG. 4 and the front surface in FIG. 5) is fitted in each recess 44 formed in the fixing plate 23 of the holding unit 11. Four convex portions 51 having a substantially conical shape are formed. Further, the connecting member 12 is formed with an insertion hole 52 through which the fixing screw 70 is inserted. As shown in FIG. 8, the connecting member 12 has a function of connecting the holding portions 11 while being in proximity to each other by being attached to the holding portions 11 that are close to each other (proximity state). .

この場合、プロービング機構４によって後述する着脱位置（取付け位置、取り外し位置）に取付部６２が移動させられた際に、多少の位置ずれが生じたとしても各保持部１１に連結部材１２を装着できるように、保持部１１の凹部４４に凸部５１を嵌合させた状態における両者の間、および挿通孔５２に固定用ネジ７０を挿通させた状態における挿通孔５２の内周面と固定用ネジ７０との間に、一例として、０．１ｍｍ〜０．５ｍｍ程度の隙間（遊び）が生じるように凸部５１および挿通孔５２の寸法が規定されている。なお、各保持部１１に形成されている各凹部４４および連結部材１２に形成されている各凸部５１によって位置決め用嵌合部が構成される。   In this case, the connecting member 12 can be attached to each holding portion 11 even if a slight displacement occurs when the attachment portion 62 is moved to an attachment / detachment position (attachment position, removal position) described later by the probing mechanism 4. As described above, the inner peripheral surface of the insertion hole 52 and the fixing screw in a state where the fixing screw 70 is inserted into the insertion hole 52 between the two in the state where the convex part 51 is fitted in the concave part 44 of the holding part 11. As an example, the dimensions of the convex portions 51 and the insertion holes 52 are defined so that a gap (play) of about 0.1 mm to 0.5 mm is generated between them and 70. In addition, the positioning fitting portion is configured by each concave portion 44 formed in each holding portion 11 and each convex portion 51 formed in the connecting member 12.

プロービング機構４は、図１，２に示すように、２つのアーム６１を備え、制御部８の制御に従い、基板支持台２によって支持された回路基板１００の表面に沿った方向（ＸＹ方向）、および回路基板１００に接離する方向（Ｚ方向）に２つのアーム６１を移動させて回路基板１００の導体パターン１０１にプローブピン１３をプロービングさせる。   As shown in FIGS. 1 and 2, the probing mechanism 4 includes two arms 61, and in accordance with the control of the control unit 8, the direction along the surface of the circuit board 100 supported by the board support base 2 (XY direction), In addition, the two arms 61 are moved in a direction in which the circuit board 100 contacts and separates (Z direction), and the probe pins 13 are probed on the conductor pattern 101 of the circuit board 100.

また、図３に示すように、プロービング機構４における各アーム６１の先端部には、プローブユニット３の各保持部１１を着脱することが可能な取付部６２が設けられている。この場合、取付部６２の取付面６２ａには、プローブユニット３における各保持部１１の固定板２３に形成されている各凹部４１にそれぞれ嵌合可能な凸部６３が形成されている。   As shown in FIG. 3, an attachment portion 62 that can attach and detach each holding portion 11 of the probe unit 3 is provided at the distal end portion of each arm 61 in the probing mechanism 4. In this case, the mounting surface 62 a of the mounting portion 62 is formed with a convex portion 63 that can be fitted in each concave portion 41 formed in the fixing plate 23 of each holding portion 11 in the probe unit 3.

また、図３に示すように、取付部６２の取付面６２ａには、固定用ネジ７０をねじ込ませるネジ孔６４が形成されている。さらに、取付部６２の取付面６２ａには、連結部材１２を各保持部１１に装着するために保持部１１の固定板２３に形成されているネジ孔４３に固定用ネジ７０をねじ込む際に、固定用ネジ７０の先端部が取付部６２に突き当たるのを回避するための逃げ穴６５が形成されている。   As shown in FIG. 3, a screw hole 64 into which the fixing screw 70 is screwed is formed in the mounting surface 62 a of the mounting portion 62. Further, when the fixing screw 70 is screwed into the screw hole 43 formed in the fixing plate 23 of the holding portion 11 in order to attach the connecting member 12 to each holding portion 11 on the mounting surface 62a of the mounting portion 62, A relief hole 65 for avoiding the tip of the fixing screw 70 from abutting against the mounting portion 62 is formed.

