JP5825332B2 - 音叉型圧電振動片、及び音叉型圧電振動子 - Google Patents
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Description
本発明の音叉型圧電振動片は、基部と、前記基部の一端面に並設され該一端面から平行に突出する一対の振動腕部と、前記基部における前記一端面と対向する他端面から前記突出方向とは反対方向に突出して形成された接合部と、を具備する音叉型圧電振動片であって、前記接合部の前記反対方向に突出する端面における幅方向の一部に前記反対方向に突出して形成された第1凸部と、前記第1凸部の前記突出方向の上面における幅方向の一部に当該第1凸部より更に前記反対方向に突出して形成された第2凸部とからなる段部が形成されている、ことを特徴とする。
(製造例)
図6〜図8を参照して、実施形態の水晶振動片2の製造の一例を説明する。図6は、実施形態の水晶振動片の製造に用いる水晶ウェハの全体平面図であり、図7は図6の一部拡大図であり、図8は図7の要部拡大図である。これらの図において、図1〜図4と対応する部分には同一の符号を付している。
5 基部
6,7 第1、第2振動腕部
8 接合部
32 段部
32a 第1凸部
32b 第2凸部
Claims (7)
- 基部と、前記基部の一端面に並設され該一端面から平行に突出する一対の振動腕部と、前記基部における前記一端面と対向する他端面から前記突出方向とは反対方向に突出して形成された接合部と、を具備する音叉型圧電振動片であって、
前記接合部の前記反対方向に突出する端面における幅方向の一部に前記反対方向に突出して形成された第1凸部と、前記第1凸部の前記突出方向の上面における幅方向の一部に当該第1凸部より更に前記反対方向に突出して形成された第2凸部とからなる段部が形成されている、ことを特徴とする音叉型圧電振動片。 - 前記接合部は、
前記基部の前記他端面に対して前記両振動腕部の前記並設間中央線を含む領域から突出して第1金属バンプを有する基端部と、前記基端部から前記両振動腕部の前記並設方向一方に延出して第2金属バンプを有する延出部とを備えて、平面視L字状に形成されている、請求項1に記載の音叉型圧電振動片。 - 前記第2凸部は、その幅方向両端が、前記第1、第2金属バンプに対して、幅方向に垂直な方向において、離隔し、かつ、重なっていない請求項2に記載の音叉型圧電振動片。
- 前記第1凸部が、前記両振動腕部の前記並設間中央線上を通る幅で形成されている、請求項1〜3のうちのいずれか一項に記載の音叉型圧電振動片。
- 前記第1凸部は、その幅方向両端の側面が前記接合部の前記反対方向に突出する端面から前記突出方向に略垂直に立上がり、その表裏面が前記接合部の表裏面に連続する平坦な面になっていると共に、
前記第2凸部は、前記第1凸部の前記幅より短い幅を有し、
前記第2凸部の幅方向両側には、前記第1凸部の幅方向両端へ向けて漸次薄肉となる領域が形成されている、請求項1〜4のうちのいずれか一項に記載の音叉型圧電振動片。 - 前記第2凸部は、前記一対の振動腕部の前記並設間中央に対し、前記並設方向一方に偏心した位置に形成されている、請求項1〜5のうちのいずれかに一項に記載の音叉型圧電振動片。
- 前記第2凸部の頂部及び底部が、前記接合部の表裏面に連続する平坦な面になっている、請求項1〜6のうちのいずれか一項に記載の音叉型圧電振動片。
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