JP5803034B1 - Conveying device and conveying method - Google Patents

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  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Abstract

【課題】部品を極めて高い効率で移載できるようにする。また極小部品であっても、確実で、かつ高効率な移載を実現する。提供する。【解決手段】搬送装置１０１は、回転軸線を中心に回転するベース部材１３０と、ベース部材１３０に対して周方向に沿って複数配設されて公転移動する保持具１４２と、保持具１４２の各々を、自転軸線Ｊを中心として自転駆動する保持具自転駆動手段１４３と、保持具１４２の各々を自転軸線Ｊに沿って案内する案内機構１４９と、を備えるようにし、保持具１４２の公転軌跡に沿って、複数の部品搬送領域１０１ａ〜１０１ｄが形成されており、部品搬送領域１０１ａ〜１０１ｄの各々は、部品供給装置１１０と部品搬出装置１７０を有しており、保持具１４２は、複数の部品搬送領域１０１ａ〜１０１ｄにおける部品供給装置１１０及び部品搬出装置１７０に同時に存在し得ることにより、部品の供給動作と搬出動作を同時並行させるようにした。【選択図】図１A part can be transferred with extremely high efficiency. In addition, reliable and highly efficient transfer can be achieved even with extremely small parts. provide. A conveying device includes a base member that rotates about a rotation axis, a plurality of holders that are arranged in a circumferential direction with respect to the base member and that revolves, and each of the holders. A holder rotation driving means 143 that rotates around the rotation axis J, and a guide mechanism 149 that guides each of the holders 142 along the rotation axis J. A plurality of component conveyance areas 101a to 101d are formed along the line. Each of the component conveyance areas 101a to 101d includes a component supply device 110 and a component carry-out device 170, and the holder 142 includes a plurality of components. By being simultaneously present in the component supply device 110 and the component carry-out device 170 in the transfer areas 101a to 101d, the component supply operation and the carry-out operation are simultaneously performed in parallel. It was so. [Selection] Figure 1

Description

本発明は、例えば極小部品等を搬送する際に好適な搬送装置、該搬送装置を利用した部品の搬送方法等に関する。   The present invention relates to a transport device suitable for transporting, for example, a minimal component, a component transport method using the transport device, and the like.

従来、搬送装置は、部品を一対のトレイ間で移動（移載）する目的や、電子部品をテープに収容するテーピング装置まで、この電子部品を搬送する目的、水晶振動子等の素子をパッケージの所定位置に搭載する（組み立てる）目的など、様々な用途で用いられている。   Conventionally, a transport device has a purpose of moving (transferring) a component between a pair of trays, a purpose of transporting the electronic component to a taping device that accommodates the electronic component in a tape, and an element such as a crystal resonator. It is used for various purposes such as mounting (assembling) at a predetermined position.

搬送装置にも様々な種類があり、直動ロボットを用いるものや、回転テーブルを用いるものがある。直動ロボットタイプの搬送装置は、部品を保持する保持具を、直動ロボットによって往復運動させる。直動ロボットタイプの搬送装置は、部品の移動地点の自由度が高いという利点があるが、往復移動している間の時間のロスが大きい。   There are various types of transfer devices, such as those using a linear motion robot and those using a rotary table. A linear motion robot type transport device reciprocates a holder for holding a component by a linear motion robot. The linear motion robot type transfer device has an advantage that the degree of freedom of movement of parts is high, but the loss of time during the reciprocating movement is large.

一方、回転テーブルタイプの搬送装置は、部品を保持する保持具を回転テーブルの周囲に設置し、保持具の移動軌跡上の一か所から部品を供給するとともに、他の一か所から部品を搬出する。従って、回転テーブルの周囲に保持具を複数配置することで、供給と搬出を同時に行い、搬送時間のロスを低減できる利点がある（例えば、特許文献１参照）。   On the other hand, a rotary table type conveying device has a holder for holding a component installed around the rotary table, supplies the component from one place on the movement locus of the holder, and removes the component from another location. Take it out. Therefore, by arranging a plurality of holders around the rotary table, there is an advantage that supply and unloading can be performed at the same time, and the loss of transport time can be reduced (for example, see Patent Document 1).

特開２００９−１２６６４９号公報JP 2009-126649 A

部品搬送の高速化の要求に伴い、従来の回転テーブルタイプの搬送装置では、回転テーブルの回転速度をアップすると同時に、部品の保持動作、解放動作を短時間にして、搬送効率を高めている。しかし、速度アップによる搬送効率の向上は、既に限界レベルに達している。   With the demand for high-speed parts conveyance, the conventional rotary table type conveying apparatus increases the rotation speed of the rotary table, and at the same time, shortens the holding and releasing operations of the parts to increase the conveyance efficiency. However, the improvement of the conveyance efficiency by increasing the speed has already reached the limit level.

また、部品の極小化により、部品搬送の難易度が高まっている。近年は各辺が１ｍｍ以下となる電子部品が一般化し、直近では０．５ｍｍ以下、特に０．３ｍｍ以下となるサイズまで出現している。これらの微細な電子部品は質量が極めて小さいことから、静電気や気流の影響を簡単に受ける。例えば、ノズルで電子部品を吸引すると、ノズルと電子部品の間に微量な静電気が生じる。従って、ノズルの負圧エアを開放しても、電子部品がノズルから離れにくいという問題があった。一方、ノズル内に正圧エアを印加して、吸着した電子部品を開放しようとすると、その正圧エアの気流で、解放後の電子部品が飛散してしまうという問題があった。   Moreover, the difficulty of component conveyance is increasing due to minimization of components. In recent years, electronic parts having sides of 1 mm or less have become common, and recently, the size has reached 0.5 mm or less, particularly 0.3 mm or less. Since these fine electronic components have a very small mass, they are easily affected by static electricity and airflow. For example, when an electronic component is sucked with a nozzle, a small amount of static electricity is generated between the nozzle and the electronic component. Therefore, there is a problem that even if the negative pressure air of the nozzle is released, the electronic component is difficult to separate from the nozzle. On the other hand, when positive pressure air is applied in the nozzle to release the adsorbed electronic component, there is a problem that the released electronic component is scattered by the air flow of the positive pressure air.

本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、部品を高効率で搬送可能な搬送装置を提供する。この搬送装置により、例えば極小の部品であっても、搬入及び搬出を確実に実行可能とすることを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and provides a transport device capable of transporting components with high efficiency. An object of the present invention is to make it possible to reliably carry in and carry out, for example, even a very small part by this transport device.

上記目的を達成する本発明は、回転軸線を中心に回転するベース部材と、前記ベース部材に対して周方向に沿って複数配設されて前記回転軸線を中心に公転移動し、部品を保持する保持具と、複数の前記保持具の各々を、吸着方向に沿う自転軸線を中心として自転駆動する保持具自転駆動手段と、複数の前記保持具の各々を、前記自転軸線に沿って案内する案内機構と、を備え、前記保持具の公転軌跡に沿って、複数の部品搬送領域が形成されており、複数の前記部品搬送領域の各々は、前記部品を前記保持具に供給する部品供給装置と、前記部品供給装置よりも前記公転軌跡の下流側に配置されて、前記保持具から前記部品を受け取って搬出する部品搬出装置と、を有しており、前記ベース部材によって公転される複数の前記保持具は、複数の前記部品搬送領域における前記部品供給装置及び前記部品搬出装置に同時に存在し得ることにより、前記部品の供給動作と、搬出動作と、を同時並行させることを特徴とする、搬送装置である。   The present invention that achieves the above object includes a base member that rotates about a rotation axis, and a plurality of base members that are arranged along the circumferential direction with respect to the base member, revolve around the rotation axis, and hold components. A holder, a holder rotation driving means for driving and rotating each of the plurality of the holders around a rotation axis along the suction direction, and a guide for guiding each of the plurality of the holders along the rotation axis. A plurality of component conveyance areas formed along the revolving trajectory of the holder, and each of the plurality of component conveyance areas includes a component supply device that supplies the component to the holder. A component unloading device that is disposed downstream of the revolving trajectory with respect to the component supply device and that receives the component from the holder and unloads it, and is revolved by the base member. The holder must be By the component transferring may be present simultaneously in the component supply device and the component unloading device in the region, the supply operation of the component, and unloading operation, characterized thereby concurrently to a conveying device.

上記搬送装置に関連して、前記保持具は、前記ベース部材の周方向に少なくとも六個配設され、前記部品搬送領域は、少なくとも三か所形成され、前記六個の前記保持具は、前記三か所の前記部品搬送領域の前記部品供給装置及び前記部品搬出装置に同時に存在し得ることを特徴とする。   In relation to the transport device, at least six of the holders are disposed in the circumferential direction of the base member, the component transport region is formed in at least three places, and the six holders are It is possible to simultaneously exist in the component supply device and the component carry-out device in three parts conveyance areas.

上記搬送装置に関連して、前記保持具は、前記ベース部材の周方向に少なくとも八個配設され、前記部品搬送領域は、少なくとも四か所形成され、前記八個の前記保持具は、前記四か所の前記部品搬送領域の前記部品供給装置及び前記部品搬出装置に同時に存在し得ることを特徴とする。   In relation to the transfer device, at least eight of the holders are arranged in the circumferential direction of the base member, the component transfer region is formed at least four places, and the eight holders are It is possible to exist simultaneously in the component supply device and the component carry-out device in the four parts conveyance areas.

上記搬送装置に関連して、前記部品搬送領域は、前記部品供給装置と前記部品搬出装置の間に、前記部品の外観を検査する外観検査装置を有し、前記保持具は、前記部品供給装置、前記外観検査装置及び前記部品搬出装置に同時に存在することにより、前記部品の前記供給動作と、外観検査動作と、前記搬出動作と、を同時並行させることを特徴とする。   In relation to the transfer device, the component transfer area has an appearance inspection device for inspecting the appearance of the component between the component supply device and the component carry-out device, and the holder is the component supply device. By being simultaneously present in the appearance inspection device and the component unloading device, the supply operation of the component, the appearance inspection operation, and the unloading operation are simultaneously performed in parallel.

上記搬送装置に関連して、前記外観検査装置は、前記部品が前記自転軸線方向に進入する部品進入口と、前記部品進入口の周囲四か所に配置されて、前記部品進入口から進入した前記部品の四か所の側面の像を、前記自転軸線方向に投影する映像投影部材と、前記映像投影部材による前記側面の投影像の投映方向に配置されて、前記四か所の側面の前記投影像、及び前記部品の底面をまとめて撮像する五面撮像手段と、を備えることを特徴とする。   In relation to the transport apparatus, the appearance inspection apparatus is arranged at a part entrance where the part enters in the rotation axis direction and at four places around the part entrance and enters from the part entrance. An image projection member that projects images of the four side surfaces of the component in the direction of the rotation axis, and a projection direction of the projection image of the side surfaces by the image projection member, And a five-sided image pickup means for picking up the projected image and the bottom surface of the component together.

上記搬送装置に関連して、前記部品搬出装置上には、前記保持具から受け取った前記部品の上面を撮像する上面撮像手段を備えることを特徴とする。   In relation to the conveying device, the component carrying-out device is provided with an upper surface imaging means for imaging the upper surface of the component received from the holder.

上記搬送装置に関連して、前記保持具の公転軌跡の半径方向外側には、作業者が前記保持具に触れることを防止する保護カバーが配置されており、複数の前記部品搬送領域のいずれかにおいて、前記供給動作と前記搬出動作を休止させる間も、前記ベース部材を回転させることによって、残りの前記部品搬送領域における前記供給動作と前記搬出動作を継続することを特徴とする。   In relation to the transfer device, a protective cover for preventing an operator from touching the holding tool is arranged on the radially outer side of the revolving trajectory of the holding tool. In the above, the supply operation and the carry-out operation in the remaining part conveyance region are continued by rotating the base member while the supply operation and the carry-out operation are suspended.

上記搬送装置に関連して、前記部品搬出装置は、一対のテープの間に前記部品を受け入れてシールするテーピング装置であることを特徴とする。   In relation to the conveying device, the component unloading device is a taping device that receives and seals the component between a pair of tapes.

上記搬送装置に関連して、前記部品搬出装置上に存在する前記保持具が、前記部品搬出装置側に前記部品を放出するタイミングで、前記保持具に衝撃を付与する衝撃発生機構を備えることを特徴とする。   In relation to the transport device, the holder existing on the component carry-out device includes an impact generation mechanism that applies an impact to the holder at a timing when the component is released to the component carry-out device side. Features.

上記搬送装置に関連して、前記衝撃発生機構は、衝撃発生用シリンダと、前記衝撃発生用シリンダ内に往復移動自在に収容される衝撃発生用ピストンと、を備えており、前記衝撃発生用シリンダに対して作動流体を流入及び流出させることで前記衝撃発生用ピストンを移動させることで、前記保持具に衝撃を付与することを特徴とする。   In relation to the transfer device, the impact generating mechanism includes an impact generating cylinder and an impact generating piston that is reciprocally accommodated in the impact generating cylinder, and the impact generating cylinder The shock is applied to the holder by moving the shock generating piston by flowing in and out the working fluid.

上記搬送装置に関連して、前記衝撃発生機構は、前記保持具、該保持具の周囲及び前記ベース部材のいずれかに設置されることを特徴とする。   In relation to the transfer device, the impact generating mechanism is installed in any one of the holder, the periphery of the holder, and the base member.

上記搬送装置に関連して、前記保持具は、エアの負圧によって前記部品を吸着保持するノズルであり、前記衝撃発生機構の作動流体として、前記エアを兼用することを特徴とする。   In relation to the transfer device, the holding tool is a nozzle that sucks and holds the component by a negative pressure of air, and also uses the air as a working fluid of the impact generating mechanism.

上記搬送装置に関連して、前記保持具は、エアの負圧によって前記部品を吸着保持するノズルであり、前記衝撃発生機構は、前記ノズルの内部に形成される前記エアの案内路に重畳形成される、前記衝撃発生用シリンダと、前記エアの負圧によって前記衝撃発生用シリンダ内に往復移動自在に収容される衝撃発生用ピストンと、を備えており、前記エアの負圧を解除した際の前記衝撃発生ピストンの移動によって、前記ノズルに衝撃を付与することを特徴とする。   In relation to the conveying device, the holding tool is a nozzle that sucks and holds the component by negative pressure of air, and the impact generating mechanism is formed to overlap with the air guide path formed inside the nozzle. The shock generating cylinder and a shock generating piston that is reciprocally accommodated in the shock generating cylinder by the negative pressure of the air, and when the negative pressure of the air is released The impact is applied to the nozzle by the movement of the impact generating piston.

上記搬送装置に関連して、前記保持具は、エアの負圧によって前記部品を吸着保持するノズルであり、前記衝撃発生機構は、前記ノズルの周囲に配置されて、前記エアの負圧が導入される前記衝撃発生用シリンダと、前記エアの負圧によって前記衝撃発生用シリンダ内に往復移動自在に収容される衝撃発生用ピストンと、を備えており、前記エアの負圧を解除した際の前記衝撃発生ピストンの移動によって、前記ノズルに衝撃を付与することを特徴とする。   In relation to the transfer device, the holding tool is a nozzle that sucks and holds the component by a negative pressure of air, and the impact generating mechanism is arranged around the nozzle to introduce the negative pressure of the air. The shock generating cylinder, and a shock generating piston that is reciprocally accommodated in the shock generating cylinder by the negative pressure of the air, and when the negative pressure of the air is released An impact is applied to the nozzle by the movement of the impact generating piston.

上記搬送装置に関連して、前記衝撃発生用シリンダには、内部のエアを大気側に放出する開口が形成され、前記開口による前記エアの放出方向が、前記ノズルの前記自転軸線方向と異なる方向に設定されることを特徴とする。   In relation to the conveying device, the impact generating cylinder is formed with an opening for discharging the internal air to the atmosphere side, and the direction in which the air is discharged by the opening is different from the direction of the rotation axis of the nozzle. It is characterized by being set to.

上記搬送装置に関連して、前記保持具の前記自転軸線からオフセットされると共に前記案内機構によって前記保持具と共に案内される被係合部と、前記被係合部と係合することで、前記自転軸線方向に前記保持具を駆動する自転軸方向駆動手段と、を備え、前記衝撃発生機構は、前記自転軸方向駆動手段に設置されることを特徴とする。   In relation to the transport device, the engaged portion is offset from the rotation axis of the holder and guided with the holder by the guide mechanism, and the engaged portion is engaged with the engaged portion, Rotation axis direction drive means for driving the holder in the rotation axis direction, and the impact generating mechanism is installed in the rotation axis direction drive means.

上記搬送装置に関連して、前記自転軸方向駆動手段は、前記ベース部材から離反した位置に固定配置されており、前記自転軸方向駆動手段は、前記ベース部材と共に回転する複数の前記保持具を、前記自転軸線方向に駆動することを特徴とする。   In relation to the conveying device, the rotation axis direction driving means is fixedly disposed at a position away from the base member, and the rotation axis direction driving means includes a plurality of the holders that rotate together with the base member. And driving in the direction of the axis of rotation.

上記目的を達成する本発明は、回転軸線を中心に回転するベース部材に対して周方向に沿って複数配設されて保持具によって部品を保持し、前記保持具を、前記回転軸線を中心に公転移動させると同時に、複数の前記保持具の各々を、吸着方向に沿う自転軸線を中心として自転させるようにし、複数の前記保持具の各々を、前記自転軸線に沿って案内し、前記保持具の公転軌跡に沿って、複数の部品搬送領域を形成し、複数の前記部品搬送領域の各々では、前記部品を前記保持具に供給する部品供給工程と、前記部品供給工程よりも前記公転軌跡の下流側に配置されて、前記保持具から前記部品を受け取って搬出する部品搬出工程と、を行うようにし、前記ベース部材によって公転される複数の前記保持具が、複数の前記部品搬送領域における前記部品供給工程及び前記部品搬出工程に同時に存在し得ることにより、前記部品の供給動作と、搬出動作と、を同時進行することを特徴とする、搬送方法である。   According to the present invention for achieving the above object, a plurality of base members rotating around a rotation axis are arranged along a circumferential direction to hold a part by a holder, and the holder is held around the rotation axis. Simultaneously with the revolving movement, each of the plurality of holders is rotated about a rotation axis along the suction direction, and each of the plurality of holders is guided along the rotation axis, and the holder A plurality of component conveyance regions are formed along the revolution locus of the component, and in each of the plurality of component conveyance regions, the component supply step of supplying the component to the holder, and the revolution locus of the component supply step is more than that of the component supply step. A part unloading step disposed downstream and receiving and unloading the part from the holder, wherein a plurality of the holders revolved by the base member are disposed in a plurality of the component conveying regions. By the component feed process and may be present simultaneously in the parts unloading step, the supply operation of said component, characterized in that it proceeds with unloading operations, simultaneous, a transfer method.

本発明の搬送装置等よれば、コンパクトな構成で、部品を高効率で搬送することが可能となる。また、質量の小さい極小部品であっても、確実に搬送できるという優れた効果を奏し得る。   According to the transporting apparatus and the like of the present invention, it is possible to transport parts with high efficiency in a compact configuration. Moreover, even if it is a very small component with a small mass, the outstanding effect that it can convey reliably can be show | played.

本発明の実施形態に係る搬送装置の全体構成を示す正面図である。It is a front view which shows the whole structure of the conveying apparatus which concerns on embodiment of this invention. （ａ）は同搬送装置の全体構成を示す平面図（上面図）であり、（ｂ）は部品供給装置の他の構成例を示す平面図であり、（ｃ）は部品搬出装置の他の構成例を示す平面図及び側面図である。(A) is a plan view (top view) showing the overall configuration of the transfer device, (b) is a plan view showing another configuration example of the component supply device, and (c) is another view of the component carry-out device. It is the top view and side view which show the example of a structure. （ａ）は同搬送装置の回転テーブル及び部品保持ユニットのみを示す平面図であり、（ｂ）は同回転テーブル及び部品保持ユニットの正面断面図である。(A) is a top view which shows only the rotary table and component holding unit of the conveyance apparatus, (b) is front sectional drawing of the rotary table and component holding unit. （ａ）は部品保持ユニットの側面断面図であり、（ｂ）は同部品保持ユニットの部分平面図であり、（ｃ）は同部品保持ユニットの正面図である。(A) is side sectional drawing of a component holding unit, (b) is a partial top view of the component holding unit, (c) is a front view of the component holding unit. （ａ）は外観検査装置の正面断面図であり、（ｂ）は同外観検査装置の投影テーブルの上面図、正面断面図、底面図である。(A) is front sectional drawing of an external appearance inspection apparatus, (b) is the top view, front sectional drawing, and bottom view of the projection table of the external appearance inspection apparatus. 衝撃発生機構及び部品保持ユニットの側面断面図である。It is side surface sectional drawing of an impact generation mechanism and a component holding unit. （ａ）は部品保持ユニットにおいてノズルが鉛直下方に移動させた際の側面断面図であり、（ｂ）は衝撃発生機構によって、部品保持ユニットのノズルから部品を離反させる状態を示す側面断面図であり、（ｃ）は同衝撃発生機構の他の構成例を示す正面断面図であり、（ｄ）は衝撃発生機構の他の構成例を示す底面図及び正面断面図である。(A) is a side sectional view when the nozzle is moved vertically downward in the component holding unit, and (b) is a side sectional view showing a state in which the component is separated from the nozzle of the component holding unit by the impact generating mechanism. (C) is a front sectional view showing another configuration example of the impact generating mechanism, and (d) is a bottom view and a front sectional view showing another configuration example of the impact generating mechanism. （ａ）は部品保持ユニットにおいてノズルが鉛直下方に移動させた際の側面断面図であり、（ｂ）は、他の衝撃発生機構によって、部品保持ユニットのノズルから部品を離反させる状態を示す側面断面図である。(A) is side surface sectional drawing at the time of a nozzle moving vertically downward in a component holding unit, (b) is a side view which shows the state which separates components from the nozzle of a component holding unit by another impact generation mechanism. It is sectional drawing. （ａ）は部品保持ユニットにおいてノズルが下降する前の側面断面図であり、（ｂ）は、他の衝撃発生機構によって、降下したノズルから部品を離反させる状態を示す側面断面図である。(A) is side surface sectional drawing before a nozzle descend | falls in a component holding unit, (b) is side surface sectional drawing which shows the state which separates components from the nozzle which descend | fall by another impact generation | occurrence | production mechanism. （ａ）は部品保持ユニットにおいてノズルが下降する前の側面断面図であり、（ｂ）は、他の衝撃発生機構によって、降下したノズルから部品を離反させる状態を示す側面断面図である。(A) is side surface sectional drawing before a nozzle descend | falls in a component holding unit, (b) is side surface sectional drawing which shows the state which separates components from the nozzle which descend | fall by another impact generation | occurrence | production mechanism. （ａ）乃至（ｄ）は、他の衝撃発生機構の構成を示す側面断面図である。(A) thru | or (d) are side surface sectional drawings which show the structure of another impact generation | occurrence | production mechanism. 本発明の搬送装置の動作を示す図であり、（ａ）は供給領域の動作を示す図であり、（ｂ）は外観検査領域の動作を示す図であり、（ｃ）は搬出領域の動作を示す図であり、（ｄ）は廃棄領域の動作を示す図である。It is a figure which shows operation | movement of the conveying apparatus of this invention, (a) is a figure which shows operation | movement of a supply area | region, (b) is a figure which shows operation | movement of an external appearance inspection area | region, (c) is operation | movement of a carrying-out area | region. (D) is a figure which shows operation | movement of a discard area | region.

以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図１は、本実施形態に係る搬送装置１０１の正面図である。図２は、搬送装置１０１の平面図（上面図）である。なお、図示の便宜上、例えば図１では、基台上に配置される部品供給装置や部品搬出装置等の図示を省略している。このように、各図において、一部の構成を適宜省略して、図面を簡略化している。搬送装置１０１で搬送される部品１０は、平面のサイズが１ｍｍ角以下（１ｍｍ以下×１ｍｍ以下）となっており、より詳細には０．５ｍｍ角以下、特に本実施形態では０．３ｍｍ角以下となっている。   FIG. 1 is a front view of a transport apparatus 101 according to the present embodiment. FIG. 2 is a plan view (top view) of the transport apparatus 101. For convenience of illustration, for example, in FIG. 1, illustration of a component supply device, a component carry-out device, and the like arranged on the base is omitted. As described above, in each drawing, a part of the configuration is omitted as appropriate, and the drawings are simplified. The part 10 conveyed by the conveying device 101 has a plane size of 1 mm square or less (1 mm or less × 1 mm or less), more specifically 0.5 mm square or less, particularly 0.3 mm square or less in this embodiment. It has become.

図１に示すように、搬送装置１０１は、基台１０２と、基台１０２上面に配設された部品供給装置１１０と、基台１０２に揺動自在に配設された固定テーブル１２０と、基台１０２に対して回転自在に設置された回転テーブル（ベース部材）１３０と、回転テーブル１３０の外周面に周方向に沿って配設された複数（本実施形態では１６個）の部品保持ユニット１４０と、固定テーブル１２０に配設された計１２個の上側外部付勢装置（自転軸方向駆動手段）１５０ａ、１５０ｂ、１５０ｃと、回転テーブル１３０を回転させる回転テーブル駆動手段１６０と、搬送装置１０１全体を制御する中央制御装置１９０を備える。   As shown in FIG. 1, the transport device 101 includes a base 102, a component supply device 110 disposed on the top surface of the base 102, a fixed table 120 swingably disposed on the base 102, a base A rotary table (base member) 130 installed to be rotatable with respect to the table 102, and a plurality (16 in this embodiment) of component holding units 140 arranged on the outer peripheral surface of the rotary table 130 along the circumferential direction. A total of twelve upper external urging devices (rotating shaft direction driving means) 150a, 150b, 150c disposed on the fixed table 120, a rotating table driving means 160 for rotating the rotating table 130, and the entire conveying apparatus 101 A central control unit 190 for controlling

基台１０２は、略直方体状の部材である。基台１０２の内部には、中央制御装置１９０や、特に図示しない電源装置等が配設されている。   The base 102 is a substantially rectangular parallelepiped member. Inside the base 102, a central control device 190, a power supply device (not shown) and the like are arranged.

図３に示すように、基台１０２の中央には柱部材１０２ａが配設されており、この柱部材１０２ａの上端に固定テーブル１２０が固定されている。柱部材１０２ａは、回転テーブル駆動手段１６０となる中空モータの内部空間を通過するようにして、基台１０２から立設されているが、本発明はこれに限定されず、回転テーブル駆動手段１６０や回転テーブル１３０の周囲に柱部材１０２ａを配置して、固定テーブル１２０を支持しても良い。   As shown in FIG. 3, a column member 102a is disposed at the center of the base 102, and a fixed table 120 is fixed to the upper end of the column member 102a. The column member 102a is erected from the base 102 so as to pass through the internal space of the hollow motor serving as the rotary table driving means 160. However, the present invention is not limited to this, and the rotary table driving means 160 and The fixed member 120 may be supported by disposing a column member 102 a around the rotary table 130.

固定テーブル１２０には、上側外部付勢装置１５０ａ、１５０ｂ、１５０ｃ及び上部カメラ１１７ａ、１１７ｂが配設される。上側外部付勢装置１５０ａ、１５０ｂ、１５０ｃは、ノズル１４２を下降させたい場所（作業領域）に対応して、それぞれの上方に設けられる。図２に示すように、ここでは合計１２か所に配置される。   The fixed table 120 is provided with upper external urging devices 150a, 150b, 150c and upper cameras 117a, 117b. The upper external urging devices 150a, 150b, and 150c are provided above each corresponding to the place (working area) where the nozzle 142 is to be lowered. As shown in FIG. 2, in this case, a total of 12 places are arranged.

図１に戻って、部品保持ユニット１４０は、保持具となるノズル１４２を有しており、電子部品をピックアップして保持する。ノズル１４２は、吸着方向（鉛直方向）に沿う自転軸線Ｊ周りに（図１のθ方向またはθ方向と逆方向に）自転自在となっている。これらの回転により、部品の保持姿勢を調整できる。   Returning to FIG. 1, the component holding unit 140 includes a nozzle 142 serving as a holder, and picks up and holds an electronic component. The nozzle 142 is capable of rotating about the rotation axis J along the suction direction (vertical direction) (in the θ direction or the direction opposite to the θ direction in FIG. 1). By these rotations, the holding posture of the component can be adjusted.

回転テーブル１３０は、略円盤状の部材であり、外周面に１６個の部品保持ユニット１４０が等間隔（本実施形態では略２２．５度の角度間隔）で配設されている。回転テーブル１３０は、回転軸が上下方向（鉛直方向）となるように、基台１０２に保持されている。回転テーブル１３０には、１６個の部品保持ユニット１４０が配置されることから、回転テーブル１３０が停止した状態を仮定すると、各部品保持ユニット１４０に対応して、周方向に最大で合計１６か所の、同時進行可能な作業領域を確保できる。   The turntable 130 is a substantially disk-shaped member, and 16 component holding units 140 are arranged on the outer peripheral surface at equal intervals (an angular interval of approximately 22.5 degrees in this embodiment). The turntable 130 is held on the base 102 so that the rotation axis is in the vertical direction (vertical direction). Since sixteen component holding units 140 are arranged on the rotary table 130, assuming that the rotary table 130 is stopped, a total of 16 locations in the circumferential direction are corresponding to each component holding unit 140 at the maximum. It is possible to secure a work area that can proceed simultaneously.

回転テーブル駆動手段１６０は、基台１０２と回転テーブル１３０の間に位置している。本実施形態では、回転テーブル駆動手段１６０は、中空ＤＤ（ダイレクトドライブ）モータであり、基台１０２に固定されるステータと、ステータの内周又は外周（ここでは内周）を回転して回転テーブル１３０と結合する筒状のロータから構成される。回転テーブル駆動手段１６０の中心部には軸方向に貫通孔が形成されている。   The rotary table driving means 160 is located between the base 102 and the rotary table 130. In this embodiment, the rotary table driving means 160 is a hollow DD (direct drive) motor, and rotates the stator fixed to the base 102 and the inner periphery or outer periphery (here inner periphery) of the stator. It is comprised from the cylindrical rotor couple | bonded with 130. FIG. A through hole is formed in the central portion of the rotary table driving means 160 in the axial direction.

中央制御装置１９０は、ＣＰＵ、ＲＯＭ及びＲＡＭ等を備えた制御装置であり、上側外部付勢装置１５０ａ、１５０ｂ、１５０ｃ、回転テーブル駆動手段１６０等を直接制御する。なお、これらの動作と連動する他の装置（例えば、部品供給装置１１０、外観検査装置２００、部品搬出装置１７０等）も、中央制御装置１９０で同時に制御できる。   The central control device 190 is a control device including a CPU, a ROM, a RAM, and the like, and directly controls the upper external biasing devices 150a, 150b, 150c, the rotary table driving means 160, and the like. Note that other devices (for example, the component supply device 110, the appearance inspection device 200, the component carry-out device 170, etc.) linked with these operations can be simultaneously controlled by the central control device 190.

図３（ａ）に示されるように、部品保持ユニット１４０は、略円筒状の回転テーブル１３０の外周面において、周方向に２２．５度間隔で外側に向けて突設されている。本実施形態では、隣接する部品保持ユニット１４０の間の部材を排除して（または切り欠いたり、開口を形成したりして）、干渉回避空間部１３１を生じるようにしている。この干渉回避空間部１３１を利用して、回転する部品保持ユニット１４０が存在しないタイミングで、上部カメラ１１７ａ、１１７ｂ等による基台側の撮像を可能にしている。即ち、干渉回避空間部１３１は回転テーブル１３０と共に回転するが、各作業領域は回転しないことから、各作業領域と干渉回避空間部１３１が重なるタイミングで、カメラ等の撮像を行う。なお、部品保持ユニット１４０は、フランジを利用して容易に着脱可能に回転テーブル１３０に固定される。   As shown in FIG. 3A, the component holding unit 140 is provided on the outer peripheral surface of the substantially cylindrical turntable 130 so as to protrude outward at an interval of 22.5 degrees in the circumferential direction. In this embodiment, the member between the adjacent component holding units 140 is excluded (or notched or an opening is formed) to generate the interference avoidance space 131. By using this interference avoidance space 131, imaging of the base side by the upper cameras 117a, 117b, etc. is enabled at the timing when the rotating component holding unit 140 does not exist. That is, although the interference avoidance space 131 rotates together with the rotary table 130, each work area does not rotate. Therefore, imaging with a camera or the like is performed at a timing when each work area and the interference avoidance space 131 overlap. The component holding unit 140 is fixed to the turntable 130 so as to be easily detachable using a flange.

