JP5803034B1 - Conveying device and conveying method - Google Patents
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Abstract
【課題】部品を極めて高い効率で移載できるようにする。また極小部品であっても、確実で、かつ高効率な移載を実現する。提供する。【解決手段】搬送装置101は、回転軸線を中心に回転するベース部材130と、ベース部材130に対して周方向に沿って複数配設されて公転移動する保持具142と、保持具142の各々を、自転軸線Jを中心として自転駆動する保持具自転駆動手段143と、保持具142の各々を自転軸線Jに沿って案内する案内機構149と、を備えるようにし、保持具142の公転軌跡に沿って、複数の部品搬送領域101a〜101dが形成されており、部品搬送領域101a〜101dの各々は、部品供給装置110と部品搬出装置170を有しており、保持具142は、複数の部品搬送領域101a〜101dにおける部品供給装置110及び部品搬出装置170に同時に存在し得ることにより、部品の供給動作と搬出動作を同時並行させるようにした。【選択図】図1A part can be transferred with extremely high efficiency. In addition, reliable and highly efficient transfer can be achieved even with extremely small parts. provide. A conveying device includes a base member that rotates about a rotation axis, a plurality of holders that are arranged in a circumferential direction with respect to the base member and that revolves, and each of the holders. A holder rotation driving means 143 that rotates around the rotation axis J, and a guide mechanism 149 that guides each of the holders 142 along the rotation axis J. A plurality of component conveyance areas 101a to 101d are formed along the line. Each of the component conveyance areas 101a to 101d includes a component supply device 110 and a component carry-out device 170, and the holder 142 includes a plurality of components. By being simultaneously present in the component supply device 110 and the component carry-out device 170 in the transfer areas 101a to 101d, the component supply operation and the carry-out operation are simultaneously performed in parallel. It was so. [Selection] Figure 1
Description
本発明は、例えば極小部品等を搬送する際に好適な搬送装置、該搬送装置を利用した部品の搬送方法等に関する。 The present invention relates to a transport device suitable for transporting, for example, a minimal component, a component transport method using the transport device, and the like.
従来、搬送装置は、部品を一対のトレイ間で移動(移載)する目的や、電子部品をテープに収容するテーピング装置まで、この電子部品を搬送する目的、水晶振動子等の素子をパッケージの所定位置に搭載する(組み立てる)目的など、様々な用途で用いられている。 Conventionally, a transport device has a purpose of moving (transferring) a component between a pair of trays, a purpose of transporting the electronic component to a taping device that accommodates the electronic component in a tape, and an element such as a crystal resonator. It is used for various purposes such as mounting (assembling) at a predetermined position.
搬送装置にも様々な種類があり、直動ロボットを用いるものや、回転テーブルを用いるものがある。直動ロボットタイプの搬送装置は、部品を保持する保持具を、直動ロボットによって往復運動させる。直動ロボットタイプの搬送装置は、部品の移動地点の自由度が高いという利点があるが、往復移動している間の時間のロスが大きい。 There are various types of transfer devices, such as those using a linear motion robot and those using a rotary table. A linear motion robot type transport device reciprocates a holder for holding a component by a linear motion robot. The linear motion robot type transfer device has an advantage that the degree of freedom of movement of parts is high, but the loss of time during the reciprocating movement is large.
一方、回転テーブルタイプの搬送装置は、部品を保持する保持具を回転テーブルの周囲に設置し、保持具の移動軌跡上の一か所から部品を供給するとともに、他の一か所から部品を搬出する。従って、回転テーブルの周囲に保持具を複数配置することで、供給と搬出を同時に行い、搬送時間のロスを低減できる利点がある(例えば、特許文献1参照)。 On the other hand, a rotary table type conveying device has a holder for holding a component installed around the rotary table, supplies the component from one place on the movement locus of the holder, and removes the component from another location. Take it out. Therefore, by arranging a plurality of holders around the rotary table, there is an advantage that supply and unloading can be performed at the same time, and the loss of transport time can be reduced (for example, see Patent Document 1).
部品搬送の高速化の要求に伴い、従来の回転テーブルタイプの搬送装置では、回転テーブルの回転速度をアップすると同時に、部品の保持動作、解放動作を短時間にして、搬送効率を高めている。しかし、速度アップによる搬送効率の向上は、既に限界レベルに達している。 With the demand for high-speed parts conveyance, the conventional rotary table type conveying apparatus increases the rotation speed of the rotary table, and at the same time, shortens the holding and releasing operations of the parts to increase the conveyance efficiency. However, the improvement of the conveyance efficiency by increasing the speed has already reached the limit level.
また、部品の極小化により、部品搬送の難易度が高まっている。近年は各辺が1mm以下となる電子部品が一般化し、直近では0.5mm以下、特に0.3mm以下となるサイズまで出現している。これらの微細な電子部品は質量が極めて小さいことから、静電気や気流の影響を簡単に受ける。例えば、ノズルで電子部品を吸引すると、ノズルと電子部品の間に微量な静電気が生じる。従って、ノズルの負圧エアを開放しても、電子部品がノズルから離れにくいという問題があった。一方、ノズル内に正圧エアを印加して、吸着した電子部品を開放しようとすると、その正圧エアの気流で、解放後の電子部品が飛散してしまうという問題があった。 Moreover, the difficulty of component conveyance is increasing due to minimization of components. In recent years, electronic parts having sides of 1 mm or less have become common, and recently, the size has reached 0.5 mm or less, particularly 0.3 mm or less. Since these fine electronic components have a very small mass, they are easily affected by static electricity and airflow. For example, when an electronic component is sucked with a nozzle, a small amount of static electricity is generated between the nozzle and the electronic component. Therefore, there is a problem that even if the negative pressure air of the nozzle is released, the electronic component is difficult to separate from the nozzle. On the other hand, when positive pressure air is applied in the nozzle to release the adsorbed electronic component, there is a problem that the released electronic component is scattered by the air flow of the positive pressure air.
本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、部品を高効率で搬送可能な搬送装置を提供する。この搬送装置により、例えば極小の部品であっても、搬入及び搬出を確実に実行可能とすることを目的とする。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and provides a transport device capable of transporting components with high efficiency. An object of the present invention is to make it possible to reliably carry in and carry out, for example, even a very small part by this transport device.
上記目的を達成する本発明は、回転軸線を中心に回転するベース部材と、前記ベース部材に対して周方向に沿って複数配設されて前記回転軸線を中心に公転移動し、部品を保持する保持具と、複数の前記保持具の各々を、吸着方向に沿う自転軸線を中心として自転駆動する保持具自転駆動手段と、複数の前記保持具の各々を、前記自転軸線に沿って案内する案内機構と、を備え、前記保持具の公転軌跡に沿って、複数の部品搬送領域が形成されており、複数の前記部品搬送領域の各々は、前記部品を前記保持具に供給する部品供給装置と、前記部品供給装置よりも前記公転軌跡の下流側に配置されて、前記保持具から前記部品を受け取って搬出する部品搬出装置と、を有しており、前記ベース部材によって公転される複数の前記保持具は、複数の前記部品搬送領域における前記部品供給装置及び前記部品搬出装置に同時に存在し得ることにより、前記部品の供給動作と、搬出動作と、を同時並行させることを特徴とする、搬送装置である。 The present invention that achieves the above object includes a base member that rotates about a rotation axis, and a plurality of base members that are arranged along the circumferential direction with respect to the base member, revolve around the rotation axis, and hold components. A holder, a holder rotation driving means for driving and rotating each of the plurality of the holders around a rotation axis along the suction direction, and a guide for guiding each of the plurality of the holders along the rotation axis. A plurality of component conveyance areas formed along the revolving trajectory of the holder, and each of the plurality of component conveyance areas includes a component supply device that supplies the component to the holder. A component unloading device that is disposed downstream of the revolving trajectory with respect to the component supply device and that receives the component from the holder and unloads it, and is revolved by the base member. The holder must be By the component transferring may be present simultaneously in the component supply device and the component unloading device in the region, the supply operation of the component, and unloading operation, characterized thereby concurrently to a conveying device.
上記搬送装置に関連して、前記保持具は、前記ベース部材の周方向に少なくとも六個配設され、前記部品搬送領域は、少なくとも三か所形成され、前記六個の前記保持具は、前記三か所の前記部品搬送領域の前記部品供給装置及び前記部品搬出装置に同時に存在し得ることを特徴とする。 In relation to the transport device, at least six of the holders are disposed in the circumferential direction of the base member, the component transport region is formed in at least three places, and the six holders are It is possible to simultaneously exist in the component supply device and the component carry-out device in three parts conveyance areas.
上記搬送装置に関連して、前記保持具は、前記ベース部材の周方向に少なくとも八個配設され、前記部品搬送領域は、少なくとも四か所形成され、前記八個の前記保持具は、前記四か所の前記部品搬送領域の前記部品供給装置及び前記部品搬出装置に同時に存在し得ることを特徴とする。 In relation to the transfer device, at least eight of the holders are arranged in the circumferential direction of the base member, the component transfer region is formed at least four places, and the eight holders are It is possible to exist simultaneously in the component supply device and the component carry-out device in the four parts conveyance areas.
上記搬送装置に関連して、前記部品搬送領域は、前記部品供給装置と前記部品搬出装置の間に、前記部品の外観を検査する外観検査装置を有し、前記保持具は、前記部品供給装置、前記外観検査装置及び前記部品搬出装置に同時に存在することにより、前記部品の前記供給動作と、外観検査動作と、前記搬出動作と、を同時並行させることを特徴とする。 In relation to the transfer device, the component transfer area has an appearance inspection device for inspecting the appearance of the component between the component supply device and the component carry-out device, and the holder is the component supply device. By being simultaneously present in the appearance inspection device and the component unloading device, the supply operation of the component, the appearance inspection operation, and the unloading operation are simultaneously performed in parallel.
上記搬送装置に関連して、前記外観検査装置は、前記部品が前記自転軸線方向に進入する部品進入口と、前記部品進入口の周囲四か所に配置されて、前記部品進入口から進入した前記部品の四か所の側面の像を、前記自転軸線方向に投影する映像投影部材と、前記映像投影部材による前記側面の投影像の投映方向に配置されて、前記四か所の側面の前記投影像、及び前記部品の底面をまとめて撮像する五面撮像手段と、を備えることを特徴とする。 In relation to the transport apparatus, the appearance inspection apparatus is arranged at a part entrance where the part enters in the rotation axis direction and at four places around the part entrance and enters from the part entrance. An image projection member that projects images of the four side surfaces of the component in the direction of the rotation axis, and a projection direction of the projection image of the side surfaces by the image projection member, And a five-sided image pickup means for picking up the projected image and the bottom surface of the component together.
上記搬送装置に関連して、前記部品搬出装置上には、前記保持具から受け取った前記部品の上面を撮像する上面撮像手段を備えることを特徴とする。 In relation to the conveying device, the component carrying-out device is provided with an upper surface imaging means for imaging the upper surface of the component received from the holder.
上記搬送装置に関連して、前記保持具の公転軌跡の半径方向外側には、作業者が前記保持具に触れることを防止する保護カバーが配置されており、複数の前記部品搬送領域のいずれかにおいて、前記供給動作と前記搬出動作を休止させる間も、前記ベース部材を回転させることによって、残りの前記部品搬送領域における前記供給動作と前記搬出動作を継続することを特徴とする。 In relation to the transfer device, a protective cover for preventing an operator from touching the holding tool is arranged on the radially outer side of the revolving trajectory of the holding tool. In the above, the supply operation and the carry-out operation in the remaining part conveyance region are continued by rotating the base member while the supply operation and the carry-out operation are suspended.
上記搬送装置に関連して、前記部品搬出装置は、一対のテープの間に前記部品を受け入れてシールするテーピング装置であることを特徴とする。 In relation to the conveying device, the component unloading device is a taping device that receives and seals the component between a pair of tapes.
上記搬送装置に関連して、前記部品搬出装置上に存在する前記保持具が、前記部品搬出装置側に前記部品を放出するタイミングで、前記保持具に衝撃を付与する衝撃発生機構を備えることを特徴とする。 In relation to the transport device, the holder existing on the component carry-out device includes an impact generation mechanism that applies an impact to the holder at a timing when the component is released to the component carry-out device side. Features.
上記搬送装置に関連して、前記衝撃発生機構は、衝撃発生用シリンダと、前記衝撃発生用シリンダ内に往復移動自在に収容される衝撃発生用ピストンと、を備えており、前記衝撃発生用シリンダに対して作動流体を流入及び流出させることで前記衝撃発生用ピストンを移動させることで、前記保持具に衝撃を付与することを特徴とする。 In relation to the transfer device, the impact generating mechanism includes an impact generating cylinder and an impact generating piston that is reciprocally accommodated in the impact generating cylinder, and the impact generating cylinder The shock is applied to the holder by moving the shock generating piston by flowing in and out the working fluid.
上記搬送装置に関連して、前記衝撃発生機構は、前記保持具、該保持具の周囲及び前記ベース部材のいずれかに設置されることを特徴とする。 In relation to the transfer device, the impact generating mechanism is installed in any one of the holder, the periphery of the holder, and the base member.
上記搬送装置に関連して、前記保持具は、エアの負圧によって前記部品を吸着保持するノズルであり、前記衝撃発生機構の作動流体として、前記エアを兼用することを特徴とする。 In relation to the transfer device, the holding tool is a nozzle that sucks and holds the component by a negative pressure of air, and also uses the air as a working fluid of the impact generating mechanism.
上記搬送装置に関連して、前記保持具は、エアの負圧によって前記部品を吸着保持するノズルであり、前記衝撃発生機構は、前記ノズルの内部に形成される前記エアの案内路に重畳形成される、前記衝撃発生用シリンダと、前記エアの負圧によって前記衝撃発生用シリンダ内に往復移動自在に収容される衝撃発生用ピストンと、を備えており、前記エアの負圧を解除した際の前記衝撃発生ピストンの移動によって、前記ノズルに衝撃を付与することを特徴とする。 In relation to the conveying device, the holding tool is a nozzle that sucks and holds the component by negative pressure of air, and the impact generating mechanism is formed to overlap with the air guide path formed inside the nozzle. The shock generating cylinder and a shock generating piston that is reciprocally accommodated in the shock generating cylinder by the negative pressure of the air, and when the negative pressure of the air is released The impact is applied to the nozzle by the movement of the impact generating piston.
上記搬送装置に関連して、前記保持具は、エアの負圧によって前記部品を吸着保持するノズルであり、前記衝撃発生機構は、前記ノズルの周囲に配置されて、前記エアの負圧が導入される前記衝撃発生用シリンダと、前記エアの負圧によって前記衝撃発生用シリンダ内に往復移動自在に収容される衝撃発生用ピストンと、を備えており、前記エアの負圧を解除した際の前記衝撃発生ピストンの移動によって、前記ノズルに衝撃を付与することを特徴とする。 In relation to the transfer device, the holding tool is a nozzle that sucks and holds the component by a negative pressure of air, and the impact generating mechanism is arranged around the nozzle to introduce the negative pressure of the air. The shock generating cylinder, and a shock generating piston that is reciprocally accommodated in the shock generating cylinder by the negative pressure of the air, and when the negative pressure of the air is released An impact is applied to the nozzle by the movement of the impact generating piston.
上記搬送装置に関連して、前記衝撃発生用シリンダには、内部のエアを大気側に放出する開口が形成され、前記開口による前記エアの放出方向が、前記ノズルの前記自転軸線方向と異なる方向に設定されることを特徴とする。 In relation to the conveying device, the impact generating cylinder is formed with an opening for discharging the internal air to the atmosphere side, and the direction in which the air is discharged by the opening is different from the direction of the rotation axis of the nozzle. It is characterized by being set to.
上記搬送装置に関連して、前記保持具の前記自転軸線からオフセットされると共に前記案内機構によって前記保持具と共に案内される被係合部と、前記被係合部と係合することで、前記自転軸線方向に前記保持具を駆動する自転軸方向駆動手段と、を備え、前記衝撃発生機構は、前記自転軸方向駆動手段に設置されることを特徴とする。 In relation to the transport device, the engaged portion is offset from the rotation axis of the holder and guided with the holder by the guide mechanism, and the engaged portion is engaged with the engaged portion, Rotation axis direction drive means for driving the holder in the rotation axis direction, and the impact generating mechanism is installed in the rotation axis direction drive means.
上記搬送装置に関連して、前記自転軸方向駆動手段は、前記ベース部材から離反した位置に固定配置されており、前記自転軸方向駆動手段は、前記ベース部材と共に回転する複数の前記保持具を、前記自転軸線方向に駆動することを特徴とする。 In relation to the conveying device, the rotation axis direction driving means is fixedly disposed at a position away from the base member, and the rotation axis direction driving means includes a plurality of the holders that rotate together with the base member. And driving in the direction of the axis of rotation.
上記目的を達成する本発明は、回転軸線を中心に回転するベース部材に対して周方向に沿って複数配設されて保持具によって部品を保持し、前記保持具を、前記回転軸線を中心に公転移動させると同時に、複数の前記保持具の各々を、吸着方向に沿う自転軸線を中心として自転させるようにし、複数の前記保持具の各々を、前記自転軸線に沿って案内し、前記保持具の公転軌跡に沿って、複数の部品搬送領域を形成し、複数の前記部品搬送領域の各々では、前記部品を前記保持具に供給する部品供給工程と、前記部品供給工程よりも前記公転軌跡の下流側に配置されて、前記保持具から前記部品を受け取って搬出する部品搬出工程と、を行うようにし、前記ベース部材によって公転される複数の前記保持具が、複数の前記部品搬送領域における前記部品供給工程及び前記部品搬出工程に同時に存在し得ることにより、前記部品の供給動作と、搬出動作と、を同時進行することを特徴とする、搬送方法である。 According to the present invention for achieving the above object, a plurality of base members rotating around a rotation axis are arranged along a circumferential direction to hold a part by a holder, and the holder is held around the rotation axis. Simultaneously with the revolving movement, each of the plurality of holders is rotated about a rotation axis along the suction direction, and each of the plurality of holders is guided along the rotation axis, and the holder A plurality of component conveyance regions are formed along the revolution locus of the component, and in each of the plurality of component conveyance regions, the component supply step of supplying the component to the holder, and the revolution locus of the component supply step is more than that of the component supply step. A part unloading step disposed downstream and receiving and unloading the part from the holder, wherein a plurality of the holders revolved by the base member are disposed in a plurality of the component conveying regions. By the component feed process and may be present simultaneously in the parts unloading step, the supply operation of said component, characterized in that it proceeds with unloading operations, simultaneous, a transfer method.
本発明の搬送装置等よれば、コンパクトな構成で、部品を高効率で搬送することが可能となる。また、質量の小さい極小部品であっても、確実に搬送できるという優れた効果を奏し得る。 According to the transporting apparatus and the like of the present invention, it is possible to transport parts with high efficiency in a compact configuration. Moreover, even if it is a very small component with a small mass, the outstanding effect that it can convey reliably can be show | played.
以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1は、本実施形態に係る搬送装置101の正面図である。図2は、搬送装置101の平面図(上面図)である。なお、図示の便宜上、例えば図1では、基台上に配置される部品供給装置や部品搬出装置等の図示を省略している。このように、各図において、一部の構成を適宜省略して、図面を簡略化している。搬送装置101で搬送される部品10は、平面のサイズが1mm角以下(1mm以下×1mm以下)となっており、より詳細には0.5mm角以下、特に本実施形態では0.3mm角以下となっている。
FIG. 1 is a front view of a
図1に示すように、搬送装置101は、基台102と、基台102上面に配設された部品供給装置110と、基台102に揺動自在に配設された固定テーブル120と、基台102に対して回転自在に設置された回転テーブル(ベース部材)130と、回転テーブル130の外周面に周方向に沿って配設された複数(本実施形態では16個)の部品保持ユニット140と、固定テーブル120に配設された計12個の上側外部付勢装置(自転軸方向駆動手段)150a、150b、150cと、回転テーブル130を回転させる回転テーブル駆動手段160と、搬送装置101全体を制御する中央制御装置190を備える。
As shown in FIG. 1, the
基台102は、略直方体状の部材である。基台102の内部には、中央制御装置190や、特に図示しない電源装置等が配設されている。
The
図3に示すように、基台102の中央には柱部材102aが配設されており、この柱部材102aの上端に固定テーブル120が固定されている。柱部材102aは、回転テーブル駆動手段160となる中空モータの内部空間を通過するようにして、基台102から立設されているが、本発明はこれに限定されず、回転テーブル駆動手段160や回転テーブル130の周囲に柱部材102aを配置して、固定テーブル120を支持しても良い。
As shown in FIG. 3, a
固定テーブル120には、上側外部付勢装置150a、150b、150c及び上部カメラ117a、117bが配設される。上側外部付勢装置150a、150b、150cは、ノズル142を下降させたい場所(作業領域)に対応して、それぞれの上方に設けられる。図2に示すように、ここでは合計12か所に配置される。
The fixed table 120 is provided with upper
図1に戻って、部品保持ユニット140は、保持具となるノズル142を有しており、電子部品をピックアップして保持する。ノズル142は、吸着方向(鉛直方向)に沿う自転軸線J周りに(図1のθ方向またはθ方向と逆方向に)自転自在となっている。これらの回転により、部品の保持姿勢を調整できる。
Returning to FIG. 1, the
回転テーブル130は、略円盤状の部材であり、外周面に16個の部品保持ユニット140が等間隔(本実施形態では略22.5度の角度間隔)で配設されている。回転テーブル130は、回転軸が上下方向(鉛直方向)となるように、基台102に保持されている。回転テーブル130には、16個の部品保持ユニット140が配置されることから、回転テーブル130が停止した状態を仮定すると、各部品保持ユニット140に対応して、周方向に最大で合計16か所の、同時進行可能な作業領域を確保できる。
The
回転テーブル駆動手段160は、基台102と回転テーブル130の間に位置している。本実施形態では、回転テーブル駆動手段160は、中空DD(ダイレクトドライブ)モータであり、基台102に固定されるステータと、ステータの内周又は外周(ここでは内周)を回転して回転テーブル130と結合する筒状のロータから構成される。回転テーブル駆動手段160の中心部には軸方向に貫通孔が形成されている。
The rotary table driving means 160 is located between the base 102 and the rotary table 130. In this embodiment, the rotary table driving means 160 is a hollow DD (direct drive) motor, and rotates the stator fixed to the
中央制御装置190は、CPU、ROM及びRAM等を備えた制御装置であり、上側外部付勢装置150a、150b、150c、回転テーブル駆動手段160等を直接制御する。なお、これらの動作と連動する他の装置(例えば、部品供給装置110、外観検査装置200、部品搬出装置170等)も、中央制御装置190で同時に制御できる。
The
図3(a)に示されるように、部品保持ユニット140は、略円筒状の回転テーブル130の外周面において、周方向に22.5度間隔で外側に向けて突設されている。本実施形態では、隣接する部品保持ユニット140の間の部材を排除して(または切り欠いたり、開口を形成したりして)、干渉回避空間部131を生じるようにしている。この干渉回避空間部131を利用して、回転する部品保持ユニット140が存在しないタイミングで、上部カメラ117a、117b等による基台側の撮像を可能にしている。即ち、干渉回避空間部131は回転テーブル130と共に回転するが、各作業領域は回転しないことから、各作業領域と干渉回避空間部131が重なるタイミングで、カメラ等の撮像を行う。なお、部品保持ユニット140は、フランジを利用して容易に着脱可能に回転テーブル130に固定される。
As shown in FIG. 3A, the
図3(b)に示されるように、回転テーブル130の中心には、中空軸132が配置される。この中空軸132は回転テーブル130の回転中心となると共に、基台102に回転自在に支持される。なお、中空軸132の内部空間に、固定テーブル120の支柱102aが配置される。また、中空軸132は、大径の外側パイプ132aと小径の内側1パイプ32bが同軸的に配設された二重構造となっている。中空軸132の外側パイプ132aと内側パイプ132bの間隙は、低圧源となる真空ポンプ(図示省略)と部品保持ユニット140を繋ぐエア通路の一部となっている。中空軸132の下端部には、スイベルジョイント133を介して真空ポンプに繋がるエア配管134が接続される。
As shown in FIG. 3B, a
回転テーブル130の内部には、外側パイプ132aと内側パイプ132bの間隙と同軸的に接続された中央気室135が中心部に形成されており、さらに、この中央気室135から各部品保持ユニット140に個別に接続される16本の吸引通路136が放射状に形成される。各吸引通路136の途中には、部品保持ユニット140と真空ポンプの連通・遮断を切り替える切替バルブ137がそれぞれ配設されている。従って、本実施形態では、各部品保持ユニット140と真空ポンプの連通・遮断を個別に切り替えることが可能となっている。本実施形態における切替バルブ137は、ソレノイドによって弁体を移動させる電磁弁から構成されている。なお、切替バルブ137は、他の構成のものであってもよい。
A central air chamber 135 that is coaxially connected to the gap between the
回転テーブル130の内部には、更に切替バルブ137を制御して後述するノズル142による部品の吸着・解放を制御したり、ノズルの自転を制御したりする保持状態制御装置191が配設されている。保持状態制御装置191は、CPU、ROMおよびRAM等を備えた制御装置である。保持状態制御装置191は、特に図示しない配線によって、切替バルブ137および部品保持ユニット140とそれぞれ電気的に接続されると共に、中央制御装置190に電気的に接続されている。中央制御装置190と保持状態制御装置191は、中空軸132先端側の支柱102aに配設されたスリップリング138と、支柱102aの内部を通る配線(図示省略)によって接続される。
Inside the
次に部品保持ユニット140の内部構造について説明する。図4は、部品保持ユニット140の断面構造および外部付勢装置150a、150b、150cの一部を示した図である。部品保持ユニット140は、筺体141と、筺体141に対して、鉛直方向の平面内に沿う自転軸線J周りに自転自在に配設されたノズル142と、ノズル142を自転駆動するノズル自転駆動手段143と、ノズル142を自転軸線Jに沿って案内する案内機構149を有して構成される。
Next, the internal structure of the
筺体141は、水平方向(回転テーブル130の半径方向)に延びる筒状部材となっており、その端面にフランジ141aが形成される。このフランジ141aを、回転テーブル130の外周面に形成される固定用平面130xに当接させて、特に図示しないボルト等によって着脱自在に固定される。従って、フランジ141aと固定用平面130xの間にシム等を挿入すれば、回転テーブル130の回転軸線(回転中心)からの部品保持ユニット140(ノズル142)までの半径方向距離を、事後的に微調整することができる。 筐体141の内部には、自転用中空モータ143aへ電力を供給するための配線が敷設される(点線参照)。
The
ノズル142は、先端に吸着面142aが配設された細長い円筒状の部材である。ノズル142は、吸着方向に沿った自転軸線J周りに回転(自転)自在であると共に、自転軸線J方向に沿って往復移動自在となっている。ノズル142の内部は吸着面142aに繋がる吸引通路142bとなっている。
The
図3(b)で示した切替バルブ137は、真空ポンプからノズル142までのエア流路の連通・遮断を切り替えると共に、遮断時には、ノズル142を大気開放状態とするように構成されている。すなわち、ノズル142は、切替バルブ137によって真空ポンプと連通された場合に、部品を吸引して吸着(保持)し、切替バルブ137によって真空ポンプから遮断された場合に、部品を解放する。
The switching
ノズル自転駆動手段143は、自転用中空モータ143aと、ノズル142を自転自在に保持する自転用ブラケット143bを有する。自転用中空モータ143aは、自転用ブラケット143bと一体となっており、内部にノズル142の一部を収容して、同軸状態でノズル142を回転駆動する。結果、ノズル142は自転軸線Jを中心として自転自在となる。自転用ブラケット143b内には、ノズル142に負圧を供給するエア流路143cが形成される。
The nozzle rotation driving means 143 includes a rotation
ノズル自転駆動手段143は、結合ブラケット149cを介して、案内機構149の移動テーブル149aに固定される。
The nozzle rotation driving means 143 is fixed to the moving table 149a of the
案内機構149は、ベース材149dと、ベース材149dに固定されるレール149bと、レール149bに沿って移動自在の移動テーブル149aと、移動テーブル140aに固定される結合ブラケット149cを有する。レール149bは、ノズル自転駆動手段143の自転軸線J方向に沿って配置される。従って、ノズル142及びノズル自転駆動手段143全体が、案内機構149によって、自転軸線Jの方向に沿って往復移動自在となる。ベース材149d内には、ノズル142に負圧を供給するエア流路149eが形成される。ベース材149dと、ノズル自転駆動手段143の自転用ブラケット143dの間には、互いに当接する摺動部143dが形成されており、この摺動部143d内にもエア流路が形成される。なお、摺動部143dに形成されるエア流路は、点線で示すように、自転用ブラケット143d側のカバーによって全体が覆われている。従って、ベース材149dに対して自転用ブラケット143dが摺動しても、互いのエア流路149e,143cの接続は維持される。ベース材140dは、筐体141のフランジ141aの端面に固定される。切替バルブ137から供給されるエア流路148も、ベース材140d側のエア流路149eに接続される。
The
案内機構140とノズル自転駆動手段143の間には、バネによって構成される内部付勢手段144aが配置される。この内部付勢手段144aは、案内機構140のベース材140dを基準として、ノズル自転駆動手段143(ノズル142)を、自転軸線Jの一方向に付勢する。具体的には、ノズル142の先端が突出する方向と反対方向、即ち吸着面142aが被吸着部から離れる方向に付勢される。更に、案内機構140とノズル自転駆動手段143の間には、ストッパ144bが配置される。このストッパ144bは、内部付勢手段144aによって付勢されるノズル自転駆動手段143の、自転軸線Jの上記一方向の移動限界を規定する。
Between the
ノズル142又はノズル自転駆動手段143には、被係合部144cが設けられる。この被係合部144cは、ノズル142の自転軸線Jから半径方向にオフセットする面を有する。このオフセット面に対して、上側外部付勢装置150a,150b,150cを当接させる。オフセットさせることで、上側外部付勢装置150a,150b,150cもオフセットできるので、上部カメラ117a、117bを自転軸線Jの延長線上に配置できる。
The
上側外部付勢装置150a,150b,150cは、被係合部144cを利用して、ノズル142及びノズル自転駆動手段143を自転軸線Jの他方向(ここでは、ノズル142の先端が突出する方向、即ち吸着面142aの突出方向)に付勢する。結果、バネとなる内部付勢手段144aに抗して、ノズル142及びノズル自転駆動手段143が、先端方向(鉛直下方)に移動できる。
The upper
以上の構成により、回転テーブル130内の切替バルブ137を経由して供給される負圧エアは、筐体141のエア流路148、ベース材149d内のエア流路149e、自転用ブラケット143b内のエア流路143cを経由してノズル142に導入される。
With the above configuration, the negative pressure air supplied via the switching
部品保持ユニット140は、例えば図7(a)に示すように、ノズル142が自転軸線J周りに回転自在であり、更に、上側外部付勢装置150cを利用して押し下げれば、ノズル142が自転軸線Jの方向に移動自在となる。
For example, as shown in FIG. 7A, the
図1に戻って、上側外部付勢装置150a〜150cは、鉛直方向に配置される棒状の押圧部材152と、固定テーブル120の上面に配設されたモータ153と、モータ153の出力軸に固定されたカム154を有して構成されている。押圧部材152の先端(下端)は、回転テーブル130に配置される部品保持ユニット140の被係合部144cに当接し得るようになっており、基端はカム154に接続される。従って、モータ153によりカム154を回転させると、押圧部材152が上方向に移動して被係合部144cを押し上げる。結果、ノズル142が下方に移動する。
Returning to FIG. 1, the upper
図3(a)に示すように、搬送装置101は、周方向に沿って90度間隔で、第一搬送領域101a、第二搬送領域101b、第三搬送領域101c、第四搬送領域101dが形成される。第一乃至第四搬送領域101a〜101dは、互いに同じ構成であって、同時並行で全く同じ動作を行う。従って、以降では第一搬送領域101aについて説明することとし、他の領域の説明を省略する。
As shown in FIG. 3A, the
第一搬送領域101aは、ノズル142の公転軌跡に沿って、順番に、供給領域103、外観検査領域107、搬出領域105、廃棄領域109を有する。回転軸を中心とした作業領域の角度間隔は、ノズル142の配置角度と同じ22.5度となる。
The
図2及び図3(a)を対比させて説明する。上側外部付勢装置150aは供給領域103に配置され、上側外部付勢装置150bは外観検査領域108に配置され、上側外部付勢装置150cは搬出領域105に配置される。また、供給領域103には部品供給装置110が配置され、外観検査領域107には外観検査装置200が配置され、搬出領域105には部品搬出装置170が配置され、廃棄領域109には部品廃棄装置(廃棄トレイ)300が配置される。
Description will be made by comparing FIG. 2 and FIG. The upper
供給領域103は、部品供給装置110から部品保持ユニット140に対して部品10を供給する場所となる。外観検査領域107は、部品保持ユニット140によって保持される部品10の五面(前後・左右側面と底面)を検査すると同時に、部品10の姿勢(自転軸線J周り回転θ、X、Y)を、画像認識によって確認する領域となる。従って、この外観検査領域107は、姿勢確認領域と表現することもできる。搬出領域105は、部品保持ユニット140が保持する部品10を、部品搬出装置170の整列トレイ171に収納する場所となる。廃棄領域109は、不合格となる部品10を廃棄トレイ300に廃棄すると共に、ノズル142の先端をバキューム洗浄する場所となる。
The
なお、第一搬送領域101aでは、回転テーブル130が、隣接する部品保持ユニット140の角度間隔(22.5度間隔)で一次停止する場合を想定し、その角度間隔の整数倍の位相差に合わせて、全作業領域を配置している。即ち、いずれかの部品保持ユニット140が、供給領域103に対向する位置で停止すると、残りの部品保持ユニット140が、それぞれ、外観検査領域107、搬出領域105、廃棄領域109に同時に停止する。従って、回転テーブル130が一次停止している間に、4つの作業領域で各作業を同時並行で進める。既に述べたように、第一乃至第四搬送領域101a〜101dでは、同時並行で全く同じ動作を行うので、搬送装置101の全体では、合計十六か所の作業領域で各作業を同時並行で進める。そして、回転テーブル130が時計回り又は反時計回りの一方向に回転すると、全ての部品保持ユニット140が、第一乃至第四搬送領域101a〜101dにおける、供給領域103、外観検査領域107、搬出領域105、廃棄領域109を順番に通過する。
In the
なお、本発明はこれに限定されず、隣接する部品保持ユニット140の角度間隔未満の位相差に作業領域を設定しても良い。このようにすると、より沢山の作業工程を実現できる。
The present invention is not limited to this, and the work area may be set to a phase difference less than the angular interval between the adjacent
図2(a)に示すように、部品供給装置110は、部品10を載置する載置トレイ115と、X−Yテーブルから構成された載置トレイ移動手段119と、部品10を位置決めするために用いる上部カメラ(CMOSカメラやCCDカメラなど)117aを備える。載置トレイ115には、複数の部品10がバラバラに載置されている。載置トレイ移動手段119は、図示は省略するが、モータによって駆動される直動装置を互いに直角に組み合わせて構成されており、水平方向(X方向及びY方向)に載置トレイ115を移動可能となっている。上部カメラ117aは、回転テーブル130よりも上方において、ここでは固定テーブル120に固定される。このカメラ117aの撮像軸は、鉛直方向に向くノズル142の自転軸線Jと一致しており、ノズル142が存在しないタイミング(干渉回避空間部131)を利用して、載置トレイ115内の部品10を画像認識する。載置トレイ移動手段119は、上部カメラ117aによる部品10の撮像結果に基づいて、供給領域103に存在する部品保持ユニット140のノズル142の真下に、画像認識された部品10を位置決めする。ここでは、部品10が載置トレイ115内にランダムに配置されている場合を例示しているが、マトリクス状のトレイを利用して、複数の部品10を整列配置して供給しても良く、図2(b)に示すように、集積されたウエハ状態の部品10を供給して、ノズル142でウエハから切り離すようにピックアップしても良く、パーツフィーダーを利用して部品10を一つずつ供給しても良い。即ち、部品供給装置110の構成は様々となる。
As shown in FIG. 2A, the
部品10を吸着保持した部品保持ユニット140は、回転テーブル130の回転と共に、カメラ117aの画像認識結果を利用して自転軸線J周りにノズル142を回転させてから、外観検査領域107に進入する。
The
図5(a)に示すように、外観検査領域107に配置される外観検査装置200は、ノズル142の下側に配置される投影テーブル202と、投影テーブル202を基台102の上方空間に固定する支持部材204と、投影テーブル202の下側に配置される下部カメラ(五面撮像手段)210を有する。
As shown in FIG. 5A, the
投影テーブル202には、部品10が自転軸線J方向に進入する部品進入口202aが形成される。また、投影テーブル202における部品進入口202aの周囲四か所には、周方向に90度間隔で、プリズム又はミラー等からなる映像投影部材206が配置される。この映像投影部材206は、それぞれ、部品進入口202aを介して鉛直下方に進入した部品10の側面10aの像を、90度屈曲させて、自転軸線J方向(鉛直下方向)に投影する。下部カメラ210は、映像投影部材206による側面10aの投影像の投映方向に対向するように配置されることになる。
The projection table 202 is formed with a
従って、図5(b)に示すように、下部カメラ210は、映像投影部材206による四か所の側面10aの投影像、及び部品10の底面10bをまとめて撮像することができる。従って、下部カメラ210の撮像結果を解析することで、上面を除いた五面に関して、部品10のキズ、欠損、変形、寸法等を検査できる。
Therefore, as shown in FIG. 5B, the
なお、下部カメラ210は、部品10のノズル142の保持姿勢を計測する姿勢計測装置としても利用できる。この場合、部品10の底面映像を用いれば良いことになり、部品10の保持姿勢の計測結果を利用して部品10を回転させて、次の搬出領域105における整列トレイ171上に移動する前に、この整列トレイ171と部品10の自転軸線J周りの位置調整を行う。
The
また例えば、五面の外観検査の検査精度をより高めるためには、一旦、下部カメラ210によって部品10の底面を撮像して、映像投影部材206と部品10の自転軸線J周りの角度誤差を算出し、ノズル142を回転させて誤差を解消してから、再度、下部カメラ210によって部品10の五面を撮像して外観検査を行うことが好ましい。このようにすると、投影像のひずみが小さくなる。なお、この段階で、部品10の外観不良が存在する場合や、吸着姿勢があまりにも悪い場合は、下流の搬出領域103をスルーして廃棄領域109で、その部品10を廃棄する。
Also, for example, in order to further improve the inspection accuracy of the five-surface appearance inspection, the
外観検査領域107を通過した部品保持ユニット140は、ノズル142を自転軸線J周りに回転させて、部品10の最終姿勢を確定しつつ、搬出領域103上に移動する。
The
搬出領域103には、カメラ117bが上方に配置されており、搬出領域105で待機する整列トレイ171の収容空間20を真上から撮像する。すなわち、カメラ117bは、搬出領域105にノズル142が進入する前に、干渉回避空間部131を利用して、搬出領域105の収容空間20を上から撮像し、当該収容空間20の水平面内に位置に関する情報(X−Y方向及びθ回転方向)を、画像情報として取得する。また、カメラ117bは、中央制御装置190と電気的に接続されており、撮像して得られた画像情報を中央制御装置190に送信する。そして、カメラ117bで取得した姿勢の画像情報に基づいて、部品10の自転軸J方向の回転姿勢を収容空間20の姿勢に合わせる。その後、上側外部付勢装置150cを利用して部品10を下降させることで、収容空間20に部品10を載置する。
In the carry-out
部品搬出装置170は、マトリクス状に配置された複数の凹部(収容空間20)が上面に形成された整列トレイ171と、X−Yテーブルから構成された整列トレイ移動手段172を備えて構成されている。整列トレイ移動手段172は、図示は省略するが、モータによって駆動される直動装置を互いに直角に組み合わせて構成されている。本実施形態における整列トレイ移動手段172は、図2(a)における上下方向及び左右方向に整列トレイ171を移動可能となっている。
The component carry-out
整列トレイ移動手段172は、搬出領域105に部品10が搬送されることに先立って、複数の収容空間20を1つずつ順番に搬出領域105に供給する。この整列トレイ移動手段172は、中央制御装置190が導出した、部品10との相対位置ずれ量Gに基づいて、収容空間20の位置を調整する位置調整ユニットとして機能する。搬出領域105では、部品保持ユニット140が吸着保持した部品10を、収容空間20に収納する。整列トレイ171の全ての収容空間20に部品10を収容したら、整列トレイ171は、外部に搬出される。
The alignment
なお、ここでは整列トレイ171に部品10を搬出する場合を例示した、本発明はこれに限定されない。例えば図2(c)に示す部品搬出装置170のように、一対のフィルムテープの間に部品10を投入し、この一対のフィルムテープをシールすることでパッキングする、所謂テーピング装置に対して部品を搬出しても良い。
Note that, here, the case where the
次に、図6を参照して、ノズル142に対して衝撃を付与する衝撃発生機構400について説明する。
Next, an
衝撃発生機構400は、部品搬出装置170上に存在するノズル142が、案内機構149によって部品搬出装置170側に移動して部品10を離脱するタイミングで、ノズル142に衝撃を付与する。なお、ここでいう部品の離脱タイミングとは、負圧エアを解除してから、ノズル142を上昇させるまでの間のいずれかを意味する。
The
具体的に、衝撃発生機構400は、自転軸方向駆動手段となる4個の上側外部付勢装置150cにおける、押圧部材152内にそれぞれ設けられる。衝撃発生機構400は、自転軸線J方向に配置される衝撃発生用シリンダ410と、この衝撃発生用シリンダ410内に往復移動自在に収容される衝撃発生用ピストン420と、衝撃発生用シリンダ410に負圧エアを供給するエア流路430と、各エア流路430に配置される切替バルブ440を備える。エア流路430は、ノズル142に負圧エアを供給する真空ポンプに接続される。切替バルブ440の制御は、保持状態制御装置191又は中央制御装置190によって制御される。
Specifically, the
従って、衝撃発生用シリンダ410内の移動空間410aに対して、一方側(ここでは上方側)から作動流体(ここでは負圧エア)を流入及び流出させることで、衝撃発生用ピストン420を、衝撃発生用シリンダ410内で移動させることで、ノズル142に衝撃を付与する。本実施形態では、移動空間410aにおける鉛直上方から、エア流路430によって負圧を導入するので、これにより衝撃発生用ピストン420が上昇する。この上昇時は準備段階となる。そして、切替バルブ440によって負圧エアを遮断すると、自重によって衝撃発生用ピストン420が移動空間410a内を落下して下端に衝突し、その衝撃が、被係合部144cを経由してノズル142に伝播する。なお、落下時に、移動空間410a内のエアが抵抗とならないように、移動空間410aの下部には、内部のエアを大気側に放出する開口410bが横方向に形成される。
Accordingly, the working fluid (negative air here) flows into and out of the moving
次に衝撃発生工程について説明する。図6は、ノズル142が搬出領域105に到着した状態を示す。従って、上側外部付勢装置150cの押圧部材152は、部品保持ユニット140の被係合部144cから上方に離反している。この段階において、衝撃発生機構400は、予め衝撃発生用シリンダ410内に負圧エアを導入し、衝撃発生用ピストン420を上昇させておく。その後、図7(a)に示すように、上側外部付勢装置150cが、押圧部材152を利用して被係合部144cを押し下げて、ノズル142を下方に移動させる。これにより、部品10が、部品搬出装置170の収容空間20内でノズル142に保持される。
Next, the impact generation process will be described. FIG. 6 shows a state where the
その後、図7(b)に示すように、ノズル142に供給される負圧エアを切替バルブ137(図3(b)参照)で遮断すると同時に、衝撃発生機構400の切替バルブ440も負圧エアを遮断する。結果、ノズル142による吸引が解放されるので、部品10は自重によりノズル142から落下しようとするが、静電気でノズル142に残存する場合がある。一方で、衝撃発生機構400の衝撃発生用ピストン420が落下して下端に衝突し、その衝撃が被係合部144cを経由してノズル142に伝播するので、部品10がノズル142から強制的に離反して収容空間20に放出される。特に図示しないが、その後はノズル142を上昇させることで、次の工程に進むことができる。
Thereafter, as shown in FIG. 7B, the negative pressure air supplied to the
以上の通り、この衝撃発生機構400によれば、例えば部品10が1mm角以下の微小且つ軽量の場合であっても、ノズル142で搬送した部品10が、搬出領域105において静電気等によってノズル142に残存する事態を解消できる。結果、確実に素早く搬出できるので、搬送効率を高めることも可能になる。また、本実施形態のように、衝撃発生機構400を、部品保持ユニット140の外部に配置することで、全ての部品保持ユニット140に衝撃発生機構400を設けることが不要になり、搬送装置101の構成を簡潔にできる。特に、上側外部付勢装置150cの押圧部材152に衝撃発生機構400を設置することで、押圧部材152によるノズル142に下降動作と、下降完了後の衝撃発生動作をまとめて連続的に行うことが可能となる。
As described above, according to the
なお、衝撃発生用ピストン420の自重落下の時間を更に短縮したい場合は、切替バルブ440によって負圧エアの導入を遮断した後に、エア流路430及び衝撃発生用シリンダ410に負圧エアを残存させないことが好ましい。従って、この切換バルブ440を利用して、エア流路430内を大気側に開放することが好ましく、より望ましくは図7(b)の点線に示すように、正圧エアを供給する供給源Pから、切換バルブ440を利用して、負圧エアの遮断と同時に正圧エアを衝撃発生用シリンダ410内に供給する。また更に図7(b)の点線で示すように、移動空間410aにバネ450を収容しておき、衝撃発生用ピストン420を下方に付勢しておくことが好ましい。負圧エアを衝撃発生用ピストン420内に導入すると、バネ450の付勢力に抗して衝撃発生用ピストン420が上昇するが、負圧エアを解除すると、自重に加えてバネ450の付勢力によって、衝撃発生用ピストン420が素早く落下するので、応答性を高めることができる。更に本実施形態では、移動空間410aの下部の側面に開口410bを形成して、衝撃発生用ピストン420の落下時に、移動空間410a内のエアが抵抗とならないように排気する構造を例示したが、本発明はこれに限定されない。例えば図7(d)に示すように、押圧部材152の下端面に、移動空間410aと連通する連通孔410cと、この連通孔410cから放射状の延びる排気スリット410dを形成することも好ましい。このようにすると、押圧部材152の下端面を、被係合部144cに当接させた状態のまま、排気スリット410dを介して、移動空間410a内のエアを排気することができる。なお、特に図示しないが、移動空間410aの内周面又は衝撃発生用ピストン420の外周面に、軸方向に延びるスリットを形成しておき、衝撃発生用ピストン420が落下する際に、このスリットを介して移動空間410a内のエアが移動できるので、空気抵抗をより低減することが可能となる。
If it is desired to further reduce the time of dropping the dead weight of the
また、衝撃発生用ピストン420の移動ストロークは、部品10の重量や材質等によって適宜変更することが好ましい。例えば、衝撃発生用ピストン420の金属球体の直径を1mm以下とするとき、ストロークは、2センチメートル以下が好ましく、より好ましくは1センチメートル以下、望ましくは5mm以下に設定する。この条件において、移動空間410a内に正圧のエアを流入させつつ、衝撃発生用ピストン420を落下させると、落下時間は0.5秒以下となり、好ましくは0.2秒以下となり、更に望ましくは0.1秒以下とすることができる。従って、図7(c)に示すように、移動空間410a内にストローク規制部材462を配置しておき、このストローク規制部材462による規制量を変更することで、衝撃発生用ピストン420の移動ストロークを調整できるようになる。なお、ここでは、ストローク規制部材462を、衝撃発生用ピストン420のの下側に配置する場合を例示しているが、上側に配置しても良い。
Further, it is preferable that the moving stroke of the
更に、図6及び図7では、作動流体を利用したピストン機構によって、衝撃を発生するようにしたが、例えば図8(a)及び(b)に示すように、ソレノイド144eによって、部品保持ユニット140に配置される受圧部材144dをノックすることで、ノズル142に衝撃を付与することもできる。この受圧部材144dも、被係合部材144cと同様に、自転軸線Jからオフセットさせることが好ましく、固定側のソレノイド144eを自転軸線Jからオフセット配置できるので、上部カメラ117bによる撮像を可能にする。なお、衝撃発生用ピストン420又はソレノイド144eによる衝撃付与方向は、自転軸線J方向(鉛直上方又は鉛直下方)であることが好ましく、特に鉛直下方であることが望ましいが、本発明はこれに限定されず、図8(b)の点線で示すように、受圧部材144dを水平方向からノックしても良く、また、上側外部付勢装置150cの押圧部材152をノックしても良い。
Further, in FIGS. 6 and 7, the impact is generated by the piston mechanism using the working fluid. However, as shown in FIGS. 8A and 8B, for example, the
また更に、図6乃至図8では、部品保持ユニット140の外部に衝撃発生機構400を配置する場合を紹介したが、回転テーブル130と共に回転する状態、即ちノズル142内、ノズル142の周囲(部品保持ユニット140)、回転テーブル130等に配置しても良い。この場合は、各ノズル142に対応させて衝撃発生機構400を配置する。例えば図9(a)に示すように、案内機構149のベース材149dに下端ストッパ460を配置し、図9(b)に示すように、上側外部付勢装置150cによって、ノズル142が鉛直下方に案内される際の最下点で、自転用ブラケット143b(又はノズル142)と下端ストッパ460を衝突させることもできる。この衝突時の衝撃により、ノズル142から部品10が落下する。なお、図9(b)の点線で示すように、被係合部144cにストッパを衝突させることもできる。
Furthermore, in FIGS. 6 to 8, the case where the
更に図10に示すように、ノズル142内の吸引通路(案内路)142bに、衝撃発生機構400を重畳形成することもできる。具体的には、衝撃発生用シリンダ410を負圧エアの吸引通路142bに重畳形成しておき、その移動空間410a内に衝撃発生用ピストン420を移動自在に配置する。このようにすると、図10(a)に示すように、ノズル142によって部品10の吸着している間は、負圧エアによって衝撃発生用ピストン420が上昇位置で待機する。なお、ここでは特に図示しないが、上方の待機位置で、衝撃発生用ピストン420が吸引通路142bを完全に閉鎖しないように、移動空間410aと衝撃発生用ピストン420の間に隙間を用意しておくことが好ましい。図10(b)に示すように、部品10を収容空間20に放出するために、吸引通路142b内の負圧エアを遮断すると、衝撃発生用ピストン420が落下して、ノズル142に衝撃を付与する。また、衝撃発生用ピストン420が落下すると同時に、移動空間410a内のエアも押し出されて、ノズル142から外部に放出されるので、そのエアによっても部品10をノズル142から離脱させることにつながる。なお、既に述べたように、部品10が極めて小さい場合は、この放出されるエアが大量過ぎると、収容空間20から部品10が飛散する可能性があるので、放出されるエアは極少量にすることが好ましい。従って、衝撃発生用ピストン420の移動ストロークは、2センチメートル以下が好ましく、より好ましくは1センチメートル以下、望ましくは5mm以下に設定する。このストロークを調整するために、図11(a)及び(b)に示すように、負圧エアの吸引通路142b内に一対のストッパ470を配置しておき、このストッパ470に挟まれた空間を、衝撃発生用シリンダ410とすることもできる。ストッパ470の一方を軸方向に移動させることで、衝撃発生用ピストン420の移動ストロークを自在に調整できる。
Furthermore, as shown in FIG. 10, the
更に図11(c)及び(d)に示すように、ノズル142の外周に、円筒状の衝撃発生用シリンダ410を配置し、その中にリング状の衝撃発生用ピストン420を収容することもできる。この衝撃発生用シリンダ410の移動空間410aには、ノズル142の吸引通路142bから分岐したエア流路430によって負圧エアが上方から供給される。移動空間410aの下部には、内部のエアを大気側に放出する開口410bが形成される。この開口410bによるエアの放出方向は、ノズル142の自転軸線J方向と異なる方向(鉛直下方とは異なる方向)、具体的には水平方向に設定される。従って、図11(c)の待機状態から、図11(d)の衝撃発生状態に遷移する際に、衝撃発生用シリンダ410の落下によって、開口410bから水平方向に向かって内部のエアが放出されるので、収容空間20に搬出される部品10を飛散させないで済む。なお、図11(d)の点線に示すように、衝撃発生用ピストン420の応答性を高める際には、バネ450を利用して、衝撃発生用ピストン420を下方向に付勢しても良い。
Furthermore, as shown in FIGS. 11C and 11D, a cylindrical
次に、この搬送装置101の第一搬送領域101aで同時並行的に進められる動作を作業領域単位で説明する。
Next, an operation that is simultaneously performed in the
<供給領域103の動作>図12(a)に示すように、部品供給装置110は、上部カメラ117aで複数の部品10を撮像し、その中の特定の部品10について、X−Y平面内で移動させて所定位置に配置する。なお、この際に、部品10のθ回転方向の誤差も算出しておく。部品供給装置110によって、特定の部品10が供給領域103に位置決めされた後(又は略同時)に、回転テーブル130が反時計回りに回転し、部品保持ユニット140のノズル142が、部品10に対向する位置まで移動する。回転テーブル130は、この状態で、所定の時間静止する。回転テーブル130が静止している間に、上側外部付勢装置150aが部品保持ユニット140を押圧して、ノズル142を供給領域103に配置された部品10に近接させる。そして、ノズル142が部品10を吸着して保持する。その後、上側外部付勢装置150aによる押圧を解除する(又は押圧力を緩める)ことで、ノズル142が上昇する。その後、部品10のθ回転方向の誤差を解消すべく、ノズル142を自転軸線J周りに回転させて姿勢を整える(図示省略)
<Operation of
<外観検査領域107の動作>図12(b)に示すように、回転テーブル130は、部品10の自転軸線J周りの姿勢を整えた上で、外観検査領域107に進入する。回転テーブル130が静止している間に、外観検査領域107では、上側外部付勢装置150bによって部品保持ユニット140を押圧して、ノズル142を外観検査装置200内に下降させる。外観検査装置200では、部品10の五つの面(四つの側面と下面)の傷や欠損、寸法誤差等を検査しつつ、再度、部品10の保持状態(姿勢)を解析して、その後、ノズル142を自転軸線J周りに回転させて部品10の姿勢を微調整する。なお、部品10に欠陥があった場合や、部品10の保持姿勢が修正不能なレベルにある場合、後述する収容空間20に搬出することなく、廃棄領域109において、部品10を廃棄トレイ300に放出する。
<Operation of
<搬出領域105の動作>図12(c)に示すように、搬出領域105では、ノズル142が進入する前に、上部カメラ117bによって搬出領域105で待機する収容空間20の状態を画像認識する。この画像認識結果と、図12(b)で取得した部品10の姿勢との差異を解析し、ノズル142を自転軸J周りに回転させると共に、収容空間20のX−Y平面位置を、整列トレイ移動手段172によって調整して、両者を一致させる。なお、上部カメラ117bによる画像認識は、部品10が搬出領域105に到着する前に完了していればよい。
<Operation of
部品保持ユニット140に保持されている部品10が搬出領域105に到着すると、回転テーブル130が静止し、その間に、上側外部付勢装置150cが、部品保持ユニット140を押圧する。これにより、部品保持ユニット140のノズル142が下降して、部品10を搬出領域105で待機する収容空間20内に収納する。この際に、上側外部付勢装置150cに内蔵されている衝撃発生機構400によって、ノズル142に衝撃を付与して、ノズル142から部品10を離脱させる。
When the
更に、ノズル142を上昇させて搬出領域105から下流側に移動させた後、上部カメラ117bによって、収容空間20に載置された部品10の上面の状態を画像認識して、上面のみの外観検査を行う。上面の外観検査で欠陥が判明した場合は、回転テーブル130を逆回転して、ノズル142によって部品を再度吸着保持し廃棄領域109へ搬送するか、上流から移動してくる次のノズル142を利用して、欠陥となる部品10を廃棄領域109へ搬送するか、或いは、欠陥情報をメモリに記憶しておき、整列トレイ171を交換するタイミングで、ノズル142を利用して収容空間20内の欠陥部品10をまとめて取り出して廃棄領域109に廃棄しても良い。
Further, after the
<廃棄領域109の動作>図12(d)に示すように、廃棄領域109に進入したノズル142は、姿勢や位置の制御が不可能と判断される部品10を廃棄トレイ300に放出する。なお、特に図示しないが、廃棄領域109に吸引装置を配置しておき、ノズル142の先端を吸引することによって、部品10を回収することが好ましい。このようにすると、ノズル142の周囲や吸引通路142bに付着したゴミも同時に回収できて好適である。
<Operation of
ここでは第一搬送領域101aの作業工程を説明したが、第二から第四搬送領域101b、101c、101dにおいても、上記動作が併行して行われる。従って、合計四か所において搬入、搬出が同時並行的に行われるので、搬送効率を飛躍的に高めることができる。
Here, the work process of the
なお、図2及び図3に示すように、回転テーブル130及び部品保持ユニット140の外周に沿って、保護カバー102bが配置されており、作業者がノズル141や回転テーブル130に触れることを防止する。更に、第一乃至第四搬送領域101a、101b、101c、101dの境界にも、仕切り壁102cが設けられており、搬送中の他の搬送領域における、部品供給装置110や部品搬出装置170に作業者が触れることを防止する。また、基台102の外周には、第一乃至第四搬送領域101a、101b、101c、101d毎に独立した開閉ドア102dが設けられる。従って、保護カバー102bと仕切り壁102cと開閉ドア102dによって、第一乃至第四搬送領域101a、101b、101c、101dの作業空間が独立した状態となっている。
As shown in FIGS. 2 and 3, a
従って、例えば、第一搬送領域101aにおいて、部品供給装置110の載置トレイ115内の部品10が空になった場合は、回転テーブル130の回転は継続しながらも、載置トレイ115を保護カバー102bよりも外側の空間に移動させてから、第一搬送領域101aのみの搬送動作を全て中断する。その後、作業者は、第一搬送領域101aの開閉ドア102dを空けて、載置トレイ115に部品10を供給するか、部品10を載置した新たな載置トレイ115に交換する。この間においても、残りの第二乃至第四搬送領域101b、101c、101dでは、搬送動作を継続することが可能となる。これは、部品搬出装置170の整列トレイ171を交換する場合も同様である。
Therefore, for example, in the
本実施形態の搬送装置101によれば、回転テーブル130の周方向に配置される複数のノズル142の各々を、自転軸線Jを中心として自転駆動するノズル自転駆動手段143と、ノズル142の各々を、自転軸線Jに沿って案内する案内機構149を備える。また、搬送装置101には、ノズル142の公転軌跡に沿って、複数(四か所)の部品搬送領域101a〜101dが形成される。また、複数の部品搬送領域101a〜101dの各々は、部品供給装置110と、公転軌跡の下流側に配置される部品搬出装置170を有しており、回転テーブル130によって公転される複数のノズル142は、全ての部品搬送領域101a〜101dにおける部品供給装置110及び部品搬出装置170に同時に存在し得ることにより、部品10の供給動作と搬出動作を同時並行させる。従って、一台の搬送装置101によって、実質、複数台分の搬送作業を実現することが可能となり、結果、搬送効率を飛躍的に高めることが可能となる。
According to the
また、本実施形態のノズル142は、回転テーブル130の周方向に少なくとも六個配設され、部品搬送領域は少なくとも三か所形成されるので、搬送効率を三倍以上に高めることが可能となる。なお、本実施形態のように、ノズル142を八個以上(ここでは十六個)設けるようにし、部品搬送領域を少なくとも四か所に形成すれば、搬送効率を四倍以上に高めることができる。
In addition, since at least six
更に本搬送装置101では、各部品搬送領域101a〜101dにおいて、部品供給装置110と部品搬出装置170の間に、部品の外観を検査する外観検査装置200を配置し、供給時間又は搬出時間を有効活用して、同時並行的に部品10の外観検査動作を行うことが可能となるので、外観検査を兼ねることが可能となり、部品の組立効率を高めることが可能となっている。
Further, in the
特に本搬送装置101の外観検査装置200は、部品進入口202aの周囲四か所に映像投影部材106を配置して、部品進入口202aから進入させた部品10の四か所の側面の投影像と、部品10の底面を、下部カメラ210でまとめて撮像している。従って、部品10の保持動作となるノズル140の上下動作を有効活用して、部品10の供給時間又は搬出時間という限られた時間の中で、部品10の五面をまとめて外観検査できる。更に、最後には、部品搬出装置170に移載した部品10の上面を、上部カメラ117bで撮像して外観検査を行うので、部品10の六面検査を実現できる。
In particular, the
なお、本実施形態に係る搬送装置101は、16個の部品保持ユニット140を備えているが、本発明はこれに限定されるものではなく、その他の個数(例えば4個、6個、8個、12個、20個)を備えていても良い。
Although the
また、搬送装置101は、回転テーブル130を、運転位置において回転の中心軸が上下方向(鉛直方向)となるように配設されているが、これに限定されるものではなく、運転位置における回転の中心軸が水平方向や斜め方向となるように配設されるものであってもよい。また、回転テーブル130は、本実施形態に示される形状以外の形状であってもよい。
Further, in the
さらに、搬送装置101は、各部が中央制御装置190によって統括的に制御される構成であるが、これに限定されるものではなく、個別に専用の制御装置を設けるようにしてもよい。
Further, the
そして、搬送装置101の固定テーブル120は、基台102に配設されるものに限定されるものではなく、他の部材に配設されるものや、独立して配設されるものであってもよい。また、回転テーブル130は、基台102上に回転自在に立設される場合を例示したが、本発明はこれに限定されず、上方のアーム部材等によって吊り下げられても良い。
And the fixed table 120 of the conveying
また、各作業領域は、本実施形態において示した位置に限定されるものではなく、他の位置に配置するようにしてもよい。さらに、部品の加工組立や検査等を行う作業工程を搬送途中に設けるようにしてもよい。 Each work area is not limited to the position shown in the present embodiment, and may be arranged at another position. Further, a work process for processing and assembling parts, inspecting, and the like may be provided during conveyance.
そして、回転テーブル130の回転は、22.5度ごとに静止する間欠回転に限定されるものではなく、部品保持ユニット140が、各作業領域に対向する位置にある場合にも、回転テーブル130を低速で回転させ続けるようにしてもよい。この場合、部品供給装置110と部品搬出装置170は、供給領域103や搬出領域105において、回転テーブル130と同方向且つ同速度で移動するように回転する回転テーブルとすることが好ましい。つまり、供給領域103では、回転テーブル130に配置されるノズル142は、自身と同方向且つ同速度で移動する部品供給装置110に供給される部品10を、回転中に吸着することができる。また、搬出領域105では、部品保持ユニット140は、ノズル142に吸着している部品10を、部品10と同方向且つ同速度で移動する部品搬出装置170に供給される収容空間20に、回転中に搬出することができる。
The rotation of the rotary table 130 is not limited to intermittent rotation that stops every 22.5 degrees, and the rotary table 130 can be moved even when the
更に、上記搬送装置では、軸方向駆動手段が、部品保持ユニットの外部に配置される場合を例示したが、本発明はこれに限定されず、各部品保持ユニットに、軸方向駆動手段を配置しても良い。例えば、案内機構149を直動モータとすれば、案内機構と軸方向駆動手段を兼ねることも可能である。
Furthermore, although the case where the axial driving means is arranged outside the component holding unit has been illustrated in the above-described transport apparatus, the present invention is not limited to this, and the axial driving means is arranged in each component holding unit. May be. For example, if the
また、繊維や砥石等によって形成される清掃面を有し、ノズルの先端と当接して、付着したゴミ等を定期的に拭き上げる清掃装置を備えても良い。 In addition, a cleaning device may be provided that has a cleaning surface formed of fibers, a grindstone, or the like, and abuts against the tip of the nozzle to periodically wipe off adhering dust.
また、本発明の搬送装置塔は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。 In addition, the transfer device tower of the present invention is not limited to the above-described embodiment, and it is needless to say that various changes can be made without departing from the gist of the present invention.
本発明は、電子部品の製造分野で幅広く利用することが出来る。 The present invention can be widely used in the field of manufacturing electronic components.
101 搬送装置
10 部品
20 収容空間
101a、101b、101c、101d 搬送領域
110 部品供給装置
117a、117b 上部カメラ
130 回転テーブル
140 部品保持ユニット
143 ノズル自転駆動手段
149 案内機構
170 部品搬出装置
200 外観検査装置
400 衝撃発生機構
DESCRIPTION OF
Claims (18)
前記ベース部材に対して周方向に沿って複数配設されて前記回転軸線を中心に公転移動し、部品を保持する保持具と、
複数の前記保持具の各々を、吸着方向に沿う自転軸線を中心として自転駆動する保持具自転駆動手段と、
複数の前記保持具の各々を、前記自転軸線に沿って案内する案内機構と、を備え、
前記保持具の公転軌跡に沿って該公転軌跡を複数に分割することにより、複数の部品搬送領域が形成されており、
複数の前記部品搬送領域の各々は、
前記部品を前記保持具に供給する部品供給装置と、
前記部品供給装置よりも前記公転軌跡の下流側に配置されて、前記保持具から前記部品を受け取って搬出する部品搬出装置と、を有しており、
前記ベース部材が回転することで、前記保持具が、複数の前記部品搬送領域のそれぞれで、前記部品供給装置から前記部品搬出装置まで前記部品を移送し、
前記ベース部材によって公転される複数の前記保持具は、複数の前記部品搬送領域に対応する複数の前記部品供給装置及び複数の前記部品搬出装置に同時に存在し得ることにより、複数の前記部品の供給動作と、複数の前記部品の搬出動作と、を同時並行させることを特徴とする、
搬送装置。 A base member that rotates about a rotation axis;
A plurality of holders disposed around the base member along the circumferential direction, revolving around the rotation axis, and holding parts;
A holder rotation driving means for rotating each of the plurality of the holders around a rotation axis along the suction direction;
A guide mechanism for guiding each of the plurality of holders along the rotation axis,
By dividing the revolution trajectory into a plurality along the revolution trajectory of the holder , a plurality of component conveyance areas are formed,
Each of the plurality of component conveyance areas is
A component supply device for supplying the component to the holder;
A component unloading device that is disposed on the downstream side of the revolving trajectory than the component supply device, and receives and unloads the component from the holder;
When the base member rotates, the holder transfers the components from the component supply device to the component carry-out device in each of the plurality of component conveyance regions,
The plurality of the holders revolved by the base member can be simultaneously present in the plurality of component supply devices and the plurality of component carry-out devices corresponding to the plurality of component conveyance regions , thereby supplying a plurality of the components. The operation and the unloading operation of a plurality of the parts are performed in parallel,
Conveying device.
前記部品搬送領域は、少なくとも三か所形成され、
前記六個の前記保持具は、前記三か所の前記部品搬送領域の前記部品供給装置及び前記部品搬出装置に同時に存在し得ることを特徴とする、
請求項1に記載の搬送装置。 At least six of the holders are arranged in the circumferential direction of the base member,
The parts conveyance area is formed in at least three places,
The six holders may be simultaneously present in the component supply device and the component carry-out device in the three parts conveyance areas,
The transport apparatus according to claim 1.
前記部品搬送領域は、少なくとも四か所形成され、
前記八個の前記保持具は、前記四か所の前記部品搬送領域の前記部品供給装置及び前記部品搬出装置に同時に存在し得ることを特徴とする、
請求項2に記載の搬送装置。 At least eight of the holders are arranged in the circumferential direction of the base member,
The parts conveyance area is formed in at least four places,
The eight holders may be present at the same time in the component supply device and the component carry-out device in the four parts conveyance areas,
The transport apparatus according to claim 2.
前記部品供給装置と前記部品搬出装置の間に、前記部品の外観を検査する外観検査装置を有し、
前記保持具は、前記部品供給装置、前記外観検査装置及び前記部品搬出装置に同時に存在することにより、前記部品の前記供給動作と、外観検査動作と、前記搬出動作と、を同時並行させることを特徴とする、
請求項1乃至3のいずれかに記載の搬送装置。 The parts conveyance area is
Between the component supply device and the component carry-out device, there is an appearance inspection device that inspects the appearance of the component,
The holding tool simultaneously exists in the component supply device, the appearance inspection device, and the component carry-out device, thereby causing the supply operation of the component, the appearance inspection operation, and the carry-out operation to be simultaneously performed in parallel. Features
The conveyance apparatus in any one of Claims 1 thru | or 3.
前記部品が前記自転軸線方向に進入する部品進入口と、
前記部品進入口の周囲四か所に配置されて、前記部品進入口から進入した前記部品の四か所の側面の像を、前記自転軸線方向に投影する映像投影部材と、
前記映像投影部材による前記側面の投影像の投映方向に配置されて、前記四か所の側面の前記投影像、及び前記部品の底面をまとめて撮像する五面撮像手段と、
を備えることを特徴とする、
請求項4に記載の搬送装置。 The appearance inspection apparatus is:
A component entrance into which the component enters in the direction of the rotation axis;
Video projection members that are arranged at four locations around the component entrance and project images of side surfaces of the four portions of the component that have entered from the component entrance in the direction of the rotation axis,
Five-plane imaging means arranged in the projection direction of the projected image of the side surface by the video projection member, and collectively imaging the projected images of the four side surfaces and the bottom surface of the component;
Characterized by comprising,
The transport apparatus according to claim 4.
請求項1乃至5のいずれかに記載の搬送装置。 It is disposed on the component unloading device, and the component unloading device includes an upper surface imaging unit that images an upper surface of the component received from the holder.
The conveyance apparatus in any one of Claims 1 thru | or 5.
複数の前記部品搬送領域のいずれかにおいて、前記供給動作と前記搬出動作を休止させる間も、前記ベース部材を回転させることによって、残りの前記部品搬送領域における前記供給動作と前記搬出動作を継続することを特徴とする、
請求項1乃至6のいずれかに記載の搬送装置。 A protective cover for preventing an operator from touching the holding tool is arranged on the outer side in the radial direction of the revolving trajectory of the holding tool,
While the supply operation and the carry-out operation are suspended in any of the plurality of component transfer regions, the supply operation and the carry-out operation in the remaining component transfer region are continued by rotating the base member. It is characterized by
The conveyance apparatus in any one of Claims 1 thru | or 6.
請求項1乃至7のいずれかに記載の搬送装置。 The component unloading device is a taping device that receives and seals the component between a pair of tapes,
The conveyance apparatus in any one of Claims 1 thru | or 7.
請求項1乃至8のいずれかに記載の搬送装置。 The holding tool present on the component unloading device includes an impact generating mechanism that applies an impact to the holder at a timing of releasing the component to the component unloading device.
The conveyance apparatus in any one of Claims 1 thru | or 8.
前記衝撃発生用シリンダに対して作動流体を流入及び流出させることで前記衝撃発生用ピストンを移動させることで、前記保持具に衝撃を付与することを特徴とする、
請求項9に記載の搬送装置。 The impact generating mechanism includes an impact generating cylinder and an impact generating piston accommodated in the impact generating cylinder so as to freely reciprocate;
An impact is applied to the holder by moving the impact generating piston by flowing a working fluid into and out of the impact generating cylinder.
The transport apparatus according to claim 9.
請求項9又は10に記載の搬送装置。 The impact generating mechanism is installed in any one of the holder, the periphery of the holder, and the base member,
The transport apparatus according to claim 9 or 10.
前記衝撃発生機構の作動流体として、前記エアを兼用することを特徴とする、
請求項9乃至11のいずれかに記載の搬送装置。 The holder is a nozzle that sucks and holds the component by a negative pressure of air,
As the working fluid of the impact generating mechanism, the air is also used,
The transport apparatus according to claim 9.
前記衝撃発生機構は、
前記ノズルの内部に形成される前記エアの案内路に重畳形成される、前記衝撃発生用シリンダと、
前記衝撃発生用シリンダ内に収容されて、前記エアの負圧によって往復移動自在に設けられた、衝撃発生用ピストンと、を備えており、
前記エアの負圧を解除した際の前記衝撃発生ピストンの移動によって、前記ノズルに衝撃を付与することを特徴とする、
請求項9に記載の搬送装置。 The holder is a nozzle that sucks and holds the component by a negative pressure of air,
The impact generating mechanism is
The impact generating cylinder formed to be superimposed on the air guide path formed inside the nozzle;
An impact generating piston housed in the impact generating cylinder and reciprocally moved by the negative pressure of the air ;
The impact is imparted to the nozzle by the movement of the impact generating piston when the negative pressure of the air is released,
The transport apparatus according to claim 9.
前記衝撃発生機構は、
前記ノズルの周囲に配置されて、前記エアの負圧が導入される前記衝撃発生用シリンダと、
前記衝撃発生用シリンダ内に収容されて、前記エアの負圧によって往復移動自在に設けられた、衝撃発生用ピストンと、を備えており、
前記エアの負圧を解除した際の前記衝撃発生ピストンの移動によって、前記ノズルに衝撃を付与することを特徴とする、
請求項9に記載の搬送装置。 The holder is a nozzle that sucks and holds the component by a negative pressure of air,
The impact generating mechanism is
The impact generating cylinder, which is arranged around the nozzle and into which the negative pressure of the air is introduced;
An impact generating piston housed in the impact generating cylinder and reciprocally moved by the negative pressure of the air ;
The impact is imparted to the nozzle by the movement of the impact generating piston when the negative pressure of the air is released,
The transport apparatus according to claim 9.
前記開口による前記エアの放出方向が、前記ノズルの前記自転軸線方向と異なる方向に設定されることを特徴とする、
請求項14に記載の搬送装置。 The impact generating cylinder is formed with an opening for releasing internal air to the atmosphere side,
The air discharge direction by the opening is set in a direction different from the rotation axis direction of the nozzle,
The transport apparatus according to claim 14.
前記被係合部と係合することで、前記自転軸線方向に前記保持具を駆動する自転軸方向駆動手段と、を備え、
前記衝撃発生機構は、前記自転軸方向駆動手段に設置されることを特徴とする、
請求項9又は10に記載の搬送装置。 An engaged portion that is offset from the rotation axis of the holder and guided by the guide mechanism together with the holder;
A rotation axis direction driving means for driving the holder in the rotation axis direction by engaging with the engaged portion;
The impact generating mechanism is installed in the rotation axis direction driving means,
The transport apparatus according to claim 9 or 10.
前記自転軸方向駆動手段は、前記ベース部材と共に回転する複数の前記保持具を、前記自転軸線方向に駆動することを特徴とする、
請求項16に記載の搬送装置。 The rotation axis direction driving means is fixedly arranged at a position away from the base member,
The rotation axis direction drive means drives the plurality of holders rotating together with the base member in the rotation axis direction.
The transport apparatus according to claim 16.
前記保持具を、前記回転軸線を中心に公転移動させると同時に、複数の前記保持具の各々を、吸着方向に沿う自転軸線を中心として自転させるようにし、
複数の前記保持具の各々を、前記自転軸線に沿って案内し、
前記保持具の公転軌跡に沿って該公転軌跡を複数に分割して、複数の部品搬送領域を形成し、
複数の前記部品搬送領域の各々では、
前記部品を前記保持具に供給する部品供給工程と、
前記部品供給工程よりも前記公転軌跡の下流側に配置されて、前記保持具から前記部品を受け取って搬出する部品搬出工程と、
前記ベース部材が回転することで、前記保持具が、複数の前記部品搬送領域のそれぞれで前記部品供給装置から前記部品搬出装置まで前記部品を移送する部品移送工程と、を行うようにし、
前記ベース部材によって公転される複数の前記保持具が、複数の前記部品搬送領域に対応する複数の前記部品供給工程及び複数の前記部品搬出工程に同時に存在し得ることにより、複数の前記部品の供給動作と、複数の前記部品の搬出動作と、を同時進行することを特徴とする、
搬送方法。 A plurality of components are arranged along the circumferential direction with respect to the base member that rotates around the rotation axis, and the components are held by the holder.
The holder is revolved around the rotation axis, and at the same time, each of the plurality of holders is rotated around a rotation axis along the suction direction,
Guiding each of the plurality of holders along the rotation axis;
Dividing the revolution locus into a plurality along the revolution locus of the holder to form a plurality of parts conveyance areas,
In each of the plurality of parts conveyance areas,
A component supply step of supplying the component to the holder;
A component unloading step for receiving and unloading the component from the holder, which is arranged on the downstream side of the revolution trajectory than the component supply step;
The base member rotates, so that the holder performs a component transfer step of transferring the component from the component supply device to the component unloading device in each of a plurality of the component transfer regions ,
A plurality of the holders revolved by the base member can simultaneously exist in a plurality of the component supply steps and a plurality of the component carry-out steps corresponding to a plurality of the component conveyance regions, thereby supplying a plurality of the components. The operation and the unloading operation of a plurality of the parts proceed simultaneously.
Transport method.
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