JP5808472B1 - 基板処理装置、半導体装置の製造方法、プログラムおよび記録媒体 - Google Patents
基板処理装置、半導体装置の製造方法、プログラムおよび記録媒体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5808472B1 JP5808472B1 JP2014193742A JP2014193742A JP5808472B1 JP 5808472 B1 JP5808472 B1 JP 5808472B1 JP 2014193742 A JP2014193742 A JP 2014193742A JP 2014193742 A JP2014193742 A JP 2014193742A JP 5808472 B1 JP5808472 B1 JP 5808472B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shower head
- gas
- processing chamber
- exhaust pipe
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
- C23C16/45523—Pulsed gas flow or change of composition over time
- C23C16/45525—Atomic layer deposition [ALD]
- C23C16/45544—Atomic layer deposition [ALD] characterized by the apparatus
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/4412—Details relating to the exhausts, e.g. pumps, filters, scrubbers, particle traps
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
- C23C16/45563—Gas nozzles
- C23C16/45565—Shower nozzles
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
- C23C16/45563—Gas nozzles
- C23C16/4557—Heated nozzles
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
Abstract
Description
基板を処理する処理室と、
前記処理室の上流に設けられたシャワーヘッドと、
前記シャワーヘッドに接続されたガス供給管と、
前記処理室の下流側に接続された第一の排気管と、
前記シャワーヘッドを構成する壁面の内、前記処理室に隣接する第一壁面とは異なる第二壁面に接続される第二の排気管と、
前記第二の排気管に設けられた圧力検知部と、
各構成を制御する制御部と
を有する基板処理装置が提供される。
処理室に基板を搬入する工程と、
前記処理室の上流に設けられたシャワーヘッドに処理ガスを供給しつつ、前記処理室に接続された第一の排気管から前記処理室の雰囲気を排気して基板を処理する工程と、
前記処理室の上流に設けられたシャワーヘッドに不活性ガスを供給しつつ、
前記シャワーヘッドを構成する壁面の内、前記処理室に隣接する第一壁面とは異なる第二壁面に接続された第二排気管から前記シャワーヘッドの雰囲気を排気し、前記第二排気管に設けられた圧力検知部によって圧力を検出する工程と
を有する半導体装置の製造方法が提供される。
処理室に基板を搬入する工程と、
前記処理室の上流に設けられたシャワーヘッドに処理ガスを供給しつつ、前記処理室に接続された第一の排気管から前記処理室の雰囲気を排気して基板を処理する工程と、
前記処理室の上流に設けられたシャワーヘッドに不活性ガスを供給しつつ、
前記シャワーヘッドを構成する壁面の内、前記処理室に隣接する第一壁面とは異なる第二壁面に接続された第二排気管から前記シャワーヘッドの雰囲気を排気し、前記第二排気管に設けられた圧力検知部によって圧力を検出する工程と
を実行させるプログラムが提供される。
処理室に基板を搬入する工程と、
前記処理室の上流に設けられたシャワーヘッドに処理ガスを供給しつつ、前記処理室に接続された第一の排気管から前記処理室の雰囲気を排気して基板を処理する工程と、
前記処理室の上流に設けられたシャワーヘッドに不活性ガスを供給しつつ、
前記シャワーヘッドを構成する壁面の内、前記処理室に隣接する第一壁面とは異なる第二壁面に接続された第二排気管から前記シャワーヘッドの雰囲気を排気し、前記第二排気管に設けられた圧力検知部によって圧力を検出する工程と
を実行させるプログラムを記録する記録媒体が提供される。
本実施形態に係る基板処理装置100の構成を図1に示す。基板処理装置100は、図1に示されているように、枚葉式の基板処理装置として構成されている。
