JP5708169B2 - 光学ガラスの潜傷評価方法及び潜傷評価装置 - Google Patents
光学ガラスの潜傷評価方法及び潜傷評価装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5708169B2 JP5708169B2 JP2011085247A JP2011085247A JP5708169B2 JP 5708169 B2 JP5708169 B2 JP 5708169B2 JP 2011085247 A JP2011085247 A JP 2011085247A JP 2011085247 A JP2011085247 A JP 2011085247A JP 5708169 B2 JP5708169 B2 JP 5708169B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- latent
- scratch
- optical glass
- shape
- cleaning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Description
燐酸バリウム系ガラス、ホウ酸ランタン系ガラス、ホウ酸バリウム系ガラスの各光学ガラスからなる、直径15mm×厚さ3mmの円板状の試験用ガラスを用意し、これらの光学ガラスについて、荷重変動型摩擦摩耗試験システム(新東科学株式会社製、商品名:トライボギア HHS2000)にセットした。
上記荷重の検討の結果から、本実施例において、光学ガラス表面へのダイヤモンド圧子の接触による荷重は5gとした。また、荷重の検討と同様の操作により、燐酸ビスマス系ガラス、燐酸バリウム系ガラス、ホウ酸ランタン系ガラス、ホウ酸バリウム系ガラスについて、各試験用の表面に潜傷を付与し、その潜傷について形状(幅及び深さ)を測定し、第1の形状測定を行った。
Claims (15)
- 評価対象の光学ガラスの表面に潜傷を付与する潜傷付与工程と、
前記潜傷付与工程により付与された前記潜傷の形状を測定する第1の形状測定工程と、
前記第1の形状測定工程後、前記光学ガラスを評価する光学ガラスの洗浄条件と同一条件にして洗浄液と接触させ、前記潜傷を拡大させる洗浄工程と、
前記潜傷の洗浄工程後の形状を測定する第2の形状測定工程と、
前記第1の形状測定工程及び第2の形状測定工程で得られた結果を対比する対比工程と、
を有することを特徴とする光学ガラスの潜傷評価方法。 - 前記対比工程が、前記第1の形状測定工程及び第2の形状測定工程で得られたデータに基づいて傷拡大率を算出する請求項1記載の光学ガラスの潜傷評価方法。
- 前記対比工程が、前記潜傷の深さから傷拡大率を算出する請求項2記載の光学ガラスの潜傷評価方法。
- 前記潜傷付与工程が、引っ掻き試験機により前記光学ガラスの表面に潜傷を付与する請求項1乃至3のいずれか1項記載の光学ガラスの潜傷評価方法。
- 前記引っ掻き試験機により、先端形状のRが1〜10μmの引っ掻き針を用い、垂直荷重1〜10g、引っ掻き速度0.01〜1mm/sで前記潜傷を光学ガラスに付与する請求項4記載の光学ガラスの潜傷評価方法。
- 前記潜傷付与工程において、前記潜傷を、互いに平行になるように複数本付与する請求項1乃至5のいずれか1項記載の光学ガラスの潜傷評価方法。
- 前記第1の形状測定工程及び第2の形状測定工程において、レーザー顕微鏡により傷形状を測定する請求項1乃至6のいずれか1項記載の光学ガラスの潜傷評価方法。
- 評価対象の光学ガラスの表面に潜傷を付与する潜傷付与手段と、
前記潜傷付与手段により付与された潜傷の形状を測定する第1の形状測定手段と、
前記第1の形状測定手段により潜傷の形状を測定された前記光学ガラスの表面に洗浄液を接触させ、前記潜傷を拡大させる洗浄手段と、
前記潜傷の洗浄後の形状を測定する第2の形状測定手段と、
前記第1の形状測定手段及び第2の形状測定手段で得られた結果を対比する対比手段と、
を有することを特徴とする光学ガラスの潜傷評価装置。 - 前記対比手段が、前記第1の形状測定手段及び第2の形状測定手段で得られた測定データに基づいて傷拡大率を算出する請求項8記載の光学ガラスの潜傷評価装置。
- 前記対比手段が、前記潜傷の深さから傷拡大率を算出する請求項8又は9記載の光学ガラスの潜傷評価装置。
- 前記潜傷付与手段が、引っ掻き試験機である請求項8乃至10のいずれか1項記載の光学ガラスの潜傷評価装置。
- 前記引っ掻き試験機が、先端形状が90度、曲率半径Rが1〜10μmの引っ掻き針を有する請求項11記載の光学ガラスの潜傷評価装置。
- 前記洗浄手段が、洗浄液貯留槽を有し、前記光学ガラスを浸漬により洗浄可能としている請求項8乃至12のいずれか1項記載の光学ガラスの潜傷評価装置。
- 前記洗浄手段が、前記光学ガラスに洗浄液を噴射する洗浄ノズルを有する請求項8乃至13のいずれか1項記載の光学ガラスの潜傷評価装置。
- 前記形状測定手段が、レーザー顕微鏡である請求項8乃至14のいずれか1項記載の光学ガラスの潜傷評価装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011085247A JP5708169B2 (ja) | 2011-04-07 | 2011-04-07 | 光学ガラスの潜傷評価方法及び潜傷評価装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011085247A JP5708169B2 (ja) | 2011-04-07 | 2011-04-07 | 光学ガラスの潜傷評価方法及び潜傷評価装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012217909A JP2012217909A (ja) | 2012-11-12 |
JP5708169B2 true JP5708169B2 (ja) | 2015-04-30 |
Family
ID=47270033
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011085247A Expired - Fee Related JP5708169B2 (ja) | 2011-04-07 | 2011-04-07 | 光学ガラスの潜傷評価方法及び潜傷評価装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5708169B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018189552A (ja) * | 2017-05-09 | 2018-11-29 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板、ガラス板の端面検査方法及びガラス板の製造方法 |
CN111465842A (zh) * | 2018-04-10 | 2020-07-28 | 日本电气硝子株式会社 | 玻璃板、玻璃板的制造方法以及端面检查方法 |
CN114002043A (zh) * | 2021-09-16 | 2022-02-01 | 西南科技大学 | 一种基于纳米划痕的玻璃化学稳定性的测试方法 |
US11915908B2 (en) | 2021-10-14 | 2024-02-27 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Method for measuring a sample and microscope implementing the method |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08258090A (ja) * | 1995-03-23 | 1996-10-08 | Tokuo Okabayashi | スタンパーの洗浄方法および装置 |
