JP3442487B2 - 水晶振動子の製造方法 - Google Patents
水晶振動子の製造方法Info
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Description
子の製造方法に関する。
動子で音叉部と基部のうち、音叉部の側面、即ちエツチ
ング加工で製作すると励振部のエッチング面に、厚み方
向に対して分割された電極を形成し,それを図5のよう
に対向する面に互いに極性の異なる励振電極になる様に
結線し励振する必要がある。水晶振動子の厚みが厚い場
合は、側面前面に電極膜を形成しその後不要部分を機械
的または化学的に剥離して、必要な電極を作成できた。
また、励振電極以外にも、基部の引きまわし電極部にお
いても極性の異なる電極を、側面に形成する必要があ
る。
振動子が小型化されるに伴い厚みが薄くなり、従来技術
の機械的又は化学的に電極の不要部分を剥離する方法で
は電極の形成が不可能と言う課題が有った。
向に極性の異なる電極を形成するエッチングの深さが水
晶板の厚みの1/5より少なく残し、エッチング面に電
極を形成し、その後エッチングの残りの部分を折り取る
ことにより、厚み方向にA励振電極2、B励振電極3と
極性の異なった電極を形成して、課題を解決した。
には、エッチング液に融解しないレジスト膜をエッチン
グされない部分に形成しておき、エッチングを施す。図
2に水晶振動子の励振部の断面図を示す。水晶板の厚み
t2とし、励振部の側面を厚み方向に厚みt1を残す。厚
みt1は、t1=4t2/5以下から抜けてしまうまでの
間になるように、両面からエッチングしてエッチング溝
4を形成する。レジスト膜を除去し、電極を形成するた
めのマスクを形成し、蒸着等の手段で金属膜を形成す
る。図3に側面電極の蒸着を行った状態を示す。電極を
側面に蒸着するため、斜めから蒸着を行う。
部分を撤去することによって、水晶振動子の振動部分の
エッチング面に、厚み方向にA励振電極2とB励振電極
3に分離された励振電極が形成される。図4に示す様に
励振電極を接続する。対向する電極にそれぞれに極性の
異なった電圧を印加すると電界と直角の方向に動く力が
働く。なお、本実施例において、励振部分の電極を形成
する手段を示したが、励振部だけでなく他の部分の電極
で側面に電極を形成する際、極性の異なる電極を分離す
るのに役立てることができる。さらに、音叉形振動子の
例を挙げたが、他の形状の水晶振動子であっても有効で
ある。
型になっても、薄い水晶振動子の励振部等の側面に、厚
み方向に分割された電極が容易に形成出来るので、水晶
振動子の小型化、薄型化、ローコスト化が可能になっ
た。これにより従来のような、電極形成後に行う電極分
離が不要になり、小型化された振動子であっても適用す
ることができるようになった。
す斜視図である。
発明の両面からエッチングして中央の部分を残している
状態の実施例を示す断面図である。
着した状態の実施例を示す断面図である。
となる接続の実施例を示す断面図である。
面図、側面図、上面図及び励振電極の接続図である。
Claims (2)
- 【請求項1】エッチング法で外形を形成する水晶振動子
の水晶板面の厚み方向のエッチング側面に、互いに極性
の異なる電極が配置される水晶振動子の製造方法におい
て、該水晶板の厚み方向にエッチングの残り部分を形成
するエッチング工程と、該水晶板の該エッチング残り部
分で分断された側面部と、該側面部から連続する該エッ
チング残り部分の面上とに、それぞれ金属膜を形成する
工程と、金属膜が形成された該エッチング残り部分を折
って除去することにより、該水晶板の側面部に該エッチ
ング残り部分の厚み部分で分断独立した該金属膜より成
る電極を形成する工程とからなる水晶振動子の製造方
法。 - 【請求項2】該エッチング残り部分が、該水晶板の厚さ
の1/5以下に形成することを特徴とする請求項1記載
の水晶振動子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17164494A JP3442487B2 (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | 水晶振動子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP17164494A JP3442487B2 (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | 水晶振動子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0818371A JPH0818371A (ja) | 1996-01-19 |
JP3442487B2 true JP3442487B2 (ja) | 2003-09-02 |
Family
ID=15927036
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP17164494A Expired - Fee Related JP3442487B2 (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | 水晶振動子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP3442487B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7138288B2 (en) | 2003-03-28 | 2006-11-21 | Citizen Watch Co., Ltd. | Method for manufacturing small crystal resonator |
JP5724672B2 (ja) | 2011-06-24 | 2015-05-27 | セイコーエプソン株式会社 | 屈曲振動片、その製造方法、及び電子機器 |
JP5877746B2 (ja) * | 2012-03-28 | 2016-03-08 | シチズンファインデバイス株式会社 | 圧電振動片およびその製造方法 |
-
1994
- 1994-06-30 JP JP17164494A patent/JP3442487B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0818371A (ja) | 1996-01-19 |
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