図３（ｂ）に示されるように、回転テーブル１３０の中心には、中空軸１３２が配置される。この中空軸１３２は回転テーブル１３０の回転中心となると共に、基台１０２に回転自在に支持される。なお、中空軸１３２の内部空間に、固定テーブル１２０の支柱１０２ａが配置される。また、中空軸１３２は、大径の外側パイプ１３２ａと小径の内側１パイプ３２ｂが同軸的に配設された二重構造となっている。中空軸１３２の外側パイプ１３２ａと内側パイプ１３２ｂの間隙は、低圧源となる真空ポンプ（図示省略）と部品保持ユニット１４０を繋ぐエア通路の一部となっている。中空軸１３２の下端部には、スイベルジョイント１３３を介して真空ポンプに繋がるエア配管１３４が接続される。   As shown in FIG. 3B, a hollow shaft 132 is disposed at the center of the rotary table 130. The hollow shaft 132 serves as the center of rotation of the turntable 130 and is rotatably supported by the base 102. Note that the support column 102 a of the fixed table 120 is disposed in the internal space of the hollow shaft 132. The hollow shaft 132 has a double structure in which a large-diameter outer pipe 132a and a small-diameter inner pipe 32b are coaxially arranged. A gap between the outer pipe 132 a and the inner pipe 132 b of the hollow shaft 132 is a part of an air passage that connects a vacuum pump (not shown) serving as a low pressure source and the component holding unit 140. An air pipe 134 connected to a vacuum pump is connected to the lower end portion of the hollow shaft 132 via a swivel joint 133.

回転テーブル１３０の内部には、外側パイプ１３２ａと内側パイプ１３２ｂの間隙と同軸的に接続された中央気室１３５が中心部に形成されており、さらに、この中央気室１３５から各部品保持ユニット１４０に個別に接続される１６本の吸引通路１３６が放射状に形成される。各吸引通路１３６の途中には、部品保持ユニット１４０と真空ポンプの連通・遮断を切り替える切替バルブ１３７がそれぞれ配設されている。従って、本実施形態では、各部品保持ユニット１４０と真空ポンプの連通・遮断を個別に切り替えることが可能となっている。本実施形態における切替バルブ１３７は、ソレノイドによって弁体を移動させる電磁弁から構成されている。なお、切替バルブ１３７は、他の構成のものであってもよい。   A central air chamber 135 that is coaxially connected to the gap between the outer pipe 132a and the inner pipe 132b is formed in the center of the rotary table 130, and each component holding unit 140 is further formed from the central air chamber 135. Sixteen suction passages 136 that are individually connected to each other are formed radially. In the middle of each suction passage 136, a switching valve 137 for switching communication / blocking between the component holding unit 140 and the vacuum pump is provided. Therefore, in this embodiment, it is possible to individually switch communication / blocking between each component holding unit 140 and the vacuum pump. The switching valve 137 in the present embodiment is composed of an electromagnetic valve that moves a valve element by a solenoid. Note that the switching valve 137 may have another configuration.

回転テーブル１３０の内部には、更に切替バルブ１３７を制御して後述するノズル１４２による部品の吸着・解放を制御したり、ノズルの自転を制御したりする保持状態制御装置１９１が配設されている。保持状態制御装置１９１は、ＣＰＵ、ＲＯＭおよびＲＡＭ等を備えた制御装置である。保持状態制御装置１９１は、特に図示しない配線によって、切替バルブ１３７および部品保持ユニット１４０とそれぞれ電気的に接続されると共に、中央制御装置１９０に電気的に接続されている。中央制御装置１９０と保持状態制御装置１９１は、中空軸１３２先端側の支柱１０２ａに配設されたスリップリング１３８と、支柱１０２ａの内部を通る配線（図示省略）によって接続される。   Inside the turntable 130, a holding state control device 191 is further provided that controls the switching valve 137 to control the suction and release of components by a nozzle 142, which will be described later, and to control the rotation of the nozzle. . The holding state control device 191 is a control device including a CPU, a ROM, a RAM, and the like. The holding state control device 191 is electrically connected to the switching valve 137 and the component holding unit 140, respectively, and also electrically connected to the central control device 190 by wiring not shown. The central control device 190 and the holding state control device 191 are connected to a slip ring 138 disposed on the support column 102a on the distal end side of the hollow shaft 132 by wiring (not shown) passing through the inside of the support column 102a.

次に部品保持ユニット１４０の内部構造について説明する。図４は、部品保持ユニット１４０の断面構造および外部付勢装置１５０ａ、１５０ｂ、１５０ｃの一部を示した図である。部品保持ユニット１４０は、筺体１４１と、筺体１４１に対して、鉛直方向の平面内に沿う自転軸線Ｊ周りに自転自在に配設されたノズル１４２と、ノズル１４２を自転駆動するノズル自転駆動手段１４３と、ノズル１４２を自転軸線Ｊに沿って案内する案内機構１４９を有して構成される。   Next, the internal structure of the component holding unit 140 will be described. FIG. 4 is a diagram showing a cross-sectional structure of the component holding unit 140 and a part of the external urging devices 150a, 150b, and 150c. The component holding unit 140 includes a housing 141, a nozzle 142 that is arranged to rotate about a rotation axis J along a plane in the vertical direction with respect to the housing 141, and nozzle rotation driving means 143 that drives the nozzle 142 to rotate. And a guide mechanism 149 for guiding the nozzle 142 along the rotation axis J.

筺体１４１は、水平方向（回転テーブル１３０の半径方向）に延びる筒状部材となっており、その端面にフランジ１４１ａが形成される。このフランジ１４１ａを、回転テーブル１３０の外周面に形成される固定用平面１３０ｘに当接させて、特に図示しないボルト等によって着脱自在に固定される。従って、フランジ１４１ａと固定用平面１３０ｘの間にシム等を挿入すれば、回転テーブル１３０の回転軸線（回転中心）からの部品保持ユニット１４０（ノズル１４２）までの半径方向距離を、事後的に微調整することができる。 筐体１４１の内部には、自転用中空モータ１４３ａへ電力を供給するための配線が敷設される（点線参照）。   The housing 141 is a cylindrical member extending in the horizontal direction (radial direction of the rotary table 130), and a flange 141a is formed on the end surface thereof. The flange 141a is brought into contact with a fixing plane 130x formed on the outer peripheral surface of the rotary table 130, and is detachably fixed by a bolt or the like (not shown). Therefore, if a shim or the like is inserted between the flange 141a and the fixing plane 130x, the radial distance from the rotation axis (rotation center) of the turntable 130 to the component holding unit 140 (nozzle 142) is reduced afterwards. Can be adjusted. Inside the housing 141, wiring for supplying electric power to the hollow motor 143a for rotation is laid (see dotted line).

ノズル１４２は、先端に吸着面１４２ａが配設された細長い円筒状の部材である。ノズル１４２は、吸着方向に沿った自転軸線Ｊ周りに回転（自転）自在であると共に、自転軸線Ｊ方向に沿って往復移動自在となっている。ノズル１４２の内部は吸着面１４２ａに繋がる吸引通路１４２ｂとなっている。   The nozzle 142 is an elongated cylindrical member having a suction surface 142a disposed at the tip. The nozzle 142 is rotatable (spinned) around the rotation axis J along the suction direction and is reciprocally movable along the rotation axis J. The inside of the nozzle 142 serves as a suction passage 142b connected to the suction surface 142a.

図３（ｂ）で示した切替バルブ１３７は、真空ポンプからノズル１４２までのエア流路の連通・遮断を切り替えると共に、遮断時には、ノズル１４２を大気開放状態とするように構成されている。すなわち、ノズル１４２は、切替バルブ１３７によって真空ポンプと連通された場合に、部品を吸引して吸着（保持）し、切替バルブ１３７によって真空ポンプから遮断された場合に、部品を解放する。   The switching valve 137 shown in FIG. 3 (b) is configured to switch communication / blocking of the air flow path from the vacuum pump to the nozzle 142, and at the time of blocking, the nozzle 142 is opened to the atmosphere. That is, the nozzle 142 sucks and holds (holds) a component when it is communicated with the vacuum pump by the switching valve 137, and releases the component when it is shut off from the vacuum pump by the switching valve 137.

ノズル自転駆動手段１４３は、自転用中空モータ１４３ａと、ノズル１４２を自転自在に保持する自転用ブラケット１４３ｂを有する。自転用中空モータ１４３ａは、自転用ブラケット１４３ｂと一体となっており、内部にノズル１４２の一部を収容して、同軸状態でノズル１４２を回転駆動する。結果、ノズル１４２は自転軸線Ｊを中心として自転自在となる。自転用ブラケット１４３ｂ内には、ノズル１４２に負圧を供給するエア流路１４３ｃが形成される。   The nozzle rotation driving means 143 includes a rotation hollow motor 143a and a rotation bracket 143b that holds the nozzle 142 in a freely rotatable manner. The rotation hollow motor 143a is integrated with the rotation bracket 143b, accommodates a part of the nozzle 142 therein, and rotates the nozzle 142 in a coaxial state. As a result, the nozzle 142 can rotate about the rotation axis J. An air flow path 143c for supplying a negative pressure to the nozzle 142 is formed in the rotation bracket 143b.

ノズル自転駆動手段１４３は、結合ブラケット１４９ｃを介して、案内機構１４９の移動テーブル１４９ａに固定される。   The nozzle rotation driving means 143 is fixed to the moving table 149a of the guide mechanism 149 through the coupling bracket 149c.

案内機構１４９は、ベース材１４９ｄと、ベース材１４９ｄに固定されるレール１４９ｂと、レール１４９ｂに沿って移動自在の移動テーブル１４９ａと、移動テーブル１４０ａに固定される結合ブラケット１４９ｃを有する。レール１４９ｂは、ノズル自転駆動手段１４３の自転軸線Ｊ方向に沿って配置される。従って、ノズル１４２及びノズル自転駆動手段１４３全体が、案内機構１４９によって、自転軸線Ｊの方向に沿って往復移動自在となる。ベース材１４９ｄ内には、ノズル１４２に負圧を供給するエア流路１４９ｅが形成される。ベース材１４９ｄと、ノズル自転駆動手段１４３の自転用ブラケット１４３ｄの間には、互いに当接する摺動部１４３ｄが形成されており、この摺動部１４３ｄ内にもエア流路が形成される。なお、摺動部１４３ｄに形成されるエア流路は、点線で示すように、自転用ブラケット１４３ｄ側のカバーによって全体が覆われている。従って、ベース材１４９ｄに対して自転用ブラケット１４３ｄが摺動しても、互いのエア流路１４９ｅ，１４３ｃの接続は維持される。ベース材１４０ｄは、筐体１４１のフランジ１４１ａの端面に固定される。切替バルブ１３７から供給されるエア流路１４８も、ベース材１４０ｄ側のエア流路１４９ｅに接続される。   The guide mechanism 149 includes a base member 149d, a rail 149b fixed to the base member 149d, a moving table 149a movable along the rail 149b, and a coupling bracket 149c fixed to the moving table 140a. The rail 149b is disposed along the rotation axis J direction of the nozzle rotation driving means 143. Therefore, the entire nozzle 142 and the nozzle rotation driving means 143 can be reciprocated along the direction of the rotation axis J by the guide mechanism 149. An air flow path 149e for supplying a negative pressure to the nozzle 142 is formed in the base material 149d. Between the base material 149d and the rotation bracket 143d of the nozzle rotation driving means 143, a sliding portion 143d that contacts each other is formed, and an air flow path is also formed in the sliding portion 143d. Note that the air flow path formed in the sliding portion 143d is entirely covered with a cover on the side of the rotation bracket 143d, as indicated by a dotted line. Therefore, even if the rotation bracket 143d slides relative to the base material 149d, the connection between the air flow paths 149e and 143c is maintained. The base material 140d is fixed to the end surface of the flange 141a of the housing 141. The air flow path 148 supplied from the switching valve 137 is also connected to the air flow path 149e on the base material 140d side.

案内機構１４０とノズル自転駆動手段１４３の間には、バネによって構成される内部付勢手段１４４ａが配置される。この内部付勢手段１４４ａは、案内機構１４０のベース材１４０ｄを基準として、ノズル自転駆動手段１４３（ノズル１４２）を、自転軸線Ｊの一方向に付勢する。具体的には、ノズル１４２の先端が突出する方向と反対方向、即ち吸着面１４２ａが被吸着部から離れる方向に付勢される。更に、案内機構１４０とノズル自転駆動手段１４３の間には、ストッパ１４４ｂが配置される。このストッパ１４４ｂは、内部付勢手段１４４ａによって付勢されるノズル自転駆動手段１４３の、自転軸線Ｊの上記一方向の移動限界を規定する。   Between the guide mechanism 140 and the nozzle rotation driving means 143, an internal biasing means 144a constituted by a spring is disposed. The internal biasing means 144a biases the nozzle rotation driving means 143 (nozzle 142) in one direction of the rotation axis J with reference to the base material 140d of the guide mechanism 140. Specifically, the nozzle 142 is biased in a direction opposite to the direction in which the tip of the nozzle 142 protrudes, that is, in a direction in which the suction surface 142a is separated from the portion to be sucked. Further, a stopper 144b is disposed between the guide mechanism 140 and the nozzle rotation driving means 143. The stopper 144b defines the movement limit in one direction of the rotation axis J of the nozzle rotation driving unit 143 biased by the internal biasing unit 144a.

ノズル１４２又はノズル自転駆動手段１４３には、被係合部１４４ｃが設けられる。この被係合部１４４ｃは、ノズル１４２の自転軸線Ｊから半径方向にオフセットする面を有する。このオフセット面に対して、上側外部付勢装置１５０ａ，１５０ｂ，１５０ｃを当接させる。オフセットさせることで、上側外部付勢装置１５０ａ，１５０ｂ，１５０ｃもオフセットできるので、上部カメラ１１７ａ、１１７ｂを自転軸線Ｊの延長線上に配置できる。   The nozzle 142 or the nozzle rotation driving means 143 is provided with an engaged portion 144c. The engaged portion 144c has a surface that is radially offset from the rotation axis J of the nozzle 142. The upper external biasing devices 150a, 150b, and 150c are brought into contact with the offset surface. By offsetting, the upper external biasing devices 150a, 150b, and 150c can also be offset, so that the upper cameras 117a and 117b can be arranged on the extension line of the rotation axis J.

上側外部付勢装置１５０ａ，１５０ｂ，１５０ｃは、被係合部１４４ｃを利用して、ノズル１４２及びノズル自転駆動手段１４３を自転軸線Ｊの他方向（ここでは、ノズル１４２の先端が突出する方向、即ち吸着面１４２ａの突出方向）に付勢する。結果、バネとなる内部付勢手段１４４ａに抗して、ノズル１４２及びノズル自転駆動手段１４３が、先端方向（鉛直下方）に移動できる。   The upper external urging devices 150a, 150b, and 150c use the engaged portion 144c to move the nozzle 142 and the nozzle rotation driving means 143 in the other direction of the rotation axis J (here, the direction in which the tip of the nozzle 142 protrudes, That is, the biasing surface 142a is urged in the protruding direction. As a result, the nozzle 142 and the nozzle rotation driving means 143 can move in the tip direction (vertically downward) against the internal biasing means 144a serving as a spring.

以上の構成により、回転テーブル１３０内の切替バルブ１３７を経由して供給される負圧エアは、筐体１４１のエア流路１４８、ベース材１４９ｄ内のエア流路１４９ｅ、自転用ブラケット１４３ｂ内のエア流路１４３ｃを経由してノズル１４２に導入される。   With the above configuration, the negative pressure air supplied via the switching valve 137 in the turntable 130 is supplied to the air flow path 148 in the housing 141, the air flow path 149e in the base material 149d, and the rotation bracket 143b. It is introduced into the nozzle 142 via the air flow path 143c.

部品保持ユニット１４０は、例えば図７（ａ）に示すように、ノズル１４２が自転軸線Ｊ周りに回転自在であり、更に、上側外部付勢装置１５０ｃを利用して押し下げれば、ノズル１４２が自転軸線Ｊの方向に移動自在となる。   For example, as shown in FIG. 7A, the component holding unit 140 is configured such that the nozzle 142 can rotate around the rotation axis J, and if the nozzle 142 is pushed down using the upper external biasing device 150c, the nozzle 142 rotates. It can move in the direction of the axis J.

