JP5824342B2 - リニアエンコーダ - Google Patents
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- 平行光を発する光源と、固定スケールと、前記固定スケールに対して相対変位するインデックススケールと、前記平行光が前記固定スケールおよび前記インデックススケールを透過あるいは反射した光を受光して、電気信号に変換する光電変換手段と、を備えたリニアエンコーダにおいて、
前記固定スケールに設けられ、互いに異なるピッチの第一格子目盛および第二格子目盛と、
前記第一格子目盛を透過または反射した光を光電変換して得られる信号の振幅を第一信号振幅として取得する手段と、
前記第二格子目盛を透過または反射した光を光電変換して得られる信号の振幅を第二信号振幅として取得する手段と、
前記第二信号振幅に基づいて温度の影響量を取得する手段と、
前記第一信号振幅から前記温度の影響量を除去した補正信号振幅を取得し、当該補正信号振幅に基づいて前記固定スケールと前記インデックススケールとの間のギャップ量を算出する手段と、
を備え、
前記第二格子目盛の格子ピッチは、前記第一格子目盛の格子ピッチの2倍以上である、
ことを特徴とするリニアエンコーダ。
Priority Applications (1)
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JP2011258093A JP5824342B2 (ja) | 2011-11-25 | 2011-11-25 | リニアエンコーダ |
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JP2011258093A JP5824342B2 (ja) | 2011-11-25 | 2011-11-25 | リニアエンコーダ |
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Family Applications (1)
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JP2011258093A Active JP5824342B2 (ja) | 2011-11-25 | 2011-11-25 | リニアエンコーダ |
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JP2013113634A (ja) | 2013-06-10 |
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