図1に示すように、基板処理装置100は処理容器202を備えている。処理容器202は、例えば横断面が円形であり扁平な密閉容器として構成されている。また、処理容器202は、例えばアルミニウム(Al)やステンレス(SUS)などの金属材料により構成されている。処理容器202内には、基板としてのシリコンウエハ等のウエハ200を処理する処理室201と、ウエハ200を処理室201に搬送する際にウエハ200が通過する搬送空間を有する搬送室203とが形成されている。処理容器202は、上部容器202aと下部容器202bで構成される。上部容器202aと下部容器202bの間には仕切り板204が設けられる。
シャワーヘッド230の蓋231に設けられた貫通孔231aには、第一分散機構241が挿入され、接続されている。第一分散機構241には、共通ガス供給管242が接続されている。第一分散機構241にはフランジ241bが設けられ、ねじ等によって、蓋231や共通ガス供給管242のフランジに固定される。
第一ガス供給管243aには、上流方向から順に、第一ガス供給源243b、流量制御器(流量制御部)であるマスフローコントローラ(MFC)243c、及び開閉弁であるバルブ243dが設けられている。
第二ガス供給管244aには、下流にリモートプラズマユニット244eが設けられている。上流には、上流方向から順に、第二ガス供給源244b、流量制御器(流量制御部)であるマスフローコントローラ(MFC)244c、及び開閉弁であるバルブ244dが設けられている。
第三ガス供給管245aには、上流方向から順に、第三ガス供給源245b、流量制御器(流量制御部)であるマスフローコントローラ(MFC)245c、及び開閉弁であるバルブ245dが設けられている。
シャワーヘッドの蓋231には、整合器251、高周波電源252が接続されている。高周波電源252、整合器251でインピーダンスを調整することで、シャワーヘッド230、処理室201にプラズマが生成される。
ところで、基板処理の回数を重ねていくと、貫通孔234aの中に、残ガスや、残ガス同士が反応して発生した副生成物、シャワーヘッド内壁に付着しガスや副生成物が貫通孔234aに留まり、目詰まりを起こしてしまうことが考えられる。
第一に所定時間内のガスの供給量が足りなくなることである。目詰まりされることで、ガスが通過しにくくなるため、供給量が足りなくなる。供給量が足りない場合、膜が所望の厚さに到達できないため、膜の品質が悪くなってしまう。
排気管262には圧力検知部277が設けられ、排気管263には圧力検知部280が設けられている。
次に、基板処理装置100を使用して、ウエハ200上に薄膜を形成する工程について説明する。なお、以下の説明において、基板処理装置100を構成する各部の動作はコントローラ360により制御される。
処理装置100では基板載置台212をウエハ200の搬送位置まで下降させることにより、基板載置台212の貫通孔214にリフトピン207を貫通させる。その結果、リフトピン207が、基板載置台212表面よりも所定の高さ分だけ突出した状態となる。続いて、ゲートバルブ205を開いて搬送室203を移載室(図示せず)と連通させる。そして、この移載室からウエハ移載機(図示せず)を用いてウエハ200を搬送室203に搬入し、リフトピン207上にウエハ200を移載する。これにより、ウエハ200は、基板載置台212の表面から突出したリフトピン207上に水平姿勢で支持される。
次に、薄膜形成工程S104を行う。以下、図5を参照し、成膜工程S104について詳説する。なお、成膜工程S104は、異なる処理ガスを交互に供給する工程を繰り返す交互供給処理である。
ウエハ200を加熱して所望とする温度に達すると、バルブ243dを開くと共に、TiCl4ガスの流量が所定の流量となるように、マスフローコントローラ243cを調整する。なお、TiCl4ガスの供給流量は、例えば100sccm以上5000sccm以下である。このとき、第三ガス供給系のバルブ245dを開き、第三ガス供給管245aからN2ガスを供給する。また、第一不活性ガス供給系からN2ガスを流してもよい。また、この工程に先立ち、第三ガス供給管245aからN2ガスの供給を開始していてもよい。TiCl4ガスを、バッファ室232を介して処理室に供給する間、バルブ279を閉とする。閉とすることで、TiCl4ガスが、圧力検知部280のガイド管280bに侵入することを抑制する。侵入を抑制することで、ガイド管280bへのガスや副生成物の付着や、それらがバッファ室232に逆流することを抑制している。
バルブ275およびバルブ278が閉とされる一方、バルブ279およびバルブ281が開とされる。他の排気系のバルブは閉のままである。すなわち、シャワーヘッド230のパージを行うときは、処理室201とAPC276の間を遮断すると共に、APC276と排気管264の間を遮断し、APC276による圧力制御を停止する一方、バッファ空間232aとDP282との間を連通する。これにより、シャワーヘッド230(バッファ空間232a)内に残留したTiCl4ガスは、排気管262を介し、DP282によりシャワーヘッド230から排気される。本工程にて、圧力検知部280は排気管263の圧力を検出する。なお、このとき、APC276の下流側のバルブ278は開としてもよい。
パージ工程S204の後、バルブ244dを開けてリモートプラズマユニット244e、シャワーヘッド230を介して、処理室201内にプラズマ状態のアンモニアガスの供給を開始する。
次いで、S204と同様のパージ工程を実行する。各部の動作はS204と同様であるので説明は省略する。
コントローラ360は、上記1サイクルを所定回数(n cycle)実施したか否かを判定する。
基板搬出工程S106では、基板載置台212を下降させ、基板載置台212の表面から突出させたリフトピン207上にウエハ200を支持させる。これにより、ウエハ200は処理位置から搬送位置となる。その後、ゲートバルブ205を開き、ウエハ移載機を用いてウエハ200を処理容器202の外へ搬出する。このとき、バルブ245dを閉じ、第三ガス供給系から処理容器202内に不活性ガスを供給することを停止する。
ウエハ200を搬出後、薄膜形成工程が所定の回数に到達したか否かを判定する。所定の回数に到達したと判断されたら、処理を終了する。所定の回数に到達していないと判断されたら、次に待機しているウエハ200の処理を開始するため、基板搬入・載置工程S102に移行する。
続いて、図6を用いて圧力値判定工程を説明する。
成膜工程S104(図6においてはS302)のパージ工程S204(もしくはS208)にて、圧力検知部277で検出された圧力値PPや圧力検知部280で検知された圧力値PSは、コントローラ360に入力される。
コントローラ360は、記憶部362に予め記録されているシャワーヘッド圧力基準値PS0と圧力値PSを比較する。PS0は目詰まりが基板処理に悪影響を及ぼさない程度と判断された圧力範囲を呼ぶ。
P(圧力) × C(コンダクタンス) = Q(ガスの流量)
PS × CS = QS
PS:圧力検知部280で検知した値
CS:排気管263のコンダクタンス
QS:排気管263に流れるガス流量
PとQは比例関係であることから、排気管263のコンダクタンスが一定であることを考慮すると、目詰まり後はQSが増加すると圧力PSも増加する。
処理室圧力判定工程S306では、圧力検知部277が検出した圧力値が記憶部362に予め記録されているシャワーヘッド圧力基準値Pp0とPPを比較する。PP0は正常な成膜工程の圧力範囲を呼ぶ。
PP × CP = QP
PP:圧力検知部277で検知した値
CP:排気管262のコンダクタンス
QP:排気管262に流れるガス流量
PとQは比例関係であることから、排気管262のコンダクタンスが一定であることを考慮すると、目詰まり後はQPが小さくなると圧力Ppも小さくなる。
S308では検出された圧力値PPが「PP1>PP」であるか否かを判断する。「PP1>PP」であれば「YES」と判断し、アラーム報知工程S310に移行する。PP1はメンテナンスに移行する基準値である。目詰まりを起こしていると推測されるものの、メンテナンスを行うまでに至らない場合には「YES」と判断し、その状態の報知を行う。「NO」の場合、S312に移行する。
S308で「YES」と判断されたら、表示画面364にアラーム情報を表示し、ユーザーにアラームを報知する。なお、ここではコントローラ画面への表示によってアラームを報知したが、それに限るものではなく、例えばランプによる報知、音による報知等が挙げられる。アラーム報知後、成膜工程S302(S104)に戻る。
アラーム報知判定工程S308で「NO」とされた場合、すなわちP P がP P1 未満である場合、成膜に影響する程度の目詰まりを起こしたと判断し、成膜工程を停止する。ここでは成膜工程の停止と記載したが、すぐに停止せずに、1ロット当たりの処理を行ってから停止としても良い。停止後、シャワーヘッドの交換やクリーニングなどのメンテナンスを行う。
以下に、本発明の好ましい態様について付記する。
基板を処理する処理室と、
前記処理室の上流に設けられたシャワーヘッドと、
前記シャワーヘッドに接続されたガス供給管と、
前記処理室の下流側に接続された第一の排気管と、
前記シャワーヘッドを構成する壁面の内、前記処理室に隣接する第一壁面とは異なる第二壁面に接続される第二の排気管と、
前記第二の排気管に設けられた圧力検知部と、
各構成を制御する制御部と
を有する基板処理装置。
前記シャワーヘッドは、前記第一壁面には複数の分散孔が設けられており、
前記第二壁面には排気管が接続される付記1記載の基板処理装置。
前記シャワーヘッドには、ガスをガイドするガスガイドが前記第一壁面の上方に構成され、前記第二の排気管は、高さ方向において、前記第一壁面と前記ガスガイドの下端との間に接続される付記2に記載の基板処理装置。
前記第二の排気管の内、前記圧力検知部の上流にはバルブが設けられる付記1から3の内、いずれか一つに記載の基板処理装置。
前記処理室の外周には前記処理室からの排気をバッファする排気バッファ室が設けられ、前記シャワーヘッド内のバッファ空間の容積は、前記処理室内の空間の容積と前記排気バッファ室内の空間の容積の和よりも小さくなるよう構成される付記1から4の内いずれ一つに記載の基板処理装置。