JP3737585B2 (ja) * | 1996-11-29 | 2006-01-18 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 半導体ウエハの表面検査方法および半導体装置の製造装置 |
JP2000051796A (ja) * | 1998-08-13 | 2000-02-22 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板洗浄評価方法 |
US7330250B2 (en) * | 2004-05-18 | 2008-02-12 | Agilent Technologies, Inc. | Nondestructive evaluation of subsurface damage in optical elements |
JP2006239477A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-09-14 | Central Res Inst Of Electric Power Ind | サニタリー製品および炭素ドープ酸化チタン表層を備えたサニタリー製品の洗浄システム |
-
2011
- 2011-04-07 JP JP2011085247A patent/JP5708169B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012217909A (ja) | 2012-11-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5708169B2 (ja) | 光学ガラスの潜傷評価方法及び潜傷評価装置 | |
JP4511591B2 (ja) | 基板洗浄装置及び洗浄部材の交換時期判定方法 | |
CN102692184A (zh) | 一种同时测量腐蚀坑体积、面积、深度的方法 | |
CN103878150A (zh) | 探针的清洁方法及探针清洁装置 | |
Hall et al. | Preparation of micro-and crypto-tephras for quantitative microbeam analysis | |
Sagadevan et al. | Novel Analysis on the Influence of Tip Radius and Shape of the Nanoindenter on the Hardness of Materials | |
CN111024534A (zh) | 一种光学玻璃亚表面损伤的力学表征方法 | |
Wang et al. | Automatic morphological characterization of nanobubbles with a novel image segmentation method and its application in the study of nanobubble coalescence | |
JP2010164311A (ja) | 耐擦傷性試験装置および耐擦傷性試験方法 | |
Clifford et al. | Nanomechanical measurements of hair as an example of micro-fibre analysis using atomic force microscopy nanoindentation | |
Constantinides et al. | Dealing with imperfection: quantifying potential length scale artefacts from nominally spherical indenter probes | |
US20040126073A1 (en) | Method of manufacturing light-propagating probe for near-field microscope | |
JP2015505053A5 (ja) | ||
TWI313346B (en) | Profile measurement method and devices therefor | |
JP2006308503A (ja) | 被測定体の清浄度測定方法 | |
CN112881534B (zh) | 超声检测试块、其制备方法和应用 | |
Leach et al. | A comparison of stylus and optical methods for measuring 2D surface textures. | |
Gill et al. | Atomic force microscopy analysis of the effect of plasma treatment on gas permeable contact lens surface topography | |
JP2008309590A (ja) | ノズル検査装置およびノズル検査方法 | |
WO2018207533A1 (ja) | ガラス板、ガラス板の端面検査方法及びガラス板の製造方法 | |
Muñoz | Spectrocolorimetric and microscopic techniques for the evaluation of plasticized PVC cleaning: a case study applicable to three‐dimensional objects at museums | |
Shima et al. | Characterization of Self-Contamination from PVA Roll Brush with Atomic Force Microscopy and Fluorescent Microscopy | |
Hayat et al. | Care and use of diamond knives | |
RU2516022C2 (ru) | Способ сбора и обработки информации о поверхности образца | |
Gao et al. | A new multiple air beam approach for in-process form error optical measurement |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140205 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20141030 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141118 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150114 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150203 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150216 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5708169 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |