JP5741398B2 - Mold cleaning sheet - Google Patents
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Description
本発明は、成形金型の型面をクリーニングする際に用いられる金型クリーニングシートに関するものである。 The present invention relates to a mold cleaning sheet used for cleaning a mold surface of a molding mold.
半導体素子をトランスファー成形によって樹脂封止する工程では、通常、金型を用いた樹脂成形が繰り返し行われる。そして、その繰り返し数(ショット数)が多くなるにつれて、金型の型面、特にキャビティ表面に、樹脂から滲出した成分,ばり,塵埃等の汚れが蓄積する。このような汚れは、成形品を金型から取り出す際の離型性を低下させ、また、成形品の表面に肌荒れ等を生じさせる。そこで、一定の成形繰り返し数(ショット数)毎に、金型の型面(キャビティ表面)がクリーニングされる。 In the step of resin-sealing a semiconductor element by transfer molding, resin molding using a mold is usually repeated. As the number of repetitions (the number of shots) increases, dirt such as components, flashes, and dust that have exuded from the resin accumulate on the mold surface, particularly the cavity surface. Such dirt deteriorates the releasability when the molded product is taken out from the mold, and causes rough skin on the surface of the molded product. Therefore, the mold surface (cavity surface) of the mold is cleaned every fixed number of molding repetitions (number of shots).
このクリーニング方法として、金型クリーニングシートを用いる方法が提案されている(例えば、特許文献1,2参照)。この金型クリーニングシートは、図14に示すように、シート状基材1の片面または両面(図14では片面)に、複数の帯状の金型クリーニング部材20が、隙間をあけて並列状に配設されたものとなっている。そして、金型をクリーニングする際には、上記金型クリーニングシートを、上金型と下金型の間に挟み、その状態で型締めする。これにより、金型クリーニングシートの金型クリーニング部材20をキャビティ内に充填させる。このとき、キャビティ内のエアが、隣り合う上記帯状の金型クリーニング部材20の隙間から抜けるため、金型クリーニング部材20がキャビティ内の隅々まで充填されるようになる。そして、この状態で加熱成形することにより、上記金型クリーニング部材20にキャビティ表面の汚れを付着させ、その後、その金型クリーニングシートを脱型し、上記汚れを金型クリーニング部材20と共に金型の型面(キャビティ表面)から取り除く。
As this cleaning method, a method using a mold cleaning sheet has been proposed (for example, see
上記金型クリーニングシートは、上記のようにエア抜き用の隙間が形成されていることにより、キャビティ内のエア抜きが良好になり、金型クリーニング部材20の充填性(クリーニング性)に優れたものとなっているものの、場合によって、皺が発生したり、反ったりすることがあった。そのような金型クリーニングシートを用いて金型をクリーニングすると、金型クリーニングシートの寸法が金型の寸法に足らなくなったり、金型クリーニングシートが折れ曲がったりして、金型クリーニング部材20のキャビティ内への充填性が低下し、クリーニングが不充分になることがあった。
The mold cleaning sheet is excellent in filling property (cleaning property) of the
そこで、本発明者が上記皺や反りの原因を追求した結果、その原因は、上記金型クリーニング部材20の寸法や形状や成分等によって、その帯状の金型クリーニング部材20が、その長手方向に沿って収縮することにあることがわかった。すなわち、上記金型クリーニングシートの作製は、上記シート状基材1の片面または両面に、未加硫ゴム系組成物または熱硬化性樹脂系組成物を材料として、金型クリーニング部材20に型成形することにより行われるが、脱型後、その型成形された帯状の金型クリーニング部材20の熱残留応力により、上記のように、その帯状の金型クリーニング部材20が、その長手方向に沿って収縮し、その結果、上記金型クリーニングシートに、皺や反りが発生することがわかった。
Therefore, as a result of the inventor pursuing the cause of the wrinkles and warping, the cause is that the belt-shaped
本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、皺や反りが発生せず、クリーニング性が高い金型クリーニングシートの提供をその目的とする。 The present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide a mold cleaning sheet that does not cause wrinkles or warpage and has high cleaning properties.
上記の目的を達成するため、本発明の金型クリーニングシートは、オーバル形状ないし四角形状の開口部を有するキャビティが形成された金型のクリーニングに用いられる金型クリーニングシートであって、シート状基材の少なくとも片面に、未加硫ゴム系組成物または熱硬化性樹脂系組成物からなる複数の帯状の金型クリーニング部材が、隙間をあけて並列状に配設され、上記帯状の金型クリーニング部材が長手方向に所定の間隔で切断されて複数のブロック体からなる縦列に形成され、そのブロック体の長さが、3〜50mmの範囲内に設定され、かつ、上記複数のブロック体からなる縦列において、ブロック体間の隙間が、0.1mm以上であって、上記金型クリーニング部材の幅以下の寸法に設定され、かつ、上記金型クリーニング部材の幅方向に隣り合う金型クリーニング部材との間の隙間が、その金型クリーニング部材の幅の1/2以上であって、その金型クリーニング部材の幅以下の寸法に設定され、かつ、上記金型クリーニング部材の幅が、1mm以上であって、上記オーバル形状ないし四角形状のキャビティ開口部の横幅の4/5以下の寸法に設定されているという構成をとる。 In order to achieve the above object, a mold cleaning sheet of the present invention is a mold cleaning sheet used for cleaning a mold in which a cavity having an oval or rectangular opening is formed. A plurality of belt-shaped mold cleaning members made of an unvulcanized rubber-based composition or a thermosetting resin-based composition are arranged in parallel with a gap on at least one surface of the material. The members are cut in the longitudinal direction at predetermined intervals to be formed in a column made up of a plurality of block bodies, the length of the block bodies is set within a range of 3 to 50 mm, and the blocks are made up of the plurality of block bodies. In the column, the gap between the block bodies is set to a dimension of 0.1 mm or more and less than the width of the mold cleaning member, and the mold cleaning is performed. The gap between the mold cleaning members adjacent in the width direction of the material is set to a dimension that is 1/2 or more of the width of the mold cleaning member and less than or equal to the width of the mold cleaning member, and The mold cleaning member has a width of 1 mm or more and is set to a dimension of 4/5 or less of the lateral width of the oval or square cavity opening.
本発明者は、先に述べた、複数の帯状の金型クリーニング部材が隙間をあけて並列状に配設された金型クリーニングシートについて、その高いクリーニング性を生かしながら、皺や反りが発生しないようにすべく、研究を重ねた。その結果、上記帯状の金型クリーニング部材を長手方向に所定の間隔で切断して複数のブロック体からなる縦列に形成すると、金型クリーニング部材の熱残留応力による収縮が、帯状の全体的なものではなく、ブロック体の部分的なものとなるため、その収縮が小さくなることを突き止めた。さらに、上記ブロック体の金型クリーニング部材の適正な寸法等について、研究を重ねた。その結果、ブロック体の長さを3〜50mmの範囲内に設定し、かつ、上記複数のブロック体からなる縦列において、ブロック体間の隙間を、0.1mm以上であって、上記金型クリーニング部材の幅以下の寸法に設定し、かつ、上記金型クリーニング部材の幅方向に隣り合う金型クリーニング部材との間の隙間を、その金型クリーニング部材の幅の1/2以上であって、その金型クリーニング部材の幅以下の寸法に設定し、かつ、上記金型クリーニング部材の幅を、1mm以上であって、上記オーバル形状ないし四角形状(長方形,正方形等)のキャビティ開口部の横幅の4/5以下の寸法に設定すると、上記収縮が適正化され、金型クリーニングシートに皺や反りが発生せず、クリーニング性も向上することを見出し、本発明に到達した。 The present inventor does not cause wrinkles or warping while taking advantage of the high cleaning property of the above-described mold cleaning sheet in which a plurality of belt-shaped mold cleaning members are arranged in parallel with a gap. In order to do so, research was repeated. As a result, when the strip-shaped mold cleaning member is cut at a predetermined interval in the longitudinal direction and formed into a series of blocks, a contraction due to the thermal residual stress of the mold cleaning member is caused by the entire strip-shaped mold. Instead, it was found that the shrinkage of the block body was reduced because it was a partial block. Furthermore, research was conducted on the appropriate dimensions and the like of the mold cleaning member of the block body. As a result, the length of the block bodies is set within a range of 3 to 50 mm, and the gap between the block bodies is 0.1 mm or more in the column composed of the plurality of block bodies, and the mold cleaning is performed. The gap between the mold cleaning member which is set to a dimension less than the width of the member and is adjacent to the mold cleaning member in the width direction is 1/2 or more of the width of the mold cleaning member, The width of the mold cleaning member is set to a dimension equal to or smaller than the width of the mold cleaning member, and the width of the mold cleaning member is 1 mm or more, and the width of the cavity opening of the oval shape or quadrangular shape (rectangle, square, etc.) When the dimension is set to 4/5 or less, the above-described shrinkage is optimized, the mold cleaning sheet does not wrinkle or warp, and the cleaning property is improved, and the present invention has been achieved.
本発明の金型クリーニングシートは、シート状基材の少なくとも片面において、帯状の金型クリーニング部材が長手方向に所定の間隔で切断されて複数のブロック体からなる縦列に形成され、そのブロック体の長さが、3〜50mmの範囲内に設定されている。このため、上記金型クリーニング部材の収縮が個々のブロック体に分散されて小さくなり、本発明の金型クリーニングシートに、皺や反りが発生しないようにすることができる。また、上記金型クリーニング部材の縦列において、ブロック体の金型クリーニング部材間に、隙間が形成されているため、その隙間も、上記金型クリーニング部材の幅方向に隣り合う金型クリーニング部材との間の隙間(従来からある隙間)と共に、金型をクリーニングする際のエア抜き用の隙間として利用することができ、エア抜き用の隙間が増加する。しかも、上記複数のブロック体からなる縦列におけるブロック体間の隙間が、0.1mm以上であって、上記金型クリーニング部材の幅以下の寸法に設定され、かつ、上記金型クリーニング部材の幅方向に隣り合う金型クリーニング部材との間の隙間が、その金型クリーニング部材の幅の1/2以上であって、その金型クリーニング部材の幅以下の寸法に設定されているため、上記エア抜きが適正化され、上記皺や反りが発生しないことと相俟って、金型クリーニング部材のキャビティ内への充填性が向上し、クリーニング性が向上する。さらに、上記金型クリーニング部材の幅が、1mm以上であって、上記オーバル形状ないし四角形状のキャビティ開口部の横幅の4/5以下の寸法に設定されているため、キャビティ開口部が小さくても、その開口部を部分的に、金型クリーニング部材が塞ぐようになるため、キャビティ内のエア抜き性に優れ、金型クリーニング部材のキャビティ内への充填性(クリーニング性)が優れている。 In the mold cleaning sheet of the present invention, at least one surface of a sheet-like base material is formed in a longitudinal row composed of a plurality of block bodies in which strip-shaped mold cleaning members are cut at predetermined intervals in the longitudinal direction. The length is set within a range of 3 to 50 mm. For this reason, the shrinkage | contraction of the said metal mold | die cleaning member is disperse | distributed to each block body, becomes small, and can prevent a wrinkle and a curvature from generating in the metal mold | die cleaning sheet of this invention. In addition, since a gap is formed between the mold cleaning members of the block body in the column of the mold cleaning members, the gap is also between the mold cleaning members adjacent in the width direction of the mold cleaning member. It can be used as a gap for releasing air when cleaning the mold together with a gap between them (conventional gap), and the gap for releasing air increases. In addition, the gap between the block bodies in the column composed of the plurality of block bodies is set to a dimension of 0.1 mm or more and less than the width of the mold cleaning member, and the width direction of the mold cleaning member The clearance between the adjacent mold cleaning members is set to a dimension that is 1/2 or more of the width of the mold cleaning member and less than the width of the mold cleaning member. In combination with the fact that the wrinkles and warpage do not occur, the filling property of the mold cleaning member into the cavity is improved and the cleaning property is improved. Further, the width of the mold cleaning member is set to 1 mm or more and 4/5 or less of the lateral width of the oval or rectangular cavity opening, so that the cavity opening is small. Since the mold cleaning member partially closes the opening, the air releasing property in the cavity is excellent, and the filling property (cleaning property) of the mold cleaning member into the cavity is excellent.
特に、上記シート状基材が、布帛である場合には、そのシート状基材の表面が粗面となるため、上記金型クリーニング部材のアンカー効果が向上し、これらシート状基材と金型クリーニング部材との密着力を強力にすることができる。 In particular, when the sheet-like base material is a fabric, the surface of the sheet-like base material becomes rough, so that the anchor effect of the mold cleaning member is improved. The adhesion with the cleaning member can be strengthened.
なかでも、上記布帛が、長繊維を用いた織布または不織布である場合には、そのシート状基材(布帛)の表面粗さが適正なものとなり、上記金型クリーニング部材のアンカー効果を適正化することができる。 In particular, when the fabric is a woven fabric or a nonwoven fabric using long fibers, the surface roughness of the sheet-like substrate (fabric) is appropriate, and the anchor effect of the mold cleaning member is appropriate. Can be
さらに、上記不織布が、スパンボンド不織布である場合には、比較的引張強度に方向性がなく、また、加熱成形時に加わる応力を吸収緩和し易いため、加熱成形時にシート破断が生じ難い。しかも、金型からの剥離(脱型)時もシート破断しないため、剥離(脱型)操作が簡便になる。 Furthermore, when the non-woven fabric is a spunbonded non-woven fabric, the tensile strength is relatively non-directional, and the stress applied during heat forming is easily absorbed and relaxed, so that sheet breakage does not easily occur during heat forming. In addition, since the sheet is not broken during the peeling (demolding) from the mold, the peeling (demolding) operation is simplified.
また、上記シート状基材が、エンボス処理されている場合にも、そのシート状基材の表面が粗面となるため、上記金型クリーニング部材のアンカー効果が向上し、これらシート状基材と金型クリーニング部材との密着力を強力にすることができる。 In addition, even when the sheet-like base material is embossed, the surface of the sheet-like base material becomes rough, so that the anchor effect of the mold cleaning member is improved. Adhesion with the mold cleaning member can be strengthened.
つぎに、本発明の実施の形態を図面にもとづいて詳しく説明する。 Next, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
図1は、本発明の金型クリーニングシートの第1の実施の形態を示している。この実施の形態の金型クリーニングシートは、オーバル形状ないし四角形状(長方形,正方形等)の開口部を有するキャビティが形成された金型のクリーニングに用いられる金型クリーニングシートであり、シート状基材1の片面に、未加硫ゴム系組成物または熱硬化性樹脂系組成物からなる複数のブロック体の金型クリーニング部材2が、隙間a,bをあけて縦横に規則的に配設されている。すなわち、上記金型クリーニングシートは、前記従来の金型クリーニングシート(図14参照)において、帯状の金型クリーニング部材2を長手方向に所定の隙間aをあけて複数のブロック体に分割して、それら複数のブロック体からなる縦列を形成している。しかも、上記ブロック体の金型クリーニング部材2の長さ(長手方向の寸法)Yを3〜50mmの範囲内に設定し、かつ、上記複数のブロック体の金型クリーニング部材2からなる縦列におけるブロック体間の隙間aを、0.1mm以上、上記金型クリーニング部材2の幅X以下に設定し、かつ、上記金型クリーニング部材2の幅方向に隣り合う金型クリーニング部材2との隙間bを、その金型クリーニング部材2の幅Xの1/2以上、その金型クリーニング部材2の幅X以下に設定し、かつ、上記金型クリーニング部材2の幅Xを、1mm以上、上記オーバル形状ないし四角形状のキャビティ開口部の横幅(上記オーバル形状ないし四角形状の短い方の幅)の4/5以下に設定している。このような寸法のパターンに上記金型クリーニング部材2を配設したことが、本発明の大きな特徴である。なお、この実施の形態では、上記ブロック体は、その長手方向に直角な断面形状が、全体的にドーム形に形成されたものとなっている。
FIG. 1 shows a first embodiment of a mold cleaning sheet of the present invention. The mold cleaning sheet of this embodiment is a mold cleaning sheet used for cleaning a mold in which a cavity having an opening of an oval shape or a square shape (rectangle, square, etc.) is formed. A plurality of block-shaped
すなわち、この実施の形態の金型クリーニングシートは、上記のように、帯状の金型クリーニング部材2を長手方向に所定の隙間aをあけて複数のブロック体に分割することにより、金型クリーニング部材2の長手方向(ブロック体の縦列方向)の収縮を分散させ、上記金型クリーニングシート全体の収縮を抑制している。このことは、生産性の向上を目的に、上記金型クリーニングシートを大きくする際に、より効果を発揮する。さらに、そのブロック体の長さYを3〜50mmの範囲内に設定することにより、上記金型クリーニングシートに、皺や反りが発生しないようにしている。なお、上記ブロック体の長さYの好ましい範囲は、上記皺や反りの防止の観点から、10〜40mmの範囲内である。また、上記ブロック体の高さHは、通常、1〜5mmの範囲内に設定される。
That is, the mold cleaning sheet of this embodiment is divided into a plurality of block bodies by separating the belt-shaped
また、この実施の形態の金型クリーニングシートでは、前記従来の金型クリーニングシート(図14参照)における、金型クリーニング部材2の幅方向に隣り合う金型クリーニング部材2との間の隙間bに加え、上記のように、金型クリーニング部材2の長手方向においても、隣り合うブロック体の間に、隙間aが形成されている。さらに、それら隙間a,bを上記範囲内に設定することにより、金型をクリーニングする際のエア抜きを適正化している。そして、このエア抜きの適正化と、上記皺や反りの防止とが相俟って、金型クリーニングシートが金型の型面に密着し易くなり、金型クリーニング部材2のキャビティ内への充填性が向上し、クリーニング性が向上する。
Further, in the mold cleaning sheet of this embodiment, in the gap b between the
さらに、この実施の形態の金型クリーニングシートでは、上記金型クリーニング部材2の幅Xを、1mm以上、上記オーバル形状ないし四角形状のキャビティ開口部の横幅の4/5以下に設定することにより、キャビティ開口部が小さくても、金型クリーニング部材2がキャビティ開口部を部分的に塞ぐようにし、キャビティ内のエアを抜き易くしている。これにより、金型クリーニング部材2のキャビティ内への充填性(クリーニング性)が優れたものとなっている。なお、上記ブロック体の幅Xの好ましい範囲は、上記充填性の観点から、上記オーバル形状ないし四角形状のキャビティ開口部の横幅の2/5〜4/5の範囲内である。ただし、上記金型クリーニング部材2の幅Xは、その金型クリーニング部材2の収縮を縮小する観点から、50mmを超えないようにする。
Furthermore, in the mold cleaning sheet of this embodiment, by setting the width X of the
そして、この実施の形態の金型クリーニングシートでは、上記のように、隣り合う金型クリーニング部材2の間の隙間a,bを格子状に形成することにより、縦横に切断することを容易にし、金型の大きさに応じて適正な大きさに切断して使用できるようにしている。
In the mold cleaning sheet of this embodiment, as described above, the gaps a and b between the adjacent
より詳しく説明すると、上記シート状基材1の形成材料としては、例えば、紙(和紙,洋紙,合成紙等)、布帛(織布,不織布,編布等)、プラスチック(ポリエチレンテレフタレート,ポリイミド,ポリエチレンナフタレート,ポリアミド,ポリプロピレン等)等があげられる。また、上記シート状基材1の厚みは、例えば、0.05〜1mmの範囲内のものが用いられる。なかでも、上記金型クリーニング部材2のアンカー効果を生み、その金型クリーニング部材2との密着力を強力にする観点から、不織布,エンボス処理されたもの、粗面化処理されたもの、穿孔処理されたもの、多孔質のもの等が好ましい。特に、長繊維を用いた織布および不織布は、表面が適正な粗面となっていることから、上記アンカー効果が適正になる観点で好ましく、上記不織布のなかでも、耐破断性に優れる観点から、スパンボンド不織布であることが好ましい。
More specifically, examples of the material for forming the sheet-
また、上記金型クリーニング部材2を形成する未加硫ゴム系組成物または熱硬化性樹脂系組成物は、未加硫ゴムまたは熱硬化性樹脂に、シリカ粉末や酸化チタン等の無機質充填剤を混合したものであり、その配合割合は、上記未加硫ゴムまたは熱硬化性樹脂100重量部に対し、シリカ粉末40〜50重量部程度、酸化チタン5重量部程度である。なお、必要に応じて、他の成分も適宜混合される。
The unvulcanized rubber-based composition or the thermosetting resin-based composition forming the
上記未加硫ゴムとしては、例えば、天然ゴム(NR),クロロプレンゴム(CR),ブタジエンゴム(BR),ニトリルゴム(NBR),エチレンプロピレンジエンゴム(EPDM),エチレンプロピレンゴム(EPM),スチレンブタジエンゴム(SBR),ポリイソプレンゴム(IR),ブチルゴム(IIR),シリコーンゴム(Q),フッ素ゴム(FKM)等があげられる。 Examples of the unvulcanized rubber include natural rubber (NR), chloroprene rubber (CR), butadiene rubber (BR), nitrile rubber (NBR), ethylene propylene diene rubber (EPDM), ethylene propylene rubber (EPM), and styrene. Examples include butadiene rubber (SBR), polyisoprene rubber (IR), butyl rubber (IIR), silicone rubber (Q), and fluorine rubber (FKM).
上記熱硬化性樹脂としては、例えば、メラミン樹脂等があげられる。 As said thermosetting resin, a melamine resin etc. are mention | raise | lifted, for example.
上記金型クリーニング部材2の色は、特に限定されるものではないが、白色ないし灰色のような淡色とすることが好ましい。その理由は、金型のキャビティから除去すべき汚れは、黒色等の濃色であるため、クリーニング後に、金型クリーニング部材2に上記汚れが付着したことを肉眼で容易に確認することができ、クリーニングの状況を容易に確認することができるからである。上記淡色にするためには、上記未加硫ゴム系組成物または熱硬化性樹脂系組成物に白色系顔料等を添加する。
The color of the
上記金型クリーニングシートの製法は、例えば、まず、上記未加硫ゴム系組成物または熱硬化性樹脂系組成物を連続式またはバッチ式の混練り機で混練りした後、上記シート状基材1の片面に配置する。ついで、それを、金型クリーニング部材2の配設パターンに対応した凹部が形成された金型で押圧する。これにより、上記シート状基材1の片面に、上記配設パターンの金型クリーニング部材2が一体的に形成される。そして、脱型後、それを巻き取るか、または適宜の寸法に切断する。このようにして、上記金型クリーニングシートを作製することができる。
The mold cleaning sheet can be produced, for example, by first kneading the unvulcanized rubber composition or thermosetting resin composition with a continuous or batch kneader, and then the sheet-like substrate. 1 on one side. Next, it is pressed with a mold in which a recess corresponding to the arrangement pattern of the
なお、上記実施の形態では、金型クリーニング部材2をシート状基材1の片面のみに形成したが、図2に示すように、シート状基材1の両面に形成してもよい。また、図3に示すように、シート状基材1の表面と裏面とで、ブロック体の金型クリーニング部材2の長手方向が異なるようにしてもよい(図3では90°異なっている)。
In the above embodiment, the
また、上記実施の形態では、金型クリーニング部材2の長手方向に直角な断面形状が、全体的にドーム形状に形成されたものとしたが、その断面形状は、他でもよく、例えば、図4(a)に示すように、頂部がドーム形に形成され、その下部が台形に形成されたものでもよいし、図4(b)に示すように、頂部がドーム形に形成され、その下部が長方形に形成されたものでもよい。また、上記断面形状は、図4(c)に示すように、三角形でもよいし、図4(d)に示すように、台形でもよいし、図4(e)に示すように、半円でもよい。
In the above embodiment, the cross-sectional shape perpendicular to the longitudinal direction of the
なかでも、図4(a)〜(c),(e)に示すものは、金型クリーニング部材2の頂部が非平坦状に形成されているため、キャビティの開口部が小さくても、その開口部を部分的に、金型クリーニング部材2の頂部が塞ぎ易くなり、キャビティ内のエアをより抜き易くすることができる。その結果、金型クリーニング材料の充填性がより向上し、キャビティ内のクリーニング性もより向上する。
4 (a) to 4 (c) and 4 (e), the top of the
また、金型クリーニング部材2の長手方向に沿う断面形状は、図5(a)に示すように、長方形(長手方向の両端面がシート状基材1と直角であり、その両端面の周縁部が直角に形成された形状)でもよいし、図5(b)に示すように、台形(長手方向の両端面が傾斜し、その両端面の周縁部が角部に形成された形状)でもよいし、図5(c)に示すように、長手方向の両端面が曲面状に形成された形状(両端面の周縁部も丸みを帯びた形状)でもよい。なお、図1〜図3に示す上記実施の形態では、上記金型クリーニング部材2の長手方向に沿う断面形状は、図5(a)に示すものである。
Further, as shown in FIG. 5 (a), the cross-sectional shape along the longitudinal direction of the
そして、図4(a),(c)〜(e)、図5(b),(c)のように、金型クリーニング部材2の側面や両端面がシート状基材1の表面と直角になっていないものについては、金型クリーニング部材2の幅X,長さYおよび隙間a,bの測定は、金型クリーニング部材2の根元(底面)で行う。
4 (a), (c) to (e), and FIGS. 5 (b) and 5 (c), the side surface and both end surfaces of the
また、金型クリーニング部材2の配設パターンの例としては、図6〜図11に平面図で示すようなものがあげられる。なお、これら図6〜図11では、金型クリーニング部材2の根元(底面)を図示している。すなわち、上記配設パターンは、図6に示すように、正方形を縦横に規則的に配設したパターンでもよいし、図7(a)に示すように、オーバル形状(幅X:長さY=1:10)を、その長手方向を縦にして縦横に規則的に配設したパターンでもよいし、図7(b)に示すように、上記オーバル形状を、その長手方向を横にして縦横に規則的に配設したパターンでもよい。また、図8(a)に示すように、長方形(幅X:長さY=1:10)を、その長手方向を縦にして縦横に規則的に配設したパターンでもよいし、図8(b)に示すように、上記長方形を、その長手方向を横にして縦横に規則的に配設したパターンでもよいし、図9に示すように、シート状基材1の端縁に、図8(a)に示す長方形の一端が一致するように配設したパターンでもよい。さらに、図8(a),(b)の長方形の幅Xと長さYの比を、図10(a),(b)に示すように、1:5.5としてもよいし、図11(a),(b)に示すように、1:4としてもよい。なお、図1〜図3に示す上記実施の形態では、上記金型クリーニング部材2の根元(底面)の配設パターンは、図9に示すものである。
Examples of the arrangement pattern of the
また、上記実施の形態では、隣り合う金型クリーニング部材2の間の隙間a,bの部分から、シート状基材1が露呈していたが、その隙間a,bの部分のシート状基材1の部分は、図12(a)〜(e)〔図4(a)〜(e)に対応する断面図〕,図13(a)〜(c)〔図5(a)〜(c)に対応する断面図〕に示すように、薄膜状の金型クリーニング部材2(金型クリーニング部材2の形成材料である未加硫ゴム系組成物または熱硬化性樹脂系組成物からなる薄膜2a)で覆われていてもよい。その場合、その薄膜2aの厚みは、シート状基材1の厚みと同じにすることが好ましい。そのようにすると、突設された金型クリーニング部材2の間に上記薄膜2aが形成されていても、金型クリーニングシートの収縮に悪影響を及ぼさず、金型クリーニングシートに皺や反りが発生しない。
Moreover, in the said embodiment, although the sheet-
つぎに、実施例について比較例と併せて説明する。但し、本発明は、実施例に限定されるわけではない。 Next, examples will be described together with comparative examples. However, the present invention is not limited to the examples.
〔布帛シート〕
シート状基材として、ポリエステル製長繊維からなるスパンボンド不織布(旭化成社製、エルタスE01070)を準備した。この不織布は、引き裂き強度8.5N、厚み0.35mm、坪量70g/m2 であった。
[Fabric sheet]
As a sheet-like base material, a spunbond nonwoven fabric (Asahi Kasei Co., Ltd., ELTAS E01070) made of polyester long fibers was prepared. This nonwoven fabric had a tear strength of 8.5 N, a thickness of 0.35 mm, and a basis weight of 70 g / m 2 .
〔金型クリーニング部材〕
エチレンプロピレンゴム100重量部、シリカパウダー50重量部、酸化チタン5重量部、有機過酸化物〔n−ブチル−4,4−ビス(t−ブチルパーオキシ)バレレート〕2重量部、イミダゾール{2,4−ジアミノ−6−〔2’−メチルイミダゾリル−(1’)〕エチル−s−トリアジン}10重量部、モンタンワックス5重量部を混練機で混練し、金型クリーニング部材を調製した。
[Mold cleaning member]
100 parts by weight of ethylene propylene rubber, 50 parts by weight of silica powder, 5 parts by weight of titanium oxide, 2 parts by weight of organic peroxide [n-butyl-4,4-bis (t-butylperoxy) valerate], imidazole {2, 10 parts by weight of 4-diamino-6- [2′-methylimidazolyl- (1 ′)] ethyl-s-triazine} and 5 parts by weight of montan wax were kneaded with a kneader to prepare a mold cleaning member.
〔実施例1〜5,比較例1〜6〕
上記シート状基材の両面に、上記金型クリーニング材料を、ブロック体が隙間をあけて縦横に規則的に配設したパターンに形成し、金型クリーニングシートを得た(図2参照)。上記ブロック体の形状は、図1に示すものとし、上記ブロック体および隙間の寸法は、下記の表1,2に示した。
[Examples 1-5, Comparative Examples 1-6]
The mold cleaning material was formed on both surfaces of the sheet-like substrate in a pattern in which block bodies were regularly arranged vertically and horizontally with a gap therebetween (see FIG. 2). The shape of the block body is shown in FIG. 1, and the dimensions of the block body and the gap are shown in Tables 1 and 2 below.
〔金型クリーニングシートの収縮率〕
実施例1〜5および比較例1〜6の金型クリーニングシートを作製する前後で、金型クリーニング材料の長手方向に対応する、シート状基材の寸法を測定し、そのシート状基材の収縮率を算出した。その結果、収縮率1%未満のものを◎、1〜3%のものを○、3%を超えるものを×と評価し、下記の表1,2に示した。なお、比較例2,4は、作製困難のため、評価していない。
[Shrinkage rate of mold cleaning sheet]
Before and after producing the mold cleaning sheets of Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 6, the dimension of the sheet-like substrate corresponding to the longitudinal direction of the mold cleaning material was measured, and the shrinkage of the sheet-like substrate The rate was calculated. As a result, those with shrinkage of less than 1% were evaluated as ◎, those with 1-3% were evaluated as ○, and those exceeding 3% were evaluated as ×, and are shown in Tables 1 and 2 below. Comparative examples 2 and 4 were not evaluated because they were difficult to produce.
〔充填性〕
実施例1〜5および比較例1〜6の金型クリーニングシートを用い、金型のクリーニングを行った。この金型は、半導体素子を樹脂封止する際に用いるトランスファー成形用金型であり、上金型と下金型とからなり、これら上金型と下金型の各型面(対向面)は24mm×91mmの長方形となっている。また、型締めした状態での各キャビティの形状は略直方体状(キャビティ開口部はオーバル形状)であり、その寸法は5mm×5mm×2mm(高さ)である(キャビティ開口部の幅5mm)。また、キャビティは16個形成されており、それらが8個ずつ2列に並列状に配置されている。この2列の間隔は10mmであり、各列において隣り合うキャビティの間隔は1mmである。上記クリーニングの条件は、金型の型締めギャップを0.5mmとし、成形温度を175℃とし、成形時間を5分間とした。そして、クリーニングの状態を目視にて確認した。その結果、キャビティの隅々までクリーニングができたものを、充填性に優れるとして○、キャビティの隅部にクリーニングされていない部分があったものを、充填性に劣るとして×と評価し、下記の表1,2に示した。なお、比較例2,4は、作製困難のため、評価していない。
[Fillability]
The molds were cleaned using the mold cleaning sheets of Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 6. This mold is a transfer molding mold used for resin-sealing a semiconductor element. The mold includes an upper mold and a lower mold. Each mold surface (opposing surface) of these upper mold and lower mold. Is a rectangle of 24 mm × 91 mm. In addition, the shape of each cavity in the clamped state is a substantially rectangular parallelepiped shape (the cavity opening is an oval shape), and the dimensions are 5 mm × 5 mm × 2 mm (height) (the width of the cavity opening is 5 mm). Further, 16 cavities are formed, and 8 cavities are arranged in parallel in two rows. The interval between the two rows is 10 mm, and the interval between adjacent cavities in each row is 1 mm. The cleaning conditions were such that the mold clamping gap was 0.5 mm, the molding temperature was 175 ° C., and the molding time was 5 minutes. And the state of cleaning was confirmed visually. As a result, those that could be cleaned to every corner of the cavity were evaluated as ◯ as being excellent in fillability, and those that were not cleaned at the corner of the cavity were evaluated as × as being poor in fillability, and the following The results are shown in Tables 1 and 2. Comparative examples 2 and 4 were not evaluated because they were difficult to produce.
上記表1,2の結果から、実施例1〜5の金型クリーニングシートは、比較例1〜6の金型クリーニングシートよりも、充填性およびクリーニング性に優れることがわかる。 From the results of Tables 1 and 2, it can be seen that the mold cleaning sheets of Examples 1 to 5 are superior to the mold cleaning sheets of Comparative Examples 1 to 6 in filling and cleaning properties.
本発明の金型クリーニングシートは、成形金型の型面のクリーニングに用いることができる。 The mold cleaning sheet of the present invention can be used for cleaning the mold surface of a molding mold.
1 シート状基材
2 金型クリーニング部材
X 幅
Y 長さ
a,b 隙間
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