JP5816561B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
このような構成によれば、可動ストッパを移動させることで、ヘッドユニットの移動領域を適宜可変することができる。
このような構成によれば、可動ストッパによって、スライド部またはヘッドユニットを、ガイドレールの中心側にスムーズに押し戻すことができる。
本実施形態における基板処理装置は、所定の位置(実装作業位置)に搬送された基板(図示せず)に対し、部品供給部11から電子部品(図示せず)をピックアップして実装する部品実装装置10である。
各アーム30のフレーム20からの突出寸法は、一対の対向アーム30A,30BがX軸方向に並んだ場合に、その自由端同士が接触しないように設定されている。
まず、マーク認識作業を行う。
最初に、基台12の共通認識マークを認識する。ここでは、基台12の共通認識マークが基台12の中心に設置されている場合について説明する。
各ヘッドユニット50は、基板の基準マークを認識することで基板の固定位置を認識する。なお、基板の基準マークが基台12の中心(通常移動範囲内のヘッドユニット50からデッドスペースとなる部分)に位置している場合には、共通マーク認識作業時と同様に、可動ストッパ37を移動許容位置に配置し、ヘッドユニット50を拡張可能範囲の端まで移動させて基準マークの認識作業を行う。
各ヘッドユニット50は、基板の固定位置に基づき、電子部品の搭載位置を補正して電子部品を基板上に実装する。この部品実装作業時には、可動ストッパ37は移動規制位置に配置され、ヘッドユニット50は通常移動範囲内を移動する。なお、アーム30に備えられた図示しないセンサにより、可動ストッパ37が移動規制位置に配されていることが認識される。
本実施形態の部品実装装置10は、基板に電子部品を実装する作業を行うヘッドユニット50と、ヘッドユニット50をX軸方向に移動させるアーム30と、を備え、アーム30は、X方向レール34と、X方向レール34に沿って移動するX方向スライダ35とを有し、ヘッドユニット50は、一部がX方向スライダ35のうちその移動方向の端面35Aから外側に突出する位置に固定されている。
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
(1)上記実施形態では、本発明の基板処理装置を、基板に対して電子部品を実装する部品実装装置10に適用した例を示したが、本発明は、基板に対してヘッドユニット50により何らかの処理を行う各種の装置に広く適用することができる。
(2)上記実施形態では、本発明を、複数のヘッドユニット50が備えられた部品実装装置10に適用した例を示したが、本発明は、例えば一のヘッドユニットのみが備えられた部品実装装置にも適用することができる。
(3)上記実施形態では、アーム30は、フレーム20に片持ち状に支持されたものとされているが、これに限らず、例えばアームは、部品実装装置の天井部から吊り下げられたものであってもよい。
(4)上記実施形態では、ヘッドユニット50がX方向スライダ35の一方の端面35Aから突出しているが、これに限らず、ヘッドユニットがX方向スライダの両方の端面から両側に突出するものとしてもよい。
(6)上記実施形態では、基板に対する作業が停止されると、可動ストッパ37が移動規制位置に移動してX方向レール34の端部に位置するヘッドユニット50のシャフト55に当接し、ヘッドユニット50をX方向レール34の中心側に押し戻すものとされているが、これに限らず、可動ストッパがX方向スライダに当接し、X方向スライダをX方向レールの中心側に押し戻すことでヘッドユニットを押し戻すものとしてもよい。
(7)上記実施形態では、可動ストッパ37の当接部42が傾斜面とされているが、これに限らず、例えばヘッドユニット側に傾斜面を設けてもよく、また可動ストッパおよびヘッドユニットの両方に傾斜面を設けてもよい。
(8)上記実施形態では、可動ストッパ37はアーム30の端部のみに備えられているが、これに限らず、アームの複数箇所に可動ストッパを設けることで、ヘッドユニットの移動範囲を複数段階に可変できるものとしてもよい。
30…アーム(移動装置)
34…X方向レール(ガイドレール)
35…X方向スライダ(スライド部)
35A…X方向スライダの端面(スライド部のうちその移動方向の端面)
37…可動ストッパ
42…当接部
50…ヘッドユニット
Claims (6)
- 基板に所定の作業を行うヘッドユニットと、
前記ヘッドユニットを一軸方向に移動させる移動装置と、
を備え、
前記移動装置は、ガイドレールと、前記ガイドレールに沿って移動するスライド部とを有し、
前記ヘッドユニットは、少なくとも一部が前記スライド部のうちその移動方向の端面から外側に突出する位置に固定されている基板処理装置であって、
前記移動装置は、前記ガイドレールの端面が対向するようにして一対設けられ、
前記ヘッドユニットは、前記スライド部の端面から前記ガイドレールの端面が対向する側に突出する位置に固定されている基板処理装置。 - 前記ガイドレールの一端側には、前記ガイドレールと略直交するフレームが備えられ、
前記ガイドレールは、前記フレームの側面と交差して延びている請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記ガイドレールの一端側には、前記ガイドレールと略直交するフレームが備えられ、
前記移動装置は、前記フレームに片持ち状に支持されており、
前記ヘッドユニットは、前記スライド部の端面から前記フレームとは反対側に突出する位置に固定されている請求項1又は請求項2に記載の基板処理装置。 - 前記移動装置には、前記スライド部または前記ヘッドユニットの移動領域に突出して前記スライド部または前記ヘッドユニットの移動を規制する移動規制位置と、前記スライド部および前記ヘッドユニットの移動領域から退避して前記スライド部および前記ヘッドユニットの移動を許容する移動許容位置との間を移動可能な可動ストッパが備えられている請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記可動ストッパは、前記ガイドレールの端部に備えられ、
前記基板への所定の作業が停止されると、前記可動ストッパが前記移動規制位置に移動して前記ガイドレールの端部に位置する前記スライド部または前記ヘッドユニットに当接し、前記スライド部または前記ヘッドユニットが前記ガイドレールの中心側に押し戻される請求項4に記載の基板処理装置。 - 前記可動ストッパのうち前記スライド部または前記ヘッドユニットに当接する当接部は、前記ガイドレールの中心側から端側に向かって、前記スライド部または前記ヘッドユニットの移動領域への突出寸法が少しずつ増す傾斜面とされている請求項5に記載の基板処理装置。
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