JP3442487B2 - 水晶振動子の製造方法 - Google Patents

水晶振動子の製造方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】エッチング法で成形する水晶振動
子の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、図５に示す様に音叉型水晶振
動子で音叉部と基部のうち、音叉部の側面、即ちエツチ
ング加工で製作すると励振部のエッチング面に、厚み方
向に対して分割された電極を形成し，それを図５のよう
に対向する面に互いに極性の異なる励振電極になる様に
結線し励振する必要がある。水晶振動子の厚みが厚い場
合は、側面前面に電極膜を形成しその後不要部分を機械
的または化学的に剥離して、必要な電極を作成できた。
また、励振電極以外にも、基部の引きまわし電極部にお
いても極性の異なる電極を、側面に形成する必要があ
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来技術の方法では、
振動子が小型化されるに伴い厚みが薄くなり、従来技術
の機械的又は化学的に電極の不要部分を剥離する方法で
は電極の形成が不可能と言う課題が有った。
【０００４】
【課題を解決する手段】課題を解決するために、厚み方
向に極性の異なる電極を形成するエッチングの深さが水
晶板の厚みの１／５より少なく残し、エッチング面に電
極を形成し、その後エッチングの残りの部分を折り取る
ことにより、厚み方向にＡ励振電極２、Ｂ励振電極３と
極性の異なった電極を形成して、課題を解決した。
【０００５】
【実施例】水晶板から水晶振動子の外形を成形するため
には、エッチング液に融解しないレジスト膜をエッチン
グされない部分に形成しておき、エッチングを施す。図
２に水晶振動子の励振部の断面図を示す。水晶板の厚み
ｔ2とし、励振部の側面を厚み方向に厚みｔ1を残す。厚
みｔ1は、ｔ1＝４ｔ2／５以下から抜けてしまうまでの
間になるように、両面からエッチングしてエッチング溝
４を形成する。レジスト膜を除去し、電極を形成するた
めのマスクを形成し、蒸着等の手段で金属膜を形成す
る。図３に側面電極の蒸着を行った状態を示す。電極を
側面に蒸着するため、斜めから蒸着を行う。
【０００６】図１に実施例の斜視図を示す。図３の不要
部分を撤去することによって、水晶振動子の振動部分の
エッチング面に、厚み方向にＡ励振電極２とＢ励振電極
３に分離された励振電極が形成される。図４に示す様に
励振電極を接続する。対向する電極にそれぞれに極性の
異なった電圧を印加すると電界と直角の方向に動く力が
働く。なお、本実施例において、励振部分の電極を形成
する手段を示したが、励振部だけでなく他の部分の電極
で側面に電極を形成する際、極性の異なる電極を分離す
るのに役立てることができる。さらに、音叉形振動子の
例を挙げたが、他の形状の水晶振動子であっても有効で
ある。
【０００７】
【発明の効果】本発明により、水晶振動子が小型化、薄
型になっても、薄い水晶振動子の励振部等の側面に、厚
み方向に分割された電極が容易に形成出来るので、水晶
振動子の小型化、薄型化、ローコスト化が可能になっ
た。これにより従来のような、電極形成後に行う電極分
離が不要になり、小型化された振動子であっても適用す
ることができるようになった。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明による電極を有する実施例を示
す斜視図である。
【図２】 図２は、本
発明の両面からエッチングして中央の部分を残している
状態の実施例を示す断面図である。
【図３】図３は、図２のエッチングした側面に電極を蒸
着した状態の実施例を示す断面図である。
【図４】図４は、本発明のエッチング面の対向する異極
となる接続の実施例を示す断面図である。
【図５】図５は、本発明の実施例の外形の概要を示す正
面図、側面図、上面図及び励振電極の接続図である。
【符号の説明】
１ 水晶 ２ Ａ励振電極 ３ Ｂ励振電極 ４ エッチング溝

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】エッチング法で外形を形成する水晶振動子
    の水晶板面の厚み方向のエッチング側面に、互いに極性
    の異なる電極が配置される水晶振動子の製造方法におい
    て、該水晶板の厚み方向にエッチングの残り部分を形成
    するエッチング工程と、該水晶板の該エッチング残り部
    分で分断された側面部と、該側面部から連続する該エッ
    チング残り部分の面上とに、それぞれ金属膜を形成する
    工程と、金属膜が形成された該エッチング残り部分を折
    って除去することにより、該水晶板の側面部に該エッチ
    ング残り部分の厚み部分で分断独立した該金属膜より成
    る電極を形成する工程とからなる水晶振動子の製造方
    法。
  2. 【請求項２】該エッチング残り部分が、該水晶板の厚さ
    の１／５以下に形成することを特徴とする請求項１記載
    の水晶振動子の製造方法。
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