図１に戻って、上側外部付勢装置１５０ａ〜１５０ｃは、鉛直方向に配置される棒状の押圧部材１５２と、固定テーブル１２０の上面に配設されたモータ１５３と、モータ１５３の出力軸に固定されたカム１５４を有して構成されている。押圧部材１５２の先端（下端）は、回転テーブル１３０に配置される部品保持ユニット１４０の被係合部１４４ｃに当接し得るようになっており、基端はカム１５４に接続される。従って、モータ１５３によりカム１５４を回転させると、押圧部材１５２が上方向に移動して被係合部１４４ｃを押し上げる。結果、ノズル１４２が下方に移動する。   Returning to FIG. 1, the upper external biasing devices 150 a to 150 c are fixed to a bar-shaped pressing member 152 arranged in the vertical direction, a motor 153 arranged on the upper surface of the fixed table 120, and an output shaft of the motor 153. The cam 154 is configured. The distal end (lower end) of the pressing member 152 can come into contact with the engaged portion 144 c of the component holding unit 140 disposed on the rotary table 130, and the proximal end is connected to the cam 154. Therefore, when the cam 154 is rotated by the motor 153, the pressing member 152 moves upward and pushes up the engaged portion 144c. As a result, the nozzle 142 moves downward.

図３（ａ）に示すように、搬送装置１０１は、周方向に沿って９０度間隔で、第一搬送領域１０１ａ、第二搬送領域１０１ｂ、第三搬送領域１０１ｃ、第四搬送領域１０１ｄが形成される。第一乃至第四搬送領域１０１ａ〜１０１ｄは、互いに同じ構成であって、同時並行で全く同じ動作を行う。従って、以降では第一搬送領域１０１ａについて説明することとし、他の領域の説明を省略する。   As shown in FIG. 3A, the transport device 101 is formed with a first transport region 101a, a second transport region 101b, a third transport region 101c, and a fourth transport region 101d at intervals of 90 degrees along the circumferential direction. Is done. The first to fourth transfer areas 101a to 101d have the same configuration and perform the same operation in parallel at the same time. Therefore, hereinafter, the first transport area 101a will be described, and description of other areas will be omitted.

第一搬送領域１０１ａは、ノズル１４２の公転軌跡に沿って、順番に、供給領域１０３、外観検査領域１０７、搬出領域１０５、廃棄領域１０９を有する。回転軸を中心とした作業領域の角度間隔は、ノズル１４２の配置角度と同じ２２．５度となる。   The first transport area 101a includes a supply area 103, an appearance inspection area 107, a carry-out area 105, and a disposal area 109 in order along the revolution trajectory of the nozzle 142. The angular interval of the work area around the rotation axis is 22.5 degrees, which is the same as the arrangement angle of the nozzle 142.

図２及び図３（ａ）を対比させて説明する。上側外部付勢装置１５０ａは供給領域１０３に配置され、上側外部付勢装置１５０ｂは外観検査領域１０８に配置され、上側外部付勢装置１５０ｃは搬出領域１０５に配置される。また、供給領域１０３には部品供給装置１１０が配置され、外観検査領域１０７には外観検査装置２００が配置され、搬出領域１０５には部品搬出装置１７０が配置され、廃棄領域１０９には部品廃棄装置（廃棄トレイ）３００が配置される。   Description will be made by comparing FIG. 2 and FIG. The upper external biasing device 150 a is disposed in the supply region 103, the upper external biasing device 150 b is disposed in the appearance inspection region 108, and the upper external biasing device 150 c is disposed in the carry-out region 105. In addition, a component supply device 110 is disposed in the supply region 103, an appearance inspection device 200 is disposed in the appearance inspection region 107, a component unloading device 170 is disposed in the unloading region 105, and a component disposal device is disposed in the discard region 109. (Discard tray) 300 is arranged.

供給領域１０３は、部品供給装置１１０から部品保持ユニット１４０に対して部品１０を供給する場所となる。外観検査領域１０７は、部品保持ユニット１４０によって保持される部品１０の五面（前後・左右側面と底面）を検査すると同時に、部品１０の姿勢（自転軸線Ｊ周り回転θ、Ｘ、Ｙ）を、画像認識によって確認する領域となる。従って、この外観検査領域１０７は、姿勢確認領域と表現することもできる。搬出領域１０５は、部品保持ユニット１４０が保持する部品１０を、部品搬出装置１７０の整列トレイ１７１に収納する場所となる。廃棄領域１０９は、不合格となる部品１０を廃棄トレイ３００に廃棄すると共に、ノズル１４２の先端をバキューム洗浄する場所となる。   The supply area 103 is a place where the component 10 is supplied from the component supply device 110 to the component holding unit 140. The appearance inspection area 107 inspects the five surfaces (front and rear, left and right side surfaces and the bottom surface) of the component 10 held by the component holding unit 140, and at the same time the posture of the component 10 (rotation θ, X, Y around the rotation axis J) This area is confirmed by image recognition. Therefore, the appearance inspection area 107 can also be expressed as a posture confirmation area. The carry-out area 105 is a place for storing the components 10 held by the component holding unit 140 in the alignment tray 171 of the component carry-out device 170. The discard area 109 is a place where the rejected component 10 is discarded in the discard tray 300 and the tip of the nozzle 142 is vacuum cleaned.

なお、第一搬送領域１０１ａでは、回転テーブル１３０が、隣接する部品保持ユニット１４０の角度間隔（２２．５度間隔）で一次停止する場合を想定し、その角度間隔の整数倍の位相差に合わせて、全作業領域を配置している。即ち、いずれかの部品保持ユニット１４０が、供給領域１０３に対向する位置で停止すると、残りの部品保持ユニット１４０が、それぞれ、外観検査領域１０７、搬出領域１０５、廃棄領域１０９に同時に停止する。従って、回転テーブル１３０が一次停止している間に、４つの作業領域で各作業を同時並行で進める。既に述べたように、第一乃至第四搬送領域１０１ａ〜１０１ｄでは、同時並行で全く同じ動作を行うので、搬送装置１０１の全体では、合計十六か所の作業領域で各作業を同時並行で進める。そして、回転テーブル１３０が時計回り又は反時計回りの一方向に回転すると、全ての部品保持ユニット１４０が、第一乃至第四搬送領域１０１ａ〜１０１ｄにおける、供給領域１０３、外観検査領域１０７、搬出領域１０５、廃棄領域１０９を順番に通過する。   In the first transport area 101a, assuming that the rotary table 130 is temporarily stopped at an angular interval (22.5 degrees interval) between the adjacent component holding units 140, it is adjusted to a phase difference that is an integral multiple of the angular interval. All work areas are arranged. That is, when any one of the component holding units 140 stops at a position facing the supply area 103, the remaining component holding units 140 simultaneously stop in the appearance inspection area 107, the carry-out area 105, and the disposal area 109, respectively. Therefore, while the rotary table 130 is temporarily stopped, each work is advanced in parallel in the four work areas. As already described, since the first to fourth transfer areas 101a to 101d perform the same operation in parallel at the same time, the entire transfer apparatus 101 performs each work simultaneously in a total of 16 work areas. Proceed. When the rotary table 130 rotates in one direction clockwise or counterclockwise, all the component holding units 140 are supplied to the supply area 103, the appearance inspection area 107, and the carry-out area in the first to fourth transfer areas 101a to 101d. 105 and the discard area 109 are sequentially passed.

なお、本発明はこれに限定されず、隣接する部品保持ユニット１４０の角度間隔未満の位相差に作業領域を設定しても良い。このようにすると、より沢山の作業工程を実現できる。   The present invention is not limited to this, and the work area may be set to a phase difference less than the angular interval between the adjacent component holding units 140. In this way, more work processes can be realized.

図２（ａ）に示すように、部品供給装置１１０は、部品１０を載置する載置トレイ１１５と、Ｘ−Ｙテーブルから構成された載置トレイ移動手段１１９と、部品１０を位置決めするために用いる上部カメラ（ＣＭＯＳカメラやＣＣＤカメラなど）１１７ａを備える。載置トレイ１１５には、複数の部品１０がバラバラに載置されている。載置トレイ移動手段１１９は、図示は省略するが、モータによって駆動される直動装置を互いに直角に組み合わせて構成されており、水平方向（Ｘ方向及びＹ方向）に載置トレイ１１５を移動可能となっている。上部カメラ１１７ａは、回転テーブル１３０よりも上方において、ここでは固定テーブル１２０に固定される。このカメラ１１７ａの撮像軸は、鉛直方向に向くノズル１４２の自転軸線Ｊと一致しており、ノズル１４２が存在しないタイミング（干渉回避空間部１３１）を利用して、載置トレイ１１５内の部品１０を画像認識する。載置トレイ移動手段１１９は、上部カメラ１１７ａによる部品１０の撮像結果に基づいて、供給領域１０３に存在する部品保持ユニット１４０のノズル１４２の真下に、画像認識された部品１０を位置決めする。ここでは、部品１０が載置トレイ１１５内にランダムに配置されている場合を例示しているが、マトリクス状のトレイを利用して、複数の部品１０を整列配置して供給しても良く、図２（ｂ）に示すように、集積されたウエハ状態の部品１０を供給して、ノズル１４２でウエハから切り離すようにピックアップしても良く、パーツフィーダーを利用して部品１０を一つずつ供給しても良い。即ち、部品供給装置１１０の構成は様々となる。   As shown in FIG. 2A, the component supply device 110 positions the component 10 with a mounting tray 115 on which the component 10 is mounted, a mounting tray moving unit 119 configured from an XY table, and the like. An upper camera (CMOS camera, CCD camera, etc.) 117a used for the above is provided. A plurality of components 10 are placed on the placement tray 115 in a discrete manner. Although not shown, the loading tray moving means 119 is configured by combining linear motion devices driven by a motor at right angles to each other, and can move the loading tray 115 in the horizontal direction (X direction and Y direction). It has become. The upper camera 117a is fixed to the fixed table 120 above the rotary table 130 here. The imaging axis of the camera 117a is coincident with the rotation axis J of the nozzle 142 oriented in the vertical direction, and the component 10 in the mounting tray 115 is used by using a timing (interference avoidance space 131) where the nozzle 142 does not exist. Recognize the image. The placement tray moving means 119 positions the image-recognized component 10 immediately below the nozzle 142 of the component holding unit 140 existing in the supply area 103 based on the imaging result of the component 10 by the upper camera 117a. Here, a case where the components 10 are randomly arranged in the mounting tray 115 is illustrated, but a plurality of components 10 may be arranged and supplied using a matrix-like tray, As shown in FIG. 2 (b), the integrated wafer state parts 10 may be supplied and picked up so as to be separated from the wafer by the nozzle 142, and the parts 10 are supplied one by one using a parts feeder. You may do it. That is, the configuration of the component supply apparatus 110 varies.

部品１０を吸着保持した部品保持ユニット１４０は、回転テーブル１３０の回転と共に、カメラ１１７ａの画像認識結果を利用して自転軸線Ｊ周りにノズル１４２を回転させてから、外観検査領域１０７に進入する。   The component holding unit 140 that sucks and holds the component 10 enters the appearance inspection area 107 after rotating the nozzle 142 around the rotation axis J using the image recognition result of the camera 117 a together with the rotation of the rotary table 130.

図５（ａ）に示すように、外観検査領域１０７に配置される外観検査装置２００は、ノズル１４２の下側に配置される投影テーブル２０２と、投影テーブル２０２を基台１０２の上方空間に固定する支持部材２０４と、投影テーブル２０２の下側に配置される下部カメラ（五面撮像手段）２１０を有する。   As shown in FIG. 5A, the appearance inspection apparatus 200 arranged in the appearance inspection area 107 fixes the projection table 202 arranged below the nozzle 142 and the projection table 202 in the upper space of the base 102. And a lower camera (five-surface imaging means) 210 disposed below the projection table 202.

投影テーブル２０２には、部品１０が自転軸線Ｊ方向に進入する部品進入口２０２ａが形成される。また、投影テーブル２０２における部品進入口２０２ａの周囲四か所には、周方向に９０度間隔で、プリズム又はミラー等からなる映像投影部材２０６が配置される。この映像投影部材２０６は、それぞれ、部品進入口２０２ａを介して鉛直下方に進入した部品１０の側面１０ａの像を、９０度屈曲させて、自転軸線Ｊ方向（鉛直下方向）に投影する。下部カメラ２１０は、映像投影部材２０６による側面１０ａの投影像の投映方向に対向するように配置されることになる。   The projection table 202 is formed with a component entrance 202a through which the component 10 enters in the rotation axis J direction. Further, video projection members 206 made of prisms or mirrors are arranged at four intervals around the component entrance 202a in the projection table 202 at intervals of 90 degrees in the circumferential direction. Each of the image projection members 206 bends the image of the side surface 10a of the component 10 that has entered vertically downward through the component entry port 202a by 90 degrees and projects it in the direction of the rotation axis J (vertically downward). The lower camera 210 is arranged to face the projection direction of the projected image of the side surface 10a by the video projection member 206.

従って、図５（ｂ）に示すように、下部カメラ２１０は、映像投影部材２０６による四か所の側面１０ａの投影像、及び部品１０の底面１０ｂをまとめて撮像することができる。従って、下部カメラ２１０の撮像結果を解析することで、上面を除いた五面に関して、部品１０のキズ、欠損、変形、寸法等を検査できる。   Therefore, as shown in FIG. 5B, the lower camera 210 can collectively capture the projected images of the four side surfaces 10 a and the bottom surface 10 b of the component 10 by the video projection member 206. Therefore, by analyzing the imaging result of the lower camera 210, it is possible to inspect for scratches, defects, deformations, dimensions, and the like of the component 10 with respect to the five surfaces excluding the upper surface.

なお、下部カメラ２１０は、部品１０のノズル１４２の保持姿勢を計測する姿勢計測装置としても利用できる。この場合、部品１０の底面映像を用いれば良いことになり、部品１０の保持姿勢の計測結果を利用して部品１０を回転させて、次の搬出領域１０５における整列トレイ１７１上に移動する前に、この整列トレイ１７１と部品１０の自転軸線Ｊ周りの位置調整を行う。   The lower camera 210 can also be used as a posture measuring device that measures the holding posture of the nozzle 142 of the component 10. In this case, the bottom image of the component 10 may be used, and before the component 10 is rotated using the measurement result of the holding posture of the component 10 and moved onto the alignment tray 171 in the next carry-out area 105. The position of the alignment tray 171 and the part 10 around the rotation axis J is adjusted.

また例えば、五面の外観検査の検査精度をより高めるためには、一旦、下部カメラ２１０によって部品１０の底面を撮像して、映像投影部材２０６と部品１０の自転軸線Ｊ周りの角度誤差を算出し、ノズル１４２を回転させて誤差を解消してから、再度、下部カメラ２１０によって部品１０の五面を撮像して外観検査を行うことが好ましい。このようにすると、投影像のひずみが小さくなる。なお、この段階で、部品１０の外観不良が存在する場合や、吸着姿勢があまりにも悪い場合は、下流の搬出領域１０３をスルーして廃棄領域１０９で、その部品１０を廃棄する。   Also, for example, in order to further improve the inspection accuracy of the five-surface appearance inspection, the bottom camera 210 is once imaged by the lower camera 210, and the angle error around the rotation axis J of the image projection member 206 and the component 10 is calculated. Then, after the error is eliminated by rotating the nozzle 142, it is preferable to perform an appearance inspection again by imaging the five surfaces of the component 10 with the lower camera 210. In this way, the distortion of the projected image is reduced. At this stage, if there is a defect in the appearance of the component 10 or if the suction posture is too bad, the component 10 is discarded in the discard region 109 through the downstream carry-out region 103.

外観検査領域１０７を通過した部品保持ユニット１４０は、ノズル１４２を自転軸線Ｊ周りに回転させて、部品１０の最終姿勢を確定しつつ、搬出領域１０３上に移動する。   The component holding unit 140 that has passed through the appearance inspection region 107 moves on the carry-out region 103 while rotating the nozzle 142 around the rotation axis J to determine the final posture of the component 10.

搬出領域１０３には、カメラ１１７ｂが上方に配置されており、搬出領域１０５で待機する整列トレイ１７１の収容空間２０を真上から撮像する。すなわち、カメラ１１７ｂは、搬出領域１０５にノズル１４２が進入する前に、干渉回避空間部１３１を利用して、搬出領域１０５の収容空間２０を上から撮像し、当該収容空間２０の水平面内に位置に関する情報（Ｘ−Ｙ方向及びθ回転方向）を、画像情報として取得する。また、カメラ１１７ｂは、中央制御装置１９０と電気的に接続されており、撮像して得られた画像情報を中央制御装置１９０に送信する。そして、カメラ１１７ｂで取得した姿勢の画像情報に基づいて、部品１０の自転軸Ｊ方向の回転姿勢を収容空間２０の姿勢に合わせる。その後、上側外部付勢装置１５０ｃを利用して部品１０を下降させることで、収容空間２０に部品１０を載置する。   In the carry-out area 103, a camera 117b is arranged above, and the storage space 20 of the alignment tray 171 waiting in the carry-out area 105 is imaged from directly above. That is, before the nozzle 142 enters the carry-out area 105, the camera 117 b uses the interference avoidance space 131 to image the accommodation space 20 in the carry-out area 105 from above and is positioned within the horizontal plane of the accommodation space 20. Information (XY direction and θ rotation direction) is acquired as image information. The camera 117b is electrically connected to the central control device 190, and transmits image information obtained by imaging to the central control device 190. Then, based on the image information of the posture acquired by the camera 117 b, the rotational posture of the component 10 in the rotation axis J direction is matched with the posture of the accommodation space 20. Thereafter, the component 10 is placed in the accommodation space 20 by lowering the component 10 using the upper external biasing device 150c.

部品搬出装置１７０は、マトリクス状に配置された複数の凹部（収容空間２０）が上面に形成された整列トレイ１７１と、Ｘ−Ｙテーブルから構成された整列トレイ移動手段１７２を備えて構成されている。整列トレイ移動手段１７２は、図示は省略するが、モータによって駆動される直動装置を互いに直角に組み合わせて構成されている。本実施形態における整列トレイ移動手段１７２は、図２（ａ）における上下方向及び左右方向に整列トレイ１７１を移動可能となっている。   The component carry-out device 170 includes an alignment tray 171 having a plurality of concave portions (accommodating spaces 20) arranged in a matrix and formed on an upper surface thereof, and an alignment tray moving means 172 including an XY table. Yes. Although not shown, the alignment tray moving means 172 is configured by combining linear motion devices driven by a motor at right angles to each other. The alignment tray moving means 172 in this embodiment can move the alignment tray 171 in the vertical direction and the horizontal direction in FIG.

整列トレイ移動手段１７２は、搬出領域１０５に部品１０が搬送されることに先立って、複数の収容空間２０を１つずつ順番に搬出領域１０５に供給する。この整列トレイ移動手段１７２は、中央制御装置１９０が導出した、部品１０との相対位置ずれ量Ｇに基づいて、収容空間２０の位置を調整する位置調整ユニットとして機能する。搬出領域１０５では、部品保持ユニット１４０が吸着保持した部品１０を、収容空間２０に収納する。整列トレイ１７１の全ての収容空間２０に部品１０を収容したら、整列トレイ１７１は、外部に搬出される。   The alignment tray moving unit 172 supplies the plurality of storage spaces 20 one by one to the carry-out area 105 one by one before the parts 10 are conveyed to the carry-out area 105. The alignment tray moving unit 172 functions as a position adjustment unit that adjusts the position of the accommodation space 20 based on the relative displacement G from the component 10 derived by the central control device 190. In the carry-out area 105, the component 10 sucked and held by the component holding unit 140 is stored in the storage space 20. When the components 10 are accommodated in all the accommodating spaces 20 of the alignment tray 171, the alignment tray 171 is carried out to the outside.

なお、ここでは整列トレイ１７１に部品１０を搬出する場合を例示した、本発明はこれに限定されない。例えば図２（ｃ）に示す部品搬出装置１７０のように、一対のフィルムテープの間に部品１０を投入し、この一対のフィルムテープをシールすることでパッキングする、所謂テーピング装置に対して部品を搬出しても良い。   Note that, here, the case where the component 10 is carried out to the alignment tray 171 is exemplified, but the present invention is not limited to this. For example, as in the part unloading device 170 shown in FIG. 2 (c), the parts 10 are inserted into a pair of film tapes, and the pair of film tapes are sealed by packing so that the parts are mounted on a so-called taping device. You may carry it out.

次に、図６を参照して、ノズル１４２に対して衝撃を付与する衝撃発生機構４００について説明する。   Next, an impact generating mechanism 400 that applies an impact to the nozzle 142 will be described with reference to FIG.

衝撃発生機構４００は、部品搬出装置１７０上に存在するノズル１４２が、案内機構１４９によって部品搬出装置１７０側に移動して部品１０を離脱するタイミングで、ノズル１４２に衝撃を付与する。なお、ここでいう部品の離脱タイミングとは、負圧エアを解除してから、ノズル１４２を上昇させるまでの間のいずれかを意味する。   The impact generating mechanism 400 applies an impact to the nozzle 142 at a timing when the nozzle 142 existing on the component carry-out device 170 moves to the component carry-out device 170 side by the guide mechanism 149 and separates the component 10. Note that the component separation timing here means any time from when the negative pressure air is released to when the nozzle 142 is raised.

具体的に、衝撃発生機構４００は、自転軸方向駆動手段となる４個の上側外部付勢装置１５０ｃにおける、押圧部材１５２内にそれぞれ設けられる。衝撃発生機構４００は、自転軸線Ｊ方向に配置される衝撃発生用シリンダ４１０と、この衝撃発生用シリンダ４１０内に往復移動自在に収容される衝撃発生用ピストン４２０と、衝撃発生用シリンダ４１０に負圧エアを供給するエア流路４３０と、各エア流路４３０に配置される切替バルブ４４０を備える。エア流路４３０は、ノズル１４２に負圧エアを供給する真空ポンプに接続される。切替バルブ４４０の制御は、保持状態制御装置１９１又は中央制御装置１９０によって制御される。   Specifically, the impact generating mechanism 400 is provided in each of the pressing members 152 in the four upper external urging devices 150c serving as the rotation axis direction driving means. The impact generating mechanism 400 is negative to the impact generating cylinder 410 disposed in the direction of the rotation axis J, the impact generating piston 420 accommodated in the impact generating cylinder 410 so as to be reciprocally movable, and the impact generating cylinder 410. An air flow path 430 for supplying pressurized air and a switching valve 440 disposed in each air flow path 430 are provided. The air flow path 430 is connected to a vacuum pump that supplies negative pressure air to the nozzle 142. Control of the switching valve 440 is controlled by the holding state control device 191 or the central control device 190.

従って、衝撃発生用シリンダ４１０内の移動空間４１０ａに対して、一方側（ここでは上方側）から作動流体（ここでは負圧エア）を流入及び流出させることで、衝撃発生用ピストン４２０を、衝撃発生用シリンダ４１０内で移動させることで、ノズル１４２に衝撃を付与する。本実施形態では、移動空間４１０ａにおける鉛直上方から、エア流路４３０によって負圧を導入するので、これにより衝撃発生用ピストン４２０が上昇する。この上昇時は準備段階となる。そして、切替バルブ４４０によって負圧エアを遮断すると、自重によって衝撃発生用ピストン４２０が移動空間４１０ａ内を落下して下端に衝突し、その衝撃が、被係合部１４４ｃを経由してノズル１４２に伝播する。なお、落下時に、移動空間４１０ａ内のエアが抵抗とならないように、移動空間４１０ａの下部には、内部のエアを大気側に放出する開口４１０ｂが横方向に形成される。   Accordingly, the working fluid (negative air here) flows into and out of the moving space 410a in the shock generating cylinder 410 from one side (here, the upper side), thereby causing the shock generating piston 420 to impact. By moving within the generating cylinder 410, an impact is applied to the nozzle 142. In the present embodiment, the negative pressure is introduced from the vertically upward direction in the moving space 410a by the air flow path 430, whereby the impact generating piston 420 is raised. This rise is a preparatory stage. When the negative pressure air is shut off by the switching valve 440, the impact generating piston 420 falls in the moving space 410a due to its own weight and collides with the lower end, and the impact is applied to the nozzle 142 via the engaged portion 144c. Propagate. In order to prevent the air in the moving space 410a from becoming a resistance when falling, an opening 410b that discharges the internal air to the atmosphere side is formed in the lateral direction in the lower portion of the moving space 410a.

次に衝撃発生工程について説明する。図６は、ノズル１４２が搬出領域１０５に到着した状態を示す。従って、上側外部付勢装置１５０ｃの押圧部材１５２は、部品保持ユニット１４０の被係合部１４４ｃから上方に離反している。この段階において、衝撃発生機構４００は、予め衝撃発生用シリンダ４１０内に負圧エアを導入し、衝撃発生用ピストン４２０を上昇させておく。その後、図７（ａ）に示すように、上側外部付勢装置１５０ｃが、押圧部材１５２を利用して被係合部１４４ｃを押し下げて、ノズル１４２を下方に移動させる。これにより、部品１０が、部品搬出装置１７０の収容空間２０内でノズル１４２に保持される。   Next, the impact generation process will be described. FIG. 6 shows a state where the nozzle 142 has arrived at the carry-out area 105. Therefore, the pressing member 152 of the upper external urging device 150 c is separated upward from the engaged portion 144 c of the component holding unit 140. At this stage, the impact generating mechanism 400 introduces negative pressure air into the impact generating cylinder 410 in advance to raise the impact generating piston 420. Thereafter, as shown in FIG. 7A, the upper external biasing device 150 c uses the pressing member 152 to push down the engaged portion 144 c to move the nozzle 142 downward. As a result, the component 10 is held by the nozzle 142 in the accommodation space 20 of the component carry-out device 170.

その後、図７（ｂ）に示すように、ノズル１４２に供給される負圧エアを切替バルブ１３７（図３（ｂ）参照）で遮断すると同時に、衝撃発生機構４００の切替バルブ４４０も負圧エアを遮断する。結果、ノズル１４２による吸引が解放されるので、部品１０は自重によりノズル１４２から落下しようとするが、静電気でノズル１４２に残存する場合がある。一方で、衝撃発生機構４００の衝撃発生用ピストン４２０が落下して下端に衝突し、その衝撃が被係合部１４４ｃを経由してノズル１４２に伝播するので、部品１０がノズル１４２から強制的に離反して収容空間２０に放出される。特に図示しないが、その後はノズル１４２を上昇させることで、次の工程に進むことができる。   Thereafter, as shown in FIG. 7B, the negative pressure air supplied to the nozzle 142 is shut off by the switching valve 137 (see FIG. 3B), and at the same time, the switching valve 440 of the impact generating mechanism 400 is also negative pressure air. Shut off. As a result, since suction by the nozzle 142 is released, the component 10 tries to fall from the nozzle 142 by its own weight, but may remain in the nozzle 142 due to static electricity. On the other hand, the impact generating piston 420 of the impact generating mechanism 400 falls and collides with the lower end, and the impact propagates to the nozzle 142 via the engaged portion 144c, so that the component 10 is forced from the nozzle 142. It leaves | separates and it discharge | releases to the storage space 20. Although not particularly illustrated, the nozzle 142 is then raised to proceed to the next step.

以上の通り、この衝撃発生機構４００によれば、例えば部品１０が１ｍｍ角以下の微小且つ軽量の場合であっても、ノズル１４２で搬送した部品１０が、搬出領域１０５において静電気等によってノズル１４２に残存する事態を解消できる。結果、確実に素早く搬出できるので、搬送効率を高めることも可能になる。また、本実施形態のように、衝撃発生機構４００を、部品保持ユニット１４０の外部に配置することで、全ての部品保持ユニット１４０に衝撃発生機構４００を設けることが不要になり、搬送装置１０１の構成を簡潔にできる。特に、上側外部付勢装置１５０ｃの押圧部材１５２に衝撃発生機構４００を設置することで、押圧部材１５２によるノズル１４２に下降動作と、下降完了後の衝撃発生動作をまとめて連続的に行うことが可能となる。   As described above, according to the impact generation mechanism 400, for example, even when the component 10 is 1 mm square or smaller and lightweight, the component 10 conveyed by the nozzle 142 is transferred to the nozzle 142 by static electricity or the like in the carry-out area 105. The remaining situation can be resolved. As a result, since it can be surely carried out quickly, it is possible to increase the conveyance efficiency. Further, as in the present embodiment, by disposing the impact generating mechanism 400 outside the component holding unit 140, it is not necessary to provide the impact generating mechanism 400 in all the component holding units 140. The configuration can be simplified. In particular, by installing the impact generating mechanism 400 on the pressing member 152 of the upper external biasing device 150c, the lowering operation of the nozzle 142 by the pressing member 152 and the impact generating operation after completion of the lowering can be performed continuously. It becomes possible.

なお、衝撃発生用ピストン４２０の自重落下の時間を更に短縮したい場合は、切替バルブ４４０によって負圧エアの導入を遮断した後に、エア流路４３０及び衝撃発生用シリンダ４１０に負圧エアを残存させないことが好ましい。従って、この切換バルブ４４０を利用して、エア流路４３０内を大気側に開放することが好ましく、より望ましくは図７（ｂ）の点線に示すように、正圧エアを供給する供給源Ｐから、切換バルブ４４０を利用して、負圧エアの遮断と同時に正圧エアを衝撃発生用シリンダ４１０内に供給する。また更に図７（ｂ）の点線で示すように、移動空間４１０ａにバネ４５０を収容しておき、衝撃発生用ピストン４２０を下方に付勢しておくことが好ましい。負圧エアを衝撃発生用ピストン４２０内に導入すると、バネ４５０の付勢力に抗して衝撃発生用ピストン４２０が上昇するが、負圧エアを解除すると、自重に加えてバネ４５０の付勢力によって、衝撃発生用ピストン４２０が素早く落下するので、応答性を高めることができる。更に本実施形態では、移動空間４１０ａの下部の側面に開口４１０ｂを形成して、衝撃発生用ピストン４２０の落下時に、移動空間４１０ａ内のエアが抵抗とならないように排気する構造を例示したが、本発明はこれに限定されない。例えば図７（ｄ）に示すように、押圧部材１５２の下端面に、移動空間４１０ａと連通する連通孔４１０ｃと、この連通孔４１０ｃから放射状の延びる排気スリット４１０ｄを形成することも好ましい。このようにすると、押圧部材１５２の下端面を、被係合部１４４ｃに当接させた状態のまま、排気スリット４１０ｄを介して、移動空間４１０ａ内のエアを排気することができる。なお、特に図示しないが、移動空間４１０ａの内周面又は衝撃発生用ピストン４２０の外周面に、軸方向に延びるスリットを形成しておき、衝撃発生用ピストン４２０が落下する際に、このスリットを介して移動空間４１０ａ内のエアが移動できるので、空気抵抗をより低減することが可能となる。   If it is desired to further reduce the time of dropping the dead weight of the shock generating piston 420, the negative pressure air does not remain in the air flow path 430 and the shock generating cylinder 410 after the switching valve 440 blocks the introduction of the negative pressure air. It is preferable. Therefore, it is preferable to use the switching valve 440 to open the air flow path 430 to the atmosphere side, and more desirably, as shown by the dotted line in FIG. Then, the switching valve 440 is used to supply the positive pressure air into the impact generating cylinder 410 simultaneously with the blocking of the negative pressure air. Further, as indicated by a dotted line in FIG. 7B, it is preferable that the spring 450 is accommodated in the moving space 410a and the impact generating piston 420 is biased downward. When negative pressure air is introduced into the shock generating piston 420, the shock generating piston 420 rises against the biasing force of the spring 450, but when the negative pressure air is released, the biasing force of the spring 450 in addition to its own weight is applied. Since the shock generating piston 420 quickly drops, the responsiveness can be improved. Furthermore, in this embodiment, the opening 410b is formed in the lower side surface of the moving space 410a, and the structure in which the air in the moving space 410a is exhausted so as not to become resistance when the impact generating piston 420 falls is exemplified. The present invention is not limited to this. For example, as shown in FIG. 7D, it is also preferable to form a communication hole 410c communicating with the moving space 410a and an exhaust slit 410d extending radially from the communication hole 410c on the lower end surface of the pressing member 152. In this way, the air in the moving space 410a can be exhausted through the exhaust slit 410d while the lower end surface of the pressing member 152 is in contact with the engaged portion 144c. Although not particularly illustrated, a slit extending in the axial direction is formed on the inner peripheral surface of the moving space 410a or the outer peripheral surface of the shock generating piston 420, and when the shock generating piston 420 falls, the slit is formed. Since the air in the moving space 410a can move through, the air resistance can be further reduced.

また、衝撃発生用ピストン４２０の移動ストロークは、部品１０の重量や材質等によって適宜変更することが好ましい。例えば、衝撃発生用ピストン４２０の金属球体の直径を１ｍｍ以下とするとき、ストロークは、２センチメートル以下が好ましく、より好ましくは１センチメートル以下、望ましくは５ｍｍ以下に設定する。この条件において、移動空間４１０ａ内に正圧のエアを流入させつつ、衝撃発生用ピストン４２０を落下させると、落下時間は０．５秒以下となり、好ましくは０．２秒以下となり、更に望ましくは０．１秒以下とすることができる。従って、図７（ｃ）に示すように、移動空間４１０ａ内にストローク規制部材４６２を配置しておき、このストローク規制部材４６２による規制量を変更することで、衝撃発生用ピストン４２０の移動ストロークを調整できるようになる。なお、ここでは、ストローク規制部材４６２を、衝撃発生用ピストン４２０のの下側に配置する場合を例示しているが、上側に配置しても良い。   Further, it is preferable that the moving stroke of the impact generating piston 420 is appropriately changed depending on the weight, material, and the like of the component 10. For example, when the diameter of the metal sphere of the impact generating piston 420 is 1 mm or less, the stroke is preferably 2 centimeters or less, more preferably 1 centimeter or less, and desirably 5 mm or less. Under this condition, if the impact generating piston 420 is dropped while flowing positive pressure air into the moving space 410a, the dropping time is 0.5 seconds or less, preferably 0.2 seconds or less, and more desirably. It can be 0.1 second or less. Therefore, as shown in FIG. 7C, a stroke restricting member 462 is arranged in the moving space 410a, and the moving stroke of the impact generating piston 420 is changed by changing the restriction amount by the stroke restricting member 462. You can adjust it. Here, the case where the stroke restricting member 462 is disposed below the impact generating piston 420 is illustrated, but it may be disposed on the upper side.

更に、図６及び図７では、作動流体を利用したピストン機構によって、衝撃を発生するようにしたが、例えば図８（ａ）及び（ｂ）に示すように、ソレノイド１４４ｅによって、部品保持ユニット１４０に配置される受圧部材１４４ｄをノックすることで、ノズル１４２に衝撃を付与することもできる。この受圧部材１４４ｄも、被係合部材１４４ｃと同様に、自転軸線Ｊからオフセットさせることが好ましく、固定側のソレノイド１４４ｅを自転軸線Ｊからオフセット配置できるので、上部カメラ１１７ｂによる撮像を可能にする。なお、衝撃発生用ピストン４２０又はソレノイド１４４ｅによる衝撃付与方向は、自転軸線Ｊ方向（鉛直上方又は鉛直下方）であることが好ましく、特に鉛直下方であることが望ましいが、本発明はこれに限定されず、図８（ｂ）の点線で示すように、受圧部材１４４ｄを水平方向からノックしても良く、また、上側外部付勢装置１５０ｃの押圧部材１５２をノックしても良い。   Further, in FIGS. 6 and 7, the impact is generated by the piston mechanism using the working fluid. However, as shown in FIGS. 8A and 8B, for example, the component holding unit 140 is operated by the solenoid 144e. An impact can also be applied to the nozzle 142 by knocking the pressure receiving member 144d disposed in the nozzle. Similarly to the engaged member 144c, the pressure receiving member 144d is preferably offset from the rotation axis J, and the fixed-side solenoid 144e can be offset from the rotation axis J, so that imaging by the upper camera 117b is possible. The direction in which the impact is applied by the impact generating piston 420 or the solenoid 144e is preferably the rotation axis J direction (vertically upward or vertically downward), and particularly preferably vertically downward, but the present invention is not limited to this. First, as shown by the dotted line in FIG. 8B, the pressure receiving member 144d may be knocked from the horizontal direction, or the pressing member 152 of the upper external biasing device 150c may be knocked.

また更に、図６乃至図８では、部品保持ユニット１４０の外部に衝撃発生機構４００を配置する場合を紹介したが、回転テーブル１３０と共に回転する状態、即ちノズル１４２内、ノズル１４２の周囲（部品保持ユニット１４０）、回転テーブル１３０等に配置しても良い。この場合は、各ノズル１４２に対応させて衝撃発生機構４００を配置する。例えば図９（ａ）に示すように、案内機構１４９のベース材１４９ｄに下端ストッパ４６０を配置し、図９（ｂ）に示すように、上側外部付勢装置１５０ｃによって、ノズル１４２が鉛直下方に案内される際の最下点で、自転用ブラケット１４３ｂ（又はノズル１４２）と下端ストッパ４６０を衝突させることもできる。この衝突時の衝撃により、ノズル１４２から部品１０が落下する。なお、図９（ｂ）の点線で示すように、被係合部１４４ｃにストッパを衝突させることもできる。   Furthermore, in FIGS. 6 to 8, the case where the impact generating mechanism 400 is arranged outside the component holding unit 140 has been introduced. The unit 140) may be disposed on the rotary table 130 or the like. In this case, the impact generating mechanism 400 is arranged corresponding to each nozzle 142. For example, as shown in FIG. 9A, a lower end stopper 460 is disposed on the base material 149d of the guide mechanism 149, and as shown in FIG. 9B, the nozzle 142 is moved vertically downward by the upper external biasing device 150c. The rotation bracket 143b (or nozzle 142) and the lower end stopper 460 can collide with each other at the lowest point when being guided. Due to the impact at the time of the collision, the component 10 falls from the nozzle 142. In addition, as shown with the dotted line of FIG.9 (b), a stopper can also be made to collide with the to-be-engaged part 144c.

更に図１０に示すように、ノズル１４２内の吸引通路（案内路）１４２ｂに、衝撃発生機構４００を重畳形成することもできる。具体的には、衝撃発生用シリンダ４１０を負圧エアの吸引通路１４２ｂに重畳形成しておき、その移動空間４１０ａ内に衝撃発生用ピストン４２０を移動自在に配置する。このようにすると、図１０（ａ）に示すように、ノズル１４２によって部品１０の吸着している間は、負圧エアによって衝撃発生用ピストン４２０が上昇位置で待機する。なお、ここでは特に図示しないが、上方の待機位置で、衝撃発生用ピストン４２０が吸引通路１４２ｂを完全に閉鎖しないように、移動空間４１０ａと衝撃発生用ピストン４２０の間に隙間を用意しておくことが好ましい。図１０（ｂ）に示すように、部品１０を収容空間２０に放出するために、吸引通路１４２ｂ内の負圧エアを遮断すると、衝撃発生用ピストン４２０が落下して、ノズル１４２に衝撃を付与する。また、衝撃発生用ピストン４２０が落下すると同時に、移動空間４１０ａ内のエアも押し出されて、ノズル１４２から外部に放出されるので、そのエアによっても部品１０をノズル１４２から離脱させることにつながる。なお、既に述べたように、部品１０が極めて小さい場合は、この放出されるエアが大量過ぎると、収容空間２０から部品１０が飛散する可能性があるので、放出されるエアは極少量にすることが好ましい。従って、衝撃発生用ピストン４２０の移動ストロークは、２センチメートル以下が好ましく、より好ましくは１センチメートル以下、望ましくは５ｍｍ以下に設定する。このストロークを調整するために、図１１（ａ）及び（ｂ）に示すように、負圧エアの吸引通路１４２ｂ内に一対のストッパ４７０を配置しておき、このストッパ４７０に挟まれた空間を、衝撃発生用シリンダ４１０とすることもできる。ストッパ４７０の一方を軸方向に移動させることで、衝撃発生用ピストン４２０の移動ストロークを自在に調整できる。   Furthermore, as shown in FIG. 10, the impact generating mechanism 400 can be superimposed on the suction passage (guide passage) 142 b in the nozzle 142. Specifically, the impact generating cylinder 410 is formed so as to overlap the negative pressure air suction passage 142b, and the impact generating piston 420 is movably disposed in the moving space 410a. In this way, as shown in FIG. 10A, while the component 10 is adsorbed by the nozzle 142, the impact generating piston 420 stands by at the raised position by the negative pressure air. Although not particularly shown here, a clearance is prepared between the moving space 410a and the shock generating piston 420 so that the shock generating piston 420 does not completely close the suction passage 142b at the upper standby position. It is preferable. As shown in FIG. 10B, when the negative pressure air in the suction passage 142b is shut off in order to release the component 10 into the accommodating space 20, the impact generating piston 420 falls and gives an impact to the nozzle 142. To do. At the same time as the impact generating piston 420 is dropped, the air in the moving space 410a is also pushed out and released to the outside from the nozzle 142, so that the component 10 is also detached from the nozzle 142 by the air. As already described, when the component 10 is extremely small, if the amount of air to be released is too large, the component 10 may be scattered from the accommodation space 20, so that the amount of released air is extremely small. It is preferable. Therefore, the moving stroke of the impact generating piston 420 is preferably 2 centimeters or less, more preferably 1 centimeter or less, and desirably 5 mm or less. In order to adjust this stroke, as shown in FIGS. 11A and 11B, a pair of stoppers 470 are arranged in the suction passage 142b for negative pressure air, and a space between the stoppers 470 is formed. Alternatively, the shock generating cylinder 410 may be used. By moving one of the stoppers 470 in the axial direction, the moving stroke of the shock generating piston 420 can be freely adjusted.

更に図１１（ｃ）及び（ｄ）に示すように、ノズル１４２の外周に、円筒状の衝撃発生用シリンダ４１０を配置し、その中にリング状の衝撃発生用ピストン４２０を収容することもできる。この衝撃発生用シリンダ４１０の移動空間４１０ａには、ノズル１４２の吸引通路１４２ｂから分岐したエア流路４３０によって負圧エアが上方から供給される。移動空間４１０ａの下部には、内部のエアを大気側に放出する開口４１０ｂが形成される。この開口４１０ｂによるエアの放出方向は、ノズル１４２の自転軸線Ｊ方向と異なる方向（鉛直下方とは異なる方向）、具体的には水平方向に設定される。従って、図１１（ｃ）の待機状態から、図１１（ｄ）の衝撃発生状態に遷移する際に、衝撃発生用シリンダ４１０の落下によって、開口４１０ｂから水平方向に向かって内部のエアが放出されるので、収容空間２０に搬出される部品１０を飛散させないで済む。なお、図１１（ｄ）の点線に示すように、衝撃発生用ピストン４２０の応答性を高める際には、バネ４５０を利用して、衝撃発生用ピストン４２０を下方向に付勢しても良い。   Furthermore, as shown in FIGS. 11C and 11D, a cylindrical impact generating cylinder 410 can be disposed on the outer periphery of the nozzle 142, and a ring-shaped impact generating piston 420 can be accommodated therein. . Negative pressure air is supplied to the moving space 410 a of the impact generating cylinder 410 from above by an air flow path 430 branched from the suction passage 142 b of the nozzle 142. An opening 410b that discharges internal air to the atmosphere side is formed in the lower portion of the moving space 410a. The direction of air discharge through the opening 410b is set to a direction different from the rotation axis J direction of the nozzle 142 (a direction different from the vertically downward direction), specifically, a horizontal direction. Accordingly, when transitioning from the standby state of FIG. 11C to the impact generation state of FIG. 11D, the internal air is released from the opening 410b in the horizontal direction due to the drop of the impact generation cylinder 410. Therefore, it is not necessary to scatter the component 10 carried out to the storage space 20. As shown by the dotted line in FIG. 11D, when improving the responsiveness of the impact generating piston 420, the impact generating piston 420 may be urged downward using the spring 450. .

次に、この搬送装置１０１の第一搬送領域１０１ａで同時並行的に進められる動作を作業領域単位で説明する。   Next, an operation that is simultaneously performed in the first transfer area 101a of the transfer apparatus 101 will be described in units of work areas.

＜供給領域１０３の動作＞図１２（ａ）に示すように、部品供給装置１１０は、上部カメラ１１７ａで複数の部品１０を撮像し、その中の特定の部品１０について、Ｘ−Ｙ平面内で移動させて所定位置に配置する。なお、この際に、部品１０のθ回転方向の誤差も算出しておく。部品供給装置１１０によって、特定の部品１０が供給領域１０３に位置決めされた後（又は略同時）に、回転テーブル１３０が反時計回りに回転し、部品保持ユニット１４０のノズル１４２が、部品１０に対向する位置まで移動する。回転テーブル１３０は、この状態で、所定の時間静止する。回転テーブル１３０が静止している間に、上側外部付勢装置１５０ａが部品保持ユニット１４０を押圧して、ノズル１４２を供給領域１０３に配置された部品１０に近接させる。そして、ノズル１４２が部品１０を吸着して保持する。その後、上側外部付勢装置１５０ａによる押圧を解除する（又は押圧力を緩める）ことで、ノズル１４２が上昇する。その後、部品１０のθ回転方向の誤差を解消すべく、ノズル１４２を自転軸線Ｊ周りに回転させて姿勢を整える（図示省略）   <Operation of Supply Area 103> As shown in FIG. 12A, the component supply apparatus 110 images a plurality of components 10 with the upper camera 117a, and the specific components 10 in the components 10 are within the XY plane. Move it and place it at a predetermined position. At this time, an error in the θ rotation direction of the component 10 is also calculated. After the specific component 10 is positioned in the supply region 103 by the component supply device 110 (or substantially simultaneously), the rotary table 130 rotates counterclockwise, and the nozzle 142 of the component holding unit 140 faces the component 10. Move to the position you want. In this state, the rotary table 130 is stationary for a predetermined time. While the turntable 130 is stationary, the upper external biasing device 150 a presses the component holding unit 140 to bring the nozzle 142 close to the component 10 arranged in the supply region 103. The nozzle 142 sucks and holds the component 10. Thereafter, the nozzle 142 is lifted by releasing the pressing by the upper external biasing device 150a (or loosening the pressing force). Thereafter, in order to eliminate the error in the θ rotation direction of the component 10, the nozzle 142 is rotated around the rotation axis J to adjust the posture (not shown).

＜外観検査領域１０７の動作＞図１２（ｂ）に示すように、回転テーブル１３０は、部品１０の自転軸線Ｊ周りの姿勢を整えた上で、外観検査領域１０７に進入する。回転テーブル１３０が静止している間に、外観検査領域１０７では、上側外部付勢装置１５０ｂによって部品保持ユニット１４０を押圧して、ノズル１４２を外観検査装置２００内に下降させる。外観検査装置２００では、部品１０の五つの面（四つの側面と下面）の傷や欠損、寸法誤差等を検査しつつ、再度、部品１０の保持状態（姿勢）を解析して、その後、ノズル１４２を自転軸線Ｊ周りに回転させて部品１０の姿勢を微調整する。なお、部品１０に欠陥があった場合や、部品１０の保持姿勢が修正不能なレベルにある場合、後述する収容空間２０に搬出することなく、廃棄領域１０９において、部品１０を廃棄トレイ３００に放出する。   <Operation of Appearance Inspection Area 107> As shown in FIG. 12B, the rotary table 130 enters the appearance inspection area 107 after adjusting the posture of the component 10 around the rotation axis J. While the turntable 130 is stationary, in the appearance inspection area 107, the upper external urging device 150b presses the component holding unit 140 to lower the nozzle 142 into the appearance inspection device 200. The appearance inspection apparatus 200 analyzes the holding state (posture) of the component 10 again while inspecting scratches, defects, dimensional errors, and the like on the five surfaces (four side surfaces and the lower surface) of the component 10, and then nozzles 142 is rotated about the rotation axis J to finely adjust the posture of the component 10. If the component 10 is defective or if the holding posture of the component 10 is at an uncorrectable level, the component 10 is discharged to the disposal tray 300 in the disposal area 109 without being carried out to the storage space 20 described later. To do.

＜搬出領域１０５の動作＞図１２（ｃ）に示すように、搬出領域１０５では、ノズル１４２が進入する前に、上部カメラ１１７ｂによって搬出領域１０５で待機する収容空間２０の状態を画像認識する。この画像認識結果と、図１２（ｂ）で取得した部品１０の姿勢との差異を解析し、ノズル１４２を自転軸Ｊ周りに回転させると共に、収容空間２０のＸ−Ｙ平面位置を、整列トレイ移動手段１７２によって調整して、両者を一致させる。なお、上部カメラ１１７ｂによる画像認識は、部品１０が搬出領域１０５に到着する前に完了していればよい。   <Operation of Unloading Area 105> As shown in FIG. 12C, in the unloading area 105, before the nozzle 142 enters, the upper camera 117b recognizes an image of the state of the storage space 20 waiting in the unloading area 105. The difference between the image recognition result and the posture of the component 10 acquired in FIG. 12B is analyzed, the nozzle 142 is rotated around the rotation axis J, and the XY plane position of the accommodation space 20 is set to the alignment tray. Adjustment is made by the moving means 172 so that they coincide. Note that image recognition by the upper camera 117b may be completed before the component 10 arrives at the carry-out area 105.

部品保持ユニット１４０に保持されている部品１０が搬出領域１０５に到着すると、回転テーブル１３０が静止し、その間に、上側外部付勢装置１５０ｃが、部品保持ユニット１４０を押圧する。これにより、部品保持ユニット１４０のノズル１４２が下降して、部品１０を搬出領域１０５で待機する収容空間２０内に収納する。この際に、上側外部付勢装置１５０ｃに内蔵されている衝撃発生機構４００によって、ノズル１４２に衝撃を付与して、ノズル１４２から部品１０を離脱させる。   When the component 10 held by the component holding unit 140 arrives at the carry-out area 105, the rotary table 130 stops, and the upper external biasing device 150c presses the component holding unit 140 during that time. As a result, the nozzle 142 of the component holding unit 140 is lowered, and the component 10 is stored in the storage space 20 waiting in the carry-out area 105. At this time, an impact is applied to the nozzle 142 by the impact generating mechanism 400 built in the upper external biasing device 150 c, and the component 10 is detached from the nozzle 142.

更に、ノズル１４２を上昇させて搬出領域１０５から下流側に移動させた後、上部カメラ１１７ｂによって、収容空間２０に載置された部品１０の上面の状態を画像認識して、上面のみの外観検査を行う。上面の外観検査で欠陥が判明した場合は、回転テーブル１３０を逆回転して、ノズル１４２によって部品を再度吸着保持し廃棄領域１０９へ搬送するか、上流から移動してくる次のノズル１４２を利用して、欠陥となる部品１０を廃棄領域１０９へ搬送するか、或いは、欠陥情報をメモリに記憶しておき、整列トレイ１７１を交換するタイミングで、ノズル１４２を利用して収容空間２０内の欠陥部品１０をまとめて取り出して廃棄領域１０９に廃棄しても良い。   Further, after the nozzle 142 is raised and moved downstream from the carry-out area 105, the upper camera 117b recognizes the state of the upper surface of the component 10 placed in the accommodation space 20 and visually inspects only the upper surface. I do. If a defect is found by visual inspection of the upper surface, the rotary table 130 is rotated in the reverse direction, and the components are sucked and held again by the nozzle 142 and conveyed to the disposal area 109, or the next nozzle 142 that moves from the upstream side is used. Then, the defective part 10 is transported to the disposal area 109, or the defect information is stored in the memory, and the defect in the accommodation space 20 is utilized by using the nozzle 142 at the timing when the alignment tray 171 is replaced. The parts 10 may be taken out together and discarded in the discard area 109.

＜廃棄領域１０９の動作＞図１２（ｄ）に示すように、廃棄領域１０９に進入したノズル１４２は、姿勢や位置の制御が不可能と判断される部品１０を廃棄トレイ３００に放出する。なお、特に図示しないが、廃棄領域１０９に吸引装置を配置しておき、ノズル１４２の先端を吸引することによって、部品１０を回収することが好ましい。このようにすると、ノズル１４２の周囲や吸引通路１４２ｂに付着したゴミも同時に回収できて好適である。   <Operation of Disposal Area 109> As shown in FIG. 12 (d), the nozzle 142 that has entered the discard area 109 releases the component 10 that is determined to be unable to be controlled in posture and position to the disposal tray 300. Although not particularly illustrated, it is preferable to collect the component 10 by arranging a suction device in the disposal area 109 and sucking the tip of the nozzle 142. This is preferable because dust attached to the periphery of the nozzle 142 and the suction passage 142b can be collected at the same time.

ここでは第一搬送領域１０１ａの作業工程を説明したが、第二から第四搬送領域１０１ｂ、１０１ｃ、１０１ｄにおいても、上記動作が併行して行われる。従って、合計四か所において搬入、搬出が同時並行的に行われるので、搬送効率を飛躍的に高めることができる。   Here, the work process of the first transfer area 101a has been described, but the above operation is also performed in the second to fourth transfer areas 101b, 101c, and 101d. Therefore, since the loading and unloading are performed simultaneously in a total of four places, the conveyance efficiency can be dramatically increased.

なお、図２及び図３に示すように、回転テーブル１３０及び部品保持ユニット１４０の外周に沿って、保護カバー１０２ｂが配置されており、作業者がノズル１４１や回転テーブル１３０に触れることを防止する。更に、第一乃至第四搬送領域１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃ、１０１ｄの境界にも、仕切り壁１０２ｃが設けられており、搬送中の他の搬送領域における、部品供給装置１１０や部品搬出装置１７０に作業者が触れることを防止する。また、基台１０２の外周には、第一乃至第四搬送領域１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃ、１０１ｄ毎に独立した開閉ドア１０２ｄが設けられる。従って、保護カバー１０２ｂと仕切り壁１０２ｃと開閉ドア１０２ｄによって、第一乃至第四搬送領域１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃ、１０１ｄの作業空間が独立した状態となっている。   As shown in FIGS. 2 and 3, a protective cover 102 b is disposed along the outer periphery of the rotary table 130 and the component holding unit 140 to prevent an operator from touching the nozzle 141 or the rotary table 130. . Furthermore, a partition wall 102c is also provided at the boundary between the first to fourth transfer areas 101a, 101b, 101c, and 101d, and the parts supply device 110 and the component carry-out apparatus 170 can be operated in other transfer areas during transfer. Prevent people from touching. In addition, on the outer periphery of the base 102, an independent open / close door 102d is provided for each of the first to fourth transfer areas 101a, 101b, 101c, and 101d. Therefore, the work spaces of the first to fourth transfer areas 101a, 101b, 101c, and 101d are independent by the protective cover 102b, the partition wall 102c, and the open / close door 102d.

従って、例えば、第一搬送領域１０１ａにおいて、部品供給装置１１０の載置トレイ１１５内の部品１０が空になった場合は、回転テーブル１３０の回転は継続しながらも、載置トレイ１１５を保護カバー１０２ｂよりも外側の空間に移動させてから、第一搬送領域１０１ａのみの搬送動作を全て中断する。その後、作業者は、第一搬送領域１０１ａの開閉ドア１０２ｄを空けて、載置トレイ１１５に部品１０を供給するか、部品１０を載置した新たな載置トレイ１１５に交換する。この間においても、残りの第二乃至第四搬送領域１０１ｂ、１０１ｃ、１０１ｄでは、搬送動作を継続することが可能となる。これは、部品搬出装置１７０の整列トレイ１７１を交換する場合も同様である。   Therefore, for example, in the first conveyance area 101a, when the component 10 in the mounting tray 115 of the component supply device 110 becomes empty, the rotation of the rotary table 130 is continued, but the mounting tray 115 is protected by the protective cover. After moving to a space outside 102b, all the transfer operations of only the first transfer region 101a are interrupted. Thereafter, the operator opens the opening / closing door 102d of the first transport area 101a and supplies the component 10 to the mounting tray 115 or replaces it with a new mounting tray 115 on which the component 10 is mounted. Also during this time, the transport operation can be continued in the remaining second to fourth transport regions 101b, 101c, and 101d. The same applies to the case where the alignment tray 171 of the component carry-out device 170 is replaced.

本実施形態の搬送装置１０１によれば、回転テーブル１３０の周方向に配置される複数のノズル１４２の各々を、自転軸線Ｊを中心として自転駆動するノズル自転駆動手段１４３と、ノズル１４２の各々を、自転軸線Ｊに沿って案内する案内機構１４９を備える。また、搬送装置１０１には、ノズル１４２の公転軌跡に沿って、複数（四か所）の部品搬送領域１０１ａ〜１０１ｄが形成される。また、複数の部品搬送領域１０１ａ〜１０１ｄの各々は、部品供給装置１１０と、公転軌跡の下流側に配置される部品搬出装置１７０を有しており、回転テーブル１３０によって公転される複数のノズル１４２は、全ての部品搬送領域１０１ａ〜１０１ｄにおける部品供給装置１１０及び部品搬出装置１７０に同時に存在し得ることにより、部品１０の供給動作と搬出動作を同時並行させる。従って、一台の搬送装置１０１によって、実質、複数台分の搬送作業を実現することが可能となり、結果、搬送効率を飛躍的に高めることが可能となる。   According to the transport apparatus 101 of the present embodiment, the nozzle rotation driving means 143 that rotates each of the plurality of nozzles 142 arranged in the circumferential direction of the rotary table 130 around the rotation axis J, and each of the nozzles 142 are rotated. A guide mechanism 149 for guiding along the rotation axis J is provided. Further, a plurality (four places) of component conveying regions 101 a to 101 d are formed in the conveying device 101 along the revolution trajectory of the nozzle 142. Each of the plurality of component conveyance areas 101 a to 101 d includes a component supply device 110 and a component carry-out device 170 disposed on the downstream side of the revolution locus, and a plurality of nozzles 142 revolved by the rotary table 130. Can simultaneously exist in the component supply device 110 and the component carry-out device 170 in all the component conveyance areas 101a to 101d, thereby causing the supply operation and the carry-out operation of the component 10 to be performed in parallel. Accordingly, it is possible to substantially realize a plurality of transport operations by one transport device 101, and as a result, it is possible to dramatically increase the transport efficiency.

また、本実施形態のノズル１４２は、回転テーブル１３０の周方向に少なくとも六個配設され、部品搬送領域は少なくとも三か所形成されるので、搬送効率を三倍以上に高めることが可能となる。なお、本実施形態のように、ノズル１４２を八個以上（ここでは十六個）設けるようにし、部品搬送領域を少なくとも四か所に形成すれば、搬送効率を四倍以上に高めることができる。   In addition, since at least six nozzles 142 are arranged in the circumferential direction of the rotary table 130 and at least three parts conveyance areas are formed, the conveyance efficiency can be increased three times or more. . If eight or more nozzles 142 (here, sixteen nozzles) are provided as in the present embodiment and the component conveyance regions are formed in at least four locations, the conveyance efficiency can be increased by a factor of four or more. .

更に本搬送装置１０１では、各部品搬送領域１０１ａ〜１０１ｄにおいて、部品供給装置１１０と部品搬出装置１７０の間に、部品の外観を検査する外観検査装置２００を配置し、供給時間又は搬出時間を有効活用して、同時並行的に部品１０の外観検査動作を行うことが可能となるので、外観検査を兼ねることが可能となり、部品の組立効率を高めることが可能となっている。   Further, in the present conveying apparatus 101, in each of the component conveying areas 101a to 101d, an appearance inspection apparatus 200 for inspecting the appearance of components is arranged between the component supply apparatus 110 and the component unloading apparatus 170, and the supply time or unloading time is effective. By utilizing this, it is possible to perform the appearance inspection operation of the component 10 in parallel, so that it can also serve as the appearance inspection, and the assembly efficiency of the component can be increased.

特に本搬送装置１０１の外観検査装置２００は、部品進入口２０２ａの周囲四か所に映像投影部材１０６を配置して、部品進入口２０２ａから進入させた部品１０の四か所の側面の投影像と、部品１０の底面を、下部カメラ２１０でまとめて撮像している。従って、部品１０の保持動作となるノズル１４０の上下動作を有効活用して、部品１０の供給時間又は搬出時間という限られた時間の中で、部品１０の五面をまとめて外観検査できる。更に、最後には、部品搬出装置１７０に移載した部品１０の上面を、上部カメラ１１７ｂで撮像して外観検査を行うので、部品１０の六面検査を実現できる。   In particular, the appearance inspection apparatus 200 of the transport device 101 has the image projection members 106 arranged at four locations around the component entrance 202a, and the projected images of the four side surfaces of the component 10 entered from the component entrance 202a. Then, the bottom surface of the component 10 is collectively imaged by the lower camera 210. Therefore, by effectively utilizing the vertical movement of the nozzle 140 which is the holding operation of the component 10, it is possible to collectively inspect the appearance of the five surfaces of the component 10 within a limited time such as the supply time or the unloading time of the component 10. Furthermore, finally, since the upper surface of the component 10 transferred to the component carry-out device 170 is imaged by the upper camera 117b and the appearance inspection is performed, the six-surface inspection of the component 10 can be realized.

なお、本実施形態に係る搬送装置１０１は、１６個の部品保持ユニット１４０を備えているが、本発明はこれに限定されるものではなく、その他の個数（例えば４個、６個、８個、１２個、２０個）を備えていても良い。   Although the transport apparatus 101 according to the present embodiment includes 16 component holding units 140, the present invention is not limited to this, and other numbers (for example, 4, 6, and 8). , 12 and 20).

また、搬送装置１０１は、回転テーブル１３０を、運転位置において回転の中心軸が上下方向（鉛直方向）となるように配設されているが、これに限定されるものではなく、運転位置における回転の中心軸が水平方向や斜め方向となるように配設されるものであってもよい。また、回転テーブル１３０は、本実施形態に示される形状以外の形状であってもよい。   Further, in the transport device 101, the rotary table 130 is disposed so that the central axis of rotation is in the vertical direction (vertical direction) at the operating position, but the present invention is not limited to this. The central axis may be arranged in the horizontal direction or the oblique direction. Further, the rotary table 130 may have a shape other than the shape shown in the present embodiment.

さらに、搬送装置１０１は、各部が中央制御装置１９０によって統括的に制御される構成であるが、これに限定されるものではなく、個別に専用の制御装置を設けるようにしてもよい。   Further, the transport device 101 has a configuration in which each unit is centrally controlled by the central control device 190, but is not limited to this, and a dedicated control device may be provided individually.

そして、搬送装置１０１の固定テーブル１２０は、基台１０２に配設されるものに限定されるものではなく、他の部材に配設されるものや、独立して配設されるものであってもよい。また、回転テーブル１３０は、基台１０２上に回転自在に立設される場合を例示したが、本発明はこれに限定されず、上方のアーム部材等によって吊り下げられても良い。   And the fixed table 120 of the conveying apparatus 101 is not limited to what is arrange | positioned at the base 102, What is arrange | positioned at another member, or is provided independently. Also good. Moreover, although the case where the rotary table 130 is erected rotatably on the base 102 is illustrated, the present invention is not limited to this, and may be suspended by an upper arm member or the like.

また、各作業領域は、本実施形態において示した位置に限定されるものではなく、他の位置に配置するようにしてもよい。さらに、部品の加工組立や検査等を行う作業工程を搬送途中に設けるようにしてもよい。   Each work area is not limited to the position shown in the present embodiment, and may be arranged at another position. Further, a work process for processing and assembling parts, inspecting, and the like may be provided during conveyance.

そして、回転テーブル１３０の回転は、２２．５度ごとに静止する間欠回転に限定されるものではなく、部品保持ユニット１４０が、各作業領域に対向する位置にある場合にも、回転テーブル１３０を低速で回転させ続けるようにしてもよい。この場合、部品供給装置１１０と部品搬出装置１７０は、供給領域１０３や搬出領域１０５において、回転テーブル１３０と同方向且つ同速度で移動するように回転する回転テーブルとすることが好ましい。つまり、供給領域１０３では、回転テーブル１３０に配置されるノズル１４２は、自身と同方向且つ同速度で移動する部品供給装置１１０に供給される部品１０を、回転中に吸着することができる。また、搬出領域１０５では、部品保持ユニット１４０は、ノズル１４２に吸着している部品１０を、部品１０と同方向且つ同速度で移動する部品搬出装置１７０に供給される収容空間２０に、回転中に搬出することができる。   The rotation of the rotary table 130 is not limited to intermittent rotation that stops every 22.5 degrees, and the rotary table 130 can be moved even when the component holding unit 140 is in a position facing each work area. You may make it continue rotating at low speed. In this case, the component supply device 110 and the component carry-out device 170 are preferably rotary tables that rotate so as to move in the same direction and at the same speed as the rotary table 130 in the supply region 103 and the carry-out region 105. That is, in the supply area 103, the nozzle 142 arranged on the turntable 130 can suck the component 10 supplied to the component supply device 110 that moves in the same direction and at the same speed as the rotation table 130 during rotation. In the carry-out area 105, the component holding unit 140 is rotating into the accommodation space 20 supplied to the component carry-out device 170 that moves the component 10 adsorbed by the nozzle 142 in the same direction and at the same speed as the component 10. Can be carried out to

更に、上記搬送装置では、軸方向駆動手段が、部品保持ユニットの外部に配置される場合を例示したが、本発明はこれに限定されず、各部品保持ユニットに、軸方向駆動手段を配置しても良い。例えば、案内機構１４９を直動モータとすれば、案内機構と軸方向駆動手段を兼ねることも可能である。   Furthermore, although the case where the axial driving means is arranged outside the component holding unit has been illustrated in the above-described transport apparatus, the present invention is not limited to this, and the axial driving means is arranged in each component holding unit. May be. For example, if the guide mechanism 149 is a linear motor, the guide mechanism and the axial driving means can be used as well.

また、繊維や砥石等によって形成される清掃面を有し、ノズルの先端と当接して、付着したゴミ等を定期的に拭き上げる清掃装置を備えても良い。   In addition, a cleaning device may be provided that has a cleaning surface formed of fibers, a grindstone, or the like, and abuts against the tip of the nozzle to periodically wipe off adhering dust.

また、本発明の搬送装置塔は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。   In addition, the transfer device tower of the present invention is not limited to the above-described embodiment, and it is needless to say that various changes can be made without departing from the gist of the present invention.

本発明は、電子部品の製造分野で幅広く利用することが出来る。 The present invention can be widely used in the field of manufacturing electronic components.

１０１ 搬送装置
１０ 部品
２０ 収容空間
１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃ、１０１ｄ 搬送領域
１１０ 部品供給装置
１１７ａ、１１７ｂ 上部カメラ
１３０ 回転テーブル
１４０ 部品保持ユニット
１４３ ノズル自転駆動手段
１４９ 案内機構
１７０ 部品搬出装置
２００ 外観検査装置
４００ 衝撃発生機構 DESCRIPTION OF SYMBOLS 101 Conveyance apparatus 10 Parts 20 Accommodating space 101a, 101b, 101c, 101d Conveyance area 110 Parts supply apparatus 117a, 117b Upper camera 130 Rotary table 140 Parts holding unit 143 Nozzle rotation driving means 149 Guide mechanism 170 Parts unloading apparatus 200 Appearance inspection apparatus 400 Shock generation mechanism

Claims (18)

回転軸線を中心に回転するベース部材と、
前記ベース部材に対して周方向に沿って複数配設されて前記回転軸線を中心に公転移動し、部品を保持する保持具と、
複数の前記保持具の各々を、吸着方向に沿う自転軸線を中心として自転駆動する保持具自転駆動手段と、
複数の前記保持具の各々を、前記自転軸線に沿って案内する案内機構と、を備え、
前記保持具の公転軌跡に沿って該公転軌跡を複数に分割することにより、複数の部品搬送領域が形成されており、
複数の前記部品搬送領域の各々は、
前記部品を前記保持具に供給する部品供給装置と、
前記部品供給装置よりも前記公転軌跡の下流側に配置されて、前記保持具から前記部品を受け取って搬出する部品搬出装置と、を有しており、
前記ベース部材が回転することで、前記保持具が、複数の前記部品搬送領域のそれぞれで、前記部品供給装置から前記部品搬出装置まで前記部品を移送し、
前記ベース部材によって公転される複数の前記保持具は、複数の前記部品搬送領域に対応する複数の前記部品供給装置及び複数の前記部品搬出装置に同時に存在し得ることにより、複数の前記部品の供給動作と、複数の前記部品の搬出動作と、を同時並行させることを特徴とする、
搬送装置。 A base member that rotates about a rotation axis;
A plurality of holders disposed around the base member along the circumferential direction, revolving around the rotation axis, and holding parts;
A holder rotation driving means for rotating each of the plurality of the holders around a rotation axis along the suction direction;
A guide mechanism for guiding each of the plurality of holders along the rotation axis,
By dividing the revolution trajectory into a plurality along the revolution trajectory of the holder , a plurality of component conveyance areas are formed,
Each of the plurality of component conveyance areas is
A component supply device for supplying the component to the holder;
A component unloading device that is disposed on the downstream side of the revolving trajectory than the component supply device, and receives and unloads the component from the holder;
When the base member rotates, the holder transfers the components from the component supply device to the component carry-out device in each of the plurality of component conveyance regions,
The plurality of the holders revolved by the base member can be simultaneously present in the plurality of component supply devices and the plurality of component carry-out devices corresponding to the plurality of component conveyance regions , thereby supplying a plurality of the components. The operation and the unloading operation of a plurality of the parts are performed in parallel,
Conveying device. 前記保持具は、前記ベース部材の周方向に少なくとも六個配設され、
前記部品搬送領域は、少なくとも三か所形成され、
前記六個の前記保持具は、前記三か所の前記部品搬送領域の前記部品供給装置及び前記部品搬出装置に同時に存在し得ることを特徴とする、
請求項１に記載の搬送装置。 At least six of the holders are arranged in the circumferential direction of the base member,
The parts conveyance area is formed in at least three places,
The six holders may be simultaneously present in the component supply device and the component carry-out device in the three parts conveyance areas,
The transport apparatus according to claim 1. 前記保持具は、前記ベース部材の周方向に少なくとも八個配設され、
前記部品搬送領域は、少なくとも四か所形成され、
前記八個の前記保持具は、前記四か所の前記部品搬送領域の前記部品供給装置及び前記部品搬出装置に同時に存在し得ることを特徴とする、
請求項２に記載の搬送装置。 At least eight of the holders are arranged in the circumferential direction of the base member,
The parts conveyance area is formed in at least four places,
The eight holders may be present at the same time in the component supply device and the component carry-out device in the four parts conveyance areas,
The transport apparatus according to claim 2. 前記部品搬送領域は、
前記部品供給装置と前記部品搬出装置の間に、前記部品の外観を検査する外観検査装置を有し、
前記保持具は、前記部品供給装置、前記外観検査装置及び前記部品搬出装置に同時に存在することにより、前記部品の前記供給動作と、外観検査動作と、前記搬出動作と、を同時並行させることを特徴とする、
請求項１乃至３のいずれかに記載の搬送装置。 The parts conveyance area is
Between the component supply device and the component carry-out device, there is an appearance inspection device that inspects the appearance of the component,
The holding tool simultaneously exists in the component supply device, the appearance inspection device, and the component carry-out device, thereby causing the supply operation of the component, the appearance inspection operation, and the carry-out operation to be simultaneously performed in parallel. Features
The conveyance apparatus in any one of Claims 1 thru | or 3. 前記外観検査装置は、
前記部品が前記自転軸線方向に進入する部品進入口と、
前記部品進入口の周囲四か所に配置されて、前記部品進入口から進入した前記部品の四か所の側面の像を、前記自転軸線方向に投影する映像投影部材と、
前記映像投影部材による前記側面の投影像の投映方向に配置されて、前記四か所の側面の前記投影像、及び前記部品の底面をまとめて撮像する五面撮像手段と、
を備えることを特徴とする、
請求項４に記載の搬送装置。 The appearance inspection apparatus is:
A component entrance into which the component enters in the direction of the rotation axis;
Video projection members that are arranged at four locations around the component entrance and project images of side surfaces of the four portions of the component that have entered from the component entrance in the direction of the rotation axis,
Five-plane imaging means arranged in the projection direction of the projected image of the side surface by the video projection member, and collectively imaging the projected images of the four side surfaces and the bottom surface of the component;
Characterized by comprising,
The transport apparatus according to claim 4. 前記部品搬出装置上に配置されて、前記部品搬出装置が前記保持具から受け取った前記部品の上面を撮像する上面撮像手段を備えることを特徴とする、
請求項１乃至５のいずれかに記載の搬送装置。 It is disposed on the component unloading device, and the component unloading device includes an upper surface imaging unit that images an upper surface of the component received from the holder.
The conveyance apparatus in any one of Claims 1 thru | or 5. 前記保持具の公転軌跡の半径方向外側には、作業者が前記保持具に触れることを防止する保護カバーが配置されており、
複数の前記部品搬送領域のいずれかにおいて、前記供給動作と前記搬出動作を休止させる間も、前記ベース部材を回転させることによって、残りの前記部品搬送領域における前記供給動作と前記搬出動作を継続することを特徴とする、
請求項１乃至６のいずれかに記載の搬送装置。 A protective cover for preventing an operator from touching the holding tool is arranged on the outer side in the radial direction of the revolving trajectory of the holding tool,
While the supply operation and the carry-out operation are suspended in any of the plurality of component transfer regions, the supply operation and the carry-out operation in the remaining component transfer region are continued by rotating the base member. It is characterized by
The conveyance apparatus in any one of Claims 1 thru | or 6. 前記部品搬出装置は、一対のテープの間に前記部品を受け入れてシールするテーピング装置であることを特徴とする、
請求項１乃至７のいずれかに記載の搬送装置。 The component unloading device is a taping device that receives and seals the component between a pair of tapes,
The conveyance apparatus in any one of Claims 1 thru | or 7. 前記部品搬出装置上に存在する前記保持具が、前記部品搬出装置側に前記部品を放出するタイミングで、前記保持具に衝撃を付与する衝撃発生機構を備えることを特徴とする、
請求項１乃至８のいずれかに記載の搬送装置。 The holding tool present on the component unloading device includes an impact generating mechanism that applies an impact to the holder at a timing of releasing the component to the component unloading device.
The conveyance apparatus in any one of Claims 1 thru | or 8. 前記衝撃発生機構は、衝撃発生用シリンダと、前記衝撃発生用シリンダ内に往復移動自在に収容される衝撃発生用ピストンと、を備えており、
前記衝撃発生用シリンダに対して作動流体を流入及び流出させることで前記衝撃発生用ピストンを移動させることで、前記保持具に衝撃を付与することを特徴とする、
請求項９に記載の搬送装置。 The impact generating mechanism includes an impact generating cylinder and an impact generating piston accommodated in the impact generating cylinder so as to freely reciprocate;
An impact is applied to the holder by moving the impact generating piston by flowing a working fluid into and out of the impact generating cylinder.
The transport apparatus according to claim 9. 前記衝撃発生機構は、前記保持具、該保持具の周囲及び前記ベース部材のいずれかに設置されることを特徴とする、
請求項９又は１０に記載の搬送装置。 The impact generating mechanism is installed in any one of the holder, the periphery of the holder, and the base member,
The transport apparatus according to claim 9 or 10. 前記保持具は、エアの負圧によって前記部品を吸着保持するノズルであり、
前記衝撃発生機構の作動流体として、前記エアを兼用することを特徴とする、
請求項９乃至１１のいずれかに記載の搬送装置。 The holder is a nozzle that sucks and holds the component by a negative pressure of air,
As the working fluid of the impact generating mechanism, the air is also used,
The transport apparatus according to claim 9. 前記保持具は、エアの負圧によって前記部品を吸着保持するノズルであり、
前記衝撃発生機構は、
前記ノズルの内部に形成される前記エアの案内路に重畳形成される、前記衝撃発生用シリンダと、
前記衝撃発生用シリンダ内に収容されて、前記エアの負圧によって往復移動自在に設けられた、衝撃発生用ピストンと、を備えており、
前記エアの負圧を解除した際の前記衝撃発生ピストンの移動によって、前記ノズルに衝撃を付与することを特徴とする、
請求項９に記載の搬送装置。 The holder is a nozzle that sucks and holds the component by a negative pressure of air,
The impact generating mechanism is
The impact generating cylinder formed to be superimposed on the air guide path formed inside the nozzle;
An impact generating piston housed in the impact generating cylinder and reciprocally moved by the negative pressure of the air ;
The impact is imparted to the nozzle by the movement of the impact generating piston when the negative pressure of the air is released,
The transport apparatus according to claim 9. 前記保持具は、エアの負圧によって前記部品を吸着保持するノズルであり、
前記衝撃発生機構は、
前記ノズルの周囲に配置されて、前記エアの負圧が導入される前記衝撃発生用シリンダと、
前記衝撃発生用シリンダ内に収容されて、前記エアの負圧によって往復移動自在に設けられた、衝撃発生用ピストンと、を備えており、
前記エアの負圧を解除した際の前記衝撃発生ピストンの移動によって、前記ノズルに衝撃を付与することを特徴とする、
請求項９に記載の搬送装置。 The holder is a nozzle that sucks and holds the component by a negative pressure of air,
The impact generating mechanism is
The impact generating cylinder, which is arranged around the nozzle and into which the negative pressure of the air is introduced;
An impact generating piston housed in the impact generating cylinder and reciprocally moved by the negative pressure of the air ;
The impact is imparted to the nozzle by the movement of the impact generating piston when the negative pressure of the air is released,
The transport apparatus according to claim 9. 前記衝撃発生用シリンダには、内部のエアを大気側に放出する開口が形成され、
前記開口による前記エアの放出方向が、前記ノズルの前記自転軸線方向と異なる方向に設定されることを特徴とする、
請求項１４に記載の搬送装置。 The impact generating cylinder is formed with an opening for releasing internal air to the atmosphere side,
The air discharge direction by the opening is set in a direction different from the rotation axis direction of the nozzle,
The transport apparatus according to claim 14. 前記保持具の前記自転軸線からオフセットされると共に前記案内機構によって前記保持具と共に案内される被係合部と、
前記被係合部と係合することで、前記自転軸線方向に前記保持具を駆動する自転軸方向駆動手段と、を備え、
前記衝撃発生機構は、前記自転軸方向駆動手段に設置されることを特徴とする、
請求項９又は１０に記載の搬送装置。 An engaged portion that is offset from the rotation axis of the holder and guided by the guide mechanism together with the holder;
A rotation axis direction driving means for driving the holder in the rotation axis direction by engaging with the engaged portion;
The impact generating mechanism is installed in the rotation axis direction driving means,
The transport apparatus according to claim 9 or 10. 前記自転軸方向駆動手段は、前記ベース部材から離反した位置に固定配置されており、
前記自転軸方向駆動手段は、前記ベース部材と共に回転する複数の前記保持具を、前記自転軸線方向に駆動することを特徴とする、
請求項１６に記載の搬送装置。 The rotation axis direction driving means is fixedly arranged at a position away from the base member,
The rotation axis direction drive means drives the plurality of holders rotating together with the base member in the rotation axis direction.
The transport apparatus according to claim 16. 回転軸線を中心に回転するベース部材に対して周方向に沿って複数配設されて保持具によって部品を保持し、
前記保持具を、前記回転軸線を中心に公転移動させると同時に、複数の前記保持具の各々を、吸着方向に沿う自転軸線を中心として自転させるようにし、
複数の前記保持具の各々を、前記自転軸線に沿って案内し、
前記保持具の公転軌跡に沿って該公転軌跡を複数に分割して、複数の部品搬送領域を形成し、
複数の前記部品搬送領域の各々では、
前記部品を前記保持具に供給する部品供給工程と、
前記部品供給工程よりも前記公転軌跡の下流側に配置されて、前記保持具から前記部品を受け取って搬出する部品搬出工程と、
前記ベース部材が回転することで、前記保持具が、複数の前記部品搬送領域のそれぞれで前記部品供給装置から前記部品搬出装置まで前記部品を移送する部品移送工程と、を行うようにし、
前記ベース部材によって公転される複数の前記保持具が、複数の前記部品搬送領域に対応する複数の前記部品供給工程及び複数の前記部品搬出工程に同時に存在し得ることにより、複数の前記部品の供給動作と、複数の前記部品の搬出動作と、を同時進行することを特徴とする、
搬送方法。 A plurality of components are arranged along the circumferential direction with respect to the base member that rotates around the rotation axis, and the components are held by the holder.
The holder is revolved around the rotation axis, and at the same time, each of the plurality of holders is rotated around a rotation axis along the suction direction,
Guiding each of the plurality of holders along the rotation axis;
Dividing the revolution locus into a plurality along the revolution locus of the holder to form a plurality of parts conveyance areas,
In each of the plurality of parts conveyance areas,
A component supply step of supplying the component to the holder;
A component unloading step for receiving and unloading the component from the holder, which is arranged on the downstream side of the revolution trajectory than the component supply step;
The base member rotates, so that the holder performs a component transfer step of transferring the component from the component supply device to the component unloading device in each of a plurality of the component transfer regions ,
A plurality of the holders revolved by the base member can simultaneously exist in a plurality of the component supply steps and a plurality of the component carry-out steps corresponding to a plurality of the component conveyance regions, thereby supplying a plurality of the components. The operation and the unloading operation of a plurality of the parts proceed simultaneously.
Transport method.
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