JP5763966B2 - クリーン環境用アクチュエータ - Google Patents
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Description
前記筐体は,前記ベッドの一端面を覆うエンドブラケット,前記ベッドの他端面を覆うモータブラケット,前記ベッドの前記両側面と前記両側面側の前記上面とを前記ベッドの両側からそれぞれ覆う一対のサイドカバー,前記ベッドの前記上面である前記サイドカバー間の開口部を覆うシールプレート,及び前記スライダの上面部分に掛かる前記シールプレートの部分と前記シールプレートの両側面から突出した前記テーブルとを上方から覆うテーブルカバーから構成されており,
前記ベッドのそれぞれの前記側壁に前記長手方向に沿って形成された取付溝を構成するTスロットに全長に渡って嵌挿されたパッキンを備え,前記パッキンは前記ベッドの前記側面を覆う前記サイドカバーに密接して前記ベッドと前記サイドカバーとの間の隙間を密閉しており,前記パッキンは,前記取付溝内に配設された本体部,前記Tスロットを形成するフランジ部に係止する前記本体部から突出した係止部,前記Tスロットの底部に当接する前記本体部から突出した基底リップ,及び前記Tスロットを形成する開口部から突出して前記サイドカバーに密接する前記本体部から突出した封止リップから構成されていることを特徴とするクリーン環境用アクチュエータに関する。
2 スライダ
3 サイドカバー
4 シールプレート
5 ベッド
6 テーブル
7 テーブルカバー
8 モータ
9 エンドブラケット
10 モータブラケット
14 取付面
15,25 吸引口
20 センサ取付け用溝
27 通気孔
29 Tスロット
30 パッキン
33 側壁
34 底壁
35 ボールねじナット
36 ボールねじ軸
42 上面
49 肩部
50 パッキン本体部
51 基底リップ
52 係止部
53 封止リップ
55 側板部
56 上板
59 首部
60 ケーシング
Claims (4)
- 底板と該底板の両側から長手方向に沿って立設された一対の側壁とによって断面U字形状に形成された長尺状のベッド,前記ベッドの前記側壁間の前記長手方向に沿って転動体を介して移動可能なスライダ,前記ベッドに対して前記スライダを移動可能に駆動する駆動装置,少なくとも前記ベッドの両端面と両側面と上面とを覆う筐体,及び前記スライダと一体構造に形成されて前記筐体の上面側から露出する取付面を備えたテーブルから成るクリーン環境用アクチュエータにおいて,
前記筐体は,前記ベッドの一端面を覆うエンドブラケット,前記ベッドの他端面を覆うモータブラケット,前記ベッドの前記両側面と前記両側面側の前記上面とを前記ベッドの両側からそれぞれ覆う一対のサイドカバー,前記ベッドの前記上面である前記サイドカバー間の開口部を覆うシールプレート,及び前記スライダの上面部分に掛かる前記シールプレートの部分と前記シールプレートの両側面から突出した前記テーブルとを上方から覆うテーブルカバーから構成されており,
前記ベッドのそれぞれの前記側壁に前記長手方向に沿って形成された取付溝を構成するTスロットに全長に渡って嵌挿されたパッキンを備え,前記パッキンは前記ベッドの前記側面を覆う前記サイドカバーに密接して前記ベッドと前記サイドカバーとの間の隙間を密閉しており,
前記パッキンは,前記取付溝内に配設された本体部,前記Tスロットを形成するフランジ部に係止する前記本体部から突出した係止部,前記Tスロットの底部に当接する前記本体部から突出した基底リップ,及び前記Tスロットを形成する開口部から突出して前記サイドカバーに密接する前記本体部から突出した封止リップから構成されていることを特徴とすることを特徴とするクリーン環境用アクチュエータ。 - 底板と該底板の両側から長手方向に沿って立設された一対の側壁とによって断面U字形状に形成された長尺状のベッド,前記ベッドの前記側壁間の前記長手方向に沿って転動体を介して移動可能なスライダ,前記ベッドに対して前記スライダを移動可能に駆動する駆動装置,少なくとも前記ベッドの両端面と両側面と上面とを覆う筐体,及び前記スライダと一体構造に形成されて前記筐体の上面側から露出する取付面を備えたテーブルから成るクリーン環境用アクチュエータにおいて,
前記筐体は,前記ベッドの一端面を覆うエンドブラケット,前記ベッドの他端面を覆うモータブラケット,前記ベッドの前記両側面と前記両側面側の前記上面とを前記ベッドの両側からそれぞれ覆う一対のサイドカバー,前記ベッドの前記上面である前記サイドカバー間の開口部を覆うシールプレート,及び前記スライダの上面部分に掛かる前記シールプレートの部分と前記シールプレートの両側面から突出した前記テーブルとを上方から覆うテーブルカバーから構成されており,
前記ベッドのそれぞれの前記側壁に前記長手方向に沿って形成された取付溝を構成するTスロットに全長に渡って嵌挿されたパッキンを備え,前記パッキンは前記ベッドの前記側面を覆う前記サイドカバーに密接して前記ベッドと前記サイドカバーとの間の隙間を密閉しており,
前記サイドカバーは,前記ベッドの前記側面に密接する側板部と前記側板部から延びて前記側板部に直交して前記ベッドの前記上面に掛けて延びる上板部とで断面L字形状に形成されており,前記サイドカバーの前記L字形状の角部には,前記側板部から前記ベッドの前記側壁上を内方へと入り込んだ形状に形成されたTスロットで成るセンサ取付溝が設けられ,前記センサ取付溝を形成する下面部分は前記ベッドの前記側壁の上面に設置される肩部に形成されていることを特徴とするクリーン環境用アクチュエータ。 - 底板と該底板の両側から長手方向に沿って立設された一対の側壁とによって断面U字形状に形成された長尺状のベッド,前記ベッドの前記側壁間の前記長手方向に沿って転動体を介して移動可能なスライダ,前記ベッドに対して前記スライダを移動可能に駆動する駆動装置,少なくとも前記ベッドの両端面と両側面と上面とを覆う筐体,及び前記スライダと一体構造に形成されて前記筐体の上面側から露出する取付面を備えたテーブルから成るクリーン環境用アクチュエータにおいて,
前記筐体は,前記ベッドの一端面を覆うエンドブラケット,前記ベッドの他端面を覆うモータブラケット,前記ベッドの前記両側面と前記両側面側の前記上面とを前記ベッドの両側からそれぞれ覆う一対のサイドカバー,前記ベッドの前記上面である前記サイドカバー間の開口部を覆うシールプレート,及び前記スライダの上面部分に掛かる前記シールプレートの部分と前記シールプレートの両側面から突出した前記テーブルとを上方から覆うテーブルカバーから構成されており,
前記ベッドのそれぞれの前記側壁に前記長手方向に沿って形成された取付溝を構成するTスロットに全長に渡って嵌挿されたパッキンを備え,前記パッキンは前記ベッドの前記側面を覆う前記サイドカバーに密接して前記ベッドと前記サイドカバーとの間の隙間を密閉しており,
密閉された前記筐体内の内部空間を前記スライダが前記ベッド上を移動する際に生じるポンピング現象を防止するため,前記スライダには,前記テーブル寄りの前記スライダの上部の端面間を貫通する通気孔が形成されていることを特徴とするクリーン環境用アクチュエータ。 - 底板と該底板の両側から長手方向に沿って立設された一対の側壁とによって断面U字形状に形成された長尺状のベッド,前記ベッドの前記側壁間の前記長手方向に沿って転動体を介して移動可能なスライダ,前記ベッドに対して前記スライダを移動可能に駆動する駆動装置,少なくとも前記ベッドの両端面と両側面と上面とを覆う筐体,及び前記スライダと一体構造に形成されて前記筐体の上面側から露出する取付面を備えたテーブルから成るクリーン環境用アクチュエータにおいて,
前記筐体は,前記ベッドの一端面を覆うエンドブラケット,前記ベッドの他端面を覆うモータブラケット,前記ベッドの前記両側面と前記両側面側の前記上面とを前記ベッドの両側からそれぞれ覆う一対のサイドカバー,前記ベッドの前記上面である前記サイドカバー間の開口部を覆うシールプレート,及び前記スライダの上面部分に掛かる前記シールプレートの部分と前記シールプレートの両側面から突出した前記テーブルとを上方から覆うテーブルカバーから構成されており,
前記ベッドのそれぞれの前記側壁に前記長手方向に沿って形成された取付溝を構成するTスロットに全長に渡って嵌挿されたパッキンを備え,前記パッキンは前記ベッドの前記側面を覆う前記サイドカバーに密接して前記ベッドと前記サイドカバーとの間の隙間を密閉しており,
前記駆動装置は,モータ,及び前記モータで回転駆動され且つ前記ベッド内で前記エンドブラケットと前記モータブラケットとで軸受を介して回転自在に軸端がそれぞれ支持されたボールねじ軸と前記ボールねじ軸に螺合して前記スライダに取り付けられたボールねじナットとから成るボールねじから構成されており,前記エンドブラケットと前記モータブラケットには,塵埃が発生し易い場所である前記ボールねじ軸の前記軸端の近辺に,前記筐体の内部の空気を吸引するための吸引口が一対ずつ形成されていることを特徴とするクリーン環境用アクチュエータ。
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Cited By (1)
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Families Citing this family (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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EP2784352A4 (en) * | 2011-11-22 | 2016-01-27 | Iai Corp | ACTUATOR |
US20140263879A1 (en) * | 2013-03-14 | 2014-09-18 | Gilson, Inc. | Compliant bearing system with a rigid support structure |
JP5746266B2 (ja) * | 2013-06-07 | 2015-07-08 | Thk株式会社 | アクチュエータ |
CN103511458A (zh) * | 2013-09-06 | 2014-01-15 | 苏州凯欧机械科技有限公司 | 一种医用洁净***械的密封定位装置 |
CN104750106A (zh) * | 2013-12-30 | 2015-07-01 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 单轴机器人 |
JP6282521B2 (ja) * | 2014-04-23 | 2018-02-21 | 日本トムソン株式会社 | 小形開閉スライド装置 |
JP6506508B2 (ja) * | 2014-06-26 | 2019-04-24 | 日本トムソン株式会社 | アクチュエータ |
CN105467990A (zh) * | 2014-09-12 | 2016-04-06 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 单轴机器人 |
JP6356559B2 (ja) * | 2014-09-25 | 2018-07-11 | 株式会社今仙電機製作所 | ロアレール |
CN104518602B (zh) * | 2015-01-22 | 2017-07-14 | 温州纳米克自动化科技有限公司 | 密封式电动缸 |
CN104816119B (zh) * | 2015-04-30 | 2017-01-04 | 广州明珞汽车装备有限公司 | 一种直线式柔性定位装置 |
US10249842B2 (en) | 2015-06-26 | 2019-04-02 | Nec Lighting, Ltd. | Organic EL device, organic EL lighting panel, organic EL lighting apparatus, and organic EL display |
KR101672395B1 (ko) * | 2016-03-18 | 2016-11-04 | (주)인벤티홀딩스 | 차폐기능을 가지는 리니어모션가이드 |
CN105822667A (zh) * | 2016-05-18 | 2016-08-03 | 黄国锦 | 一种可自动密封的轨道导向装置 |
CN105840651A (zh) * | 2016-05-18 | 2016-08-10 | 吴宗文 | 一种可调的轨道导向组件 |
CN105757120A (zh) * | 2016-05-18 | 2016-07-13 | 黄国锦 | 一种运行稳定的轨道导向装置 |
CN105952793A (zh) * | 2016-05-18 | 2016-09-21 | 青岛洼特帽业有限公司 | 一种新型导向装置 |
CN105782241A (zh) * | 2016-05-18 | 2016-07-20 | 黄国锦 | 一种利用轨道导向的导向装置 |
CN105840650A (zh) * | 2016-05-18 | 2016-08-10 | 黄国锦 | 一种运行顺畅的轨道导向组件 |
CN105889322A (zh) * | 2016-05-18 | 2016-08-24 | 钱国臣 | 一种可自动密闭的轨道式导向结构 |
CN106122266B (zh) * | 2016-08-17 | 2018-11-20 | 南京西普水泥工程集团有限公司 | 冷却机支承装置 |
DE102017201230A1 (de) * | 2017-01-26 | 2018-07-26 | Robert Bosch Gmbh | Linearbewegungsvorrichtung mit Lebensdauerüberwachung |
CN107355523A (zh) * | 2017-07-22 | 2017-11-17 | 吴其兵 | 一种变速装置 |
CN109424709B (zh) * | 2017-08-31 | 2022-02-15 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种线性模组及其工作方法 |
CN107725590A (zh) * | 2017-10-31 | 2018-02-23 | 天津莫德曼机器人有限公司 | 一种用于直线导轨的全封式封盖 |
KR101992638B1 (ko) * | 2017-11-15 | 2019-06-25 | 주식회사 팔복인더스트리 | 개선된 방진 구조를 갖는 리니어 액추에이터 |
CN110553022B (zh) * | 2018-06-04 | 2021-11-09 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 一种机器人密封立柱 |
WO2020179955A1 (ko) * | 2019-03-07 | 2020-09-10 | (주)코리아테크 | 클린 타입 리니어 가이드 |
CN111644767B (zh) * | 2020-06-19 | 2021-04-09 | 临沂泓泽激光设备有限公司 | 工业激光切割机 |
KR102239442B1 (ko) * | 2020-07-03 | 2021-04-13 | (주)코리아테크 | 폐쇄형 클린 타입 리니어 가이드 |
CN112664560B (zh) * | 2021-01-04 | 2024-04-02 | 航天信息股份有限公司 | 一种防尘密封结构 |
KR102395109B1 (ko) * | 2021-10-07 | 2022-05-09 | 주식회사 지엔비 | 리니어 로봇 및 리니어 로봇의 제조 방법 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5852073U (ja) * | 1981-10-02 | 1983-04-08 | 昭和アルミニウム株式会社 | トラック荷台におけるサイド・フレ−ムの防水取付装置 |
US4545290A (en) * | 1983-12-23 | 1985-10-08 | Tol-O-Matic, Inc. | Pressure cylinder |
JPH0426501Y2 (ja) * | 1986-06-02 | 1992-06-25 | ||
DE3815595A1 (de) * | 1988-05-06 | 1989-11-23 | Star Gmbh | Linearfuehrungseinheit |
EP0896855B1 (en) * | 1993-10-12 | 2003-02-26 | SMC Kabushiki Kaisha | Actuator |
DE4445132C1 (de) * | 1994-12-17 | 1996-01-18 | Neff Antriebstech Automation | Führungseinrichtung |
JP3705641B2 (ja) * | 1996-01-19 | 2005-10-12 | Smc株式会社 | アクチュエータ |
JP2000088070A (ja) * | 1998-09-09 | 2000-03-28 | Smc Corp | 電動アクチュエータ |
JP4005248B2 (ja) * | 1998-12-28 | 2007-11-07 | 株式会社アイエイアイ | アクチュエータ |
JP2000230618A (ja) * | 1999-02-10 | 2000-08-22 | Thk Co Ltd | 防塵型案内装置 |
JP4472817B2 (ja) * | 1999-12-28 | 2010-06-02 | Thk株式会社 | 電動シリンダ |
JP3984805B2 (ja) * | 2000-10-25 | 2007-10-03 | 日本トムソン株式会社 | スライド装置のシール構造 |
US6588289B2 (en) * | 2001-07-06 | 2003-07-08 | Danaher Motion Technology, Llc | Linear actuator with protective guide chassis enclosing the lead screw |
JP4155781B2 (ja) * | 2001-11-26 | 2008-09-24 | 日本トムソン株式会社 | スライド装置のシール構造 |
JP4452551B2 (ja) * | 2004-05-11 | 2010-04-21 | 日本トムソン株式会社 | 低発塵用スライド装置 |
DE102007030883A1 (de) * | 2007-07-03 | 2009-01-08 | Schaeffler Kg | Dichtung für eine hydrostatische Linearführung |
JP5180799B2 (ja) * | 2008-12-10 | 2013-04-10 | 日本トムソン株式会社 | アクチュエータ |
-
2011
- 2011-05-12 JP JP2011106921A patent/JP5763966B2/ja active Active
-
2012
- 2012-04-25 US US13/455,551 patent/US8925408B2/en active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI603804B (zh) * | 2016-01-29 | 2017-11-01 | Machining machine can shorten the slide unit of the machine |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8925408B2 (en) | 2015-01-06 |
JP2012237383A (ja) | 2012-12-06 |
US20120285278A1 (en) | 2012-11-15 |
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