JP5813608B2 - 熱アシスト磁気ヘッド検査方法及び熱アシスト磁気ヘッド検査装置 - Google Patents
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Description
シスト磁気ヘッド素子を搭載してXY平面内で移動可能なXYテーブルと先端部に表面に
磁性膜が形成された探針を有するカンチレバーとを備えた走査型プローブ顕微鏡手段と、
走査型プローブ顕微鏡手段のXYテーブルに搭載された熱アシスト磁気ヘッド素子に形成
された端子に交流電流を供給すると共に、熱アシスト磁気ヘッド素子に形成された近接場
光発光部にレーザを入射させるプローブユニットと、カンチレバーと熱アシスト磁気ヘッド素子との像を撮像する撮像手段と、撮像手段で撮像したカンチレバーと熱アシスト磁気ヘッド素子との画像を表示する画像表示手段と、探針が熱アシスト磁気ヘッド素子に形成された近接場光発光部から発生した近接場光の発生領域に有るときに探針から発生した散乱光をピンホールを介して検出する光検出器を有する散乱光検出手段と、プローブユニットから端子に交流電流を供給した状態で熱アシスト磁気ヘッド素子の表面をカンチレバーの探針で走査して走査型プローブ顕微鏡手段から出力される出力信号とプローブユニットから近接場光発光部にレーザを入射させた状態で熱アシスト磁気ヘッド素子の表面をカンチレバーを走査して散乱光検出手段から出力される出力信号とを用いて熱アシスト磁気ヘッド素子の検査を行う信号処理手段とを備えて構成した。
図1Aに、本実施例に基づく熱アシスト磁気ヘッド素子を検査する装置の構成を示す。本実施例による熱アシスト磁気ヘッド検査装置100は、磁気ヘッド素子の製造工程において、多数の薄膜磁気ヘッド素子が形成されたウェハを加工してスライダ単体(薄膜磁気ヘッドチップ)を切り出す前の工程のローバー40(ヘッドスライダが複数配列されたブロック)の状態で熱アシスト磁気ヘッド素子の発生する近接場光の強度分布を測定することが可能なものである。通常、3cm〜10cm程度の細長いブロック体として多数の薄膜磁気ヘッド素子が形成されたウェハから切り出されたローバー40は、40個〜90個程度のヘッドスライダ(薄膜磁気ヘッド素子)が配列された構成となっている。ローバー40は、発光元となるレーザ素子を内蔵している。
また、レーザドライバ531は、パルス駆動電流又はパルス駆動電圧でなく、一定の電流又は電圧を印加して、熱アシスト磁気ヘッド素子部501の近接場光発生部504から近接場光505を発生させるようにしてもよい。
Claims (9)
- 熱アシスト磁気ヘッド素子を搭載してXY平面内で移動可能なXYテーブルと先端部に表面に磁性膜が形成された探針を有するカンチレバーとを備えた走査型プローブ顕微鏡手段と、
該走査型プローブ顕微鏡手段の前記XYテーブルに搭載された熱アシスト磁気ヘッド素子に形成された端子に交流電流を供給すると共に、前記熱アシスト磁気ヘッド素子に形成された近接場光発光部にレーザを入射させるプローブユニットと、
前記カンチレバーと前記熱アシスト磁気ヘッド素子との像を撮像する撮像手段と、
該撮像手段で撮像した前記カンチレバーと前記熱アシスト磁気ヘッド素子との画像を表示する画像表示手段と、
前記探針が前記熱アシスト磁気ヘッド素子に形成された近接場光発光部から発生した近接
場光の発生領域に有るときに前記探針から発生した散乱光をピンホールを介して検出する
光検出器を有する散乱光検出手段と、
前記プローブユニットから前記端子に交流電流を供給した状態で前記熱アシスト磁気ヘ
ッド素子の表面を前記カンチレバーの探針で走査して前記走査型プローブ顕微鏡手段から
出力される出力信号と、前記プローブユニットから前記近接場光発光部にレーザを入射さ
せた状態で前記熱アシスト磁気ヘッド素子の表面を前記カンチレバーを走査して前記散乱
光検出手段から出力される出力信号とを用いて前記熱アシスト磁気ヘッド素子の検査を行
う信号処理手段と
を備えたことを特徴とする熱アシスト磁気ヘッド検査装置。 - 請求項1記載の熱アシスト磁気ヘッド検査装置であって、前記撮像手段と前記散乱光検
出手段とは光路を一部共有し、前記ピンホールが設けられたミラーにより前記共有する光
路を分離し、前記散乱光検出手段は前記ピンホールを通過した散乱光を検出し、前記撮像
手段は前記ピンホールが設けられたミラーにより反射された光による像を撮像することを
特徴とする熱アシスト磁気ヘッド検査装置。 - 請求項2に記載の熱アシスト磁気ヘッド検査装置であって、前記撮像手段は、光源と、対物レンズの光軸上に配置されて前記光源から発射された光を反射して前記対物レンズを介して前記カンチレバーと前記熱アシスト磁気ヘッド素子とに照射するハーフミラーと、該ハーフミラーにより前記光源からの光が照射された前記カンチレバーと前記熱アシスト磁気ヘッド素子とからの反射光のうち前記対物レンズで集光されて前記ハーフミラーを透過して前記ピンホール付ミラーで反射された光による像を形成するリレーレンズと、該リレーレンズにより形成された像を撮像するカメラとを有することを特徴とする熱アシスト磁気ヘッド検査装置。
- 請求項1又は2に記載の熱アシスト磁気ヘッド検査装置であって、前記探針の表面に形
成された磁性膜の上に、貴金属又は貴金属を含む合金の粒子が形成されていることを特徴
とする熱アシスト磁気ヘッド検査装置。 - 表面に磁性膜が形成された探針を先端部に有するカンチレバーとXY平面内で移動可能
なXYテーブルとを備えた走査型プローブ顕微鏡の前記XYテーブルに熱アシスト磁気ヘ
ッド素子を搭載し、
該XYテーブルに搭載された熱アシスト磁気ヘッド素子に形成された端子に交流電流を
供給して前記熱アシスト磁気ヘッド素子に磁界を発生させ、
前記熱アシスト磁気ヘッド素子に磁界を発生させた状態で前記熱アシスト磁気ヘッド素
子の表面を前記走査型プローブ顕微鏡のカンチレバーの探針で走査して前記発生させた磁
界の分布を求め、
前記XYテーブルに搭載された熱アシスト磁気ヘッド素子に形成された近接場光発光部
にレーザを入射させて前記近接場光発光部から近接場光を発生させ、
前記近接場光発光部から近接場光を発生させた状態で前記熱アシスト磁気ヘッド素子の表
面を前記走査型プローブ顕微鏡のカンチレバーの探針で走査することにより前記近接場光
の発生領域で前記探針から発生した散乱光を対物レンズで集光し、該集光した散乱光のう
ちピンホールを通過した散乱光を検出し、該検出した散乱光から前記近接場光の発光領域
及びその分布を求め、
前記求めた磁界の分布と前記求めた近接場光の発光領域及びその分布の情報に基づいて前
記熱アシスト磁気ヘッドの良否を判定する
ことを特徴とする熱アシスト磁気ヘッド検査方法。 - 表面に磁性膜が形成された探針を先端部に有するカンチレバーとXY平面内で移動可能
なXYテーブルとを備えた走査型プローブ顕微鏡の前記XYテーブルに熱アシスト磁気ヘ
ッド素子を搭載し、
該XYテーブルに搭載された熱アシスト磁気ヘッド素子に形成された端子に交流電流を
供給して前記熱アシスト磁気ヘッド素子に磁界を発生させた状態で、前記熱アシスト磁気
ヘッド素子の表面を前記走査型プローブ顕微鏡のカンチレバーの探針で第1の方向に走査
して前記磁界の発生領域を検出し、
前記XYテーブルに搭載された熱アシスト磁気ヘッド素子に形成された近接場光発光部
にレーザを入射させて前記近接場光発光部から近接場光を発生させた状態で前記熱アシス
ト磁気ヘッド素子の表面を前記走査型プローブ顕微鏡のカンチレバーの探針で前記第1の
方向と反対向きの第2の方向に走査することにより前記近接場光の発生領域で前記探針か
ら発生した散乱光を対物レンズで集光して該集光した散乱光のうちピンホールを通過した
散乱光を検出し、該散乱光を検出した信号から前記近接場光の発光領域を求め、
前記検出した磁界の発生領域と前記求めた近接場光の発光領域の情報に基づいて前記熱ア
シスト磁気ヘッドの良否を判定する
ことを特徴とする熱アシスト磁気ヘッド検査方法。 - 請求項5又は6に記載の熱アシスト磁気ヘッド検査方法であって、前記ピンホールの位
置を、前記ピンホールを含む前記熱アシスト磁気ヘッドの画像をモニタ画面上に表示
して調整することを特徴とする熱アシスト磁気ヘッド検査方法。 - 請求項5又は6に記載の熱アシスト磁気ヘッド検査方法であって、前記探針の表面に形成
された磁性膜の上には貴金属又は貴金属を含む合金の粒子が形成されており、前記探針の
一部が前記近接場光発光部で発生した近接場光中に有るときに前記貴金属又は貴金属を含
む合金の粒子によって局在型表面プラズモン増強効果により増幅された散乱光を発生する
ことを特徴とする熱アシスト磁気ヘッド検査方法。 - 請求項5又は6に記載の熱アシスト磁気ヘッド検査方法であって、前記探針を前記熱アシ
スト磁気ヘッド素子上に設定された検査領域の全面を1回スキャンすることにより、前記
検査領域内における磁界の分布と近接場光の発光領域及びその分布を求めることを特徴と
する熱アシスト磁気ヘッド検査方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012216337A JP5813608B2 (ja) | 2012-09-28 | 2012-09-28 | 熱アシスト磁気ヘッド検査方法及び熱アシスト磁気ヘッド検査装置 |
US13/956,442 US20140096293A1 (en) | 2012-09-28 | 2013-08-01 | Method and apparatus for inspecting thermal assist type magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012216337A JP5813608B2 (ja) | 2012-09-28 | 2012-09-28 | 熱アシスト磁気ヘッド検査方法及び熱アシスト磁気ヘッド検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014070970A JP2014070970A (ja) | 2014-04-21 |
JP5813608B2 true JP5813608B2 (ja) | 2015-11-17 |
Family
ID=50386633
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012216337A Active JP5813608B2 (ja) | 2012-09-28 | 2012-09-28 | 熱アシスト磁気ヘッド検査方法及び熱アシスト磁気ヘッド検査装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20140096293A1 (ja) |
JP (1) | JP5813608B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014157661A1 (ja) * | 2013-03-28 | 2014-10-02 | 国立大学法人秋田大学 | 磁場値測定装置および磁場値測定方法 |
JP2016031772A (ja) * | 2014-07-30 | 2016-03-07 | 株式会社日立ハイテクファインシステムズ | 熱アシスト磁気ヘッド素子の検査方法及びその装置 |
JP6219332B2 (ja) * | 2015-03-27 | 2017-10-25 | 株式会社日立ハイテクファインシステムズ | 熱アシスト磁気ヘッド素子の検査装置及びその方法 |
JP2021162314A (ja) * | 2020-03-30 | 2021-10-11 | 株式会社島津製作所 | 走査型プローブ顕微鏡および走査型プローブ顕微鏡における光軸調整方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5289004A (en) * | 1990-03-27 | 1994-02-22 | Olympus Optical Co., Ltd. | Scanning probe microscope having cantilever and detecting sample characteristics by means of reflected sample examination light |
JP2001153785A (ja) * | 1999-11-29 | 2001-06-08 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型近接場光学顕微鏡 |
JP3842669B2 (ja) * | 2002-02-26 | 2006-11-08 | 株式会社東芝 | 磁気ヘッド測定装置及び同装置に適用する測定方法 |
JP2006038774A (ja) * | 2004-07-29 | 2006-02-09 | Sharp Corp | 近接場光評価装置 |
GB0804629D0 (en) * | 2008-03-12 | 2008-04-16 | Finlan Martin F | Imaging apparatus & method |
JP2011118973A (ja) * | 2009-12-02 | 2011-06-16 | Hitachi Ltd | 熱アシスト磁気記録ヘッド |
JP2012047539A (ja) * | 2010-08-25 | 2012-03-08 | Hitachi High-Technologies Corp | Spmプローブおよび発光部検査装置 |
-
2012
- 2012-09-28 JP JP2012216337A patent/JP5813608B2/ja active Active
-
2013
- 2013-08-01 US US13/956,442 patent/US20140096293A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014070970A (ja) | 2014-04-21 |
US20140096293A1 (en) | 2014-04-03 |
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