JP5811956B2 - 分光器の校正装置及び校正方法 - Google Patents
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Description
a) 光源から放射される光の波長範囲に含まれる吸収波長帯を有する光学フィルタとを備え、前記光源からの光を前記光学フィルタを通して前記分光器に入射させる光学系と、
b) 前記分光器の波長分散素子の位置を変えつつ、該分光器から出射される光の強度を求め、前記吸収波長帯において強度が最小となる波長であるディップ波長を求めるディップ波長検出手段と、
c) 分光器の波長分解能を変化させた場合の、該波長分解能と、該波長分解能における前記ディップ波長と前記光学フィルタの前記吸収波長帯における既知の最大吸収波長との差分値との関係を表す関係式を記憶する記憶手段と、
d) 校正対象分光器の波長分解能に対応する前記差分値を前記関係式から求め、当該差分値と、前記光源からの光を前記光学フィルタを通して前記校正対象分光器に入射させて得られたディップ波長と前記既知の最大吸収波長との差分値とが、許容範囲内で一致するように前記分光器を校正する校正手段と
を備えることを特徴とする。
a) 光源からの光を、該光源から放射される光の波長範囲に含まれる吸収波長帯を有する光学フィルタを通して前記分光器に入射させ、
b) 前記分光器の波長分散素子の位置を変えつつ、該分光器から出射される光の強度を求め、前記吸収波長帯において強度が最小となる波長であるディップ波長を求め、
c) 分光器の波長分解能を変化させた場合の、該波長分解能と、該波長分解能における前記ディップ波長と前記光学フィルタの前記吸収波長帯における既知の最大吸収波長との差分値との関係を表す関係式を記憶し、
d) 校正対象分光器の波長分解能に対応する前記差分値を前記関係式から求め、当該差分値と、前記光源からの光を前記光学フィルタを通して前記校正対象分光器に入射させて得られたディップ波長と前記既知の最大吸収波長との差分値とが、許容範囲内で一致するように前記分光器を校正する
ことを特徴とする。
本来は、各吸収波長帯のディップ波長は不変であるが、実際は分光器の波長分解能によってディップ波長が変化する場合がある。
一方、図3は、上記光学フィルタの最大吸収波長付近の透過スペクトルを分光器の波長分解能別に示した図である。図2及び図3中、横軸は波長(nm)、縦軸は強度(透過率(%)を示しており、これら図2及び図3では、光の強度を、光源から出射された光の強度を100%としたときの相対値(透過率(%))で表している。
12…光学フィルタ
14…ビームスプリッタ
16…標準分光器
161…入口スリット
162…出口スリット
163…回折格子
18…校正対象分光器
20、30…検出器
22…処理・制御部
24…関係式記憶部
26…分光器制御部
28…モータ駆動部
32…ディスプレイモニタ
Claims (2)
- 波長分散素子と、該波長分散素子の位置を変える駆動装置とを備える分光器の波長校正を行うための校正装置であって、
a) 光源から放射される光の波長範囲に含まれる吸収波長帯を有する光学フィルタを備え、前記光源からの光を前記光学フィルタを通して分光器に入射させる光学系と、
b) 前記分光器の波長分散素子の位置を変えつつ、該分光器から出射される光の強度を求め、前記吸収波長帯における強度が最小値となる波長であるディップ波長を求めるディップ波長検出手段と、
c) 分光器の波長分解能を変化させた場合の、該波長分解能と、該波長分解能における前記ディップ波長と前記光学フィルタの前記吸収波長帯における既知の最大吸収波長との差分値との関係を表す関係式を記憶する記憶手段と、
d) 校正対象分光器の波長分解能に対応する前記差分値を前記関係式から求め、当該差分値と、前記光源からの光を前記光学フィルタを通して前記校正対象分光器に入射させて得られたディップ波長と前記既知の最大吸収波長との差分値とが、許容範囲内で一致するように前記分光器を校正する校正手段と
を備えることを特徴とする校正装置。 - 波長分散素子と、該波長分散素子の位置を変える駆動装置とを備える分光器の波長校正を行うための校正方法であって、
a) 光源からの光を、該光源から放射される光の波長範囲に含まれる吸収波長帯を有する光学フィルタを通して前記分光器に入射させ、
b) 前記分光器の波長分散素子の位置を変えつつ、該分光器から出射される光の強度を求め、前記吸収波長帯において強度が最小となる波長であるディップ波長を求め、
c) 分光器の波長分解能を変化させた場合の、該波長分解能と、該波長分解能における前記ディップ波長と前記光学フィルタの前記吸収波長帯における既知の最大吸収波長との差分値との関係を表す関係式を記憶し、
d) 校正対象分光器の波長分解能に対応する前記差分値を前記関係式から求め、当該差分値と、前記光源からの光を前記光学フィルタを通して前記校正対象分光器に入射させて得られたディップ波長と前記既知の最大吸収波長との差分値とが、許容範囲内で一致するように前記分光器を校正する
ことを特徴とする校正方法。
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