前記シャワーヘッド内のバッファ空間の容積は、前記処理室の容積よりも小さくなるよう構成される付記1から5の内いずれか一つに記載の基板処理装置。
前記シャワーヘッドには前記シャワーヘッド内のバッファ空間の温度を制御するシャワーヘッド温度制御部が設けられ、前記制御部は前記圧力検知部の温度が前記シャワーヘッド内のバッファ空間の温度よりも低くなるよう前記シャワーヘッド温度制御部を制御する付記1から6の内、いずれか一つに記載の基板処理装置。
前記制御部は、前記シャワーヘッドを介して前記処理室に原料ガスと前記原料ガスに反応する反応ガスを交互に供給すると共に、前記原料ガス供給と前記反応ガス供給の間に不活性ガスを供給し
前記不活性ガスを供給する間、前記第二の排気管に設けられたバルブを開状態とするよう制御する付記1から7の内、いずれか一つに記載の基板処理装置。
更にアラーム報知部を有し、
前記制御部は、前記圧力検知部で検知した圧力値が所定の範囲外であると判断したら、前記アラーム報知部がアラームを報知するよう制御する付記1から8の内、いずれか一つに記載の基板処理装置。
処理室に基板を搬入する工程と、
前記処理室の上流に設けられたシャワーヘッドに処理ガスを供給しつつ、前記処理室に接続された第一の排気管から前記処理室の雰囲気を排気して基板を処理する工程と、
前記処理室の上流に設けられたシャワーヘッドに不活性ガスを供給しつつ、
前記シャワーヘッドを構成する壁面の内、前記処理室に隣接する第一壁面とは異なる第二壁面に接続された第二排気管から前記シャワーヘッドの雰囲気を排気し、前記第二排気管に設けられた圧力検知部によって圧力を検出する工程と
を有する半導体装置の製造方法。
処理室に基板を搬入する工程と、
前記処理室の上流に設けられたシャワーヘッドに処理ガスを供給しつつ、前記処理室に接続された第一の排気管から前記処理室の雰囲気を排気して基板を処理する工程と、
前記処理室の上流に設けられたシャワーヘッドに不活性ガスを供給しつつ、
前記シャワーヘッドを構成する壁面の内、前記処理室に隣接する第一壁面とは異なる第二壁面に接続された第二排気管から前記シャワーヘッドの雰囲気を排気し、前記第二排気管に設けられた圧力検知部によって圧力を検出する工程と
を実行させるプログラム。
処理室に基板を搬入する工程と、
前記処理室の上流に設けられたシャワーヘッドに処理ガスを供給しつつ、前記処理室に接続された第一の排気管から前記処理室の雰囲気を排気して基板を処理する工程と、
前記処理室の上流に設けられたシャワーヘッドに不活性ガスを供給しつつ、
前記シャワーヘッドを構成する壁面の内、前記処理室に隣接する第一壁面とは異なる第二壁面に接続された第二排気管から前記シャワーヘッドの雰囲気を排気し、前記第二排気管に設けられた圧力検知部によって圧力を検出する工程と
を実行させるプログラムを記録する記録媒体。
200・・・ウエハ(基板)
201・・・処理室
202・・・反応容器
203・・・搬送室
シャワーヘッド230
232・・・バッファ室
261、262、263、264・・・排気管
265・・・TMP(ターボ分子ポンプ)
277 ・・・圧力検知部
280 ・・・圧力検知部
282・・・DP(ドライポンプ)
Claims (12)
- 基板を処理する処理室と、
前記処理室の上流に設けられたシャワーヘッドと、
前記シャワーヘッドに接続されたガス供給管と、
前記処理室の下流側に接続された第一の排気管と、
前記シャワーヘッドを構成する壁面の内、前記処理室に隣接する第一壁面とは異なる第二壁面に接続される第二の排気管と、
前記第二の排気管に設けられた圧力検知部と、
前記圧力検知部が所定の値よりも高い値を検出した場合に、前記シャワーヘッドが目詰まりしたと判断する判定部と、
各構成を制御する制御部と
を有する基板処理装置。 - 前記シャワーヘッドは、前記第一壁面には複数の分散孔が設けられており、
前記第二壁面には前記第二の排気管が接続される請求項1記載の基板処理装置。 - 前記シャワーヘッドには、ガスをガイドするガスガイドが前記第一壁面の上方に構成され、前記第二の排気管は、高さ方向において、前記第一壁面と前記ガスガイドの下端との間に接続される請求項1または請求項2に記載の基板処理装置。
- 前記第二の排気管の内、前記圧力検知部の上流にはバルブが設けられる請求項1から請求項3の内、いずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記処理室の外周には前記処理室からの排気をバッファする排気バッファ室が設けられ、前記シャワーヘッド内のバッファ空間の容積は、前記処理室内の空間の容積と前記排気バッファ室内の空間の容積の和よりも小さくなるよう構成される請求項1から請求項4の内、いずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記シャワーヘッド内のバッファ空間の容積は、前記処理室の容積よりも小さくなるよう構成される請求項1から請求項5の内、いずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記シャワーヘッドには前記シャワーヘッド内のバッファ空間の温度を制御するシャワーヘッド温度制御部が設けられ、前記制御部は前記圧力検知部の温度が前記シャワーヘッド内のバッファ空間の温度よりも低くなるよう前記シャワーヘッド温度制御部を制御する請求項1から請求項6の内、いずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記シャワーヘッドを介して前記処理室に原料ガスと前記原料ガスに反応する反応ガスを交互に供給すると共に、前記原料ガス供給と前記反応ガス供給の間に不活性ガスを供給し