この基板検査装置１では、図３に示すように、２つの取付部６２の取付面６２ａが同じ側（同図における紙面手前側）を向き、かつプローブユニット３の保持部１１ａ，１１ｂの各固定板２３が各取付部６２の取付面６２ａに対向可能に構成されている。このため、この基板検査装置１では、連結部材１２によって連結されている状態の保持部１１ａ，１１ｂの双方を取付部６２から一度に取り外したり装着したりすることが可能となっている。   In this board inspection apparatus 1, as shown in FIG. 3, the mounting surfaces 62a of the two mounting portions 62 face the same side (the front side in the figure), and the holding portions 11a and 11b of the probe unit 3 are fixed. The plate 23 is configured to be able to face the mounting surface 62 a of each mounting portion 62. For this reason, in this board | substrate inspection apparatus 1, it is possible to remove and mount | wear with both the holding | maintenance parts 11a and 11b in the state connected by the connection member 12 from the attachment part 62 at once.

測定部５は、回路基板１００の導体パターン１０１にプロービングされた各プローブピン１３を介して入出力する電気信号に基づいて導体パターン１０１の抵抗を４端子法または２端子法で測定する。   The measurement unit 5 measures the resistance of the conductor pattern 101 by a four-terminal method or a two-terminal method based on an electric signal input / output via each probe pin 13 probed on the conductor pattern 101 of the circuit board 100.

操作部６は、各種のスイッチやキーを備えて構成され、これらが操作されたときに操作信号を出力する。記憶部７は、プローブピン１３をプロービングさせるべき導体パターン１０１の位置を示す位置データを記憶する。また、記憶部７は、プローブユニット３をプロービング機構４の取付部６２に対して着脱する位置、具体的には、取付部６２に装着されている各保持部１１が上記した近接状態となる位置（着脱位置、取付け位置、および取り外し位置に相当し、以下、これらを区別しないときには「着脱位置」ともいう）を示す位置データを記憶する。さらに、記憶部７は、導体パターン１０１の良否の判定に用いる抵抗値の基準値を記憶する。なお、着脱位置は、１つの位置に限定されず、取付部６２に装着されている各保持部１１が近接状態となるとの条件を満たす限り、複数の位置に規定することもできる。   The operation unit 6 includes various switches and keys, and outputs an operation signal when these are operated. The storage unit 7 stores position data indicating the position of the conductor pattern 101 where the probe pin 13 is to be probed. Further, the storage unit 7 is a position where the probe unit 3 is attached to and detached from the attachment part 62 of the probing mechanism 4, specifically, a position where each holding part 11 attached to the attachment part 62 is in the proximity state described above. Position data indicating (attachment / detachment position, attachment position, and removal position, which will be hereinafter referred to as “attachment / detachment position” when these are not distinguished) is stored. Further, the storage unit 7 stores a reference value of the resistance value used for determining the quality of the conductor pattern 101. The attachment / detachment position is not limited to one position, and may be defined at a plurality of positions as long as the condition that each holding part 11 attached to the attachment part 62 is in the proximity state is satisfied.

制御部８は、プロービング機構４および測定部５を制御する。また、制御部８は、測定部５と共に検査部として機能して、測定部５によって測定された抵抗値に基づいて導体パターン１０１（回路基板１００）の良否を検査する。   The control unit 8 controls the probing mechanism 4 and the measurement unit 5. The control unit 8 functions as an inspection unit together with the measurement unit 5 and inspects the quality of the conductor pattern 101 (circuit board 100) based on the resistance value measured by the measurement unit 5.

次に、プロービング機構４の取付部６２に対してプローブユニット３の各保持部１１を着脱するプローブユニット着脱方法について、図面を参照して説明する。   Next, a probe unit attaching / detaching method for attaching / detaching each holding portion 11 of the probe unit 3 to / from the attaching portion 62 of the probing mechanism 4 will be described with reference to the drawings.

