JP5701822B2 - 洗浄装置および洗浄方法 - Google Patents
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Description
2 塗布部
3 搬送部
4 洗浄装置
5 洗浄ユニット
6 移動手段
7 発振器
8 清掃装置
9 ブロー装置
11 超音波振動部
12 洗浄液供給部
13 対向溝
13a 対向面
13b 対向面
14 洗浄液供給口
15 超音波振動子
16 振動付与部
17 超音波振動子カバー
18 連結部
19 浸漬部
21 口金
22 リップ
23 リップ面
23a リップ面
23b リップ面
24 吐出口
31 固着物
32 残存固着物
33 残留洗浄液
34 スペーサ
35 リブ
d 隙間
W 基板
Claims (3)
- 塗布装置が有する口金の長手方向に沿って形成される吐出口を形成するリップ面に対向し、当該リップ面と平行な面から形成される対向溝を有し、当該リップ面に下方から近接する洗浄ユニットと、
前記リップ面を洗浄する洗浄液を供給する洗浄液供給口と、
前記洗浄ユニットおよび前記洗浄液供給口を前記長手方向に移動させる移動手段と、
を有し、前記移動手段によって前記長手方向へ前記洗浄ユニットおよび前記洗浄液供給口を移動させながら、前記リップ面を洗浄する洗浄装置であって、
前記洗浄ユニットは、超音波振動子が取付けられた超音波振動部を備え、前記対向溝は当該超音波振動部に形成され、前記対向溝の長さは前記長手方向において当該超音波振動部の両端部まで達しており、
前記対向溝と前記リップ面とを近接させて、前記対向溝と前記リップ面とで形成される隙間に前記洗浄液供給口から洗浄液を供給し続けることにより、前記洗浄ユニットの前記長手方向の両端部から洗浄液が流出しながらも前記リップ面が洗浄液に浸漬される状態を形成および維持し、この状態において前記超音波振動子により前記超音波振動部を超音波振動させることにより前記リップ面の部分的洗浄が行われ、さらに前記洗浄ユニットおよび前記洗浄液供給口を前記長手方向に移動させることにより、前記リップ面が前記長手方向に洗浄されることを特徴とする、洗浄装置。 - 塗布装置が有する口金の長手方向に沿って形成される吐出口を形成するリップ面に対向し、当該リップ面と平行な面から形成される対向溝が形成された超音波振動部を有し、当該リップ面に下方から近接する洗浄ユニットと、
前記リップ面を洗浄する洗浄液を供給する洗浄液供給口と、
前記洗浄ユニットおよび前記洗浄液供給口を前記長手方向に移動させる移動手段と、
を有する洗浄装置により、前記リップ面を洗浄する洗浄方法であって、
前記対向溝の長さは前記長手方向において前記超音波振動部の両端部まで達しており、
前記対向溝と前記リップ面とを近接させて、前記対向溝と前記リップ面とで形成される隙間に前記洗浄液供給口から洗浄液を供給し続けることにより、前記洗浄ユニットの前記長手方向の両端部から洗浄液が流出しながらも前記リップ面が洗浄液に浸漬される状態を形成および維持し、この状態において前記超音波振動部を超音波振動させることにより前記リップ面の部分的洗浄を行い、さらに前記洗浄ユニットおよび前記洗浄液供給口を前記長手方向に移動させることにより、前記リップ面を前記長手方向に洗浄することを特徴とする、洗浄方法。 - 前記対向溝と前記リップ面との間で生じる洗浄液の表面張力によって、前記リップ面により形成されるリップの根元まで洗浄液で覆う状態を形成し、前記リップ面を超音波洗浄することを特徴とする、請求項2に記載の洗浄方法。
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