JP5708169B2 - Optical glass latent scratch evaluation method and latent scratch evaluation apparatus - Google Patents
Optical glass latent scratch evaluation method and latent scratch evaluation apparatus Download PDFInfo
- Publication number
- JP5708169B2 JP5708169B2 JP2011085247A JP2011085247A JP5708169B2 JP 5708169 B2 JP5708169 B2 JP 5708169B2 JP 2011085247 A JP2011085247 A JP 2011085247A JP 2011085247 A JP2011085247 A JP 2011085247A JP 5708169 B2 JP5708169 B2 JP 5708169B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- latent
- scratch
- optical glass
- shape
- cleaning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Description
本発明は、洗浄液を用いた洗浄による光学ガラスのダメージ性を評価できる潜傷評価方法及び潜傷評価装置に係り、特に、光学ガラスを形成する様々な硝材の洗浄時の洗浄条件を定量的に評価できる光学ガラスの潜傷評価方法及び潜傷評価装置に関する。 The present invention relates to a latent scratch evaluation method and a latent scratch evaluation apparatus that can evaluate the damage property of an optical glass by cleaning with a cleaning liquid, and in particular, quantitatively determine cleaning conditions during cleaning of various glass materials forming the optical glass. The present invention relates to an optical glass latent scratch evaluation method and a latent scratch evaluation apparatus.
光学素子を製造する際に、プレス成形用のプリフォームの作成やプレス成形後において表面形状を整えるために光学ガラスを化学的機械研磨(CMP;Chemical Mechanical Polishing)による研磨工程に付す場合があるが、この研磨操作により得られた光学ガラスの表面には、研磨材や研磨の際に生じたガラスの微粉等が付着又は埋め込まれて存在する。この付着した研磨材やガラスの微粉は、光学素子の性能を低下させるため、十分に洗浄によって除去してから次の工程に送らなければならない。 When optical elements are manufactured, optical glass may be subjected to a polishing process by chemical mechanical polishing (CMP) in order to prepare a preform for press molding and to adjust the surface shape after press molding. On the surface of the optical glass obtained by this polishing operation, abrasives or fine powder of glass generated during polishing is attached or embedded. In order to reduce the performance of the optical element, the adhering abrasive and fine glass powder must be removed by sufficient cleaning before being sent to the next step.
このとき光学素子の洗浄は、一般に、光学素子を洗浄液と接触させたり、それに加えて超音波を与えたりして表面を清浄にしている。具体的には、各洗浄槽に収納されたアルカリ洗浄液や市水、純水や溶剤等の洗浄液への浸漬や、さらに超音波を印加して、光学素子をその洗浄液への浸漬と超音波の物理力を併用して汚れを除去している。 At this time, the optical element is generally cleaned by bringing the optical element into contact with a cleaning solution or applying ultrasonic waves in addition thereto. Specifically, immersion in an alkaline cleaning liquid stored in each cleaning tank, city water, pure water, or a solvent such as a solvent, or by applying ultrasonic waves to immerse the optical element in the cleaning liquid and ultrasonic waves. Dirt is removed using physical force.
このとき用いる洗浄液としては、ガラスの表面を侵食し、ガラスの表面に食い付いて付着している酸化セリウム等の研磨材までも除去するアルカリ洗浄液が知られており、このアルカリ洗浄液は、汚れの除去性能が高いため光学素子のように精密な部材の製造工程によく用いられている。 As the cleaning liquid used at this time, an alkaline cleaning liquid that erodes the glass surface and removes even cerium oxide and other abrasives that bite and adhere to the glass surface is known. Because of its high removal performance, it is often used in the manufacturing process of precision members such as optical elements.
また、他にも塩素系洗浄液や炭化水素系溶剤に代表される非水系洗浄液、アルコール類に代表される準水系洗浄液、脂肪酸及びポリカルボン酸の少なくとも一方を含有する洗浄液(例えば、特許文献1参照)等の種々の洗浄液が知られている。 In addition, non-aqueous cleaning liquids typified by chlorine-based cleaning liquids and hydrocarbon solvents, semi-aqueous cleaning liquids typified by alcohols, and cleaning liquids containing at least one of fatty acids and polycarboxylic acids (see, for example, Patent Document 1) Etc.) are known.
しかしながら、上記した従来の洗浄方法のうちアルカリ洗浄液は、ガラス表面を侵食するものであるため、耐水性、耐洗剤性が小さな硝材からなる光学ガラスの洗浄に用いると、研磨工程中に形成された光学ガラス表面の微細な傷(潜傷)が拡大して顕在化してしまい、製品歩留まりを低下させる問題があった。この潜傷は、より高い洗浄度を得るために、超音波洗浄を併用した場合には、超音波の物理力により、さらに拡大する場合がある。 However, among the above-described conventional cleaning methods, the alkaline cleaning liquid erodes the glass surface, and therefore, when used for cleaning optical glass made of a glass material having low water resistance and detergent resistance, it was formed during the polishing process. There is a problem in that fine scratches (latent scratches) on the surface of the optical glass are enlarged and become apparent, which lowers the product yield. In order to obtain a higher degree of cleaning, this latent scratch may be further enlarged by ultrasonic physical force when ultrasonic cleaning is used in combination.
従来、洗浄操作を行った際に、洗浄によるダメージの評価は、目視による外観検査により製品としての良・不良を判断していた。しかしながら、この評価方法は、汚れ残りと洗剤による潜傷の拡大の判別が困難な上、感度による定性評価であった。 Conventionally, when a cleaning operation is performed, the evaluation of damage due to the cleaning has been made by judging whether the product is good or bad by visual inspection. However, this evaluation method is a qualitative evaluation based on sensitivity in addition to the difficulty of distinguishing between residual dirt and the spread of latent scratches by detergent.
そこで、本発明は、このような従来の問題点を考慮してなされたものであり、光学ガラスの洗浄時に生じるダメージを定量的に評価し、硝材に対して好適な洗浄条件の調査に有用な光学ガラスの潜傷評価方法及び潜傷評価装置の提供を目的とする。 Therefore, the present invention has been made in consideration of such conventional problems, and quantitatively evaluates the damage that occurs during the cleaning of optical glass, and is useful for investigating suitable cleaning conditions for glass materials. An object of the present invention is to provide a latent scratch evaluation method and a latent scratch evaluation apparatus for optical glass.
本発明の光学ガラスの潜傷評価方法は、評価対象の光学ガラスの表面に潜傷を付与する潜傷付与工程と、前記潜傷付与工程により付与された前記潜傷の形状を測定する第1の形状測定工程と、前記第1の形状測定工程後、前記光学ガラスを評価する光学ガラスの洗浄条件と同一条件にして洗浄液と接触させ、前記潜傷を拡大させる洗浄工程と、前記潜傷の洗浄工程後の形状を測定する第2の形状測定工程と、前記第1の形状測定工程及び第2の形状測定工程で得られた結果を対比する対比工程と、を有することを特徴とする。 The optical glass latent scratch evaluation method of the present invention includes a latent scratch imparting step for imparting latent scratches to the surface of the optical glass to be evaluated, and a first method for measuring the shape of the latent scratch imparted by the latent scratch imparting step. After the first shape measurement step, after the first shape measurement step, the cleaning step of contacting the cleaning liquid under the same conditions as the optical glass cleaning conditions for evaluating the optical glass to expand the latent scratch, and the latent scratch It has the 2nd shape measurement process which measures the shape after a washing | cleaning process, and the contrast process which contrasts the result obtained by the said 1st shape measurement process and a 2nd shape measurement process, It is characterized by the above-mentioned.
本発明の光学ガラスの潜傷評価装置は、評価対象の光学ガラスの表面に潜傷を付与する潜傷付与手段と、前記潜傷付与手段により付与された潜傷の形状を測定する第1の形状測定手段と、前記第1の形状測定手段により潜傷の形状を測定された前記光学ガラスの表面に洗浄液を接触させ、前記潜傷を拡大させる洗浄手段と、前記潜傷の洗浄後の形状を測定する第2の形状測定手段と、前記第1の形状測定手段及び第2の形状測定手段で得られた結果を対比する対比手段と、を有することを特徴とする。 The optical glass latent scratch evaluation apparatus according to the present invention includes a latent scratch imparting unit that imparts a latent scratch to the surface of the optical glass to be evaluated, and a first shape that measures the shape of the latent scratch imparted by the latent scratch imparting unit. A shape measuring means, a cleaning means for bringing the cleaning liquid into contact with the surface of the optical glass whose shape of the latent scratch was measured by the first shape measuring means, and expanding the latent scratch; and a shape of the latent scratch after cleaning The second shape measuring means for measuring the above and the contrast means for comparing the results obtained by the first shape measuring means and the second shape measuring means.
本発明の光学ガラスの潜傷評価方法及び潜傷評価装置は、硝材の洗浄液による洗浄時に生じるダメージを定量的に評価し、硝材に対して好適な洗浄液、洗浄方法を調査する際に使用できる。このようにして評価した結果により、硝材ごとに洗浄条件を比較し、最適な条件を決定できる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The optical glass latent scratch evaluation method and latent scratch evaluation apparatus of the present invention can be used for quantitatively evaluating damage caused during cleaning with a glass material cleaning liquid and investigating a suitable cleaning liquid and cleaning method for the glass material. As a result of the evaluation, the cleaning conditions can be compared for each glass material and the optimum conditions can be determined.
以下、本発明の光学ガラスの潜傷評価方法及び潜傷評価装置について、図面を参照しながら詳細に説明する。 The optical glass latent scratch evaluation method and latent scratch evaluation apparatus of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
図1は、本発明の一実施形態である光学ガラスの潜傷評価装置の構成図である。ここで、この光学ガラスの潜傷評価装置1は、潜傷付与手段2と、第1の形状測定手段3と、洗浄液貯留槽4と、第2の形状測定手段5と、対比手段6と、から構成されている。
FIG. 1 is a configuration diagram of an optical glass latent scratch evaluation apparatus according to an embodiment of the present invention. Here, this optical glass latent scratch evaluation apparatus 1 includes a latent scratch imparting
ここで、本発明の潜傷付与手段2は、光学ガラスの表面に所定の大きさの潜傷を付与できるものであればよく、例えば、光学ガラス表面に所定の荷重をかけられる圧子を有する装置、例えば、摩擦摩耗試験装置、硬度測定装置、表面形状測定装置等が挙げられる。このような装置は、使用する圧子を、引っ掻いて使用するもの、押込んで使用するもの等があるが、引っ掻きによる装置が所望の大きさの傷を安定して付与できる点で好ましい。ここで使用できる潜傷付与手段2の具体例としては、荷重変動型摩擦摩耗試験機であるトライボギア(新東科学株式会社製、商品名)が挙げられる。 Here, the latent scratch imparting means 2 of the present invention only needs to be capable of imparting a latent scratch of a predetermined size to the surface of the optical glass. For example, an apparatus having an indenter capable of applying a predetermined load to the optical glass surface. Examples thereof include a friction and wear test device, a hardness measurement device, and a surface shape measurement device. Such an apparatus includes an indenter to be used by scratching and an indenter to be used. However, an apparatus using scratching is preferable in that a scratch having a desired size can be stably applied. A specific example of the latent scratch imparting means 2 that can be used here is a tribogear (trade name, manufactured by Shinto Kagaku Co., Ltd.), which is a load fluctuation type frictional wear tester.
また、これら潜傷付与手段で用いられる圧子は、ダイヤモンド圧子、サファイア圧子、三角錐圧子、ビッカース圧子、ヌープ圧子等が挙げられる。引っ掻きによる場合には、先端角度が90度、先端の曲率半径Rが1〜10μmで形成されているダイヤモンド圧子で、1g〜10gの荷重を付与できる引っ掻き針が、所望の大きさの潜傷を安定して形成できる点で好ましい。 Examples of the indenter used in these latent scratch imparting means include a diamond indenter, a sapphire indenter, a triangular pyramid indenter, a Vickers indenter, and a Knoop indenter. In the case of scratching, a scratching needle capable of applying a load of 1 g to 10 g with a diamond indenter formed with a tip angle of 90 degrees and a radius of curvature R of the tip of 1 to 10 μm can cause a latent scratch of a desired size. It is preferable at the point which can form stably.
本発明の第1の形状測定手段3は、光学ガラス表面の形状を観察できるものであって、ここでは、潜傷が後述するように微細な形状であることから、これを測定できる機能を有するものでなければならない。このようにミクロンオーダーの微細な傷を測定できるものとしては、例えば、レーザー顕微鏡、光学顕微鏡、原子間力顕微鏡等が例示できる。 The first shape measuring means 3 of the present invention is capable of observing the shape of the surface of the optical glass, and here has a function of measuring the latent scratch because it is a fine shape as will be described later. Must be a thing. Examples that can measure fine scratches on the order of microns are a laser microscope, an optical microscope, an atomic force microscope, and the like.
この第1の形状測定手段3の具体例としては、レーザー顕微鏡 VK−9700(株式会社キーエンス、商品名)、サーフテスト(株式会社ミツトヨ製、商品名)、サーフコム(東京精密株式会社製、商品名)等が挙げられる。 Specific examples of the first shape measuring means 3 include a laser microscope VK-9700 (Keyence Corporation, trade name), Surf Test (trade name, manufactured by Mitutoyo Corporation), Surfcom (trade name, manufactured by Tokyo Seimitsu Co., Ltd.). ) And the like.
本発明の洗浄液貯留槽4は、洗浄液を安定して貯留できるものであればよく、使用する洗浄液に対して耐性を有する素材で形成すればよく、例えば、ガラス製、ステンレス、チタン等の金属製、フッ素樹脂、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリカーボネート、ポリメチルペンテン、ポリスチロール、ポリエチレンテレフタレート等の樹脂製の容器が例示できる。 The cleaning liquid storage tank 4 of the present invention only needs to be able to stably store the cleaning liquid, and may be formed of a material having resistance to the cleaning liquid to be used. For example, the cleaning liquid storage tank 4 is made of metal such as glass, stainless steel, titanium, or the like. Examples thereof include containers made of resin such as fluororesin, polypropylene, polyethylene, polycarbonate, polymethylpentene, polystyrene, and polyethylene terephthalate.
また、この洗浄液貯留槽4は、上記した潜傷付与手段2で潜傷が付与された光学ガラスを浸漬するため、光学ガラスを保持し、洗浄液貯留槽4への浸漬が可能なトレーを付加的に有していると好ましい。
Further, since the cleaning liquid storage tank 4 immerses the optical glass to which the latent scratch has been imparted by the latent scratch imparting
ここで、製品製造における光学ガラスの洗浄が、洗浄液を加温したり、超音波を印加したりする場合には、同一の条件とできるように、この光学ガラスの潜傷評価装置1の洗浄液貯留槽4においても、加温手段や超音波印加手段を設ければよい。したがって、製品製造と同一の洗浄装置をこの洗浄液貯留手段4として用いると、同条件の試験条件での操作が容易で好ましい。 Here, the cleaning of the optical glass in the production of the product can be performed under the same condition when the cleaning liquid is heated or an ultrasonic wave is applied. Also in the tank 4, a heating means and an ultrasonic application means may be provided. Therefore, it is preferable to use the same cleaning apparatus as the product manufacturing as the cleaning liquid storage means 4 because the operation under the same test conditions is easy.
なお、ここでは洗浄液貯留槽4として説明したが、この洗浄液貯留槽4の代わりに他の洗浄方法を実施できるものでもよく、これは、実際の洗浄に合わせた洗浄手段を適宜設定すればよい。ここで、他の洗浄手段としては、洗浄液射出洗浄手段(シャワー洗浄、ジェット洗浄、スプレー洗浄)、ブラシ洗浄等が挙げられる。 In addition, although demonstrated here as the washing | cleaning liquid storage tank 4, what can implement another washing | cleaning method instead of this washing | cleaning liquid storage tank 4 may be implemented, and what is necessary is just to set the washing | cleaning means according to the actual washing | cleaning suitably. Here, examples of other cleaning means include cleaning liquid injection cleaning means (shower cleaning, jet cleaning, spray cleaning), brush cleaning, and the like.
本発明の第2の形状測定手段5は、上記した第1の形状測定手段3と同一のものが例示でき、第1及び第2の形状測定手段には同一機種を使用する。同一機種による同一の測定手法により測定することで、光学ガラス表面の傷の変化を適正に評価できる。このとき、第1の形状測定手段3と第2の形状測定手段5とを共通の(一台の)形状測定手段とすれば、すなわち形状測定手段を一台設け、それを用いて洗浄前後の形状を測定すれば、装置構成をより簡便にでき、コストの低減、省スペース化が図れる。 The second shape measuring means 5 of the present invention can be exemplified by the same as the first shape measuring means 3 described above, and the same model is used for the first and second shape measuring means. By measuring with the same measurement method using the same model, it is possible to properly evaluate the change in the scratches on the surface of the optical glass. At this time, if the first shape measuring means 3 and the second shape measuring means 5 are a common (one) shape measuring means, that is, one shape measuring means is provided and used before and after cleaning. If the shape is measured, the apparatus configuration can be simplified, cost can be reduced, and space can be saved.
この第2の形状測定手段5で測定するのは、光学ガラスを洗浄して拡大した潜傷を測定するものであり、光学ガラスの硝材と洗浄液の組み合わせによっては、傷が顕在化し目視で確認できる大きさにまでなる。 The second shape measuring means 5 measures the latent scratches enlarged by cleaning the optical glass. Depending on the combination of the glass material of the optical glass and the cleaning liquid, the scratches become obvious and can be visually confirmed. To the size.
本発明の対比手段6は、第1の形状測定手段3と第2の形状測定手段5とで、それぞれ測定された傷の形状から、洗浄前後の傷形状を対比することで、光学ガラスの洗浄液、洗浄条件による耐性を評価可能とするものである。すなわち、この対比により傷が変化していなければ、その評価対象の光学ガラスは、試験した洗浄条件において耐性が高いと言え、傷が大きく変化している場合には、その評価対象の光学ガラスは、試験した洗浄条件において耐性が低いと言える。 The contrast means 6 of the present invention compares the scratch shape before and after cleaning with the first and second shape measuring means 3 and 5, respectively. It is possible to evaluate resistance due to cleaning conditions. That is, if the scratch is not changed by this comparison, it can be said that the optical glass to be evaluated has high resistance under the cleaning conditions tested, and if the scratch has greatly changed, the optical glass to be evaluated is It can be said that the resistance is low under the tested cleaning conditions.
そして、この対比手段6としては、より具体的には、傷拡大率を算出するものとして数値化による定量評価可能なものとすることが好ましい。ここで、傷の拡大率は[洗浄前の傷形状]/[洗浄後の傷形状]により計算して算出できる。このとき、洗浄前後の傷形状としては、傷の幅又は傷の深さを使用できるが、潜傷の顕在化は深さ方向に傷が拡大していくことが大きな原因であるため、傷の深さ方向の測定値から傷拡大率を算出することが好ましい。さらに、傷の幅及び深さを組み合わせることや、傷形状を総合的に勘案してこれを数値化することで傷拡大率を算出してもよい。 More specifically, it is preferable that the comparison means 6 be capable of quantitative evaluation by quantification as a means for calculating the scratch magnification rate. Here, the flaw enlargement ratio can be calculated and calculated by [flaw shape before cleaning] / [flaw shape after cleaning]. At this time, as the wound shape before and after cleaning, the width of the wound or the depth of the wound can be used, but the actualization of the latent scratch is caused mainly by the fact that the wound expands in the depth direction. It is preferable to calculate the scratch magnification from the measured value in the depth direction. Further, the scratch magnification rate may be calculated by combining the width and depth of the scratch, or by comprehensively considering the scratch shape and digitizing it.
上記のような計算は、第1の形状測定手段3及び第2の形状測定手段5とで測定された傷形状のデータを記憶手段にそれぞれ格納し、これら傷形状のデータを演算手段により上記式により傷拡大率を算出すればよい。 In the calculation as described above, flaw shape data measured by the first shape measuring means 3 and the second shape measuring means 5 are respectively stored in the storage means, and these flaw shape data are calculated by the above equation using the calculation means. The scratch enlargement rate may be calculated by
次に、本発明の光学ガラスの潜傷評価方法について、図1の光学ガラスの潜傷評価装置1を用いた場合を例に、以下説明する。 Next, the method for evaluating an optical glass latent scratch according to the present invention will be described below using the optical glass latent scratch evaluation apparatus 1 of FIG. 1 as an example.
本発明においては、まず、円板状又は平板状の試験用の光学ガラスを用意する。ここで用意する光学ガラスは、製品製造に用いる光学ガラスと同じ硝材からなるものとし、この硝材としては公知のものであればその種類は問わない。ただし、多くの洗浄液に対して高い耐性を有するもの(潜傷があまり拡大しないもの)は、もともと洗浄液の選択肢が多く、本発明のような検討をしなくても問題とならないため、ここで用いる硝材は、一般に、比較的、洗浄液に対する耐性が低いと認められるもの、例えば、燐酸ビスマス系ガラス、燐酸バリウム系ガラス、ホウ酸ランタン系ガラス等が好適である。 In the present invention, first, a disk-shaped or flat-plate optical glass for testing is prepared. The optical glass prepared here is made of the same glass material as the optical glass used for product manufacture, and any kind of glass material can be used as long as it is a known glass material. However, those having high resistance to many cleaning liquids (those where latent scratches do not expand so much) are originally used because there are many options for cleaning liquids, and there is no problem even if the present invention is not studied. As the glass material, those which are generally recognized as having relatively low resistance to the cleaning liquid, for example, bismuth phosphate glass, barium phosphate glass, lanthanum borate glass and the like are suitable.
この試験用の光学ガラスの大きさは、潜傷付与手段2や第1の形状測定手段3及び第2の形状測定手段5等に適用できる範囲であれば特に限定されず、例えば、直径0.5〜15cm、厚さ0.05〜5cmの円板状又は0.5×0.5×0.05〜15×15×5cmの板状の光学ガラスが例示できる。 The size of the optical glass for the test is not particularly limited as long as it is a range applicable to the latent scratch imparting means 2, the first shape measuring means 3, the second shape measuring means 5, and the like. Examples thereof include a disk-shaped optical glass of 5 to 15 cm and a thickness of 0.05 to 5 cm, or a plate-shaped optical glass of 0.5 × 0.5 × 0.05 to 15 × 15 × 5 cm.
なお、本明細書で洗浄液に対する耐性とは、硝材が洗浄液に接触したときの侵食に抗する性質をいう。例えば、ある洗浄液に対して耐性が低い硝材は、製品製造の過程において、その洗浄液での洗浄を行うと潜傷が顕在化し易いため、光学ガラスにクモリが生じる等、製品として不具合が生じるおそれが高い。 In this specification, the resistance to the cleaning liquid refers to a property that resists erosion when the glass material comes into contact with the cleaning liquid. For example, a glass material with low resistance to a certain cleaning solution may cause defects in the product, such as spiders in the optical glass, because latent scratches are likely to appear when cleaning with the cleaning solution in the product manufacturing process. high.
次に、用意した光学ガラスを、潜傷付与手段2にセットし、光学ガラスの表面に潜傷を付与する。潜傷の付与の仕方にはいくつかあるが、ここでは、引っ掻きによる潜傷付与の場合を例に説明する。 Next, the prepared optical glass is set in the latent scratch imparting means 2, and the latent scratch is imparted to the surface of the optical glass. There are several ways to apply latent scratches. Here, a case of latent scratch applying by scratching will be described as an example.
まず、図2に示したように潜傷付与手段にセットした光学ガラス50の表面に、潜傷付与手段2に備えられている引っ掻き針2aを所定の荷重をかけて接触させる。そのまま、水平方向に移動させて光学ガラス50の表面に、引っ掻き針2aの接触部分が移動した分だけ傷が付与される(図2)。
First, as shown in FIG. 2, the
このとき、引っ掻き針2aが光学ガラスへ付与する傷は潜傷であり、目視できない程度のものとし、実際の製品製造の際に問題となる傷と同程度の傷とする。ここで潜傷とは、幅が0.5〜2.0μm、好ましくは0.6〜1.6μm、より好ましくは0.8〜1.4μmであり、深さが5〜70nm、好ましくは10〜50nm、より好ましくは15〜35nmの傷である。ただし、許容できる傷の大きさは、各製品の規格や検査方法によるものであり、当該数値範囲に限るものでない。
At this time, the scratches imparted to the optical glass by the scratching
このような潜傷を付与するには、引っ掻き針2aにより光学ガラスにかける荷重は、硝材の種類(硬度)、引っ掻き針2aの形状及び大きさ等により異なるが、多くの硝材に適用でき、所望の潜傷を付与できる点から、垂直荷重が1〜10gの範囲であればよく、好ましくは1〜5gの範囲である。
In order to give such latent scratches, the load applied to the optical glass by the scratching
このように潜傷を付与した光学ガラス50を、洗浄操作を行う前に、その表面形状を測定する第1の形状測定工程を行う。このとき、上記引っ掻き針2aで付与した潜傷部分の形状の測定をするが、潜傷は目視できないため、確実に潜傷部分を測定するために、引っ掻いて付与した潜傷に対して垂直方向に走査して測定するのが好ましい。また、この垂直方向に走査する測定を異なる場所で、複数回行うと、付与した潜傷か否かの判断が容易となり好ましい。
The
さらに、本発明の潜傷評価方法を行う前に、既に潜傷が存在していた場合には、付与したものとは異なる潜傷を測定したり、2つの潜傷が測定された場合、どちらが潜傷付与工程で付けたものか不明となったり、することがある。このようなイレギュラーな測定を回避するためには、図3に示したように、上記潜傷付与工程で光学ガラス50の表面に所定の間隔で平行に2本の潜傷を付与し、本工程では、その2本の引っ掻きによる潜傷に対して垂直方向に走査して測定すればよい。このように形状測定を行うと、潜傷間の間隔が潜傷付与工程で付与した間隔と一致するか否かを見れば、測定すべき潜傷かそうでないかが容易に判断できる。
Furthermore, before the latent scratch evaluation method of the present invention, if a latent scratch already exists, a latent scratch different from that applied is measured, or when two latent scratches are measured, which is It may be unclear whether it was attached in the latent scratching process. In order to avoid such irregular measurement, as shown in FIG. 3, two latent scratches are applied in parallel to the surface of the
形状測定を行った後、洗浄液が貯留された洗浄液貯留槽4に、潜傷を付与した光学ガラスを浸漬して洗浄液と接触させ、光学ガラス表面の洗浄を行う。この洗浄操作においては、製品製造における条件と同様の洗浄操作を行うことが好ましい。したがって、洗浄に用いる洗浄液を加温している場合には同程度の温度にまで加温し、洗浄と同時に超音波洗浄を行っている場合には超音波の印加を行う。 After the shape measurement is performed, the optical glass with latent scratches is immersed in the cleaning liquid storage tank 4 in which the cleaning liquid is stored and brought into contact with the cleaning liquid to clean the surface of the optical glass. In this cleaning operation, it is preferable to perform the same cleaning operation as that in the product manufacturing. Therefore, when the cleaning liquid used for cleaning is heated, the temperature is increased to the same level, and when ultrasonic cleaning is performed simultaneously with cleaning, ultrasonic waves are applied.
ここで用いる洗浄液としては、光学ガラスを洗浄するためのものであればよく、例えば、ActosW−AD5(アイケミテクノ株式会社製、商品名)、JCB−2315(日本シー・ビー・ケミカル株式会社製、商品名)、CSクリーン(日本シー・ビー・ケミカル株式会社製、商品名)等が挙げられる。 The cleaning liquid used here may be any one for cleaning optical glass. For example, ActosW-AD5 (manufactured by Aikemi Techno Co., Ltd., trade name), JCB-2315 (manufactured by Nippon CB Chemical Co., Ltd., merchandise) Name), CS Clean (trade name, manufactured by Nippon CB Chemical Co., Ltd.) and the like.
ここで、洗浄操作は、上記説明では洗浄液貯留槽4に洗浄液を貯留し、光学ガラスを洗浄液中に浸漬することにより洗浄しているが、これに限られるわけではなく、洗浄液を光学ガラス表面に噴射させたり、洗浄液を含んだブラシスポンジを光学ガラス表面にこすりつけたりする等、公知の洗浄方法により洗浄してもよい。 Here, in the above description, the cleaning operation is performed by storing the cleaning liquid in the cleaning liquid storage tank 4 and immersing the optical glass in the cleaning liquid. However, the cleaning operation is not limited to this, and the cleaning liquid is applied to the surface of the optical glass. You may wash | clean by a well-known washing | cleaning method, such as spraying or rubbing the brush sponge containing the washing | cleaning liquid on the optical glass surface.
ただし、洗浄による光学ガラスのダメージ性を評価するため、評価すべき洗浄条件と同一又は同一視できる程度に近い条件での洗浄操作とすることが好ましい。 However, in order to evaluate the damage property of the optical glass due to the cleaning, it is preferable to perform the cleaning operation under conditions that are the same as or similar to the cleaning conditions to be evaluated.
そして、洗浄操作を終えた光学ガラスについては、第1の形状測定と同様に、潜傷付与工程で付与した潜傷の幅、深さについて測定する第2の形状測定工程を行う。ここでの測定方法は第1の形状測定工程と同様に測定する。 And about the optical glass which finished washing | cleaning operation, the 2nd shape measurement process which measures about the width | variety and depth of the latent flaw provided at the latent flaw imparting process is performed similarly to the 1st shape measurement. The measurement method here is the same as in the first shape measurement step.
このとき、光学ガラス表面の潜傷が、洗浄操作により影響を受けている場合には潜傷が拡大し、第1の形状測定工程よりも幅及び深さが大きくなっている。一方、洗浄操作により影響を受けていない場合には潜傷の変化がほとんどない。 At this time, when the latent scratch on the surface of the optical glass is affected by the cleaning operation, the latent scratch is enlarged, and the width and depth are larger than those in the first shape measuring step. On the other hand, there is almost no change in latent scratches when not affected by the cleaning operation.
そして、第1の形状測定工程及び第2の形状測定工程が終了したところで、それぞれの測定結果から、光学ガラス50表面の潜傷について、対比工程を行う。
And when the 1st shape measurement process and the 2nd shape measurement process are complete | finished, a comparison process is performed about the latent flaw on the surface of the
この対比工程は、第1の形状測定工程と第2の形状測定工程とで、それぞれ測定された洗浄前後の傷形状を対比することで、光学ガラスの洗浄液、洗浄条件による耐性を評価できる。すなわち、この対比により傷が変化していなければ、その評価対象の光学ガラスは、試験した洗浄条件において耐性が高いと言え、傷が大きく変化している場合には、その評価対象の光学ガラスは、試験した洗浄条件において耐性が低いと言える。 In this comparison step, the resistance by the cleaning liquid and the cleaning conditions of the optical glass can be evaluated by comparing the scratch shapes before and after the cleaning measured in the first shape measuring step and the second shape measuring step, respectively. That is, if the scratch is not changed by this comparison, it can be said that the optical glass to be evaluated has high resistance under the cleaning conditions tested, and if the scratch has greatly changed, the optical glass to be evaluated is It can be said that the resistance is low under the tested cleaning conditions.
そして、この対比工程は、第1の形状測定工程と第2の形状測定工程とで、それぞれ測定された傷の形状から、傷拡大率を算出するものとして数値化による定量評価可能なものとすることが好ましい。傷の拡大率は[洗浄前の傷形状]/[洗浄後の傷形状]により計算して算出できる。このとき、洗浄前後の傷形状としては、傷の幅又は傷の深さを使用できるが、潜傷の顕在化は深さ方向に傷が拡大していくことが大きな原因であるため、傷の深さ方向の測定値から傷拡大率を算出することが好ましい。さらに、傷の幅及び深さを組み合わせて傷拡大率を算出してもよい。 In this comparison step, the first shape measurement step and the second shape measurement step can be quantitatively evaluated by quantification as a method for calculating the wound enlargement ratio from the shape of each wound measured. It is preferable. The scratch enlargement ratio can be calculated and calculated by [scratch shape before cleaning] / [scratch shape after cleaning]. At this time, as the wound shape before and after cleaning, the width of the wound or the depth of the wound can be used, but the actualization of the latent scratch is caused mainly by the fact that the wound expands in the depth direction. It is preferable to calculate the scratch magnification from the measured value in the depth direction. Furthermore, the damage magnification may be calculated by combining the width and depth of the damage.
以下、本発明を、実施例によりさらに詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples.
(荷重の検討)
燐酸バリウム系ガラス、ホウ酸ランタン系ガラス、ホウ酸バリウム系ガラスの各光学ガラスからなる、直径15mm×厚さ3mmの円板状の試験用ガラスを用意し、これらの光学ガラスについて、荷重変動型摩擦摩耗試験システム(新東科学株式会社製、商品名:トライボギア HHS2000)にセットした。
(Examination of load)
A disk-shaped test glass having a diameter of 15 mm and a thickness of 3 mm made of optical glass such as barium phosphate glass, lanthanum borate glass, and barium borate glass is prepared. Friction and wear test system (manufactured by Shinto Kagaku Co., Ltd., trade name: Tribogear HHS2000) was set.
この光学ガラスの表面に、90度で曲率半径Rが5.0μmの先端形状を有するダイヤモンド圧子(引っ掻き針)を接触させ、バリウム系ガラスは5g、10g、15gの荷重を、ホウ酸ランタン系ガラス、ホウ酸バリウム系ガラスは5g、10g、15g、20gの垂直荷重をそれぞれかけたまま、ダイヤモンド圧子を0.1mm/sの速度で水平方向に移動させて、光学ガラス表面に引っ掻き傷を付与した。 The surface of the optical glass is brought into contact with a diamond indenter (scratching needle) having a tip shape of 90 degrees and a radius of curvature R of 5.0 μm. Barium glass is loaded with 5 g, 10 g, and 15 g of lanthanum borate glass. The barium borate glass was scratched on the optical glass surface by moving the diamond indenter horizontally at a speed of 0.1 mm / s while applying vertical loads of 5 g, 10 g, 15 g, and 20 g. .
このとき、荷重とそのときに得られた傷について、表面形状測定手段であるレーザー顕微鏡 VK−9700(株式会社キーエンス、商品名)を用いて対物レンズ150倍の条件で測定し、それらの関係を調べた。測定は、3次元データの取得、画像傾き補正、プロファイル計測による幅と深さ計測の手順で実施した。なお、幅と深さは、1条件につき6点を計測した。その結果を表1に示した。 At this time, the load and the scratches obtained at that time were measured under the condition of 150 times the objective lens using a laser microscope VK-9700 (Keyence Co., Ltd., trade name) which is a surface shape measuring means, and the relationship between them was measured. Examined. The measurement was performed by the procedures of width and depth measurement by acquiring three-dimensional data, correcting image tilt, and measuring profile. The width and depth were measured at 6 points per condition. The results are shown in Table 1.
この結果から、いずれの光学ガラスにおいても、5g程度であれば潜傷として用いる程度の傷の大きさとでき、10gの場合は、ガラスの種類によっては少し大きい傷となる場合がある。そこで、潜傷を付与するには5g程度の荷重であることが好ましいことがわかった。 From this result, in any optical glass, if it is about 5g, it can be the magnitude | size of a damage | wound of the grade used as a latent flaw, and in the case of 10g, it may become a little big damage | wound depending on the kind of glass. Therefore, it was found that a load of about 5 g is preferable for providing latent scratches.
(実施例1)
上記荷重の検討の結果から、本実施例において、光学ガラス表面へのダイヤモンド圧子の接触による荷重は5gとした。また、荷重の検討と同様の操作により、燐酸ビスマス系ガラス、燐酸バリウム系ガラス、ホウ酸ランタン系ガラス、ホウ酸バリウム系ガラスについて、各試験用の表面に潜傷を付与し、その潜傷について形状(幅及び深さ)を測定し、第1の形状測定を行った。
(Example 1)
From the result of the examination of the load, in this example, the load due to the contact of the diamond indenter on the optical glass surface was set to 5 g. In addition, by the same operation as the examination of the load, bismuth phosphate glass, barium phosphate glass, lanthanum borate glass, and barium borate glass were subjected to latent scratches on each test surface, and the latent scratches. The shape (width and depth) was measured, and the first shape measurement was performed.
次に、潜傷を付与された光学ガラスについて、次の表2に示した条件で洗浄操作を行った。ここで使用した洗浄液は、ActosW−AD5(アイケミテクノ株式会社製、商品名;中性)、JCB−2315(日本シー・ビー・ケミカル株式会社製、商品名;強アルカリ性)、純水(比抵抗:10MΩ・cm;中性)、CSクリーン(日本シー・ビー・ケミカル株式会社製、商品名;弱アルカリ性)を用いた。なお、US有りの際は、超音波発生器(シャープマニュファクチャリングシステム株式会社製、商品名:UT−206H)を用い、200W、37kHzで70%出力の超音波を印加した。 Next, the cleaning operation was performed on the optical glass provided with latent scratches under the conditions shown in Table 2 below. The cleaning liquid used here is ActosW-AD5 (manufactured by Aikemi Techno Co., Ltd., trade name: neutral), JCB-2315 (manufactured by Nippon CB Chemical Co., Ltd., trade name: strong alkaline), pure water (specific resistance: 10 MΩ · cm; neutral) and CS clean (manufactured by Nippon CB Chemical Co., Ltd., trade name: weakly alkaline) were used. When US was used, an ultrasonic generator (manufactured by Sharp Manufacturing System Co., Ltd., trade name: UT-206H) was used, and an ultrasonic wave of 70% output at 200 W and 37 kHz was applied.
そして、洗浄後の各光学ガラスを、再度、表面の潜傷の形状(幅及び深さ)を測定し、第2の形状測定を行った。 And each optical glass after washing | cleaning measured the shape (width | variety and depth) of the surface latent flaw again, and performed the 2nd shape measurement.
上記第1の形状測定及び第2の形状測定の測定結果から、深さ方向のデータを用いたときの、傷拡大率を算出し、その結果を、第1及び第2の形状測定で得られたデータと共に表3に示した。 From the measurement results of the first shape measurement and the second shape measurement, the scratch enlargement ratio when using data in the depth direction is calculated, and the result is obtained by the first and second shape measurements. The results are shown in Table 3.
この結果から、潜傷が洗浄によってどの程度拡大するかが分かり、傷の顕在化について定量的に評価が可能となった。このようにして算出した傷拡大率は、光学ガラスの硝材の洗浄液によるダメージ性を評価するもので、用途にもよるが、例えば、傷拡大率は、2.0倍未満であれば製品化可能で、その光学特性が厳しいものを要求されるほど、このダメージ性の優れたものが求められ、その際には、傷拡大率が、1.4倍未満が好ましいものとされ、さらに優れたものとして、1.2倍未満がより好ましいとされる。 From this result, it can be seen how much the latent wound expands by cleaning, and it has become possible to quantitatively evaluate the appearance of the wound. The flaw enlargement rate calculated in this way is for evaluating the damage property of the optical glass glass cleaning liquid. Depending on the application, for example, if the flaw enlargement rate is less than 2.0 times, it can be commercialized. Therefore, the more demanding that the optical characteristics are, the more excellent this damage property is required. In that case, the scratch enlargement ratio is preferably less than 1.4 times, and more excellent As a result, less than 1.2 times is more preferable.
本発明の光学ガラスの潜傷評価方法及び潜傷評価装置は、光学ガラスの洗浄液に対するダメージ性の評価に用いられ、光学ガラスのダメージを受けにくい最適な洗浄条件を決定するのに有用である。すなわち、実際の製品製造のライン化の前に、最適な洗浄条件の調査、評価に広く用いられる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The optical glass latent scratch evaluation method and latent scratch evaluation apparatus of the present invention are used for evaluating damage properties of an optical glass against a cleaning liquid, and are useful for determining optimum cleaning conditions that are not easily damaged by optical glass. That is, it is widely used for investigation and evaluation of optimum cleaning conditions before making a line for actual product manufacturing.
1…潜傷評価装置、2…潜傷付与手段、2a…引っ掻き針、3…第1の形状測定手段、4…洗浄手段、5…第2の形状測定手段、6…対比手段、50…光学ガラス DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Latent damage evaluation apparatus, 2 ... Latent damage provision means, 2a ... Scratch needle, 3 ... 1st shape measurement means, 4 ... Cleaning means, 5 ... 2nd shape measurement means, 6 ... Comparison means, 50 ... Optical Glass
Claims (15)
前記潜傷付与工程により付与された前記潜傷の形状を測定する第1の形状測定工程と、
前記第1の形状測定工程後、前記光学ガラスを評価する光学ガラスの洗浄条件と同一条件にして洗浄液と接触させ、前記潜傷を拡大させる洗浄工程と、
前記潜傷の洗浄工程後の形状を測定する第2の形状測定工程と、
前記第1の形状測定工程及び第2の形状測定工程で得られた結果を対比する対比工程と、
を有することを特徴とする光学ガラスの潜傷評価方法。 A latent scratch imparting step for imparting latent scratches to the surface of the optical glass to be evaluated;
A first shape measuring step for measuring the shape of the latent scratch imparted by the latent scratch imparting step;
After the first shape measuring step, a cleaning step for expanding the latent scratch by bringing the optical glass into contact with a cleaning liquid under the same conditions as the optical glass cleaning conditions for evaluating the optical glass ;
A second shape measuring step for measuring the shape of the latent wound after the cleaning step;
A comparison step for comparing the results obtained in the first shape measurement step and the second shape measurement step;
An optical glass latent scratch evaluation method characterized by comprising:
前記潜傷付与手段により付与された潜傷の形状を測定する第1の形状測定手段と、
前記第1の形状測定手段により潜傷の形状を測定された前記光学ガラスの表面に洗浄液を接触させ、前記潜傷を拡大させる洗浄手段と、
前記潜傷の洗浄後の形状を測定する第2の形状測定手段と、
前記第1の形状測定手段及び第2の形状測定手段で得られた結果を対比する対比手段と、
を有することを特徴とする光学ガラスの潜傷評価装置。 A latent scratch imparting means for imparting a latent scratch to the surface of the optical glass to be evaluated;
First shape measuring means for measuring the shape of the latent scratch imparted by the latent scar imparting means;
Cleaning means for bringing the cleaning liquid into contact with the surface of the optical glass whose shape of latent scratches has been measured by the first shape measuring means, and expanding the latent scratches;
Second shape measuring means for measuring the shape of the latent wound after cleaning;
Contrast means for comparing the results obtained by the first shape measuring means and the second shape measuring means;
An optical glass latent scratch evaluation apparatus comprising:
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011085247A JP5708169B2 (en) | 2011-04-07 | 2011-04-07 | Optical glass latent scratch evaluation method and latent scratch evaluation apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011085247A JP5708169B2 (en) | 2011-04-07 | 2011-04-07 | Optical glass latent scratch evaluation method and latent scratch evaluation apparatus |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012217909A JP2012217909A (en) | 2012-11-12 |
JP5708169B2 true JP5708169B2 (en) | 2015-04-30 |
Family
ID=47270033
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011085247A Expired - Fee Related JP5708169B2 (en) | 2011-04-07 | 2011-04-07 | Optical glass latent scratch evaluation method and latent scratch evaluation apparatus |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5708169B2 (en) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018189552A (en) * | 2017-05-09 | 2018-11-29 | 日本電気硝子株式会社 | Glass plate, method for inspecting end surface of glass plate, and method for manufacturing glass plate |
WO2019198558A1 (en) * | 2018-04-10 | 2019-10-17 | 日本電気硝子株式会社 | Glass plate, and glass plate manufacturing method and end surface inspection method |
CN114002043A (en) * | 2021-09-16 | 2022-02-01 | 西南科技大学 | Method for testing chemical stability of glass based on nano scratches |
US11915908B2 (en) * | 2021-10-14 | 2024-02-27 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Method for measuring a sample and microscope implementing the method |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08258090A (en) * | 1995-03-23 | 1996-10-08 | Tokuo Okabayashi | Method and apparatus for washing stamper |
JP3737585B2 (en) * | 1996-11-29 | 2006-01-18 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | Semiconductor wafer surface inspection method and semiconductor device manufacturing apparatus |
JP2000051796A (en) * | 1998-08-13 | 2000-02-22 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Method for evaluating washing of substrate |
US7330250B2 (en) * | 2004-05-18 | 2008-02-12 | Agilent Technologies, Inc. | Nondestructive evaluation of subsurface damage in optical elements |
JP2006239477A (en) * | 2005-02-28 | 2006-09-14 | Central Res Inst Of Electric Power Ind | Sanitary product and washing system for sanitary product provided with carbon-doped titanium oxide surface layer |
-
2011
- 2011-04-07 JP JP2011085247A patent/JP5708169B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012217909A (en) | 2012-11-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5708169B2 (en) | Optical glass latent scratch evaluation method and latent scratch evaluation apparatus | |
JP4511591B2 (en) | Substrate cleaning apparatus and cleaning member replacement time determination method | |
CN102692184A (en) | Method for measuring volume, area and depth of etching pits simultaneously | |
CN103878150A (en) | Probe cleaning method and probe cleaning device | |
Hall et al. | Preparation of micro-and crypto-tephras for quantitative microbeam analysis | |
Sagadevan et al. | Novel Analysis on the Influence of Tip Radius and Shape of the Nanoindenter on the Hardness of Materials | |
Wang et al. | Automatic morphological characterization of nanobubbles with a novel image segmentation method and its application in the study of nanobubble coalescence | |
Clifford et al. | Nanomechanical measurements of hair as an example of micro-fibre analysis using atomic force microscopy nanoindentation | |
US7282157B2 (en) | Method of manufacturing light-propagating probe for near-field microscope | |
Constantinides et al. | Dealing with imperfection: quantifying potential length scale artefacts from nominally spherical indenter probes | |
JP2015505053A5 (en) | ||
Cuppett et al. | Irreversible adsorption of lysozyme to polishing marks on silica | |
TWI313346B (en) | Profile measurement method and devices therefor | |
JP2006308503A (en) | Method for measuring cleanliness of object to be measured | |
CN112881534B (en) | Ultrasonic detection test block, preparation method and application thereof | |
Leach et al. | A comparison of stylus and optical methods for measuring 2D surface textures. | |
Gill et al. | Atomic force microscopy analysis of the effect of plasma treatment on gas permeable contact lens surface topography | |
WO2018207533A1 (en) | Glass plate, method for inspecting end surface of glass plate, and method for manufacturing glass plate | |
Muñoz | Spectrocolorimetric and microscopic techniques for the evaluation of plasticized PVC cleaning: a case study applicable to three‐dimensional objects at museums | |
JP3791774B2 (en) | Substrate cleaning method, magnetic recording medium, and manufacturing method of magnetic recording medium | |
CN109341495A (en) | A kind of depth localization method for inlaying sample | |
Shima et al. | Characterization of Self-Contamination from PVA Roll Brush with Atomic Force Microscopy and Fluorescent Microscopy | |
Hayat et al. | Care and use of diamond knives | |
RU2516022C2 (en) | Method to collect and process information on sample surface | |
Gao et al. | A new multiple air beam approach for in-process form error optical measurement |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140205 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20141030 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141118 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150114 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150203 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150216 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5708169 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |