JP5742640B2 - 陽極接合用治具及びそれを用いた接合体の陽極接合方法 - Google Patents
陽極接合用治具及びそれを用いた接合体の陽極接合方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5742640B2 JP5742640B2 JP2011218907A JP2011218907A JP5742640B2 JP 5742640 B2 JP5742640 B2 JP 5742640B2 JP 2011218907 A JP2011218907 A JP 2011218907A JP 2011218907 A JP2011218907 A JP 2011218907A JP 5742640 B2 JP5742640 B2 JP 5742640B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- anodic bonding
- opening
- bridge girder
- jig
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
Description
図1は、本発明の第1の実施形態に係る陽極接合用治具100を示す。図1(a)は陽極接合用治具100を上から見た平面図であり、図1(b)は陽極接合用治具100の斜視図であり、図1(c)は陽極接合用治具100を(a)のA−A´に沿って見た断面図である。
以下、図6及び図7を参照して、本発明の別の一実施形態に係る陽極接合用治具について説明する。図6及び図7において、図1乃至図3を参照して説明した陽極接合用治具100と同一又は類似の構成要素には同一の参照番号を付与する。
102 第1部材
108 開口部
110 第2部材
110a 橋桁部
110b 橋脚部
402 第1基板
404a、404b 第2基板
Claims (6)
- 開口部を有する枠状の第1部材と、
前記第1部材上に配置され、前記開口部を跨ぐように前記第1部材に架設される橋桁部を含む第2部材と、を具備し、
前記橋桁部の熱膨張係数は、前記第1部材の熱膨張係数よりも大きいことを特徴とする陽極接合用治具。 - 前記第2部材は、前記橋桁部の両端部に設けられた橋脚部をさらに含み、
前記第2部材は、前記橋脚部が前記第1部材を挟むように前記第1部材上に配置されることを特徴とする請求項1に記載の陽極接合用治具。 - 前記橋桁部は、前記開口部に対向する側に設けられて前記第1部材の高さよりも低い凸部を有することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の陽極接合用治具。
- 開口部を有する枠状の第1部材を準備し、
前記第1部材より外形が小さく、且つ熱膨張係数が大きい第1基板を、前記第1部材の内側の少なくとも2箇所で接するように前記第1部材の前記開口部内に配置し、
前記第1部材よりも熱膨張係数が大きい橋桁部含む第2部材を、前記橋桁部が前記開口部を跨ぐように前記第1部材に架設し、
前記第1部材と前記第2部材とによって囲まれた領域において、前記第1基板上に第2基板を配置し、
全体を加熱して前記第1基板及び前記第2部材に前記第1部材よりも大きな熱膨張をさせることにより、前記第1部材と前記第1基板とのクリアランスを狭めるとともに、前記第1基板に対する前記第2基板のアライメント調整を行い、
アライメント調整後に、加熱下において前記第1基板と前記第2基板を陽極接合により接合すること、を含む接合体の製造方法。 - 前記第2部材は、前記橋桁部の両端部に設けられた橋脚部をさらに含み、
前記第2部材は、前記橋脚部が前記第1部材を挟むように前記第1部材上に配置されることを特徴とする請求項4に記載の接合体の製造方法。 - 前記第1基板及び前記第2基板は、一方がシリコン材料からなり、他方がガラス材料からなることを特徴とする請求項4又は請求項5に記載の接合体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011218907A JP5742640B2 (ja) | 2011-10-03 | 2011-10-03 | 陽極接合用治具及びそれを用いた接合体の陽極接合方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011218907A JP5742640B2 (ja) | 2011-10-03 | 2011-10-03 | 陽極接合用治具及びそれを用いた接合体の陽極接合方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013079159A JP2013079159A (ja) | 2013-05-02 |
JP5742640B2 true JP5742640B2 (ja) | 2015-07-01 |
Family
ID=48525879
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011218907A Expired - Fee Related JP5742640B2 (ja) | 2011-10-03 | 2011-10-03 | 陽極接合用治具及びそれを用いた接合体の陽極接合方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5742640B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2674572B2 (ja) * | 1995-05-31 | 1997-11-12 | 日本電気株式会社 | 陽極接合装置 |
US8529724B2 (en) * | 2003-10-01 | 2013-09-10 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Anodic bonding of silicon carbide to glass |
JP2006225224A (ja) * | 2005-02-21 | 2006-08-31 | Seiko Epson Corp | 陽極接合用治具及び陽極接合装置 |
-
2011
- 2011-10-03 JP JP2011218907A patent/JP5742640B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013079159A (ja) | 2013-05-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102263285B1 (ko) | 기판 결합 방법 | |
KR100907514B1 (ko) | 센서 장치, 센서 시스템 및 그것의 제조 방법 | |
JP6468350B2 (ja) | 共振子及び共振装置 | |
US20030141562A1 (en) | Single crystal, dual wafer, tunneling sensor or switch with silicon on insulator substrate and a method of making same | |
JP2008278634A (ja) | 静電型アクチュエータ | |
JP4967537B2 (ja) | センサーユニットおよびその製造方法 | |
EP2346083A1 (en) | Mems sensor | |
JP2004333133A (ja) | 慣性力センサ | |
EP3803497B1 (en) | Steerable optical assemblies | |
JP5742640B2 (ja) | 陽極接合用治具及びそれを用いた接合体の陽極接合方法 | |
TW201104826A (en) | Mechanical isolation for MEMS electrical contacts | |
KR20060107287A (ko) | 양극 접합 장치, 양극 접합 방법 및 가속도 센서의 제조방법 | |
CN107006127B (zh) | 电路结构体及其制造方法 | |
KR100830138B1 (ko) | 도전성 접촉자 홀더, 도전성 접촉자 유닛 및 도전성 접촉자홀더의 제조방법 | |
US20080113160A1 (en) | Method And Apparatus For Localized Bonding | |
TW501338B (en) | Dielectric links for microelectromechanical systems and associated fabrication methods | |
KR20200019245A (ko) | 토크 검출기 | |
JP6048435B2 (ja) | Soi基板およびそれを用いた物理量センサ、soi基板の製造方法および物理量センサの製造方法 | |
JPH1172723A (ja) | マイクロ光学素子,機能素子ユニット,およびこれらの製造方法 | |
JP2009071663A (ja) | 移動機構および撮像装置 | |
Skidmore et al. | Parallel assembly of microsystems using Si micro electro mechanical systems | |
KR20070096069A (ko) | 멤스 구조물의 토션스프링 | |
JP2022161262A (ja) | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 | |
WO2010104064A1 (ja) | Memsセンサ | |
JP2008210640A (ja) | 静電駆動素子およびそれを備えた静電駆動デバイス |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140822 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150326 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150407 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150420 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5742640 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |