JP5724672B2 - 屈曲振動片、その製造方法、及び電子機器 - Google Patents
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Description
本発明のある形態に係る屈曲振動片は、基部と、前記基部から延出し、上面、下面及び左右側面を有する断面多角形の振動腕と、前記振動腕の前記左右側面にそれぞれ設けられている電極と、を備え、前記振動腕の少なくとも一方の前記側面の前記電極が、その厚さ方向に分離されている第1電極と第2電極とからなり、前記振動腕がその上下面に垂直な方向に沿って屈曲振動する際に、前記第1電極とそれに対応する前記振動腕の他方の前記側面の前記電極との間に発生する電界の向きと、前記第2電極とそれに対応する前記振動腕の他方の前記側面の前記電極との間に発生する電界の向きとが互いに逆向きになるように、前記各電極が設けられ、前記振動腕が、前記一方の側面と前記上面又は下面との間に形成されている段差部を有し、前記段差部が、前記一方の側面に交わる段差面と、前記上面又は下面に交わる段差側面とからなり、前記第1電極と第2電極とが、前記段差面の電極膜が形成されていない部分により分離して、前記一方の側面と前記段差側面とに形成されており、前記振動腕が、前記上面又は下面に凹設されている長手方向の溝を有し、前記長手方向溝の一方の内側面に形成されている第5電極と他方の内側面に形成されている第6電極とを有し、前記第5電極と前記第6電極とが、前記長手方向溝の底面の電極膜が形成されていない部分により分離され、前記振動腕がその上下面に垂直な方向に沿って屈曲振動する際に、前記第5電極とそれに対応する前記振動腕の左側面の前記電極との間に発生する電界の向きが、前記第6電極とそれに対応する前記振動腕の右側面の前記電極との間に発生する電界の向きとは互いに同じ向きになり、前記長手方向溝を設けていない前記下面側又は上面側において前記左側面の前記電極と前記右側面の前記電極との間に発生する電界の向きとは逆向きになるように、前記各電極が設けられていることを特徴とする。
本発明のある形態に係る屈曲振動片は、上記屈曲振動片において、前記振動腕の前記他方の側面の前記電極が、その厚さ方向に分離されている第3電極と第4電極とからなり、前記振動腕がその上下面に垂直な方向に沿って屈曲振動する際に、前記第1電極とそれに対応する前記第3電極との間に発生する電界の向きと、前記第2電極とそれに対応する前記第4電極との間に発生する電界の向きとが互いに逆向きになるように、前記各電極が設けられ、前記振動腕が、前記他方の側面と前記上面又は下面との間に形成されている第2の段差部を更に有し、前記第2の段差部が、前記他方の側面に交わる第2の段差面と、前記上面又は下面に交わる第2の段差側面とからなり、前記第3電極と第4電極とが、前記第2の段差面の電極膜が形成されていない部分により分離して、前記他方の側面と前記第2の段差側面とに形成されていることを特徴とする。
本発明のある形態に係る屈曲振動片は、上記屈曲振動片において、前記段差部が複数の段差からなることを特徴とする。
本発明のある形態に係る屈曲振動片は、上記屈曲振動片において、前記振動腕が、その上下面に垂直な方向に沿う前記屈曲振動を、該振動腕に設けられている前記電極から出力される電気信号として検出するための検出用振動腕であり、前記基部から前記検出用振動腕の延出方向に沿って延長する駆動用振動腕と、前記駆動用振動腕をその上下面に平行な方向に沿って屈曲振動させるように、前記駆動用振動腕に設けられている駆動電極とを更に有することを特徴とする。
本発明のある形態に係る屈曲振動片の製造方法は、上記屈曲振動片を製造する方法であって、ウエハから前記屈曲振動片の外形を有する振動素子片を加工する過程と、前記振動素子片の表面に電極膜を被着させかつその上にフォトレジスト膜を形成する過程と、振動素子片の前記上面、下面及び段差面の前記フォトレジスト膜を上面側及び下面側から露光してパターニングする過程と、前記パターニングにより露出した前記電極膜の部分をエッチングにより除去して、前記振動腕の側面にその厚さ方向に分離している前記電極を形成する過程と、残存する前記フォトレジスト膜を除去する過程と、を含むことを特徴とする。
本発明のある形態に係る電子機器は、上記屈曲振動片を備えることを特徴とする。
本発明の屈曲振動片は、上記目的を達成するために、基部と、該基部から延出し、上面、下面及び左右側面を有する断面多角形の振動腕と、該振動腕の左右側面にそれぞれ設けられている電極とを備え、
振動腕の少なくとも一方の側面の電極が、その厚さ方向に分離されている第1電極と第2電極とからなり、
振動腕がその上下面に垂直な方向に沿って屈曲振動する際に、第1電極とそれに対応する該振動腕の他方の側面の電極との間に発生する電界の向きと、第2電極とそれに対応する該他方の側面の電極との間に発生する電界の向きとが互いに逆向きになるように、前記各電極が設けられ、
振動腕が、一方の側面と上面又は下面との間に形成されている段差部を有し、該段差部が、一方の側面に交わる段差面と、上面又は下面に交わる段差側面とからなり、第1電極と第2電極とが、段差面の電極膜が形成されていない部分により分離して、一方の側面と段差側面とに形成されていることを特徴とする。
振動腕がその上下面に垂直な方向に沿って屈曲振動する際に、第1電極とそれに対応する第3電極との間に発生する電界の向きと、第2電極とそれに対応する第4電極との間に発生する電界の向きとが互いに逆向きになるように、前記各電極が設けられ、
振動腕が、他方の側面と上面又は下面との間に形成されている第2の段差部を更に有し、第2の段差部が、他方の側面に交わる第2の段差面と、上面又は下面に交わる第2の段差側面とからなり、第3電極と第4電極とが、第2の段差面の電極膜が形成されていない部分により分離して、他方の側面と第2の段差側面とに形成されている。
振動腕がその上下面に垂直な方向に沿って屈曲振動する際に、第5電極とそれに対応する振動腕の左側面の電極との間に発生する電界の向きが、第6電極とそれに対応する振動腕の右側面の電極との間に発生する電界の向きとは互いに同じ向きになり、長手方向溝を設けていない下面側又は上面側において左側面の電極と右側面の電極との間に発生する電界の向きとは逆向きになるように、前記各電極が設けられている。
ウエハから屈曲振動片の外形を有する振動素子片を加工する過程と、
振動素子片の表面に電極膜を被着させ、その上にフォトレジスト膜を形成する過程と、
振動素子片の上面、下面及び段差面のフォトレジスト膜を上面側及び下面側から露光してパターニングする過程と、
該パターニングにより露出した電極膜の部分をエッチングにより除去して、振動腕の側面にその厚さ方向に分離した電極を形成する過程と、
残存するフォトレジスト膜を除去する過程とを含む方法が提供される。
Claims (6)
- 基部と、
前記基部から延出し、上面、下面及び左右側面を有する断面多角形の振動腕と、
前記振動腕の前記左右側面にそれぞれ設けられている電極と、を備え、
前記振動腕の少なくとも一方の前記側面の前記電極が、その厚さ方向に分離されている第1電極と第2電極とからなり、
前記振動腕がその上下面に垂直な方向に沿って屈曲振動する際に、前記第1電極とそれに対応する前記振動腕の他方の前記側面の前記電極との間に発生する電界の向きと、前記第2電極とそれに対応する前記振動腕の他方の前記側面の前記電極との間に発生する電界の向きとが互いに逆向きになるように、前記各電極が設けられ、
前記振動腕が、前記一方の側面と前記上面又は下面との間に形成されている段差部を有し、前記段差部が、前記一方の側面に交わる段差面と、前記上面又は下面に交わる段差側面とからなり、前記第1電極と第2電極とが、前記段差面の電極膜が形成されていない部分により分離して、前記一方の側面と前記段差側面とに形成されており、
前記振動腕が、前記上面又は下面に凹設されている長手方向の溝を有し、前記長手方向溝の一方の内側面に形成されている第5電極と他方の内側面に形成されている第6電極とを有し、前記第5電極と前記第6電極とが、前記長手方向溝の底面の電極膜が形成されていない部分により分離され、
前記振動腕がその上下面に垂直な方向に沿って屈曲振動する際に、前記第5電極とそれに対応する前記振動腕の左側面の前記電極との間に発生する電界の向きが、前記第6電極とそれに対応する前記振動腕の右側面の前記電極との間に発生する電界の向きとは互いに同じ向きになり、前記長手方向溝を設けていない前記下面側又は上面側において前記左側面の前記電極と前記右側面の前記電極との間に発生する電界の向きとは逆向きになるように、前記各電極が設けられていることを特徴とする屈曲振動片。 - 前記振動腕の前記他方の側面の前記電極が、その厚さ方向に分離されている第3電極と第4電極とからなり、
前記振動腕がその上下面に垂直な方向に沿って屈曲振動する際に、前記第1電極とそれに対応する前記第3電極との間に発生する電界の向きと、前記第2電極とそれに対応する前記第4電極との間に発生する電界の向きとが互いに逆向きになるように、前記各電極が設けられ、
前記振動腕が、前記他方の側面と前記上面又は下面との間に形成されている第2の段差部を更に有し、前記第2の段差部が、前記他方の側面に交わる第2の段差面と、前記上面又は下面に交わる第2の段差側面とからなり、前記第3電極と第4電極とが、前記第2の段差面の電極膜が形成されていない部分により分離して、前記他方の側面と前記第2の段差側面とに形成されていることを特徴とする請求項1記載の屈曲振動片。 - 前記段差部が複数の段差からなることを特徴とする請求項1または2に記載の屈曲振動片。
- 前記振動腕が、その上下面に垂直な方向に沿う前記屈曲振動を、該振動腕に設けられている前記電極から出力される電気信号として検出するための検出用振動腕であり、
前記基部から前記検出用振動腕の延出方向に沿って延長する駆動用振動腕と、前記駆動用振動腕をその上下面に平行な方向に沿って屈曲振動させるように、前記駆動用振動腕に設けられている駆動電極とを更に有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の屈曲振動片。 - 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の屈曲振動片を製造する方法であって、
ウエハから前記屈曲振動片の外形を有する振動素子片を加工する過程と、
前記振動素子片の表面に電極膜を被着させかつその上にフォトレジスト膜を形成する過程と、
振動素子片の前記上面、下面及び段差面の前記フォトレジスト膜を上面側及び下面側から露光してパターニングする過程と、
前記パターニングにより露出した前記電極膜の部分をエッチングにより除去して、前記振動腕の側面にその厚さ方向に分離している前記電極を形成する過程と、
残存する前記フォトレジスト膜を除去する過程と、を含むことを特徴とする屈曲振動片の製造方法。 - 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の屈曲振動片を備えることを特徴とする電子機器。
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