JP5812551B1 - 光学測定装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1及び2に示す光学測定装置1は、発光素子Wを搬送しながら各種処理を行う。発光素子Wは、薄板状の外形を有し、対向する2平面が電極面と発光面とに分かれてなり、例えばLEDチップである。発光面には一部に発光する領域と残部に非発光の領域とを有する。各種処理には、発光素子Wの光学特性の測定が少なくとも含まれる。光学特性は例えば光パワー、スペクトル、色度、光度等である。
この光学測定装置1において、発光素子Wの外観検査では、3つの工程に分けて6面を検査するようにしてもよい。第1工程では発光素子Wの発光面の外観を検査する。第2工程と第3工程では、発光素子Wの電極面と発光素子の四方側面とを分けて検査する。すなわち、図6に示すように、光学測定装置1は、第2回転テーブル3の上方、第1回転テーブル2が備える吸着ノズル21の2点の停止位置に各々撮像部11a、11b、11cを配置する。
以上のように本発明の各実施形態を説明したが、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。そして、これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
2 第1回転テーブル
21 吸着ノズル
22 ダイレクトドライブモータ
23 進退駆動装置
231 回転モータ
232 カム機構
233 ロッド
234 圧縮バネ
3 第2回転テーブル
31 ポケット
311 挿入孔
32 ダイレクトドライブモータ
33 カバー
35 光放射孔
36 冷却区間
37 光学特性測定ポジション
38 プローブ
381 スリーブ体
382 カムフォロア
383 カム
384 モータ
39 受光素子
4 供給ユニット
41 ピックアップユニット
411 吸着ノズル
5 加熱ユニット
51 ヒーティングテーブル
6 電気特性測定ユニット
7 受渡位置
9 外観検査ユニット
10 収容ユニット
11a 撮像部
11b 撮像部
11c 撮像部
12 架台
W 発光素子
Claims (4)
- 発光素子の光学特性を測定する光学測定装置であって、
回転により発光素子を搬送する回転テーブルと、
前記回転テーブルの上面に形成され、発光素子を内部に収容するポケットと、
前記回転テーブルの上面を被覆する不動のカバーと、
前記ポケットの移動軌跡上に形成され、前記カバーを貫通する光放射孔と、
前記光放射孔に対応して位置し、前記回転テーブルの下面側に配置され、前記回転テーブルの下面から挿入して前記ポケット内部に突出するプローブと、
前記光放射孔に対応して位置し、前記回転テーブルの上面側に配置される撮像素子と、
を備え、
前記ポケットと前記カバーは、発光素子の遮光手段であること、
を特徴とする光学測定装置。 - 前記ポケットと前記カバーは、更に、前記プローブに接触する発光素子を四方及び上方から支持する位置決め手段であること、
を特徴とする請求項1記載の光学測定装置。 - 発光素子を供給側から排出側まで搬送する別の回転テーブルと、
前記別の回転テーブルに沿って配置され、発光素子を処理する一又は複数の処理手段と、
を更に備え、
前記回転テーブルは、前記別の回転テーブルと経路上連接し、前記別の回転テーブルから離脱した発光素子を回転により搬送し、該発光素子を前記別の回転テーブルに戻すこと、
を特徴とする請求項1又は2に記載の光学測定装置。 - 前記処理手段の一つとして、前記別の回転テーブルの周囲に、前記回転テーブルよりも回転方向上流に位置し、発光素子を加熱する加熱手段と、
前記処理手段の一つとして、前記別の回転テーブルの周囲に、前記加熱手段と前記回転テーブルとの間に位置し、前記加熱手段により加熱された発光素子の電気特性を検査する電気特性測定手段と、
前記回転テーブルの前記光放射孔到達前に設けられ、前記カバーで被覆された前記回転テーブルの内部で発光素子を冷却する冷却区間と、
を備えること、
を特徴とする請求項3記載の光学測定装置。
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