JP5732132B2 - ポートドア位置決め装置及び関連の方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 31
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 173
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 168
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 42
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 claims description 21
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 21
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 16
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 16
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- 230000009471 action Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 3
- 239000013618 particulate matter Substances 0.000 description 3
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 description 2
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E06—DOORS, WINDOWS, SHUTTERS, OR ROLLER BLINDS IN GENERAL; LADDERS
- E06B—FIXED OR MOVABLE CLOSURES FOR OPENINGS IN BUILDINGS, VEHICLES, FENCES OR LIKE ENCLOSURES IN GENERAL, e.g. DOORS, WINDOWS, BLINDS, GATES
- E06B7/00—Special arrangements or measures in connection with doors or windows
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- E06B7/32—Serving doors; Passing-through doors ; Pet-doors
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
- H01L21/6719—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the construction of the processing chambers, e.g. modular processing chambers
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/6735—Closed carriers
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- H—ELECTRICITY
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/6735—Closed carriers
- H01L21/67386—Closed carriers characterised by the construction of the closed carrier
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices
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- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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- H01L21/67775—Docking arrangements
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- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E06—DOORS, WINDOWS, SHUTTERS, OR ROLLER BLINDS IN GENERAL; LADDERS
- E06B—FIXED OR MOVABLE CLOSURES FOR OPENINGS IN BUILDINGS, VEHICLES, FENCES OR LIKE ENCLOSURES IN GENERAL, e.g. DOORS, WINDOWS, BLINDS, GATES
- E06B3/00—Window sashes, door leaves, or like elements for closing wall or like openings; Layout of fixed or moving closures, e.g. windows in wall or like openings; Features of rigidly-mounted outer frames relating to the mounting of wing frames
- E06B3/32—Arrangements of wings characterised by the manner of movement; Arrangements of movable wings in openings; Features of wings or frames relating solely to the manner of movement of the wing
- E06B3/50—Arrangements of wings characterised by the manner of movement; Arrangements of movable wings in openings; Features of wings or frames relating solely to the manner of movement of the wing with more than one kind of movement
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- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E06—DOORS, WINDOWS, SHUTTERS, OR ROLLER BLINDS IN GENERAL; LADDERS
- E06B—FIXED OR MOVABLE CLOSURES FOR OPENINGS IN BUILDINGS, VEHICLES, FENCES OR LIKE ENCLOSURES IN GENERAL, e.g. DOORS, WINDOWS, BLINDS, GATES
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- E06B3/32—Arrangements of wings characterised by the manner of movement; Arrangements of movable wings in openings; Features of wings or frames relating solely to the manner of movement of the wing
- E06B3/50—Arrangements of wings characterised by the manner of movement; Arrangements of movable wings in openings; Features of wings or frames relating solely to the manner of movement of the wing with more than one kind of movement
- E06B3/5009—Arrangements of wings characterised by the manner of movement; Arrangements of movable wings in openings; Features of wings or frames relating solely to the manner of movement of the wing with more than one kind of movement where the sliding and rotating movements are necessarily performed simultaneously
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- E06B—FIXED OR MOVABLE CLOSURES FOR OPENINGS IN BUILDINGS, VEHICLES, FENCES OR LIKE ENCLOSURES IN GENERAL, e.g. DOORS, WINDOWS, BLINDS, GATES
- E06B5/00—Doors, windows, or like closures for special purposes; Border constructions therefor
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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Description
201 ポートドア
203 位置決めデバイス
205 フレーム
206A、206B ローラ
211 開口部
Claims (36)
- ロードポートであって、
前面と、後面と、第1及び第2の垂直側面とを有し、該前面が、容器ドアが存在する時にそれを保持するための容器の容器ドアにインタフェースで接続するように形成されたポートドアと、
前記ポートドアが前記容器ドアにインタフェースで接続する際に通過する開口部を有するように形成されたフレームと、
前記ポートドアの制御された位置決め及び移動をもたらすように該ポートドアに接続された位置決めデバイスと、
ポートドアに対して閉鎖力を印加するための独立した移動制御機構として該ポートドアの前記後面に接続され、前記ポートドアの前記第1及び第2の垂直側面の各々を超えて外方に延びるように形成され、該ポートドア及び前記フレームの両方に対して制御された態様で移動させることが可能なように構成された可動閉鎖機構と、
前記フレームの前記開口部に近接して該フレーム上に配置され、かつ前記可動閉鎖機構と係合するように形成された静止閉鎖機構と、
を含み、
容器ドアが存在するときに、前記静止閉鎖機構と係合する前記可動閉鎖機構の移動が、前記ポートドアの前記前面と前記容器ドアの間に閉鎖力を印加する、
ことを特徴とするロードポート。 - 前記閉鎖力は、前記ポートドアの前記前面と前記容器ドアの間で垂直な方向に向けられることを特徴とする請求項1に記載のロードポート。
- 前記位置決めデバイスは、前記フレームの前記開口部に対して垂直方向に前記ポートドアを移動するように形成され、
前記位置決めデバイスは、前記フレームの前記開口部内で水平方向に前記ポートドアを移動するように形成される、
ことを特徴とする請求項1に記載のロードポート。 - 前記可動閉鎖機構は、前記ポートドアの前記後面の背後の位置で該ポートドアの前記第1及び第2の垂直側面のそれぞれの1つを超えて外方に各々が延びる1対の案内部材として形成され、該1対の案内部材の各々が、該ポートドアに対して垂直な方向にかつ同時の方式で移動するように形成され、
前記静止閉鎖機構は、前記フレームの前記開口部の前記第1及び第2の垂直側面に近接してそれぞれ固定された1対のカム・プレートとして形成され、該1対のカム・プレートの各々が、前記1対の案内部材のそれぞれの1つを受け取るように形成されたチャンネルを含み、各チャンネルが、前記閉鎖力を印加するためにそこの該案内部材の移動を前記容器ドアに垂直に向かう前記ポートドアの移動に変換するように形成される、
ことを特徴とする請求項1に記載のロードポート。 - 前記1対の案内部材がそれぞれ接続される1対のドライブプレートと、
1対のドライブ軌道の各々が前記ポートドアの前記後面に接続され、かつそれに接続された前記ドライブプレートの誘導された移動を垂直な方向に向けるような向きにされた前記1対のドライブプレートがそれぞれ接続される1対のドライブ軌道と、
前記1対のドライブプレートのそれらのそれぞれのドライブ軌道に沿った移動を制御するように形成されたドライブ源と、
前記ドライブ源の仕事を前記1対のドライブプレートの同時の移動に変換するように形成された機械的リンケージと、
を更に含むことを特徴とする請求項4に記載のロードポート。 - 前記機械的リンケージは、前記ポートドアに対して水平な方向に移動するように形成された運動伝達プレートとして形成され、該運動伝達プレートは、該運動伝達プレートの水平な移動が、前記1対のドライブプレートと該1対のドライブプレートにそれぞれ接続された前記1対の案内部材との各々の等しくかつ同時の垂直移動を引き起こすように、該1対のドライブプレートの各々と係合するように形成されることを特徴とする請求項5に記載のロードポート。
- 前記ドライブ源は、モータによる回転に向けて接続された送りネジを有するモータであり、
前記モータは、固定位置で前記ポートドアの前記後面に接続され、
前記送りネジとの補完的方式でネジ切りされたナットが、該送りネジを受け取るために前記運動伝達プレートに接続され、
前記送りネジ及び前記ナットは、該ナット内の該送りネジの回転が、該ナット及びそれに接続された運動伝達プレートを前記水平な方向に移動するように、前記ポートドアに対して該水平な方向に向けられる、
ことを特徴とする請求項6に記載のロードポート。 - 前記ドライブ源は、ドライブロッドが接続された空圧シリンダであり、
前記空圧シリンダは、固定位置で前記ポートドアの前記後面に接続され、
前記ドライブロッドは、該ドライブロッドの移動が、前記水平な方向の前記運動伝達プレートの移動を引き起こすように、該運動伝達プレートにも接続される、
ことを特徴とする請求項6に記載のロードポート。 - 前記静止閉鎖機構は、前記フレームの前記開口部の第1及び第2の垂直側面に近接してそれぞれ固定された1対の案内部材として形成され、
前記可動閉鎖機構は、前記ポートドアの前記後面の背後かつ外側のそれぞれの位置で該ポートドアの前記第1及び第2の垂直側面に沿ってそれぞれ配置された1対の可動カム・プレートとして形成され、該1対の可動カム・プレートの各々が、該ポートドアに対して垂直な方向にかつ同時の方式で移動するように形成され、該1対の可動カム・プレートの各々が、前記1対の案内部材のそれぞれの1つを受け取るように形成されたチャンネルを含み、各チャンネルが、前記閉鎖力を印加するためにその可動カム・プレートのそこにある該案内部材に対する移動を前記容器ドアに垂直に向かう該ポートドアの移動に変換するように形成される、
ことを特徴とする請求項1に記載のロードポート。 - 前記1対の可動カム・プレートがそれぞれ接続される1対のドライブプレートと、
1対のドライブ軌道の各々が前記ポートドアの前記後面に接続され、かつそれに接続された前記ドライブプレートの誘導された移動を垂直な方向に向けるような向きにされた前記1対のドライブプレートがそれぞれ接続される1対のドライブ軌道と、
前記1対のドライブプレートのそれらのそれぞれのドライブ軌道に沿った移動を制御するように形成されたドライブ源と、
前記ドライブ源の仕事を前記1対のドライブプレートの同時の移動に変換するように形成された機械的リンケージと、
を更に含むことを特徴とする請求項9に記載のロードポート。 - 前記機械的リンケージは、前記ポートドアに対して水平な方向に移動するように形成された運動伝達プレートとして形成され、該運動伝達プレートは、該運動伝達プレートの水平な移動が、前記1対のドライブプレートと該1対のドライブプレートにそれぞれ接続された前記1対の可動カム・プレートとの各々の等しい垂直移動を引き起こすように、該1対のドライブプレートの各々と係合するように形成されることを特徴とする請求項10に記載のロードポート。
- 前記ドライブ源は、モータによる回転に向けて接続された送りネジを有するモータであり、
前記モータは、固定位置で前記ポートドアの前記後面に接続され、
前記送りネジとの補完的方式でネジ切りされたナットが、該送りネジを受け取るために前記運動伝達プレートに接続され、
前記送りネジ及び前記ナットは、該ナット内の該送りネジの回転が、該ナット及びそれに接続された運動伝達プレートを前記水平な方向に移動するように、前記ポートドアに対して該水平な方向に向けられる、
ことを特徴とする請求項11に記載のロードポート。 - 前記ドライブ源は、ドライブロッドが接続された空圧シリンダであり、
前記空圧シリンダは、固定位置で前記ポートドアの前記後面に接続され、
前記ドライブロッドは、該ドライブロッドの移動が、前記水平な方向の前記運動伝達プレートの移動を引き起こすように、該運動伝達プレートにも接続される、
ことを特徴とする請求項11に記載のロードポート。 - 前記1対の可動カム・プレートは、前記1対のドライブプレートのそれぞれの部分として形成されることを特徴とする請求項10に記載のロードポート。
- ロードポートであって、
前面と、後面と、第1及び第2の垂直側面とを有し、該前面が、容器ドアが存在する時にそれを保持するための容器の容器ドアにインタフェースで接続するように形成されたポートドアと、
前記ポートドアが前記容器ドアにインタフェースで接続する際に通過する開口部を有するように形成されたフレームと、
前記ポートドアの制御された位置決め及び移動をもたらすように該ポートドアに接続された位置決めデバイスと、
前記ポートドアの前記第1及び第2の垂直側面の各々を超えて外方に延びるように該ポートドアの前記後面に接続された静止閉鎖機構と、
前記フレームの前記開口部に近接して前記フレーム上に配置され、かつ前記静止閉鎖機構と係合するように形成され、該フレーム及び前記ポートドアの両方に対して制御された態様で移動させることが可能なように構成された可動閉鎖機構と、
を含み、
前記静止閉鎖機構及び前記可動閉鎖機構は、前記ポートドアに閉鎖力を印加する、独立した移動制御機構を形成し、
前記容器ドアが存在するとき、前記静止閉鎖機構と係合する前記可動閉鎖機構の移動が、前記ポートドアの前記前面と前記容器ドアの間に閉鎖力を印加する、
ことを特徴とするロードポート。 - 前記閉鎖力は、前記ポートドアの前記前面と前記容器ドアの間で垂直な方向に向けられることを特徴とする請求項15に記載のロードポート。
- 前記位置決めデバイスは、前記フレームの前記開口部に対して垂直方向に前記ポートドアを移動するように形成され、
前記位置決めデバイスは、前記フレームの前記開口部内で水平方向に前記ポートドアを移動するように形成される、
ことを特徴とする請求項15に記載のロードポート。 - 前記静止閉鎖機構は、前記ポートドアの前記後面の背後の位置で該ポートドアの前記第1及び第2の垂直側面のそれぞれの1つを超えて外方に各々が延びる1対の案内部材として形成され、
前記可動閉鎖機構は、前記フレームの前記開口部の前記第1及び第2の垂直側面に近接してそれぞれ配置された1対の可動カム・プレートとして形成され、該1対の可動カム・プレートの各々が、該フレーム及び前記ポートドアの両方に対して垂直な方向にかつ同時の方式で移動するように形成され、該1対の可動カム・プレートの各々が、前記1対の案内部材のそれぞれの1つを受け取るように形成されたチャンネルを含み、各チャンネルが、前記閉鎖力を印加するためのその可動カム・プレートのそこにある該案内部材に対する移動を前記容器ドアに垂直に向かう該ポートドアの移動に変換するように形成される、
ことを特徴とする請求項15に記載のロードポート。 - 前記1対の可動カム・プレートがそれぞれ接続される1対のドライブプレートと、
前記1対のドライブプレートがそれぞれ接続され、1対のドライブ軌道の各々が、前記フレームに接続され、かつ垂直な方向のそれに接続された該ドライブプレートの誘導された移動に向けられた1対のドライブ軌道と、
前記1対のドライブプレートのそれらのそれぞれのドライブ軌道に沿った移動を制御するように形成されたドライブ源と、
前記ドライブ源の仕事を前記1対のドライブプレートの同時の移動に変換するように形成された機械的リンケージと、
を更に含むことを特徴とする請求項18に記載のロードポート。 - 前記機械的リンケージは、前記フレームに対して水平な方向に移動するように形成された運動伝達プレートとして形成され、該運動伝達プレートは、該運動伝達プレートの水平な移動が、前記1対のドライブプレート及び該1対のドライブプレートにそれぞれ接続された前記1対の可動カム・プレートの各々の等しくかつ同時の垂直移動を引き起こすように、該1対のドライブプレートの各々と係合するように形成されることを特徴とする請求項19に記載のロードポート。
- 前記ドライブ源は、モータによる回転に向けて接続された送りネジを有するモータであり、
前記モータは、固定位置で前記フレームに接続され、
前記送りネジとの補完的方式でネジ切りされたナットが、該送りネジを受け取るために前記運動伝達プレートに接続され、
前記送りネジ及び前記ナットは、該ナット内の該送りネジの回転が、該ナット及び該それに接続された運動伝達プレートを前記水平な方向に移動するように、前記フレームに対して該水平な方向に向けられる、
ことを特徴とする請求項20に記載のロードポート。 - 前記ドライブ源は、ドライブロッドが接続された空圧シリンダであり、
前記空圧シリンダは、固定位置で前記フレームに接続され、
前記ドライブロッドは、該ドライブロッドの移動が、前記水平な方向の前記運動伝達プレートの移動を引き起こすように、該運動伝達プレートにも接続される、
ことを特徴とする請求項20に記載のロードポート。 - 前記1対の可動カム・プレートは、前記1対のドライブプレートのそれぞれの部分として形成されることを特徴とする請求項19に記載のロードポート。
- 前記可動閉鎖機構は、前記フレームの前記開口部の前記第1及び第2の垂直側面に近接してそれぞれ配置された1対の案内部材として形成され、該1対の案内部材の各々が、同時の方式で垂直な方向に移動するように形成され、
前記静止閉鎖機構は、前記ポートドアの前記後面の背後かつ外側のそれぞれの位置で該ポートドアの前記第1及び第2の垂直側面に沿ってそれぞれ固定された1対のカム・プレートとして形成され、該1対のカム・プレートの各々が、前記1対の案内部材のそれぞれの1つを受け取るように形成されたチャンネルを含み、各チャンネルが、前記閉鎖力を印加するためにそこの該案内部材の移動を前記容器ドアに垂直に向かう該ポートドアの移動に変換するように形成される、
ことを特徴とする請求項15に記載のロードポート。 - 前記1対の案内部材がそれぞれ接続される1対のドライブプレートと、
1対のドライブ軌道の各々が、前記フレームに接続され、かつそれに接続された前記ドライブプレートの誘導された移動を垂直な方向に向けるような向きにされた前記1対のドライブプレートがそれぞれ接続される1対のドライブ軌道と、
前記1対のドライブプレートのそれらのそれぞれのドライブ軌道に沿った移動を制御するように形成されたドライブ源と、
前記ドライブ源の仕事を前記1対のドライブプレートの同時の移動に変換するように形成された機械的リンケージと、
を更に含むことを特徴とする請求項24に記載のロードポート。 - 前記機械的リンケージは、前記フレームに対して水平な方向に移動するように形成された運動伝達プレートとして形成され、該運動伝達プレートは、該運動伝達プレートの水平な移動が、前記1対のドライブプレートと該1対のドライブプレートにそれぞれ接続された前記1対の案内部材との各々の等しい垂直移動を引き起こすように、該1対のドライブプレートの各々と係合するように形成されることを特徴とする請求項25に記載のロードポート。
- 前記ドライブ源は、モータによる回転に向けて接続された送りネジを有するモータであり、
前記モータは、固定位置で前記フレームに接続され、
前記送りネジとの補完的方式でネジ切りされたナットが、該送りネジを受け取るために前記運動伝達プレートに接続され、
前記送りネジ及び前記ナットは、該ナット内の該送りネジの回転が、該ナット及びそれに接続された運動伝達プレートを前記水平な方向に移動するように、前記フレームに対して該水平な方向に向けられる、
ことを特徴とする請求項26に記載のロードポート。 - 前記ドライブ源は、ドライブロッドが接続された空圧シリンダであり、
前記空圧シリンダは、固定位置で前記フレームに接続され、
前記ドライブロッドは、該ドライブロッドの移動が、前記水平な方向の前記運動伝達プレートの移動を引き起こすように、該運動伝達プレートにも接続される、
ことを特徴とする請求項26に記載のロードポート。 - ロードポートを作動させる方法であって、
フレームの開口部内にポートドアを位置決めする段階であって、半導体加工物を保持するための容器の容器ドアが、該ポートドアの前面に固定され、該フレームの該開口部内に該ポートドアを位置決めする段階が、該容器のドア開口部内に該容器ドアを位置決めする段階に対応する前記フレームの開口部内にポートドアを位置決めする段階と、
独立した移動制御機構を作動させて前記ポートドアに閉鎖力を印加し、第1の方向に該ポートドアを移動することなく、該第1の方向に前記ポートドアの後面に接続された可動閉鎖機構を移動し、それによって該可動閉鎖機構が、前記フレームに固定された静止閉鎖機構と係合するように移動される段階であって、該静止閉鎖機構と係合する該可動閉鎖機構の移動が、該ポートドアの前面と前記容器ドアとの間に閉鎖力を印加する前記移動される段階と、
前記閉鎖力が前記ポートドアの前記前面と前記容器ドアの間に印加される間に前記容器に該容器ドアを固定する段階と、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記閉鎖力は、前記ポートドアの前記前面と前記容器ドアの間で垂直な方向に向けられることを特徴とする請求項29に記載の方法。
- 前記可動閉鎖機構は、前記ポートドアの第1及び第2の垂直側面のそれぞれの1つを超えて外方に各々が延びる1対の案内部材を含み、該ポートドアに接続された該可動閉鎖機構の前記第1の方向の移動が、該1対の案内部材の同時の方式の垂直な方向の移動に対応し、
前記静止閉鎖機構は、前記フレームの前記開口部の第1及び第2の垂直側面に近接してそれぞれ固定された1対のカム・プレートとして形成され、該1対のカム・プレートの各々が、前記1対の案内部材のそれぞれの1つを受け取るように形成されたチャンネルを含み、各チャンネルが、前記閉鎖力を印加するためにそこの該案内部材の移動を前記容器ドアに垂直に向かう前記ポートドアの移動に変換するように形成される、
ことを特徴とする請求項29に記載の方法。 - 前記静止閉鎖機構は、前記フレームの前記開口部の第1及び第2の垂直側面に近接してそれぞれ固定された1対の案内部材として形成され、
前記可動閉鎖機構は、前記ポートドアの第1及び第2の垂直側面に沿ってそれぞれ配置された1対の可動カム・プレートとして形成され、該1対の可動カム・プレートの各々が、同時の方式で垂直な方向に移動するように形成され、該1対の可動カム・プレートの各々が、前記1対の案内部材のそれぞれの1つを受け取るように形成されたチャンネルを含み、各チャンネルが、前記閉鎖力を印加するためにその可動カム・プレートのそこにある該案内部材に対する移動を前記容器ドアに垂直に向かう該ポートドアの移動に変換するように形成される、
ことを特徴とする請求項29に記載の方法。 - ロードポートを作動させる方法であって、
フレームの開口部内にポートドアを位置決めする段階であって、半導体加工物を保持するための容器の容器ドアが、該ポートドアの前面に固定され、該フレームの該開口部内に該ポートドアを位置決めする段階が、該容器のドア開口部内に該容器ドアの位置決めする段階に対応する前記フレームの開口部内にポートドアを位置決めする段階と、
独立した移動制御機構を作動させて前記ポートドアに閉鎖力を印加し、前記ポートドア又は該フレームを第1の方向に移動することなく、前記フレームに接続された可動閉鎖機構の独立した2つの部材の各々を該第1の方向に移動し、それによって該可動閉鎖機構の独立した2つの部材の各々が該ポートドアに固定された静止閉鎖機構の対応する部材と係合するように移動される段階であって、該静止閉鎖機構の対応する部材と係合する該可動閉鎖機構の独立した2つの部材の各々の第1の方向への移動が、該ポートドアの前面と前記容器ドアの間に閉鎖力を印加する前記移動される段階と、
前記閉鎖力が前記ポートドアの前記前面と前記容器ドアの間に印加される間に前記容器に該容器ドアを固定する段階と、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記閉鎖力は、前記ポートドアの前記前面と前記容器ドアの間で垂直な方向に向けられることを特徴とする請求項33に記載の方法。
- 前記静止閉鎖機構は、前記ポートドアの第1及び第2の垂直側面のそれぞれの1つを超えて外方に各々が延びる1対の案内部材として形成され、
前記可動閉鎖機構は、前記フレームの前記開口部の第1及び第2の垂直側面に近接してそれぞれ配置された1対の可動カム・プレートとして形成され、該1対の可動カム・プレートの各々が、同時の方式で垂直な方向に移動するように形成され、該1対の可動カム・プレートの各々が、前記1対の案内部材のそれぞれの1つを受け取るように形成されたチャンネルを含み、各チャンネルが、前記閉鎖力を印加するためにその可動カム・プレートのそこにある該案内部材に対する移動を前記容器ドアに垂直に向かう前記ポートドアの移動に変換するように形成される、
ことを特徴とする請求項33に記載の方法。 - 前記可動閉鎖機構は、前記フレームの前記開口部の前記第1及び第2の垂直側面に近接してそれぞれ配置された1対の案内部材として形成され、該1対の案内部材の各々が、同時の方式で垂直な方向に移動するように形成され、
前記静止閉鎖機構は、前記ポートドアの第1及び第2の垂直側面に沿ってそれぞれ固定された1対のカム・プレートとして形成され、該1対のカム・プレートの各々が、前記1対の案内部材のそれぞれの1つを受け取るように形成されたチャンネルを含み、各チャンネルが、前記閉鎖力を印加するためにそこにある該案内部材の移動を前記容器ドアに垂直に向かう該ポートドアの移動に変換するように形成される、
ことを特徴とする請求項33に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US12/828,236 US8870516B2 (en) | 2010-06-30 | 2010-06-30 | Port door positioning apparatus and associated methods |
US12/828,236 | 2010-06-30 | ||
PCT/US2011/042455 WO2012003240A2 (en) | 2010-06-30 | 2011-06-29 | Port door positioning apparatus and associated methods |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015081055A Division JP6101302B2 (ja) | 2010-06-30 | 2015-04-10 | ポートドア位置決め装置及び関連の方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013539203A JP2013539203A (ja) | 2013-10-17 |
JP2013539203A5 JP2013539203A5 (ja) | 2015-03-12 |
JP5732132B2 true JP5732132B2 (ja) | 2015-06-10 |
Family
ID=45398872
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013518671A Active JP5732132B2 (ja) | 2010-06-30 | 2011-06-29 | ポートドア位置決め装置及び関連の方法 |
JP2015081055A Active JP6101302B2 (ja) | 2010-06-30 | 2015-04-10 | ポートドア位置決め装置及び関連の方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015081055A Active JP6101302B2 (ja) | 2010-06-30 | 2015-04-10 | ポートドア位置決め装置及び関連の方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8870516B2 (ja) |
JP (2) | JP5732132B2 (ja) |
KR (1) | KR101545067B1 (ja) |
CN (2) | CN106024680B (ja) |
WO (1) | WO2012003240A2 (ja) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6918731B2 (en) | 2001-07-02 | 2005-07-19 | Brooks Automation, Incorporated | Fast swap dual substrate transport for load lock |
JP5736686B2 (ja) * | 2010-08-07 | 2015-06-17 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | ロードポート |
JP5729148B2 (ja) * | 2011-06-07 | 2015-06-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送容器の開閉装置、蓋体の開閉装置及び半導体製造装置 |
JP5727609B2 (ja) * | 2011-07-06 | 2015-06-03 | 平田機工株式会社 | 容器開閉装置 |
JP5993252B2 (ja) * | 2012-09-06 | 2016-09-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 蓋体開閉装置及びこれを用いた熱処理装置、並びに蓋体開閉方法 |
CN103214474B (zh) * | 2013-05-02 | 2016-04-27 | 南开大学 | 一类含4,5-二氢噻唑醇酸酯的5-甲基-1,2,3-噻二唑衍生物及其制备方法和用途 |
US20150345810A1 (en) * | 2014-05-30 | 2015-12-03 | Denso International America, Inc. | Dual layer door |
DK178586B1 (en) * | 2015-02-02 | 2016-07-25 | Vestas Wind Sys As | Wind turbine access panel and method for securing same |
KR101695948B1 (ko) * | 2015-06-26 | 2017-01-13 | 주식회사 테라세미콘 | 기판처리 시스템 |
USD811627S1 (en) | 2016-06-16 | 2018-02-27 | Curtis Alan Roys | LED lamp |
JP6414535B2 (ja) * | 2015-10-28 | 2018-10-31 | 株式会社ダイフク | 収納容器 |
US10622236B2 (en) | 2017-08-30 | 2020-04-14 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Apparatus and method for handling wafer carrier doors |
JP6697428B2 (ja) * | 2017-11-01 | 2020-05-20 | ファナック株式会社 | ファンユニットを備えるモータ駆動装置 |
KR101831202B1 (ko) | 2017-12-20 | 2018-02-22 | 주식회사 싸이맥스 | 로드포트의 포트도어 구동장치 |
CN108005549B (zh) * | 2018-01-12 | 2024-03-26 | 珠海市优氧健康产业有限公司 | 一种健康舱舱门密封结构 |
CN109615781B (zh) * | 2018-12-17 | 2023-09-19 | 航天信息股份有限公司 | 自动出货装置 |
JP2023008984A (ja) * | 2021-07-06 | 2023-01-19 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | カセット蓋開放デバイス |
US20230116011A1 (en) * | 2021-10-12 | 2023-04-13 | Caterpillar Inc. | Secondary control system and method for mounting with service orientation |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US4367915A (en) * | 1978-06-29 | 1983-01-11 | Georges Michael P | Automatic microscope slide |
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KR100589702B1 (ko) | 2004-08-05 | 2006-06-19 | (주)아이씨디 | 진공챔버용 도어 조립체 |
FR2874744B1 (fr) * | 2004-08-30 | 2006-11-24 | Cit Alcatel | Interface sous vide entre une boite de mini-environnement et un equipement |
JP4012190B2 (ja) * | 2004-10-26 | 2007-11-21 | Tdk株式会社 | 密閉容器の蓋開閉システム及び開閉方法 |
JP2009070868A (ja) | 2007-09-11 | 2009-04-02 | Panasonic Corp | 基板収納用容器 |
JP2009088437A (ja) * | 2007-10-03 | 2009-04-23 | Tokyo Electron Ltd | 被処理体の導入ポート機構及び処理システム |
JP4624458B2 (ja) * | 2008-11-11 | 2011-02-02 | Tdk株式会社 | 密閉容器及び該密閉容器の蓋開閉システム |
JP4748816B2 (ja) * | 2008-11-28 | 2011-08-17 | Tdk株式会社 | 密閉容器の蓋開閉システム |
-
2010
- 2010-06-30 US US12/828,236 patent/US8870516B2/en active Active
-
2011
- 2011-06-29 CN CN201610416629.3A patent/CN106024680B/zh active Active
- 2011-06-29 JP JP2013518671A patent/JP5732132B2/ja active Active
- 2011-06-29 WO PCT/US2011/042455 patent/WO2012003240A2/en active Application Filing
- 2011-06-29 KR KR1020137001918A patent/KR101545067B1/ko active IP Right Grant
- 2011-06-29 CN CN201180041909.6A patent/CN103155132B/zh active Active
-
2014
- 2014-10-07 US US14/508,974 patent/US9378995B2/en active Active
-
2015
- 2015-04-10 JP JP2015081055A patent/JP6101302B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN106024680A (zh) | 2016-10-12 |
WO2012003240A2 (en) | 2012-01-05 |
WO2012003240A3 (en) | 2012-04-12 |
US9378995B2 (en) | 2016-06-28 |
CN103155132B (zh) | 2016-08-03 |
JP2015128197A (ja) | 2015-07-09 |
CN106024680B (zh) | 2019-02-19 |
US20150021230A1 (en) | 2015-01-22 |
KR101545067B1 (ko) | 2015-08-17 |
JP6101302B2 (ja) | 2017-03-22 |
CN103155132A (zh) | 2013-06-12 |
JP2013539203A (ja) | 2013-10-17 |
KR20130054326A (ko) | 2013-05-24 |
US8870516B2 (en) | 2014-10-28 |
US20120000816A1 (en) | 2012-01-05 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20130729 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
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|
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|
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|
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
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|
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