JP5825331B2 - 音叉型圧電振動片、および圧電振動子 - Google Patents
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Description
本発明に係る音叉型圧電振動片は、基部と、
前記基部の一端面から一方向に平行に突出した状態に並設された一対の振動腕部と、
前記基部の他端面から前記一対の振動腕部の並設位置間の略中央線上を前記一方向とは反対方向に突出する接合部とを有し、
前記一対の振動腕部の表裏両主面及び両側面のそれぞれには、複数の励振電極が形成され、
前記基部の表裏面には、前記複数の励振電極の一部を共通接続する接続用基部引出電極と、前記複数の励振電極の一部を前記接合部へ引き出す一対の外部用基部引出電極とから構成される基部引出電極が形成され、
前記基部の表裏面の前記基部引出電極は、前記振動腕部の前記表裏両主面に形成された前記励振電極よりも厚肉であり、
前記一対の振動腕部の先端側に、前記複数の励振電極の一部を共通接続する腕先引出電極が形成され、前記腕先引出電極は、前記一対の振動腕部それぞれの表裏両主面の励振電極よりも厚肉に形成されており、前記基部引出電極は、前記腕先引出電極と少なくとも実質同一の肉厚を有し、
前記基部は、前記略中央線上に対して平面視両側部分が対称同形状であると共に、
前記基部引出電極は、互いに電気的に分離された状態で前記基部の表裏面のほぼ全面に同等の肉厚で形成されている、ことを特徴とする。
本発明に係る音叉型圧電振動片は、基部と、一対の振動腕部とを有し、前記一対の振動腕部は、前記基部の一端面から突出した状態に並設されており、前記一対の振動腕部の表裏両主面及び両側面のそれぞれには、複数の励振電極が形成され、前記基部上には、前記複数の励振電極の一部を共通接続する接続用基部引出電極と、前記複数の励振電極の一部を外部へ引き出す一対の外部用基部引出電極とから構成される基部引出電極が形成されている音叉型圧電振動片であって、前記基部引出電極が、前記振動腕部の前記表裏両主面に形成された前記励振電極よりも厚肉であることを特徴とする。
5 基部
6,7 振動腕部
8 接合部
9a1,9a2,10a1,10a2 励振電極
11a,11b 金属バンプ
12a,12b 腕先引出電極
12a1,12b1 腕先引出下層電極部
12a2,12b2 周波数調整錘用電極部
20c1〜20c6 基部引出電極
Claims (3)
- 基部と、
前記基部の一端面から一方向に平行に突出した状態に並設された一対の振動腕部と、
前記基部の他端面から前記一対の振動腕部の並設位置間の略中央線上を前記一方向とは反対方向に突出する接合部とを有し、
前記一対の振動腕部の表裏両主面及び両側面のそれぞれには、複数の励振電極が形成され、
前記基部の表裏面には、前記複数の励振電極の一部を共通接続する接続用基部引出電極と、前記複数の励振電極の一部を前記接合部へ引き出す一対の外部用基部引出電極とから構成される基部引出電極が形成され、
前記基部の表裏面の前記基部引出電極は、前記振動腕部の前記表裏両主面に形成された前記励振電極よりも厚肉であり、
前記一対の振動腕部の先端側に、前記複数の励振電極の一部を共通接続する腕先引出電極が形成され、前記腕先引出電極は、前記一対の振動腕部それぞれの表裏両主面の励振電極よりも厚肉に形成されており、前記基部引出電極は、前記腕先引出電極と少なくとも実質同一の肉厚を有し、
前記基部は、前記略中央線上に対して平面視両側部分が対称同形状であると共に、
前記基部引出電極は、互いに電気的に分離された状態で前記基部の表裏面のほぼ全面に同等の肉厚で形成されている、ことを特徴とする音叉型圧電振動片。 - 前記接合部は、前記基部の他端面の前記一対の振動腕部の並設位置間の略中央線上を含む位置から突出した基端部と、前記基端部から前記並設方向一方側に延出した延出部とで、平面視L字状に形成されており、前記基端部の表面には、前記一対のうちの前記外部用基部引出電極の一方が引き出された外部用接合部第1引出電極が形成され、その外部用接合部第1引出電極の上部に第1金属バンプが設けられ、前記延出部の表面には、前記一対のうちの前記外部用基部引出電極の他方が引き出された外部用接合部第2引出電極が形成され、その外部用接合部第2引出電極の上部に第2金属バンプが設けられていると共に、前記第1金属バンプの平面視サイズは、前記第2金属バンプの平面視サイズより大きい、請求項1に記載の音叉型圧電振動片。
- 請求項1または2に記載の前記音叉型圧電振動片が、パッケージ内で支持されている、ことを特徴とする圧電振動子。
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