最初に、取付部６２からプローブユニット３の各保持部１１を取り外す手順について説明する。まず、操作部６を操作して、着脱を行う旨を指示する。この際に、操作部６が操作信号を出力し、これに応じて、制御部８が、各取付部６２に装着されているプローブユニット３の各保持部１１が互いに近接する着脱位置に各取付部６２を移動させる処理を行う。具体的には、制御部８は、記憶部７から着脱位置を示すデータを読み出す。次いで、制御部８は、読み出したデータに基づいてプロービング機構４を制御して、図２に示すように、取付部６２を着脱位置に移動させる。   First, a procedure for removing each holding portion 11 of the probe unit 3 from the attachment portion 62 will be described. First, the operation unit 6 is operated to instruct to attach / detach. At this time, the operation unit 6 outputs an operation signal, and in response to this, the control unit 8 attaches each attachment unit to the attachment / detachment position where the holding units 11 of the probe unit 3 attached to each attachment unit 62 are close to each other. Processing for moving the unit 62 is performed. Specifically, the control unit 8 reads data indicating the attachment / detachment position from the storage unit 7. Next, the control unit 8 controls the probing mechanism 4 based on the read data to move the mounting unit 62 to the attachment / detachment position as shown in FIG.

続いて、各信号ケーブル８０の基端部に取り付けられている図外のコネクタを測定部５から取り外す。次いで、図６に示すように、各保持部１１を各取付部６２に固定している固定用ネジ７０を取り外す。続いて、近接状態の各保持部１１に連結部材１２を装着して、連結部材１２で各保持部１１を連結する。具体的には、図７に示すように、連結部材１２の裏面に形成されている各凸部５１を保持部１１の固定板２３に形成されている各凹部４４にそれぞれ嵌合（挿入）させるようにして、連結部材１２を各保持部１１に当接させる。この際に、各凹部４４への各凸部５１の嵌合によって連結部材１２が各保持部１１に対して位置決めされて、同図に示すように、連結部材１２の各挿通孔５２と各保持部１１のネジ孔４３とが対向（連通）する。   Subsequently, a connector (not shown) attached to the base end portion of each signal cable 80 is removed from the measurement unit 5. Next, as shown in FIG. 6, the fixing screw 70 that fixes each holding portion 11 to each attachment portion 62 is removed. Subsequently, the connecting member 12 is attached to each holding part 11 in the proximity state, and each holding part 11 is connected by the connecting member 12. Specifically, as shown in FIG. 7, each convex portion 51 formed on the back surface of the connecting member 12 is fitted (inserted) into each concave portion 44 formed on the fixing plate 23 of the holding portion 11. In this way, the connecting member 12 is brought into contact with each holding portion 11. At this time, the coupling member 12 is positioned with respect to each holding portion 11 by fitting each convex portion 51 to each concave portion 44, and as shown in FIG. The screw hole 43 of the part 11 faces (communicates).

次いで、取り外した上記の固定用ネジ７０を連結部材１２の挿通孔５２に挿通させ、固定用ネジ７０をネジ孔４３にねじ込んで、連結部材１２を各保持部１１に固定する。この場合、取付部６２の取付面６２ａに逃げ穴６５が形成されているため（図３参照）、固定用ネジ７０をねじ込む際に、固定用ネジ７０の先端部が取付部６２に突き当たるのが回避される。これにより、各保持部１１が近接状態のまま連結部材１２によって連結される。   Next, the removed fixing screw 70 is inserted into the insertion hole 52 of the connecting member 12, and the fixing screw 70 is screwed into the screw hole 43 to fix the connecting member 12 to each holding portion 11. In this case, since the escape hole 65 is formed in the mounting surface 62a of the mounting portion 62 (see FIG. 3), when the fixing screw 70 is screwed, the tip of the fixing screw 70 abuts against the mounting portion 62. Avoided. Thereby, each holding | maintenance part 11 is connected by the connection member 12 with a proximity | contact state.

続いて、図８に示すように、連結部材１２によって連結されている各保持部１１を取付部６２から取り外す。この場合、同図に示すように、２つの取付部６２の各取付面６２ａが同じ側（同図における紙面手前側）を向き、各保持部１１の各固定板２３が各取付面６２ａに対向しているため、連結部材１２によって連結されている各保持部１１を取付面６２ａから離反する向きに（この例では、手前に）一度に引き抜くことで、各保持部１１を各取付部６２から容易に取り外すことができる。   Subsequently, as shown in FIG. 8, each holding portion 11 connected by the connecting member 12 is removed from the attachment portion 62. In this case, as shown in the figure, the attachment surfaces 62a of the two attachment portions 62 face the same side (the front side in the drawing in the drawing), and the fixing plates 23 of the holding portions 11 face the attachment surfaces 62a. Therefore, each holding part 11 is removed from each mounting part 62 by pulling out each holding part 11 connected by the connecting member 12 in a direction away from the mounting surface 62a (in this example, in front). It can be easily removed.

また、各保持部１１が連結部材１２によって連結されて、各保持部１１の近接状態が維持されているため、各保持部１１によって保持されている各プローブピン１３に接続されている各被覆導線８１を含む各信号ケーブル８０も互いに近接した状態に維持される。この結果、各信号ケーブル８０（各被覆導線８１）同士が離間して、被覆導線８１に接続されているプローブピン１３が破損したり、信号ケーブル８０が切断したりする事態が確実に防止される。以上により、取付部６２からのプローブユニット３の取外しが完了する。なお、取り外したプローブユニット３に対して点検や洗浄を行う際に、各保持部１１を連結部材１２で連結したままの状態でこれらの作業を行うことで、プローブピン１３の破損や信号ケーブル８０の切断を回避することができる。   Moreover, since each holding | maintenance part 11 is connected by the connection member 12, and the proximity | contact state of each holding | maintenance part 11 is maintained, each covered conducting wire connected to each probe pin 13 currently hold | maintained by each holding | maintenance part 11 Each signal cable 80 including 81 is also kept close to each other. As a result, the signal cables 80 (each coated conductive wire 81) are separated from each other, and the situation where the probe pin 13 connected to the coated conductive wire 81 is damaged or the signal cable 80 is cut is reliably prevented. . Thus, the removal of the probe unit 3 from the mounting portion 62 is completed. When the removed probe unit 3 is inspected or cleaned, these operations are performed while the holding portions 11 are connected to each other by the connecting member 12, so that the probe pin 13 is damaged or the signal cable 80. Can be avoided.

次に、取付部６２に対してプローブユニット３の各保持部１１を装着する手順について説明する。なお、図８に示すように、各保持部１１が連結部材１２によって予め連結されているものとする。   Next, a procedure for mounting each holding portion 11 of the probe unit 3 on the mounting portion 62 will be described. In addition, as shown in FIG. 8, each holding part 11 shall be connected beforehand by the connection member 12. As shown in FIG.

この場合、取付部６２が上記した着脱位置に位置していないときには、上記したように、操作部６を操作して、着脱を行う旨の指示をする。この際には、制御部８が、プロービング機構４を制御して着脱位置に各取付部６２を移動させる上記の処理を行う。   In this case, when the attachment portion 62 is not located at the above-described attachment / detachment position, as described above, the operation portion 6 is operated to instruct to attach / detach. At this time, the control unit 8 performs the above-described process of controlling the probing mechanism 4 to move each attachment unit 62 to the attachment / detachment position.

次いで、連結部材１２によって連結されている各保持部１１（図８参照）における各固定板２３の凹部４１（図３参照）に、取付部６２の取付面６２ａに形成されている各凸部６３（同図参照）を嵌合（挿入）させるようにして、各固定板２３を取付面６２ａに当接させる。この際に、凹部４１への凸部６３の嵌合によって固定板２３が取付部６２に位置決めされる。   Next, each convex portion 63 formed on the mounting surface 62 a of the mounting portion 62 in the concave portion 41 (see FIG. 3) of each fixing plate 23 in each holding portion 11 (see FIG. 8) connected by the connecting member 12. Each fixing plate 23 is brought into contact with the mounting surface 62a so as to be fitted (inserted). At this time, the fixing plate 23 is positioned on the attachment portion 62 by fitting the convex portion 63 to the concave portion 41.

続いて、連結部材１２と各保持部１１とを固定している固定用ネジ７０を取り外し（図７参照）、次いで、連結部材１２を各保持部１１から取り外す。続いて、図６に示すように、取り外した上記の固定用ネジ７０を各保持部１１における固定板２３の挿通孔４２に挿通させ、固定用ネジ７０を取付部６２のネジ孔６４にねじ込んで、各固定板２３（各保持部１１）を取付部６２に固定する。これにより、図２に示すように、各保持部１１が近接状態のまま取付部６２に装着される。次いで、各信号ケーブル８０の基端部に取り付けられている図外のコネクタを測定部５に接続する。以上により、取付部６２に対するプローブユニット３の装着が完了する。   Subsequently, the fixing screw 70 that fixes the connecting member 12 and each holding portion 11 is removed (see FIG. 7), and then the connecting member 12 is removed from each holding portion 11. Subsequently, as shown in FIG. 6, the removed fixing screw 70 is inserted into the insertion hole 42 of the fixing plate 23 in each holding portion 11, and the fixing screw 70 is screwed into the screw hole 64 of the mounting portion 62. Each fixing plate 23 (each holding portion 11) is fixed to the attachment portion 62. Thereby, as shown in FIG. 2, each holding | maintenance part 11 is mounted | worn with the attachment part 62 with a proximity | contact state. Next, a connector (not shown) attached to the base end of each signal cable 80 is connected to the measurement unit 5. Thus, the mounting of the probe unit 3 on the mounting portion 62 is completed.

このように、このプローブユニット３および基板検査装置１では、各保持部１１が、互いに近接しかつ連結部材１２によって連結されている状態でプロービング機構４の各取付部６２にそれぞれ着脱可能に構成されている。このため、取付部６２に各保持部１１を着脱する際に、各プローブピン１３に接続されている各信号ケーブル８０を互いに近接した状態に維持することができる。したがって、このプローブユニット３および基板検査装置１によれば、信号ケーブル８０に接続されているプローブピン１３の破損や、信号ケーブル８０の切断を確実に防止しつつ取付部６２に対するプローブユニット３の着脱を行うことができる。   Thus, the probe unit 3 and the substrate inspection apparatus 1 are configured to be detachable from the mounting portions 62 of the probing mechanism 4 in a state where the holding portions 11 are close to each other and connected by the connecting member 12. ing. For this reason, when attaching / detaching each holding | maintenance part 11 to the attaching part 62, each signal cable 80 connected to each probe pin 13 can be maintained in the mutually adjacent state. Therefore, according to the probe unit 3 and the board inspection apparatus 1, the probe unit 3 can be attached to and detached from the mounting portion 62 while reliably preventing the probe pin 13 connected to the signal cable 80 from being damaged and the signal cable 80 from being disconnected. It can be performed.

また、このプローブユニット３および基板検査装置１によれば、装着時において互いに嵌合し合って位置決めを行うための位置決め用嵌合部を各保持部１１および連結部材１２にそれぞれ形成したことにより、各位置決め用嵌合部同士を嵌合させるだけで各保持部１１と連結部材１２との位置決めを行うことができるため、各保持部１１を連結部材１２で連結する作業を容易に行うことができる。   Moreover, according to this probe unit 3 and the board | substrate inspection apparatus 1, since the positioning fitting part for mutually fitting and positioning at the time of mounting | wearing was formed in each holding | maintenance part 11 and the connection member 12, respectively. Since each holding part 11 and the connecting member 12 can be positioned simply by fitting each positioning fitting part, the operation | work which connects each holding part 11 with the connecting member 12 can be performed easily. .

また、このプローブユニット３および基板検査装置１によれば、各保持部１１に形成された凹部４４と、連結部材１２に形成されて各凹部４４に嵌合する凸部５１とで位置決め用嵌合部を構成したことにより、簡易な構成でありながら、凹部４４と凸部５１とを確実に嵌合させて各保持部１１と連結部材１２とを確実に位置決めすることができる。   Moreover, according to this probe unit 3 and the board | substrate inspection apparatus 1, it is fitting for positioning with the recessed part 44 formed in each holding part 11, and the convex part 51 which is formed in the connection member 12 and fits to each recessed part 44. By configuring the portions, it is possible to reliably position the holding portions 11 and the connecting members 12 by fitting the concave portions 44 and the convex portions 51 with certainty while having a simple configuration.

また、このプローブユニット３および基板検査装置１では、各保持部１１が固定用ネジ７０で取付部６２に固定され、連結部材１２が各保持部１１を連結している状態において各保持部１１から取り外した固定用ネジ７０で各保持部１１に固定される。このため、このプローブユニット３および基板検査装置１によれば、取付部６２に各保持部１１を確実に装着することができると共に、各保持部１１を連結部材１２によって確実に連結することができる。また、このプローブユニット３および基板検査装置１によれば、各取付部６２に対する保持部１１の固定に用いる固定用ネジ７０を各保持部１１に対する連結部材１２の固定に用いるため、固定用ネジ７０の紛失を確実に防止することができる。   Further, in the probe unit 3 and the substrate inspection apparatus 1, each holding part 11 is fixed to the attachment part 62 with the fixing screw 70, and the connecting member 12 is connected to each holding part 11 from each holding part 11. It is fixed to each holding part 11 with the removed fixing screw 70. For this reason, according to this probe unit 3 and the board | substrate inspection apparatus 1, while being able to install each holding | maintenance part 11 to the attaching part 62 reliably, each holding | maintenance part 11 can be reliably connected by the connection member 12. FIG. . Further, according to the probe unit 3 and the substrate inspection apparatus 1, the fixing screw 70 used for fixing the holding portion 11 to each mounting portion 62 is used for fixing the connecting member 12 to each holding portion 11. Can be reliably prevented.

また、この基板検査装置１およびプローブユニット着脱方法では、プロービング機構４に対して各保持部１１が近接状態となる取り外し位置（着脱位置）に各取付部６２を移動させ、各保持部１１に連結部材１２を装着して各保持部１１を近接状態のまま連結した後に、連結されている状態の各保持部１１を各取付部６２から取り外す。このため、この基板検査装置１およびプローブユニット着脱方法によれば、取付部６２を手作業で取り外し位置（着脱位置）に移動させる構成および方法と比較して、各取付部６２を取り外し位置（着脱位置）に正確かつ容易に移動させることができる結果、信号ケーブル８０に接続されているプローブピン１３の破損や、信号ケーブル８０の切断を確実に防止しつつ各保持部１１を各取付部６２から容易に取り外すことができる。   Further, in this board inspection apparatus 1 and probe unit attaching / detaching method, each attaching portion 62 is moved to an detaching position (attaching / detaching position) where each holding portion 11 comes close to the probing mechanism 4 and connected to each holding portion 11. After the members 12 are mounted and the holding portions 11 are connected in the proximity state, the connected holding portions 11 are removed from the attachment portions 62. For this reason, according to this board | substrate inspection apparatus 1 and the probe unit attachment / detachment method, compared with the structure and method which move the attachment part 62 to a removal position (attachment / detachment position) manually, each attachment part 62 is removed position (attachment / detachment). As a result of being able to move accurately and easily to the position), each holding portion 11 can be removed from each mounting portion 62 while reliably preventing the probe pin 13 connected to the signal cable 80 from being broken and the signal cable 80 from being cut. It can be easily removed.

また、この基板検査装置１およびプローブユニット着脱方法では、プロービング機構４に対して各保持部１１が近接状態となる取付け位置（着脱位置）に各取付部６２を移動させ、連結部材１２によって近接状態のまま連結されている各保持部１１を各取付部６２に取り付ける。このため、この基板検査装置１およびプローブユニット着脱方法によれば、取付部６２を手作業で取付け位置（着脱位置）に移動させる構成および方法と比較して、各取付部６２を取付け位置（着脱位置）に正確かつ容易に移動させることができる結果、信号ケーブル８０に接続されているプローブピン１３の破損や、信号ケーブル８０の切断を確実に防止しつつ各保持部１１を各取付部６２に容易に取り付けることができる。   Further, in this substrate inspection apparatus 1 and probe unit attaching / detaching method, each attaching portion 62 is moved to an attaching position (attaching / detaching position) where each holding portion 11 is in an approaching state with respect to the probing mechanism 4, and the connecting member 12 is brought into an approaching state Each holding part 11 connected as it is is attached to each attaching part 62. For this reason, according to this board | substrate inspection apparatus 1 and the probe unit attachment / detachment method, compared with the structure and method which move the attachment part 62 to an attachment position (attachment / detachment position) manually, each attachment part 62 is attached to an attachment position (attachment / detachment). As a result, the holding portions 11 can be attached to the mounting portions 62 while reliably preventing the probe pins 13 connected to the signal cable 80 from being broken and the signal cable 80 from being cut. Easy to install.

なお、プローブユニット、回路基板検査装置およびプローブユニット着脱方法は、上記の構成および方法に限定されない。例えば、４端子法での測定（検査）に用いる４本のプローブピン１３を保持するプローブユニット３、およびそのプローブユニット３を着脱する方法に適用した例について上記したが、２本のプローブピン１３を保持するプローブユニット、およびそのプローブユニット３を着脱する方法に適用することもできる。   The probe unit, the circuit board inspection apparatus, and the probe unit attaching / detaching method are not limited to the above configuration and method. For example, the probe unit 3 holding the four probe pins 13 used for the measurement (inspection) by the four-terminal method and the example applied to the method of attaching / detaching the probe unit 3 have been described above. It is also possible to apply to a probe unit for holding and a method for attaching / detaching the probe unit 3.

また、各保持部１１に形成されている合計４つの平面視円形の凹部４４、および連結部材１２に形成されている４つの略円錐状の凸部５１によって位置決め用嵌合部を構成した例について上記したが、位置決め用嵌合部を構成する凹部４４および凸部５１の数や形状はこれに限定されず、任意に規定することができる。   In addition, an example in which a positioning fitting portion is configured by a total of four concave portions 44 in plan view formed in each holding portion 11 and four substantially conical convex portions 51 formed in the connecting member 12. As described above, the numbers and shapes of the concave portions 44 and the convex portions 51 constituting the positioning fitting portion are not limited to this and can be arbitrarily defined.

また、保持部１１に凸部（凸部５１と同様の凸部）を形成し、この凸部と嵌合可能な凹部（凹部４４と同様の凹部）を連結部材１２に形成し、これらの凸部および凹部で位置決め用嵌合部を構成することもできる。   Further, a convex portion (a convex portion similar to the convex portion 51) is formed on the holding portion 11, and a concave portion (a concave portion similar to the concave portion 44) that can be fitted to the convex portion is formed on the connecting member 12. The positioning fitting portion can also be constituted by the portion and the concave portion.

また、各取付部６２と保持部１１との固定に用いる固定用ネジ７０を各保持部１１と連結部材１２との固定に用いる例、つまり２組の固定用ネジに同じ固定用ネジ７０を用いる例について上記したが、２組の固定用ネジに異なる固定用ネジを用いることもできる。また、固定用ネジを用いることなく、位置決め用嵌合部を嵌合させるだけで各保持部１１と連結部材１２とを固定する構成を採用することもできる。   Moreover, the example which uses the fixing screw 70 used for fixing each attaching part 62 and the holding | maintenance part 11 for fixing each holding | maintenance part 11 and the connection member 12, ie, the same fixing screw 70 is used for two sets of fixing screws. Although the example has been described above, different fixing screws can be used for the two sets of fixing screws. Moreover, the structure which fixes each holding | maintenance part 11 and the connection member 12 only by making it fit the positioning fitting part, without using a fixing screw is also employable.

１ 基板検査装置
３ プローブユニット
４ プロービング機構
５ 測定部
８ 制御部
１１ａ，１１ｂ 保持部
１２ 連結部材
１３ プローブピン
４１ 凹部
５１ 凸部
６２ 取付部
７０ 固定用ネジ
１００ 回路基板
１０１ 導体パターン DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Board | substrate inspection apparatus 3 Probe unit 4 Probing mechanism 5 Measuring part 8 Control part 11a, 11b Holding part 12 Connecting member 13 Probe pin 41 Concave part 51 Convex part 62 Mounting part 70 Fixing screw 100 Circuit board 101 Conductive pattern

Claims (6)

プローブピンをそれぞれ保持可能に構成されると共に当該プローブピンをプロービング対象体にプロービングさせるプロービング機構における一対の取付部にそれぞれ着脱可能に構成された一対の保持部を備え、当該各保持部が、互いに近接し、かつ連結部材によって連結されている状態で前記各取付部にそれぞれ着脱可能に構成されているプローブユニットと、当該プローブユニットの前記各保持部が装着される一対の取付部を有して当該各保持部によって保持されているプローブピンをプロービング対象体にプロービングさせるプロービング機構と、前記プロービング対象体にプロービングされている前記プローブピンを介して入出力した電気信号に基づいて当該プロービング対象体についての検査を行う検査部とを備えている検査装置であって、
前記プロービング機構は、前記連結部材によって前記各保持部が連結されていない状態において前記プローブユニットの着脱を指示されたときに、前記各保持部が互いに近接する近接状態となる着脱位置に前記各取付部を移動させる検査装置。 A pair of holding portions which are detachably attached to each of the pair of mounting portions in the probing mechanism for probing both the probe pin and the probe pins can hold configured respectively probing object, the respective holding part, A probe unit that is configured to be detachable from each mounting portion in a state of being close to each other and connected by a connecting member, and a pair of mounting portions to which the holding portions of the probe unit are attached A probing mechanism for probing the probe pin held by each holding part to the probing object, and the probing object based on an electric signal input / output via the probe pin probed by the probing object Inspection apparatus comprising an inspection unit for performing inspection on There,
The probing mechanism is configured to attach the attachment units to the attachment / detachment positions in which the holding units are close to each other when instructed to attach / detach the probe unit in a state where the holding units are not connected by the connecting member. Inspection device that moves parts . 前記プローブユニットは、前記連結部材を備え、
前記各保持部および前記連結部材には、装着時において互いに嵌合し合って位置決めを行うための位置決め用嵌合部がそれぞれ形成されている請求項１記載の検査装置。 The probe unit includes the connecting member,
The inspection apparatus according to claim 1, wherein each holding portion and the connecting member are each formed with a positioning fitting portion for fitting and positioning each other during mounting . 前記位置決め用嵌合部は、前記各保持部に形成された嵌合用の凹部および凸部のいずれか一方と、前記連結部材に形成されて当該連結部材の装着時において前記いずれか一方に嵌合して当該連結部材を位置決めする前記凹部および前記凸部の他方とで構成されている請求項２記載の検査装置。 The positioning fitting portion is formed on either one of the fitting concave portion and the convex portion formed on each holding portion, and is fitted on the connecting member when the connecting member is mounted. The inspection device according to claim 2, wherein the inspection device is configured by the other of the concave portion and the convex portion that position the connecting member . 前記各保持部は、固定用ネジで前記各取付部に固定され、
前記連結部材は、前記各保持部を連結している状態において、固定用ネジで前記各保持部に固定される請求項１から３のいずれかに記載の検査装置。 Each holding portion is fixed to each mounting portion with a fixing screw,
The inspection device according to any one of claims 1 to 3, wherein the connecting member is fixed to the holding portions with fixing screws in a state where the holding portions are connected . プローブピンをそれぞれ保持可能に構成されると共に当該プローブピンをプロービング対象体にプロービングさせるプロービング機構における一対の取付部にそれぞれ着脱可能に構成された一対の保持部を備えたプローブユニットにおける当該各保持部を当該各取付部にそれぞれ着脱するプローブユニット着脱方法であって、
前記プロービング機構に対して、前記各取付部に装着されている前記各保持部が互いに近接する近接状態となる取り外し位置に当該各取付部を移動させ、
前記各保持部に連結部材を装着して当該各保持部を前記近接状態のまま連結し、当該連結されている状態の当該各保持部を前記各取付部から取り外すプローブユニット着脱方法。 The respective retention in a probe unit having a pair of holding portions which are detachably attached to each of the pair of mounting portions in the probing mechanism for probing the probe pin together the probe pin probing subject holdable configured respectively A probe unit attaching and detaching method for attaching and detaching each part to each attachment part,
With respect to the probing mechanism, the attachment parts are moved to a removal position where the holding parts attached to the attachment parts are close to each other.
A probe unit attaching / detaching method in which a connecting member is attached to each holding portion, the holding portions are connected in the proximity state, and the holding portions in the connected state are detached from the attachment portions. プローブピンをそれぞれ保持可能に構成されると共に当該プローブピンをプロービング対象体にプロービングさせるプロービング機構における一対の取付部にそれぞれ着脱可能に構成された一対の保持部を備えたプローブユニットにおける当該各保持部を当該各取付部にそれぞれ着脱するプローブユニット着脱方法であって、
前記プロービング機構に対して、前記各取付部に装着されたときに前記各保持部が互いに近接する近接状態となる取付け位置に当該各取付部を移動させ、
連結部材によって前記近接状態のまま連結されている状態の前記各保持部を前記各取付部に取り付けた後に、前記連結部材を前記各保持部から取り外すプローブユニット着脱方法。 The respective retention in a probe unit having a pair of holding portions which are detachably attached to each of the pair of mounting portions in the probing mechanism for probing the probe pin together the probe pin probing subject holdable configured respectively A probe unit attaching and detaching method for attaching and detaching each part to each attachment part,
With respect to the probing mechanism, the mounting portions are moved to mounting positions where the holding portions are close to each other when mounted on the mounting portions,
Each of said holding portion in a state in which the consolidated member are coupled while the proximity state after attaching the respective mounting portions, the probe unit detachable how to remove the connecting member from the respective retaining portions.

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