JP4233556B2 - 画像補正装置、パターン検査装置、画像補正方法、及び、パターン検査方法 - Google Patents
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Die比較、DD比較)と、ダイとデータベースとの比較(Die to Database比較、DB比較)がある。DD比較は、レチクル上の2つのダイの画像(検査基準パターン画像と被検査パターン画像)を比較して欠陥を検出する方法であり、DB比較は、ダイのセンサデータとLSI設計用CADデータから発生させたダイの設計データ(検査基準パターン画像と被検査パターン画像)を比較して欠陥を検出する方法である。
(2)又は、本発明の他の目的は、検査対象試料の画像を的確に検査することにある。
(2)また、本発明は、検査対象試料の検査基準パターン画像と被検査パターン画像を用いてパターン画像を検査するパターン検査装置において、検査基準パターン画像と被検査パターン画像内のパターンとその周辺を含む補正領域を指定する補正領域指定部と、補正領域の被検査パターン画像の各1画素を2次元の出力データとし、該各1画素に対応する補正領域の検査基準パターン画像の1画素の周囲の画素群の線形結合を2次元の入力データとした2次元の線形予測モデルにより連立方程式を生成する連立方程式生成部と、連立方程式を解いてモデルパラメータを求めるパラメータ生成部と、モデルパラメータを用いて線形予測モデルを検査基準パターン画像に適用して補正パターン画像を生成する補正パターン画像生成部と、補正パターン画像と補正領域の被検査パターン画像を比較するパターン画像比較部と、を備えている、パターン検査装置にある。
(3)また、本発明は、検査対象試料の検査基準パターン画像と被検査パターン画像を用いてパターン画像を補正するパターン補正方法において、検査基準パターン画像と被検査パターン画像内のパターンとその周辺を含む補正領域を指定する補正領域指定ステップと、補正領域の被検査パターン画像の各1画素を2次元の出力データとし、該各1画素に対応する補正領域の検査基準パターン画像の1画素の周囲の画素群の線形結合を2次元の入力データとした2次元の線形予測モデルにより連立方程式を生成する連立方程式生成ステップと、連立方程式を解いてモデルパラメータを求めるパラメータ生成ステップと、モデルパラメータを用いて線形予測モデルを検査基準パターン画像に適用して補正パターン画像を生成する補正パターン画像生成ステップと、を備えている、画像補正方法にある。
(4)また、本発明は、検査対象試料の検査基準パターン画像と被検査パターン画像を用いてパターン画像を検査するパターン検査方法において、検査基準パターン画像と被検査パターン画像内のパターンとその周辺を含む補正領域を指定する補正領域指定ステップと、補正領域の被検査パターン画像の各1画素を2次元の出力データとし、該各1画素に対応する補正領域の検査基準パターン画像の1画素の周囲の画素群の線形結合を2次元の入力データとした2次元の線形予測モデルにより連立方程式を生成する連立方程式生成ステップと、連立方程式を解いてモデルパラメータを求めるパラメータ生成ステップと、モデルパラメータを用いて線形予測モデルを検査基準パターン画像に適用して補正パターン画像を生成する補正パターン画像生成ステップと、補正パターン画像と補正領域の被検査パターン画像を比較するパターン画像比較部と、を備えている、パターン検査方法にある。
画像補正装置は、検査対象試料に描かれたパターン画像を補正するものである。画像補正装置は、検査対象試料の検査基準パターン画像と被検査パターン画像とから補正パターン画像を生成する。補正パターン画像は、検査基準パターン画像又は被検査パターン画像を補正したものである。検査対象試料は、以下、レチクルを例にとって説明するが、半導体装置や液晶表示装置などの製造において、画像が形成されるものであればどのようなものでもよく、例えば、マスク、ウエーハなどがある。検査基準パターン画像と被検査パターン画像は、相互に比較されるパターン画像である。2つの比較対象のパターン画像がある場合、検査基準パターン画像と被検査パターン画像の呼び方を逆にしても、変わりはない。検査基準パターン画像と被検査パターン画像は、DD比較、又は、DB比較の対象となるパターン画像である。
パターン検査装置は、検査対象試料に描かれたパターン画像を検査するものである。パターン検査装置は、画像補正装置を備えており、画像補正装置で生成した補正パターン画像と被検査パターン画像とを比較して、パターン画像を検査するものである。パターン検査装置は、例えば、検査対象試料に光を照射する照射部と、検査対象試料からの反射光または透過光を検出してパターン画像を取得する画像取得部と、CADデータからレチクルの描画データに似せた設計データを作成する参照データ発生回路と、パターン画像間を比較する比較処理部を備えている。
図4は、比較処理部40の構成を示している。比較処理部40は、検査基準パターン画像21と被検査パターン画像22を比較処理するものである。比較処理部40は、パターン抽出部41、補正領域指定部42、連立方程式生成部43、パラメータ生成部44、補正パターン画像生成部45、パターン画像比較部46を備えている。パターン抽出部41は、検査基準パターン画像21と被検査パターン画像22にある補正の対象となるパターンを抽出して抽出パターンとするものである。抽出パターンは、パターン検査の対象でもある。抽出パターンは、コンタクトホールなどの精密なパターン比較を必要とするパターンが適している。補正領域指定部42は、抽出パターンを含む周辺の領域を補正領域として指定するものである。
図5は、パターン検査方法の説明の流れ図である。パターン検査方法は、画像補正方法により得られた補正パターン画像を用いて、パターン画像を検査するものである。パターン抽出ステップ(S1)は、検査基準パターン画像21と被検査パターン画像22にある補正の対象となるパターンを抽出して抽出パターンとし、パターン抽出用記憶領域にそのパターンの位置座標を記憶する。次に、補正領域指定ステップ(S2)は、抽出パターンを含む周辺の領域を補正領域として指定し、補正領域指定用記憶領域にその領域の位置座標を記憶する。連立方程式生成ステップ(S3)は、補正領域の検査基準パターン画像と補正領域の被検査パターン画像に対して線形予測モデルにより連立方程式を生成し、連立方程式用記憶領域に連立方程式を記憶する。パラメータ生成ステップ(S4)は、連立方程式を演算処理ルーチンにより解いてモデルパラメータを求め、パラメータ用記憶領域にモデルパラメータを記憶する。補正パターン画像生成ステップ(S5)は、モデルパラメータを用いて、補正領域のパターン画像を補正して、補正パターン画像を生成し、補正パターン画像用記憶領域に記憶する。パターン画像比較ステップ(S6)は、補正領域の被検査パターン画像と補正パターン画像とを演算処理ルーチンにより比較して、パターン検査を行い、比較結果用記憶領域に結果を記憶する。以上の手順により、検査対象試料の精密なパターン画像に対しても、効果的な画像補正を行うことができる。このパターン検査方法は、コンピュータにプログラムをインストールして実行させることができる。このプログラムは、パターン検査方法のステップを備えている。また、このパターン検査方法により検査対象試料のパターンが検査され、適切な検査を受けたレチクルなどの検査対象試料を得ることができる。なお、画像補正方法は、パターン検査方法の構成において、パターン画像比較ステップ(S11)を除いた構成をとる。
図1は、検査基準パターン画像と被検査パターン画像との関係を利用して、線形予測モデルを説明するための図である。画像補正装置は、比較処理部40において、線形予測モデルを利用してパターン画像を補正する。画像補正装置は、直接比較法の限界を超えるものであり、図1(B)に示すように、検査基準パターン画像と被検査パターン画像との関係を検査中に、線形予測モデル、例えば2次元線形予測モデルを用いてオンラインで同定することにより画像の画素位置ズレや伸縮ノイズ、センシングノイズを吸収(フィッティング)した予測モデルを構築する。この予測モデルによって補正パターン画像を生成する。この補正パターン画像と被検査パターン画像とを比較し、この比較結果によって、被検査パターン画像の欠陥を検出する。
式(1)をベクトルで表すと、式(2)となる。ここで、未知パラメータベクトルαは、α=[b00,b01,・・・,b44]Tであり、また、データベクトルxkはxk=[u(i−2,j−2),u(i−2,j−1),・・・,u(i+2,j+2)]Tである。
同定されたモデルパラメータαと、同定に用いた入出力画像データを式(1)に代入し、画素の座標i,jを走査するシミュレーション演算を行うことによって、補正パターン画像を生成する。この補正パターン画像では、最小2乗法に基づくフィッティングによって、1画素未満の画素位置ズレや伸縮・うねりノイズ、リサイズ処理、センシングノイズの低減が実現されている。ここで、シミュレーションに用いるデータには当然、欠陥画素が含まれることになるが、同定に用いた全データ数に比べてごく少数であるため、最小2乗法ではフィッティングされず、補正パターン画像には現れない。また、周囲のS/N比が向上しているので、欠陥画素が強調される効果もある。
図6は、コンタクトホールのパターン画像であるが、右下の破線領域にはコンタクトホール以外のマーカーなど文字パターン画像を有している。この文字パターン画像は、検査する必要がない。この場合、検査不要の領域を避けて、検査の必要なパターンを抽出できれば、マーカーなどの文字パターンの良否に左右されずに、高感度なパターン検査ができる。
21・・検査基準パターン画像
22・・被検査パターン画像
4・・・ストライプ
5・・・サブストライプ
10・・光源
12・・ステージ
14・・透過光学系
16・・反射光学系
18・・透過光センサ
20・・反射光センサ
30・・CADデータ
32・・参照データ発生回路
34・・設計データ
40・・比較処理部
41・・パターン抽出部
42・・補正領域指定部
43・・連立方程式生成部
44・・パラメータ生成部
45・・補正パターン画像生成部
46・・パターン画像比較部
Claims (7)
- 検査対象試料の検査基準パターン画像と被検査パターン画像を用いてパターン画像を補正する画像補正装置において、
検査基準パターン画像と被検査パターン画像内のパターンとその周辺を含む補正領域を指定する補正領域指定部と、
補正領域の被検査パターン画像の各1画素を2次元の出力データとし、該各1画素に対応する補正領域の検査基準パターン画像の1画素の周囲の画素群の線形結合を2次元の入力データとした2次元の線形予測モデルにより連立方程式を生成する連立方程式生成部と、
連立方程式を解いてモデルパラメータを求めるパラメータ生成部と、
モデルパラメータを用いて線形予測モデルを検査基準パターン画像に適用して補正パターン画像を生成する補正パターン画像生成部と、を備える、画像補正装置。 - 請求項1に記載の画像補正装置において、
補正領域指定部は、補正領域を2値画素マップで指定し、
連立方程式生成部は、2値画素マップを参照して、連立方程式を生成する、画像補正装置。 - 請求項1に記載の画像補正装置において、
補正領域で指定するパターンは、コンタクトホールである、画像補正装置。 - 請求項1に記載の画像補正装置おいて、
線形予測モデルは、被検査パターン画像の各1画素を2次元の出力データとし、該各1画素に対応する検査基準パターン画像の1画素を中心とする5×5のマトリックスの画素群の線形結合を2次元の入力データとした、2次元線形予測モデルである、画像補正装置。 - 検査対象試料の検査基準パターン画像と被検査パターン画像を用いてパターン画像を検査するパターン検査装置において、
検査基準パターン画像と被検査パターン画像内のパターンとその周辺を含む補正領域を指定する補正領域指定部と、
補正領域の被検査パターン画像の各1画素を2次元の出力データとし、該各1画素に対応する補正領域の検査基準パターン画像の1画素の周囲の画素群の線形結合を2次元の入力データとした2次元の線形予測モデルにより連立方程式を生成する連立方程式生成部と、
連立方程式を解いてモデルパラメータを求めるパラメータ生成部と、
モデルパラメータを用いて線形予測モデルを検査基準パターン画像に適用して補正パターン画像を生成する補正パターン画像生成部と、
補正パターン画像と補正領域の被検査パターン画像を比較するパターン画像比較部と、を備えている、パターン検査装置。 - 検査対象試料の検査基準パターン画像と被検査パターン画像を用いてパターン画像を補正するパターン補正方法において、
検査基準パターン画像と被検査パターン画像内のパターンとその周辺を含む補正領域を指定する補正領域指定ステップと、
補正領域の被検査パターン画像の各1画素を2次元の出力データとし、該各1画素に対応する補正領域の検査基準パターン画像の1画素の周囲の画素群の線形結合を2次元の入力データとした2次元の線形予測モデルにより連立方程式を生成する連立方程式生成ステップと、
連立方程式を解いてモデルパラメータを求めるパラメータ生成ステップと、
モデルパラメータを用いて線形予測モデルを検査基準パターン画像に適用して補正パターン画像を生成する補正パターン画像生成ステップと、を備えている、画像補正方法。 - 検査対象試料の検査基準パターン画像と被検査パターン画像を用いてパターン画像を検査するパターン検査方法において、
検査基準パターン画像と被検査パターン画像内のパターンとその周辺を含む補正領域を指定する補正領域指定ステップと、
補正領域の被検査パターン画像の各1画素を2次元の出力データとし、該各1画素に対応する補正領域の検査基準パターン画像の1画素の周囲の画素群の線形結合を2次元の入力データとした2次元の線形予測モデルにより連立方程式を生成する連立方程式生成ステップと、
連立方程式を解いてモデルパラメータを求めるパラメータ生成ステップと、
モデルパラメータを用いて線形予測モデルを検査基準パターン画像に適用して補正パターン画像を生成する補正パターン画像生成ステップと、
補正パターン画像と補正領域の被検査パターン画像を比較するパターン画像比較部と、を備えている、パターン検査方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005276584A JP4233556B2 (ja) | 2005-09-22 | 2005-09-22 | 画像補正装置、パターン検査装置、画像補正方法、及び、パターン検査方法 |
US11/360,657 US7627164B2 (en) | 2005-09-22 | 2006-02-24 | Pattern inspection method and apparatus with high-accuracy pattern image correction capability |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005276584A JP4233556B2 (ja) | 2005-09-22 | 2005-09-22 | 画像補正装置、パターン検査装置、画像補正方法、及び、パターン検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007086534A JP2007086534A (ja) | 2007-04-05 |
JP4233556B2 true JP4233556B2 (ja) | 2009-03-04 |
Family
ID=37884164
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005276584A Active JP4233556B2 (ja) | 2005-09-22 | 2005-09-22 | 画像補正装置、パターン検査装置、画像補正方法、及び、パターン検査方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7627164B2 (ja) |
JP (1) | JP4233556B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4772815B2 (ja) * | 2008-03-19 | 2011-09-14 | 株式会社東芝 | 補正パターン画像生成装置、パターン検査装置および補正パターン画像生成方法 |
US8094926B2 (en) | 2008-06-06 | 2012-01-10 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Ultrafine pattern discrimination using transmitted/reflected workpiece images for use in lithography inspection system |
US8666142B2 (en) * | 2008-11-18 | 2014-03-04 | Global Filtration Systems | System and method for manufacturing |
CN102193304B (zh) * | 2010-03-12 | 2012-12-05 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 光掩模版和使用所述光掩模版的测试方法 |
JP5726472B2 (ja) * | 2010-09-24 | 2015-06-03 | 株式会社東芝 | アライメント方法及び検出装置 |
US9576772B1 (en) * | 2015-08-31 | 2017-02-21 | Fei Company | CAD-assisted TEM prep recipe creation |
DE102016224307A1 (de) * | 2015-12-15 | 2017-06-22 | Heidelberger Druckmaschinen Ag | Verfahren zur Überprüfung eines Bildinspektionssystems |
JP7170605B2 (ja) * | 2019-09-02 | 2022-11-14 | 株式会社東芝 | 欠陥検査装置、欠陥検査方法、およびプログラム |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5563702A (en) | 1991-08-22 | 1996-10-08 | Kla Instruments Corporation | Automated photomask inspection apparatus and method |
JPH1096613A (ja) | 1997-08-04 | 1998-04-14 | Hitachi Ltd | 欠陥検出方法及びその装置 |
JP3998334B2 (ja) | 1997-09-22 | 2007-10-24 | 株式会社東芝 | 欠陥検査方法 |
JP2000105832A (ja) | 1998-09-29 | 2000-04-11 | Toshiba Corp | パターン検査装置、パターン検査方法およびパターン検査プログラムを格納した記録媒体 |
JP2000241136A (ja) | 1999-02-22 | 2000-09-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | パターン検査方法とパターン検査装置 |
US7444616B2 (en) * | 1999-05-20 | 2008-10-28 | Micronic Laser Systems Ab | Method for error reduction in lithography |
US7130776B2 (en) * | 2002-03-25 | 2006-10-31 | Lockheed Martin Corporation | Method and computer program product for producing a pattern recognition training set |
JP4056412B2 (ja) * | 2003-03-10 | 2008-03-05 | 株式会社東京精密 | パターン検査方法及び装置 |
JP4533689B2 (ja) | 2004-07-15 | 2010-09-01 | 株式会社東芝 | パターン検査方法 |
-
2005
- 2005-09-22 JP JP2005276584A patent/JP4233556B2/ja active Active
-
2006
- 2006-02-24 US US11/360,657 patent/US7627164B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007086534A (ja) | 2007-04-05 |
US20070064994A1 (en) | 2007-03-22 |
US7627164B2 (en) | 2009-12-01 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121219 Year of fee payment: 4 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131219 Year of fee payment: 5 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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