前記不活性ガスを供給する間、前記第二の排気管に設けられたバルブを開状態とするよう制御する請求項1から請求項7の内、いずれか一項に記載の基板処理装置。 - 更にアラーム報知部を有し、
前記制御部は、前記圧力検知部で検知した圧力値が所定の範囲外であると判断したら、
前記アラーム報知部がアラームを報知するよう制御する請求項1から請求項8の内、いずれか一項に記載の基板処理装置。 - 処理室に基板を搬入する工程と、
前記処理室の上流に設けられたシャワーヘッドに処理ガスを供給しつつ、前記処理室に接続された第一の排気管から前記処理室の雰囲気を排気して基板を処理する工程と、
前記処理室の上流に設けられたシャワーヘッドに不活性ガスを供給しつつ、前記シャワーヘッドを構成する壁面の内、前記処理室に隣接する第一壁面とは異なる第二壁面に接続された第二排気管から前記シャワーヘッドの雰囲気を排気し、前記第二排気管に設けられた圧力検知部によって圧力を検出し、前記圧力検知部が所定の値よりも高い値を検出した場合に、前記シャワーヘッドが目詰まりしたと判断する工程と
を有する半導体装置の製造方法。 - 処理室に基板を搬入する手順と、
前記処理室の上流に設けられたシャワーヘッドに処理ガスを供給しつつ、前記処理室に接続された第一の排気管から前記処理室の雰囲気を排気して基板を処理する手順と、
前記処理室の上流に設けられたシャワーヘッドに不活性ガスを供給しつつ、
前記シャワーヘッドを構成する壁面の内、前記処理室に隣接する第一壁面とは異なる第二壁面に接続された第二排気管から前記シャワーヘッドの雰囲気を排気し、前記第二排気管に設けられた圧力検知部によって圧力を検出し、前記圧力検知部が所定の値よりも高い値を検出した場合に、前記シャワーヘッドが目詰まりしたと判断する手順と、
を実行させるプログラム。 - 処理室に基板を搬入する手順と、
前記処理室の上流に設けられたシャワーヘッドに処理ガスを供給しつつ、前記処理室に接続された第一の排気管から前記処理室の雰囲気を排気して基板を処理する手順と、
前記処理室の上流に設けられたシャワーヘッドに不活性ガスを供給しつつ、
前記シャワーヘッドを構成する壁面の内、前記処理室に隣接する第一壁面とは異なる第二壁面に接続された第二排気管から前記シャワーヘッドの雰囲気を排気し、前記第二排気管に設けられた圧力検知部によって圧力を検出し、前記圧力検知部が所定の値よりも高い値を検出した場合に、前記シャワーヘッドが目詰まりしたと判断する手順と、
をコンピュータに実行させるプログラムを記録する記録媒体。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014193742A JP5808472B1 (ja) | 2014-09-24 | 2014-09-24 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、プログラムおよび記録媒体 |
TW104117785A TW201621077A (zh) | 2014-09-24 | 2015-06-02 | 基板處理裝置、半導體裝置之製造方法、程式及記錄媒體 |
CN201510531923.4A CN105441905A (zh) | 2014-09-24 | 2015-08-26 | 衬底处理装置及半导体器件的制造方法 |
KR1020150120453A KR20160035974A (ko) | 2014-09-24 | 2015-08-26 | 기판 처리 장치, 반도체 장치의 제조 방법 및 기록 매체 |
US14/842,178 US20160083843A1 (en) | 2014-09-24 | 2015-09-01 | Substrate processing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014193742A JP5808472B1 (ja) | 2014-09-24 | 2014-09-24 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、プログラムおよび記録媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP5808472B1 true JP5808472B1 (ja) | 2015-11-10 |
JP2016065272A JP2016065272A (ja) | 2016-04-28 |
Family
ID=54545821
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014193742A Active JP5808472B1 (ja) | 2014-09-24 | 2014-09-24 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、プログラムおよび記録媒体 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20160083843A1 (ja) |
JP (1) | JP5808472B1 (ja) |
KR (1) | KR20160035974A (ja) |
CN (1) | CN105441905A (ja) |
TW (1) | TW201621077A (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10358721B2 (en) * | 2015-10-22 | 2019-07-23 | Asm Ip Holding B.V. | Semiconductor manufacturing system including deposition apparatus |
KR102546317B1 (ko) * | 2016-11-15 | 2023-06-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기체 공급 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
US10801106B2 (en) * | 2016-12-15 | 2020-10-13 | Asm Ip Holding B.V. | Shower plate structure for exhausting deposition inhibiting gas |
JP6990121B2 (ja) * | 2018-03-06 | 2022-01-12 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
DE102018113786A1 (de) * | 2018-06-08 | 2019-12-12 | Vat Holding Ag | Waferübergabeeinheit und Waferübergabesystem |
CN113204174A (zh) * | 2021-04-09 | 2021-08-03 | 华虹半导体(无锡)有限公司 | 侦测浸没式光刻机的浸没罩的排液孔堵塞的方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5453124A (en) * | 1992-12-30 | 1995-09-26 | Texas Instruments Incorporated | Programmable multizone gas injector for single-wafer semiconductor processing equipment |
US6972071B1 (en) * | 1999-07-13 | 2005-12-06 | Nordson Corporation | High-speed symmetrical plasma treatment system |
US7408225B2 (en) * | 2003-10-09 | 2008-08-05 | Asm Japan K.K. | Apparatus and method for forming thin film using upstream and downstream exhaust mechanisms |
US8815014B2 (en) * | 2005-11-18 | 2014-08-26 | Tokyo Electron Limited | Method and system for performing different deposition processes within a single chamber |
US20070264427A1 (en) * | 2005-12-21 | 2007-11-15 | Asm Japan K.K. | Thin film formation by atomic layer growth and chemical vapor deposition |
US8334015B2 (en) * | 2007-09-05 | 2012-12-18 | Intermolecular, Inc. | Vapor based combinatorial processing |
US20090095422A1 (en) * | 2007-09-06 | 2009-04-16 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Semiconductor manufacturing apparatus and substrate processing method |
-
2014
