JP2013113634A - リニアエンコーダ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】リニアエンコーダは、発光素子12と、スケール10と、スケール10に対して相対変位するインデックススケール13aと、スケール10およびインデックススケール13aを透過した光を電気信号に変換する受光素子14aと、を備えている。スケール10には、互いに異なるピッチの主格子目盛16および補助格子目盛17が設けられている。リニアエンコーダのギャップ検出部は、補助格子目盛17から得られる信号振幅に基づいて、主格子目盛16から得られる信号振幅に対する温度の影響量を取得し、この温度の影響量を除去した信号振幅に基づいてスケール10とインデックススケール13aとの間のギャップ量を求める。
【選択図】図1
Description
Claims (2)
- 平行光を発する光源と、固定スケールと、前記固定スケールに対して相対変位するインデックススケールと、前記平行光が前記固定スケールおよび前記インデックススケールを透過あるいは反射した光を受光して、電気信号に変換する光電変換手段と、を備えたリニアエンコーダにおいて、
前記固定スケールに設けられ、互いに異なるピッチの第一格子目盛および第二格子目盛と、
前記第一格子目盛を透過または反射した光を光電変換して得られる信号の振幅を第一信号振幅として取得する手段と、
前記第二格子目盛を透過または反射した光を光電変換して得られる信号の振幅を第二信号振幅として取得する手段と、
前記第二信号振幅に基づいて温度の影響量を取得する手段と、
前記第一信号振幅から前記温度の影響量を除去した補正信号振幅を取得し、当該補正信号振幅に基づいて前記固定スケールと前記インデックススケールとの間のギャップ量を算出する手段と、
を備えることを特徴とするリニアエンコーダ。 - 請求項1に記載のリニアエンコーダにおいて、
前記第二格子目盛の格子ピッチは、前記第一格子目盛の格子ピッチの2倍以上である、ことを特徴とするリニアエンコーダ。
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2011
- 2011-11-25 JP JP2011258093A patent/JP5824342B2/ja active Active
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