JP5726472B2 - アライメント方法及び検出装置 - Google Patents
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Description
2 レチクル
10 光源
12 ステージ
14 透過光学系
16 反射光学系
18 透過光センサ
20 反射光センサ
22 検出回路
24、26 センサデータ
30 LSI設計用CADデータ
32 参照データ発生回路
34 設計データ
110 入力部
120 全体アライメント部
130 輝度階調差画像生成部
140 除外領域設定部
142 第1除外領域設定部
144 第2除外領域設定部
146 第3除外領域設定部
150 局所領域設定部
152 第1局所領域設定部
154 第2局所領域設定部
160 局所アライメント部
162 第1局所アライメント部
164 第2局所アライメント部
170 シフト部
180 検出部
Claims (8)
- 検査対象のパターン画像と検査基準の基準パターン画像との全体アライメントを行う全体アライメントステップと、
前記全体アライメント後の前記パターン画像と前記基準パターン画像との輝度階調差画像を生成する輝度階調差画像生成ステップと、
前記基準パターン画像中の各画素において、当該画素地点から第1所定範囲内における最大輝度値と最小輝度値との差が第1閾値以下である場合に、当該画素地点をアライメント対象領域から除外する除外領域に設定する第1除外領域設定ステップと、
前記アライメント対象領域のうち前記除外領域を除く領域の中から、前記全体アライメントよりも高精度な局所アライメントの実行対象領域である局所領域を設定する局所領域設定ステップと、
前記局所領域において、前記パターン画像と前記基準パターン画像との前記局所アライメントを行い、局所アライメント結果であるシフト量を得る局所アライメントステップと、
前記シフト量を用いて前記基準パターン画像全体をシフトするシフトステップと、
を含み、
前記アライメント対象領域は、前記輝度階調差画像の領域であり、
前記局所領域設定ステップでは、前記輝度階調差画像の領域のうち前記除外領域を除く領域の中から、輝度階調差の大きな地点を局所領域に設定し、直前に設定された局所領域から既定間隔以上離れた領域において、輝度階調差の大きな地点を局所領域に設定することを繰り返して、複数の局所領域を設定し、
前記局所アライメントステップでは、前記複数の局所領域それぞれの局所アライメント特性を定量化して、局所アライメントの実行対象の局所領域を選択し、選択した前記局所領域において、前記パターン画像と前記基準パターン画像との前記局所アライメントを行い、
定量化された前記局所アライメント特性は、局所アライメントによって得られる仮想シフト時の輝度階調差の二乗和の一覧をシフト方向とシフト量に応じて並べてグラフ化した局所SSDマップを正規化し、二値化した二値化SSDマップであり、
前記局所アライメントステップでは、定量化された前記局所アライメント特性により形成される特性領域を指標として、各局所領域が有する特性領域の中から基準となる第1特性領域を有する第1局所領域を選出し、選出した前記第1局所領域が有する前記第1特性領域と他の局所領域である第2局所領域が有する第2特性領域との間で形成される論理和面積に対する前記第1特性領域の隠蔽率が大きくなる組み合わせ上位の局所領域を、局所アライメントの実行対象の局所領域に選択するアライメント方法。 - 前記輝度階調差画像中の各画素において、当該画素地点から第2所定範囲内で、第2閾値以上の輝度階調差をもつ画素数の含有率が第3閾値以上である場合に、当該画素地点及び所定周囲を前記アライメント対象領域から除外する除外領域に設定する第2除外領域設定ステップを更に含む請求項1に記載のアライメント方法。
- 前記輝度階調差画像を所定サイズのグリッド領域に分割し、各画素に応じた重み係数であって分割した前記グリッド領域内の各画素地点における輝度階調差の値に応じた重み係数をかけたSSD(Sum of Squared Difference)アライメントを前記グリッド領域内で実行して、前記重み係数をかけた領域内の輝度階調差の二乗和が最小となるシフト量を前記グリッド領域毎に求め、求めた前記シフト量を用いて前記基準パターン画像をシフトし、
シフト後の前記基準パターン画像と前記パターン画像とから得られる第2輝度階調差画像における各画素地点において、前記輝度階調差画像の階調差との変化量が第4閾値以上となる地点の割合が第5閾値以上となる場合に、当該グリッド領域内の全ての画素地点を前記アライメント対象領域から除外する除外領域に設定する第3除外領域設定ステップを更に含む請求項1又は2に記載のアライメント方法。 - 前記第1局所領域は、前記局所SSDマップ中の最小値となるシフト量で局所シフトを施した前記基準パターン画像と前記パターン画像との輝度階調差最大値が第6閾値以下であり、
前記第2局所領域の前記二値化SSDマップとの論理和面積のいずれかが0でなく、
前記二値化SSDマップの領域面積が最も小さいものである請求項1〜3のいずれか1つに記載のアライメント方法。 - 前記第2局所領域は、前記第1特性領域と非平行の第2特性領域を有する請求項1〜4のいずれか1つに記載のアライメント方法。
- 検査対象のパターン画像と検査基準の基準パターン画像との全体アライメントを行う全体アライメントステップと、
前記全体アライメント後の前記パターン画像と前記基準パターン画像との輝度階調差画像を生成する輝度階調差画像生成ステップと、
前記検査基準の基準パターン画像中の各画素において、当該画素地点から第1所定範囲内における最大輝度値と最小輝度値との差が第1閾値以下である場合に、当該画素地点をアライメント対象領域から除外する除外領域に設定する第1除外領域設定ステップと、
前記輝度階調差画像を所定サイズのグリッド領域に分割し、各画素に応じた重み係数であって分割した前記グリッド領域内の各画素地点における輝度階調差の値に応じた重み係数をかけたSSD(Sum of Squared Difference)アライメントを前記グリッド領域内で実行して、前記重み係数をかけた領域内の輝度階調差の二乗和が最小となるシフト量を前記グリッド領域毎に求め、求めた前記シフト量を用いて前記基準パターン画像をシフトし、シフト後の前記基準パターン画像と前記パターン画像とから得られる第2輝度階調差画像における各画素地点において、前記輝度階調差画像の階調差との変化量が第4閾値以上となる地点の割合が第5閾値以上となる場合に、当該グリッド領域内の全ての画素地点を前記アライメント対象領域から除外する除外領域に設定する第3除外領域設定ステップと、
前記アライメント対象領域のうち前記除外領域を除く領域の中から、前記全体アライメントよりも高精度な局所アライメントの実行対象領域である局所領域を設定する局所領域設定ステップと、
前記局所領域において、前記パターン画像と前記基準パターン画像との前記局所アライメントを行い、局所アライメント結果であるシフト量を得る局所アライメントステップと、
前記シフト量を用いて前記基準パターン画像全体をシフトするシフトステップと、
を含むアライメント方法。 - 検査対象のパターン画像と検査基準の基準パターン画像との全体アライメントを行う全体アライメント部と、
前記全体アライメント後の前記パターン画像と前記基準パターン画像との輝度階調差画像を生成する輝度階調差画像生成部と、
前記基準パターン画像中の各画素において、当該画素地点から第1所定範囲内における最大輝度値と最小輝度値との差が第1閾値以下である場合に、当該画素地点をアライメント対象領域から除外する除外領域に設定する第1除外領域設定部と、
前記アライメント対象領域のうち前記除外領域を除く領域の中から、前記全体アライメントよりも高精度な局所アライメントの実行対象領域である局所領域を設定する局所領域設定部と、
前記局所領域において、前記パターン画像と前記基準パターン画像との前記局所アライメントを行い、局所アライメント結果であるシフト量を得る局所アライメント部と、
前記シフト量を用いて前記基準パターン画像全体をシフトするシフト部と、
を備え、
前記アライメント対象領域は、前記輝度階調差画像の領域であり、
前記局所領域設定部は、前記輝度階調差画像の領域のうち前記除外領域を除く領域の中から、輝度階調差の大きな地点を局所領域に設定し、直前に設定された局所領域から既定間隔以上離れた領域において、輝度階調差の大きな地点を局所領域に設定することを繰り返して、複数の局所領域を設定し、
前記局所アライメント部は、前記複数の局所領域それぞれの局所アライメント特性を定量化して、局所アライメントの実行対象の局所領域を選択し、選択した前記局所領域において、前記パターン画像と前記基準パターン画像との前記局所アライメントを行い、
定量化された前記局所アライメント特性は、局所アライメントによって得られる仮想シフト時の輝度階調差の二乗和の一覧をシフト方向とシフト量に応じて並べてグラフ化した局所SSDマップを正規化し、二値化した二値化SSDマップであり、
前記局所アライメント部は、定量化された前記局所アライメント特性により形成される特性領域を指標として、各局所領域が有する特性領域の中から基準となる第1特性領域を有する第1局所領域を選出し、選出した前記第1局所領域が有する前記第1特性領域と他の局所領域である第2局所領域が有する第2特性領域との間で形成される論理和面積に対する前記第1特性領域の隠蔽率が大きくなる組み合わせ上位の局所領域を、局所アライメントの実行対象の局所領域に選択する検出装置。 - 検査対象のパターン画像と検査基準の基準パターン画像との全体アライメントを行う全体アライメント部と、
前記全体アライメント後の前記パターン画像と前記基準パターン画像との輝度階調差画像を生成する輝度階調差画像生成部と、
前記検査基準の基準パターン画像中の各画素において、当該画素地点から第1所定範囲内における最大輝度値と最小輝度値との差が第1閾値以下である場合に、当該画素地点をアライメント対象領域から除外する除外領域に設定する第1除外領域設定部と、
前記輝度階調差画像を所定サイズのグリッド領域に分割し、各画素に応じた重み係数であって分割した前記グリッド領域内の各画素地点における輝度階調差の値に応じた重み係数をかけたSSD(Sum of Squared Difference)アライメントを前記グリッド領域内で実行して、前記重み係数をかけた領域内の輝度階調差の二乗和が最小となるシフト量を前記グリッド領域毎に求め、求めた前記シフト量を用いて前記基準パターン画像をシフトし、シフト後の前記基準パターン画像と前記パターン画像とから得られる第2輝度階調差画像における各画素地点において、前記輝度階調差画像の階調差との変化量が第4閾値以上となる地点の割合が第5閾値以上となる場合に、当該グリッド領域内の全ての画素地点を前記アライメント対象領域から除外する除外領域に設定する第3除外領域設定部と
前記アライメント対象領域のうち前記除外領域を除く領域の中から、前記全体アライメントよりも高精度な局所アライメントの実行対象領域である局所領域を設定する局所領域設定部と、
前記局所領域において、前記パターン画像と前記基準パターン画像との前記局所アライメントを行い、局所アライメント結果であるシフト量を得る局所アライメント部と、
前記シフト量を用いて前記基準パターン画像全体をシフトするシフト部と、
を備える検出装置。
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