JP2007071634A - 光電式エンコーダ - Google Patents
光電式エンコーダ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007071634A JP2007071634A JP2005257725A JP2005257725A JP2007071634A JP 2007071634 A JP2007071634 A JP 2007071634A JP 2005257725 A JP2005257725 A JP 2005257725A JP 2005257725 A JP2005257725 A JP 2005257725A JP 2007071634 A JP2007071634 A JP 2007071634A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- photoelectric encoder
- scale
- light receiving
- receiving element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Optical Transform (AREA)
Abstract
【課題】 製造工程を複雑化することなく迷光を確実に遮断することができ検出精度の高い光電式エンコーダを提供する。
【解決手段】 この光電式エンコーダは、測定軸Xに沿ってスケール格子12が形成されたメインスケール1と、このメインスケール1に対してその測定軸X方向に移動可能に配置されてスケール格子12を読み取るセンサヘッド2とを備えている。センサヘッド2は、スケール格子12に測定光を照射する光源25と、スケール格子12からの光を受光して変位信号を出力する受光素子アレイ23とを備える。受光素子アレイ23は、所定ピッチで配列され且つその間隙のフォトダイオードPDiの各々に対する角度がスケール格子12からの光の入射角に対応するようにパターニングされた遮光膜34を備えている。
【選択図】 図1
【解決手段】 この光電式エンコーダは、測定軸Xに沿ってスケール格子12が形成されたメインスケール1と、このメインスケール1に対してその測定軸X方向に移動可能に配置されてスケール格子12を読み取るセンサヘッド2とを備えている。センサヘッド2は、スケール格子12に測定光を照射する光源25と、スケール格子12からの光を受光して変位信号を出力する受光素子アレイ23とを備える。受光素子アレイ23は、所定ピッチで配列され且つその間隙のフォトダイオードPDiの各々に対する角度がスケール格子12からの光の入射角に対応するようにパターニングされた遮光膜34を備えている。
【選択図】 図1
Description
この発明は物体の相対的な変位量及び方向を検出するための光電式エンコーダに関する。
各種の工作機械や測定装置などでは、相対移動する2つの部材の変位を検出する光電エンコーダが使用されている。この光電エンコ−ダは、LED等の発光素子から出射される光束をスケールに向けて照射し、このスケールで透過、回折又は反射された光束をフォトダイオードなどの受光素子により受光し、この受光光束の状態に基づき物体の変位量及び方向を検出するものである。光電式エンコーダが搭載される装置の小型化の要請により、光電式エンコーダについても小型化の要請が強い。
しかし、光電式エンコーダを小型化した場合、乱反射光、漏れ光等の変位検出用の測定光以外の光(以下、「迷光」という)の入射を防ぐことが困難であり、これがノイズやオフセット信号となり検出精度を劣化させるという問題があった。例えば、原点検出系を備えた光電式エンコーダにおいては、この原点検出系が変位検出系とは別の光源、及び受光素子を有している。この原点検出用の光源からの光が変位検出系の受光素子に入射すると、それは変位検出系においてノイズ又はDCオフセットとなり、検出精度を劣化させる原因となる。
出願人が提案した特許文献1では、受光素子の検出面に対し斜め方向に配向された光ガイド部材を薄膜技術等により形成することにより、迷光を遮断する光電式エンコーダを開示している。しかし、この特許文献1の光ガイド部材のような三次元構造は、通常の受光素子アレイを形成するための半導体プロセスとは異なる特殊なプロセスにより形成されなければならず、形成工程が複雑化し、製造コストを増加させるという問題があった。
特開2001ー41775公報(段落0020〜0022、図5他)
本発明は、製造工程を複雑化することなく迷光を確実に遮断することができ検出精度の高い光電式エンコーダを提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明に係る光電式エンコーダは、測定軸に沿ってスケール格子が形成されたメインスケールと、このメインスケールに対してその測定軸方向に移動可能に配置されて前記スケール格子を読み取るセンサヘッドとを備え、前記センサヘッドは、前記スケール格子に測定光を照射する光源と、前記スケール格子からの光を受光して変位信号を出力する受光部とを備え、前記受光部は、所定ピッチで基板表面に受光素子を形成してなる受光素子アレイと、前記基板表面に形成される透明基板と、前記透明基板上に所定ピッチで配列され且つその間隙の前記受光素子の各々に対する角度が前記スケール格子からの光の入射角に対応するように金属配線層をパターニングすることにより形成された遮光膜とを備えたことを特徴とする。
この光電式エンコーダにおいて、前記遮光膜は、複数段に亘って形成されており、その複数段の各段における前記間隙が、前記スケール格子からの光の入射角に対応する角度となるようパターニングされるように構成することができる。この場合、迷光の遮光効果をより一層高めることが可能になる。なお、前記遮光膜は、前記受光素子アレイに接続される信号配線を兼用するものであってもよい。この場合更に、同一方向に重なり合う前記信号配線は互いに電気的に接続されているようにすることもできる。
この発明によれば、通常の半導体製造工程により、遮光膜の間隙の前記受光素子の各々に対する角度が前記スケール格子からの光の入射角に対応するように形成するので、製造工程を複雑化することなく迷光を確実に遮断することができ検出精度の高い光電式エンコーダを提供することが可能になる。
次に、本発明の実施の形態を、図面を参照して詳細に説明する。
[第1の実施の形態] この発明の第1の実施の形態の光電式エンコーダの構成を図1に示す。図1(a)はこの実施の形態に係る反射型の光電式エンコーダの平面図であり、同図(b)は測定軸X方向の断面図である。この光電式エンコーダは、メインスケール1と、このメインスケール1に対して測定軸X方向に相対移動可能に構成されたセンサヘッド2とを備えている。メインスケール1は、ガラス基板11を備えており、このガラス基板11上に、スケール格子12及び原点検出パターン13が形成されている。スケール格子12は、光電式エンコーダの分解能に対応する所定のピッチで形成されている。また原点検出パターン13は、スケール格子12のトラックよりもY方向にずれた別のトラックに沿って配置されている。
センサヘッド2は、ガラス基板21上に、変位検出用のインデックス格子22、変位検出用の受光素子アレイ23、及び原点検出用の受光素子24とを形成されて構成されている。またセンサヘッド2は、インデックス格子22を照射する変位検出用LED25と、原点検出パターン13が存在するトラックをスリットS1を介して照射する原点検出用LED26とを備えている。
受光素子アレイ23は、インデックス格子22を通過してスケール格子12で反射した変位検出用LED25からの測定光を受光してセンサヘッド2のメインスケール1に対する変位量及び方向を検出するためのものである。受光素子アレイ23を構成する受光素子は、PINフォトダイオードが好適であるが、PNフォトダイオードであってもよいし、フォトトランジスタであってもよい。
受光素子アレイ23の構造の詳細を図2に示す。受光素子アレイ23は、シリコン基板31の表面に所定ピッチで形成されたフォトダイオードPDi、このシリコン基板31上に形成される透明基板としてのシリコン酸化膜32及び33、並びにシリコン酸化膜32上に所定ピッチで形成される遮光膜34とから構成される。遮光膜34は、例えばアルミニウム金属膜等により形成することができる。シリコン基板31上に形成されたシリコン酸化膜32上にスパッタリング等によりアルミニウム膜を均一に形成した後、周知のフォトリソグラフィ法及びエッチングによりパターニングすることにより、遮光膜34を形成することができる。図2(b)平面的にも示されるように、遮光膜34は、フォトダイオードPDiの間隙に対応するように配置されているのではなく、それよりも横方向に所定のズレ量だけずれた位置に配列されている。そのズレ量は、遮光膜34の間隙の端部と、フォトダイオードPDiの端部とを結ぶ線分がシリコン基板31となす角度θが、スケール格子12から入射する信号光の入射角度に対応した角度となるように設定されている。このように遮光膜34が構成されることにより、フォトダイオードPDiにはスケール格子12から例えば図2の矢印方向から斜め入射する信号光は入射可能とされる一方、ノイズ等の原因となり、他の方向から入射する迷光は遮光される。遮光膜34はフォトリソグラフィとエッチングを含む通常の半導体製造工程で形成することができる。これはフォトダイオードPDiを形成する工程と同様の工程であるので、製造工程の簡略化がなされている。
なお、遮光膜34は、上述のようにアルミニウム膜等の導電膜で形成することができ、これを例えばフォトダイオードPDiの検出信号を取り出すための信号配線に用いることができる。
[第2の実施の形態] この発明の第2の実施の形態の光電式エンコーダを図3に示す。図3はこの実施の形態の光電式エンコーダの受光素子アレイ23の構造の詳細を示す断面図である。光電式エンコーダ全体の構成は第1の実施の形態と同様であるので、その詳細な説明は省略する。
この実施の形態では、シリコン酸化膜33上に更に遮光膜36を形成し、これをシリコン酸化膜35で覆うことにより、遮光膜34、36を2段に構成している点で第1の実施の形態と異なっている。遮光膜34、36の端部を結ぶ線分がシリコン基板31となす角度θが、スケール格子12からの信号光の入射角と対応するように遮光膜34、36を配列する。この遮光膜36は、遮光膜34と同様に信号配線を兼用することができる。
遮光膜は図3のように2段でなくとも、3段又はそれ以上の複数段に形成することも可能である。このように複数段に亘って遮光膜を形成することにより、迷光がフォトダイオードPDiに入射する可能性を更に低くすることができる。
なお、図4に示すように、上下方向で同一方向に重なり合う遮光膜34、36をコンタクトV1により接続し、コンタクトV1で互いに接続された遮光膜を同一の電気信号(フォトダイオードPDiのA相信号、B相信号等)の送信に用いるようにすることもできる。この構成によれば、上下方向に積層する遮光膜34、36即ち信号線間での干渉が抑制されると共に、コンタクトV1の存在により迷光の遮断効果を高めることができる。
また、図5に示すように、上層(図5では最も下の位置)の遮光膜36を、下層の遮光膜34よりも厚く形成することもできる。これにより、迷光をより確実に遮断することが出来ると共に、遮光膜36を電源電圧配線など大きな電流の流れる配線として用いることができる。
[第3の実施の形態] 次に、本発明の第3の実施の形態に係る光電式エンコーダを、図6及び図7を参照して説明する。上記実施の形態と同一の構成部材に関しては図中同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。この実施の形態では、光電式エンコーダ全体の構成は、第1の実施の形態と略同様である。ただしこの実施の形態では、インデックス格子22が測定軸Xと垂直方向のY方向に変位した位置に形成され、変位検出用LED25は、このインデックス格子22をY方向から斜めに、即ち図6中YZ平面を含む面においてインデックス格子22を照射するように構成されている。従って、スケール格子12からの信号光も、YZ平面に沿った斜めの入射角で受光素子アレイ23に入射する。
図7に、この光電式エンコーダの受光素子アレイ23の構成を示す。同図(a)はフォトダイオードPDと遮光膜34、36の位置関係を示す平面図であり、同図(b)は(a)のY方向断面図である。
図7(a)に示すように、遮光膜34、36は、いずれも所定ピッチでフォトダイオードPDの長手方向と直交する方向に所定ピッチで配列されていると共に、遮光膜36は、遮光膜34に対しY方向に僅かにずれた位置に配置されている。このズレ量は、両者の端部を結ぶ線分がシリコン基板31となす角度θが、スケール格子12からの信号光の入射角と対応するように設定される(図7(b)参照)。このように遮光膜34、36が形成されることにより、図6に示す構成の光電式エンコーダにおいても、スケール格子12からの信号光は受光素子アレイ23に入射可能とすることができる一方、迷光を効果的に遮断することができる。
以上、発明の実施の形態を説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において、種々に改変、置換等が可能である。例えば、上記実施の形態では反射型スケール格子を有するメインスケールを説明したが、透過型スケール格子を採用したものにも本発明は適用可能である。また、上記実施の形態では1次元の変位量を検出するエンコーダを説明したが、2次元位置を検出するエンコーダに本発明が適用可能であることはいうまでもない。
また、上記実施の形態では、原点検出用LED26を変位検出用LED25とは別に設けている。しかし、図8(a)(b)に示すように、変位検出用LED25からの光をミラー27、28により原点検出パターン13に導くことにより、変位検出用LED25に原点検出用LEDを兼用させ、原点検出用LED26は廃止するようにしてもよい。
1・・・メインスケール、 2・・・センサヘッド、 11・・・ガラス基板、 12・・・スケール格子、 13・・・原点検出パターン、 21・・・ガラス基板、 22・・・インデックス格子、 23・・・受光素子アレイ、 24・・・受光素子、 25・・・変位検出用LED、 26・・・原点検出用LED、
27、28・・・ミラー、 31・・・シリコン基板、 PDi・・・フォトダイオード、 32、33・・・シリコン酸化膜、 34、35、36・・・遮光膜、 V1・・・コンタクト。
27、28・・・ミラー、 31・・・シリコン基板、 PDi・・・フォトダイオード、 32、33・・・シリコン酸化膜、 34、35、36・・・遮光膜、 V1・・・コンタクト。
Claims (6)
- 測定軸に沿ってスケール格子が形成されたメインスケールと、
このメインスケールに対してその測定軸方向に移動可能に配置されて前記スケール格子を読み取るセンサヘッドと
を備え、
前記センサヘッドは、
前記スケール格子に測定光を照射する光源と、
前記スケール格子からの光を受光して変位信号を出力する受光部と
を備え、
前記受光部は、
所定ピッチで基板表面に受光素子を形成してなる受光素子アレイと、
前記基板表面に形成される透明基板と、
前記透明基板上に所定ピッチで配列され且つその間隙の前記受光素子の各々に対する角度が前記スケール格子からの光の入射角に対応するように金属配線層をパターニングすることにより形成された遮光膜と
を備えたことを特徴とする光電式エンコーダ。 - 前記遮光膜は、複数段に亘って形成されており、その複数段の各段における前記間隙が、前記スケール格子からの光の入射角に対応する角度で配列されるようパターニングされたことを特徴とする請求項1記載の光電式エンコーダ。
- 前記メインスケールは、原点位置を示す原点検出パターンを更に備え、
前記センサヘッドは、前記原点検出パターンを検出するための原点検出用受光素子を更に備えた
ことを特徴とする請求項1記載の光電式エンコーダ。 - 前記センサヘッドは、前記原点検出パターンを照明するための原点検出用光源を更に備えた請求項3記載の光電式エンコーダ。
- 前記遮光膜は、前記受光素子アレイに接続される信号配線を兼用するものである請求項1記載の光電式エンコーダ。
- 同一方向に重なり合う前記信号配線はコンタクトを介して互いに電気的に接続されていることを特徴とする請求項5記載の光電式エンコーダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005257725A JP2007071634A (ja) | 2005-09-06 | 2005-09-06 | 光電式エンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005257725A JP2007071634A (ja) | 2005-09-06 | 2005-09-06 | 光電式エンコーダ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007071634A true JP2007071634A (ja) | 2007-03-22 |
Family
ID=37933200
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005257725A Pending JP2007071634A (ja) | 2005-09-06 | 2005-09-06 | 光電式エンコーダ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007071634A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008114823A1 (ja) | 2007-03-19 | 2008-09-25 | Ntt Docomo, Inc. | ネットワーク登録方法、移動局及び加入者情報管理サーバ |
KR101389046B1 (ko) | 2012-03-26 | 2014-04-28 | 주식회사 져스텍 | 다수의 광 검출 소자가 배열된 광 검출부를 구비하는 광학 인코더 |
JP2016142536A (ja) * | 2015-01-29 | 2016-08-08 | ファナック株式会社 | クロストークを防止する光学式エンコーダ |
JP2021043088A (ja) * | 2019-09-12 | 2021-03-18 | 株式会社ミツトヨ | 光電式エンコーダ |
-
2005
- 2005-09-06 JP JP2005257725A patent/JP2007071634A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008114823A1 (ja) | 2007-03-19 | 2008-09-25 | Ntt Docomo, Inc. | ネットワーク登録方法、移動局及び加入者情報管理サーバ |
KR101389046B1 (ko) | 2012-03-26 | 2014-04-28 | 주식회사 져스텍 | 다수의 광 검출 소자가 배열된 광 검출부를 구비하는 광학 인코더 |
JP2016142536A (ja) * | 2015-01-29 | 2016-08-08 | ファナック株式会社 | クロストークを防止する光学式エンコーダ |
US9874463B2 (en) | 2015-01-29 | 2018-01-23 | Fanuc Corporation | Optical encoder for preventing crosstalk |
JP2021043088A (ja) * | 2019-09-12 | 2021-03-18 | 株式会社ミツトヨ | 光電式エンコーダ |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7098446B2 (en) | Photoelectric encoder | |
JP5974329B2 (ja) | 光電式エンコーダ | |
US9557193B2 (en) | Optical encoder | |
JP2010256080A (ja) | 光電式エンコーダ及びその動作制御方法 | |
US8993954B2 (en) | Optical encoder having a high resolution detection mode to detect a fine pitch pattern and a low resolution detection mode to detect a coarse pitch pattern | |
JP2005156549A (ja) | 光学式エンコーダ | |
JP4350417B2 (ja) | 光電式エンコーダ | |
JP2007071634A (ja) | 光電式エンコーダ | |
JP4843342B2 (ja) | 光電式インクリメンタル型エンコーダ | |
JP4425220B2 (ja) | アブソリュートエンコーダ | |
JP4834141B2 (ja) | 光電式エンコーダ | |
KR101434925B1 (ko) | 정점 검출 장치 및 변위 측정 장치 | |
JP5069364B2 (ja) | 光電式インクリメンタル型エンコーダ | |
JP6684087B2 (ja) | 光エンコーダ | |
JP3738742B2 (ja) | 光学式絶対値エンコーダ及び移動装置 | |
JP2000321097A (ja) | 光学式エンコーダ | |
JP5112797B2 (ja) | 光電式インクリメンタル型エンコーダ | |
JP4350419B2 (ja) | 光電式エンコーダ | |
JP7475973B2 (ja) | 光学式エンコーダ及び制御装置 | |
JP2007127532A (ja) | 光学式エンコーダ | |
JP5113018B2 (ja) | リニアエンコーダ装置 | |
JP4372566B2 (ja) | 光電式エンコーダ | |
JP2007218754A (ja) | アライメントずれ検査装置 | |
JP2004239855A (ja) | 反射型光電式エンコーダ | |
JP2005308474A (ja) | 光学式変位測定装置 |