JP5746499B2 - マルチワイヤ放電加工装置及びそれを用いた炭化ケイ素板の製造方法 - Google Patents
マルチワイヤ放電加工装置及びそれを用いた炭化ケイ素板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5746499B2 JP5746499B2 JP2010279680A JP2010279680A JP5746499B2 JP 5746499 B2 JP5746499 B2 JP 5746499B2 JP 2010279680 A JP2010279680 A JP 2010279680A JP 2010279680 A JP2010279680 A JP 2010279680A JP 5746499 B2 JP5746499 B2 JP 5746499B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electric discharge
- discharge machining
- wire
- pulse
- switching transistor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000003754 machining Methods 0.000 title claims description 192
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 35
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 title claims description 30
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 12
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 83
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 18
- 238000009760 electrical discharge machining Methods 0.000 claims description 12
- 230000003472 neutralizing effect Effects 0.000 claims description 12
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 10
- 230000008030 elimination Effects 0.000 claims description 6
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 claims description 6
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims description 6
- 230000005591 charge neutralization Effects 0.000 description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- SBYXRAKIOMOBFF-UHFFFAOYSA-N copper tungsten Chemical compound [Cu].[W] SBYXRAKIOMOBFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- UYKQQBUWKSHMIM-UHFFFAOYSA-N silver tungsten Chemical compound [Ag][W][W] UYKQQBUWKSHMIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 230000009897 systematic effect Effects 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007514 turning Methods 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Description
Claims (10)
- 間隔をおいて配設された複数のガイドローラを含むガイドローラ組と、
各ガイドローラの長手方向に間隔をあけてガイドローラ組に複数回巻き掛けられて複数条となり、ガイドローラ組のうちの一対の隣り合うガイドローラ間で互いに離間した複数の切断ワイヤ部分を構成するワイヤと、
ワイヤの各条に接し、ワイヤの送り方向と同じ方向に向かって回転して共通の放電加工電力をワイヤの各条に給電する電極と、
放電加工電力を供給する共通の加工電源と、を備え、
放電加工電力は、放電加工パルスと、放電加工パルスと逆電圧で放電加工パルスに続く、放電加工パルスとは異なる残留電荷除電パルスと、を含む高周波パルスであり、
ワイヤを巻き掛け方向に送りながら各切断ワイヤ部分とワークとの間で放電を行ってワークを加工するマルチワイヤ放電加工装置。 - 請求項1に記載のマルチワイヤ放電加工装置であって、
加工電源は、放電加工パルスを発生させる少なくとも1つの主スイッチングトランジスタと少なくとも1つの主直流電源と、放電加工後の残電荷を除去するために放電加工パルスと逆電圧の残留電荷除電パルスを発生させる少なくとも一つの副スイッチングトランジスタと少なくとも1つの副直流電源と、を備えること、
を特徴とするマルチワイヤ放電加工装置。 - 請求項1または2に記載のマルチワイヤ放電加工装置であって、
加工電源は、複数の主スイッチングトランジスタを含み、
各主スイッチングトランジスタはタイミングをずらして放電加工パルスを順次発生させること、
を特徴とするマルチワイヤ放電加工装置。 - 請求項2または3に記載のマルチワイヤ放電加工装置であって、
主スイッチングトランジスタの個数は副スイッチングトランジスタの個数と同じかそれより多いこと、
を特徴とするマルチワイヤ放電加工装置。 - 請求項2から4のいずれか1項に記載のマルチワイヤ放電加工装置であって、
加工電源は、複数の主スイッチングトランジスタと少なくとも1つの副スイッチングトランジスタとを含み、
各主スイッチングトランジスタはタイミングをずらしてそれぞれ所定の周期でオンオフして放電加工パルスを順次発生させ、
副スイッチングトランジスタは一のスイッチングトランジスタがオフになってから次のスイッチングトランジスタがオンとなるまでの間にオンオフし、一のスイッチングトランジスタによって発生した放電加工パルスに続く残留電荷除電パルスを発生させること、
を特徴とするマルチワイヤ放電加工装置。 - 請求項2から4のいずれか1項に記載のマルチワイヤ放電加工装置であって、
加工電源は、複数の主スイッチングトランジスタを含み、
各主スイッチングトランジスタはタイミングをずらしてそれぞれ所定の周期でオンオフして放電加工パルスを順次発生させ、
副スイッチングトランジスタは共通で、副スイッチングトランジスタは主スイッチングトランジスタのオンオフの周期の主スイッチングトランジスタの個数分の一の周期でオンオフし、各放電加工パルスに続く残留電荷除電パルスを順次発生させること、
を特徴とするマルチワイヤ放電加工装置。 - 請求項1から6のいずれか1項に記載のマルチワイヤ放電加工装置であって、
複数の電極を含み、
各電極は、切断ワイヤ部分が伸びる方向の切断ワイヤ部分の中央からワイヤに沿って互いに反対方向に向かって等距離の位置に配置されていること、
を特徴とするマルチワイヤ放電加工装置。 - 間隔をおいて配設された複数のガイドローラを含むガイドローラ組と、各ガイドローラの長手方向に間隔をあけてガイドローラ組に複数回巻き掛けられて複数条となり、ガイドローラ組のうちの一対の隣り合うガイドローラ間で互いに離間した複数の切断ワイヤ部分を構成するワイヤと、ワイヤの各条に接し、ワイヤの送り方向と同じ方向に向かって回転して共通の放電加工電力をワイヤの各条に給電する電極と、放電加工電力を供給する共通の加工電源と、を備えるマルチワイヤ放電加工装置を用い、ワイヤを巻き掛け方向に送りながら各切断ワイヤ部分と炭化ケイ素のインゴットとの間で放電を行って炭化ケイ素のインゴットから複数の炭化ケイ素板を切り出す炭化ケイ素板の製造方法であって、
放電加工パルスと、放電加工パルスと逆電圧で放電加工パルスに続く、放電加工パルスとは異なる残留電荷除電パルスと、を含む高周波パルスを放電加工用電力として供給すること、
を特徴とする炭化ケイ素板の製造方法。 - 請求項8に記載の炭化ケイ素板の製造方法であって、
加工電源は、複数の主スイッチングトランジスタを含み、
各主スイッチングトランジスタはタイミングをずらして放電加工パルスを順次発生させること、
を特徴とする炭化ケイ素板の製造方法。 - 請求項8に記載の炭化ケイ素板の製造方法であって、
加工電源は、複数の主スイッチングトランジスタと少なくとも1つの副スイッチングトランジスタとを含み、
各主スイッチングトランジスタはタイミングをずらしてそれぞれ所定の周期でオンオフして放電加工パルスを順次発生させ、
副スイッチングトランジスタは一のスイッチングトランジスタがオフになってから次のスイッチングトランジスタがオンとなるまでの間にオンオフし、一のスイッチングトランジスタによって発生した放電加工パルスに続く残留電荷除電パルスを発生させること、
を特徴とする炭化ケイ素板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010279680A JP5746499B2 (ja) | 2010-12-15 | 2010-12-15 | マルチワイヤ放電加工装置及びそれを用いた炭化ケイ素板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010279680A JP5746499B2 (ja) | 2010-12-15 | 2010-12-15 | マルチワイヤ放電加工装置及びそれを用いた炭化ケイ素板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012125880A JP2012125880A (ja) | 2012-07-05 |
JP5746499B2 true JP5746499B2 (ja) | 2015-07-08 |
Family
ID=46643523
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010279680A Active JP5746499B2 (ja) | 2010-12-15 | 2010-12-15 | マルチワイヤ放電加工装置及びそれを用いた炭化ケイ素板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5746499B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5785409B2 (ja) * | 2011-03-24 | 2015-09-30 | 株式会社ディスコ | マルチワイヤ放電加工装置及びそれを用いた炭化ケイ素板の製造方法 |
JP5785410B2 (ja) * | 2011-03-24 | 2015-09-30 | 株式会社ディスコ | マルチワイヤ放電加工装置及びそれを用いた炭化ケイ素板の製造方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59134621A (ja) * | 1983-01-18 | 1984-08-02 | Inoue Japax Res Inc | 放電加工装置 |
JPS6384822A (ja) * | 1986-09-29 | 1988-04-15 | Amada Metrecs Co Ltd | 放電加工機の出力制御装置 |
JPH01257513A (ja) * | 1988-04-08 | 1989-10-13 | Sodick Co Ltd | 放電加工機 |
JP2939310B2 (ja) * | 1990-08-14 | 1999-08-25 | 株式会社ソディック | 放電加工装置 |
JPH09248719A (ja) * | 1996-03-12 | 1997-09-22 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | エピタキシャル・ウエハ用半導体インゴットの切断方法およびその装置 |
JP4580022B2 (ja) * | 2009-02-27 | 2010-11-10 | ファナック株式会社 | ワイヤ放電加工機 |
JP2010260151A (ja) * | 2009-05-11 | 2010-11-18 | Okayama Univ | ワイヤ放電加工装置及び放電加工方法 |
-
2010
- 2010-12-15 JP JP2010279680A patent/JP5746499B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012125880A (ja) | 2012-07-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2012125879A (ja) | マルチワイヤ放電加工装置及びそれを用いた炭化ケイ素板の製造方法 | |
JP2010005735A (ja) | マルチワイヤ放電加工装置 | |
JP5746499B2 (ja) | マルチワイヤ放電加工装置及びそれを用いた炭化ケイ素板の製造方法 | |
JP2010260151A (ja) | ワイヤ放電加工装置及び放電加工方法 | |
JP5785410B2 (ja) | マルチワイヤ放電加工装置及びそれを用いた炭化ケイ素板の製造方法 | |
US9089916B2 (en) | Wire electric discharge machining apparatus, wire electric discharge machining method, thin plate manufacturing method, and semiconductor wafer manufacturing method | |
US20160368069A1 (en) | Multi-wire saw | |
JP5464506B2 (ja) | ワイヤ放電加工システム、ワイヤ放電加工方法。 | |
JP6072236B2 (ja) | ワイヤ放電加工装置、これを用いた薄板の製造方法及び半導体ウエハの製造方法 | |
JP5578223B2 (ja) | マルチワイヤ放電加工システム、マルチワイヤ放電加工装置、電源装置、半導体基板または太陽電池基板の製造方法、放電加工方法 | |
JP2000109397A (ja) | 導電性を有するインゴット及びその切断方法 | |
JP5785409B2 (ja) | マルチワイヤ放電加工装置及びそれを用いた炭化ケイ素板の製造方法 | |
JP6537440B2 (ja) | マルチワイヤ放電加工装置 | |
US20110114603A1 (en) | Wire cut electrical discharge machine | |
JP6033190B2 (ja) | マルチワイヤ加工装置及びマルチワイヤ加工方法 | |
JP7089257B2 (ja) | 切断方法及び切断装置 | |
JP6489952B2 (ja) | マルチワイヤーソーのワイヤの交換方法 | |
CN114273740A (zh) | 一种三辊金刚线多线切割机 | |
JPWO2017141382A1 (ja) | マルチワイヤ走行モジュール、マルチワイヤ走行モジュールの使用方法及びワイヤ放電加工機 | |
JP2014172096A (ja) | ワイヤ放電加工システム、電源装置、及びその制御方法とプログラム。 | |
JP2000114086A (ja) | コイル巻線装置 | |
JP2000107944A (ja) | ワイヤカット放電加工装置 | |
JP2013166193A (ja) | 硬脆性インゴットの切断加工方法 | |
JP6293502B2 (ja) | ワイヤ放電加工システム、ワイヤ放電加工装置 | |
JP5811201B2 (ja) | ワイヤ放電加工システム、ワイヤ放電加工方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20131003 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131107 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140814 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140819 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141016 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150428 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150508 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5746499 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |