JP5716326B2 - 電気機械変換部材、液体吐出ヘッド及び画像形成装置 - Google Patents
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Description
(1)電極上に部分的に表面改質を行う工程と
(2)前記電極上に金属複合酸化物のゾルゲル液を第1の液体吐出ヘッドから吐出させて部分的に塗布し、パターン化した電気機械変換膜を形成する工程と、
(3)前記電極上に前記ゾルゲル液とは別の液体を第2の液体吐出ヘッドから吐出させて塗布する工程と、
(4)前記部分的に塗布されたゾルゲル液を乾燥する工程と、を順次行った後、
(5)前記表面改質を行う工程、前記乾燥されたゾルゲル液上に前記ゾルゲル液を塗布する工程、前記ゾルゲル液とは別の液体を塗布する工程、塗布された前記ゾルゲル液を乾燥する工程を、繰り返した後、熱分解する工程を行い、
(6)前記(5)の工程を繰り返した後、結晶化する工程を行い、
所望の膜厚の前記電気機械変換膜を得る
構成とした。
まず、本発明に係る電気変換部材の製造方法においては、ゾルゲル法によるパターン化した電気機械変換膜を電極上に形成する。すなわち、下地基板の濡れ性を制御したPZT前駆体(ゾルゲル液)の塗り分けをする(アルカンチオールの特定金属上に自己配列する現象を利用している)。以下、全体の製造工程について説明する。
(実施例1)
まず、図1を参照して基板の表面改質の工程を説明する。
同図(a)に示す基板1の表面には、図示しないが白金電極(層)形成されている。そして、同図(b1)に示すように、基板1の表面全体にSAM膜2を形成する。SAM膜2は、アルカンチオール液に基板1をディップして自己配列させることで得られる。ここでは、ドデカンチオールCH3(CH2)11SHを使用した。その後、同図(c1)に示すように、ゾルゲル液(PZT前駆体)塗膜から電気機械変換膜を形成する領域のSAM膜を除去し、かつ必要部分のSAM膜を保護するために、フォトリソグラフィーによりレジスト3をパターニングする。例えば、酸素プラズマを基板1表面に照射することにより、電気機械変換膜を形成する領域のSAM膜2を除去する。その後、レジスト3を剥離する。
図2(a)に示すように、前述した改質工程で、基板1上には、パターニングされた親水領域(親水部)4と疎水領域(疎水部)5が形成されている。
実施例1と同じ材料、液体吐出塗布装置を用いて、同様の工程にて電気機械変換膜のパターンを形成した。ここで、ゾルゲル液塗膜パターンは、実施例1と同様の幅50μm、長さ500μmの長尺パターンとし、図7に示すように、ゾルゲル液塗膜の長尺パターン16を幅方向に配列させた。(ピッチ1:2)ものとした。また、配列させたパターンの周囲には、幅50μmのラインを用い、長方形パターン17を前記ゾルゲル液塗膜長尺パターン16の配列を囲むように配置した。この周囲長方形パターン17は、液体吐出塗布装置の第2の液体吐出ヘッドからのメトキシエタノール塗布により形成した。
この液体吐出ヘッド100は、液滴を吐出するノズル101が形成されたノズル板102と、ノズル101が連通する流路(圧力室)103を形成する流路部材104と、圧力室103の壁面の形成する振動板105とが積層され、振動板105の圧力室103と反対側の面に本発明に係る電気機械変換部材140からなる圧電アクチュエータが設けられている。
この画像形成装置はシリアル型画像形成装置であり、左右の側板221A、221Bに横架したガイド部材である主従のガイドロッド231、232でキャリッジ233を主走査方向に摺動自在に保持し、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して矢示方向(キャリッジ主走査方向)に移動走査する。
2 SAM膜
4 親水領域
5 疎水領域
6 ゾルゲル液のパターン
7 ゾルゲル液とは別の液体のパターン
8 PZT膜
233 キャリッジ
234a、234b 記録ヘッド
Claims (6)
- (1)電極上に部分的に表面改質を行う工程と
(2)前記電極上に金属複合酸化物のゾルゲル液を第1の液体吐出ヘッドから吐出させて部分的に塗布し、パターン化した電気機械変換膜を形成する工程と、
(3)前記電極上に前記ゾルゲル液とは別の液体を第2の液体吐出ヘッドから吐出させて塗布する工程と、
(4)前記部分的に塗布されたゾルゲル液を乾燥する工程と、を順次行った後、
(5)前記表面改質を行う工程、前記乾燥されたゾルゲル液上に前記ゾルゲル液を塗布する工程、前記ゾルゲル液とは別の液体を塗布する工程、塗布された前記ゾルゲル液を乾燥する工程を、繰り返した後、熱分解する工程を行い、
(6)前記(5)の工程を繰り返した後、結晶化する工程を行い、
所望の膜厚の前記電気機械変換膜を得る
ことを特徴とする電気機械変換部材の製造方法。 - 前記第1の液体吐出ヘッドから塗布された前記ゾルゲル液により形成されパターン化した前記電気機械変換膜と同じ領域に対して、続いて、前記ゾルゲル液とは別の液体を前記第2の液体吐出ヘッドより塗布することを特徴とする請求項1に記載の電気機械変換部材の製造方法。
- 前記第1の液体吐出ヘッドから塗布された前記ゾルゲル液により形成されパターン化した前記電気機械変換膜の外側の領域に対して、続いて、前記ゾルゲル液とは別の液体を前記第2の液体吐出ヘッドより塗布して、前記電気機械変換膜とは別のパターンを形成することを特徴とする請求項1に記載の電気機械変換部材の製造方法。
- 前記第2の液体吐出ヘッドで塗布される前記ゾルゲル液とは別の液体が、ゾルゲル液成分に含まれる溶媒と同じ液体であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の電気機械変換部材の製造方法。
- 請求項1ないし4のいずれかに記載の電気機械変換部材の製造方法で製造された電気機械変換部材を備える液体吐出ヘッド。
- 請求項5に記載の液体吐出ヘッドを備えることを特徴とする画像形成装置。
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