- 2014-09-24 JP JP2014193742A patent/JP5808472B1/ja active Active
-
2015
- 2015-06-02 TW TW104117785A patent/TW201621077A/zh unknown
- 2015-08-26 CN CN201510531923.4A patent/CN105441905A/zh active Pending
- 2015-08-26 KR KR1020150120453A patent/KR20160035974A/ko not_active Application Discontinuation
- 2015-09-01 US US14/842,178 patent/US20160083843A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016065272A (ja) | 2016-04-28 |
TW201621077A (zh) | 2016-06-16 |
US20160083843A1 (en) | 2016-03-24 |
KR20160035974A (ko) | 2016-04-01 |
CN105441905A (zh) | 2016-03-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5944429B2 (ja) | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、プログラム及び記録媒体 | |
JP6001131B1 (ja) | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、プログラム | |
JP5808472B1 (ja) | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、プログラムおよび記録媒体 | |
JP5941491B2 (ja) | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法並びにプログラム | |
JP5764228B1 (ja) | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、プログラム及び記録媒体 | |
JP5762602B1 (ja) | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | |
JP5800969B1 (ja) | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、プログラム、記録媒体 | |
JP5800957B1 (ja) | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、プログラムおよび記録媒体 | |
US9816183B2 (en) | Substrate processing apparatus | |
JP5913414B2 (ja) | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、プログラムおよび記録媒体 | |
JP6001015B2 (ja) | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、プログラムおよび記録媒体 | |
JP5793241B1 (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、プログラム及び記録媒体 | |
JP6647260B2 (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置及びプログラム | |
JP2019161071A (ja) | 基板処理装置および半導体装置の製造方法 | |
JP5885870B2 (ja) | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、プログラム及び記録媒体 | |
JPWO2020066701A1 (ja) | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140929 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150604 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150730 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150903 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150908 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5808472 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |