JP5692584B2 - サーボモータ製造方法、サーボモータ製造装置、サーボモータ、エンコーダ - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 30
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 27
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 116
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 44
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 36
- 238000000034 method Methods 0.000 description 14
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 11
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 8
- 230000009471 action Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/3473—Circular or rotary encoders
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/249—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using pulse code
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D18/00—Testing or calibrating apparatus or arrangements provided for in groups G01D1/00 - G01D15/00
- G01D18/001—Calibrating encoders
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/24428—Error prevention
- G01D5/24433—Error prevention by mechanical means
- G01D5/24438—Special design of the sensing element or scale
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34746—Linear encoders
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
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- H02K11/00—Structural association of dynamo-electric machines with electric components or with devices for shielding, monitoring or protection
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- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D2205/00—Indexing scheme relating to details of means for transferring or converting the output of a sensing member
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
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- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49009—Dynamoelectric machine
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- Power Engineering (AREA)
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- Manufacture Of Motors, Generators (AREA)
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Description
前記ディスク位置調整ステップでは、前記同心円パターンをリニアエンコーダのスケールとして利用して前記回転ディスクの偏心調整に使用する
ことを特徴とするサーボモータ製造方法が提供される。
前記回転ディスクの円周方向一部領域における前記同心円パターンの半径方向の変化を検出可能な前記リニアエンコーダの出力信号に基づき、前記シャフトの回転軸と前記回転ディスクのディスク中心とが一致するように前記回転ディスクの位置調整を行ってもよい。
前記回転ディスクを回転させた際の前記同心円パターンの半径方向の変化から、前記ディスク中心の前記回転軸に対する偏心量及び偏心方向を特定し、
ディスク位置調整手段により、当該偏心量がなくなるような向き及び量により前記回転ディスクを半径方向に移動させてもよい。
前記モジュール位置調整ステップでは、
前記第1受光素子及び前記第2受光素子の出力信号の振幅変化に基づき、前記光学モジュールの前記回転ディスクに対する半径方向の位置調整を行い、前記第1受光素子及び前記第2受光素子の出力信号の位相差に基づき、前記光学モジュールの前記回転ディスクにおけるディスク中心から放射状に拡がる放射状線に対する傾斜方向の位置調整を行う
ことを特徴とするサーボモータ製造方法が提供される。
光源から出射され前記同心円パターンの作用を受けた光を受光する第1受光素子及び第2受光素子を基板上に備えた光学モジュールを、前記回転ディスクと対向させて固定配置する際に、前記回転ディスクに対する前記光学モジュールの位置調整を行うモジュール位置調整ステップと、を有し、
前記ディスク位置調整ステップでは、
前記同心円パターンをリニアエンコーダのスケールとして利用して前記回転ディスクの偏心調整に使用し、
前記モジュール位置調整ステップでは、
前記第1受光素子及び前記第2受光素子の出力信号の振幅変化に基づき、前記光学モジュールの前記回転ディスクに対する半径方向の位置調整を行い、前記第1受光素子及び前記第2受光素子の出力信号の位相差に基づき、前記光学モジュールの前記回転ディスクにおけるディスク中心から放射状に拡がる放射状線に対する傾斜方向の位置調整を行う
ことを特徴とするサーボモータ製造方法が提供される。
前記回転ディスクが固定配置されるモータのシャフトの回転軸と前記回転ディスクのディスク中心とが一致するように前記回転ディスクの位置調整を行うディスク位置調整手段と、
前記リニアエンコーダの出力信号に基づき前記ディスク位置調整手段を制御する制御手段と、を有する
ことを特徴とするサーボモータ製造装置が提供される。
前記第1受光素子及び前記第2受光素子の出力信号の振幅変化に基づき前記第1モジュール位置調整手段を制御し、前記第1受光素子及び前記第2受光素子の出力信号の位相差に基づき前記第2モジュール位置調整手段を制御する制御手段と、を有する
ことを特徴とするサーボモータ製造装置が提供される。
前記回転ディスクが固定配置されるモータのシャフトの回転軸と前記回転ディスクのディスク中心とが一致するように前記回転ディスクの位置調整を行うディスク位置調整手段と、
光源から出射され前記同心円パターンの作用を受けた光を受光する第1受光素子及び第2受光素子を基板上に備えた光学モジュールの前記回転ディスクに対する半径方向の位置調整を行う第1モジュール位置調整手段、及び、前記光学モジュールの前記回転ディスクにおけるディスク中心から放射状に拡がる放射状線に対する傾斜方向の位置調整を行う第2モジュール位置調整手段を含むモジュール位置調整手段と、
前記リニアエンコーダの出力信号に基づき前記ディスク位置調整手段を制御するとともに、前記第1受光素子及び前記第2受光素子の出力信号の振幅変化に基づき前記第1モジュール位置調整手段を制御し、前記第1受光素子及び前記第2受光素子の出力信号の位相差に基づき前記第2モジュール位置調整手段を制御する制御手段と、を有する
ことを特徴とするサーボモータ製造装置が提供される。
ことを特徴とするサーボモータが提供される。
光源から出射され前記同心円パターンの作用を受けた光を受光する第1受光素子及び第2受光素子を基板上に備えた光学モジュールを有し、
前記光学モジュールは、
前記第1受光素子及び第2受光素子による受光信号に基づいて、前記回転ディスクに対する位置が調整されて配置されてもよい。
前記基板の中心線に対し軸対称となるように配置されてもよい。
前記同心円パターンと併設され円周方向に沿って形成された位置検出用パターンを備えており、
前記光学モジュールは、
前記光源から出射され前記位置検出用パターンの作用を受けた光を受光する位置検出用受光素子を前記基板上に備えてもよい。
前記基板に設けられており、
前記第1受光素子及び前記第2受光素子は、
前記同心円パターンからの反射光を受光してもよい。
ことを特徴とするエンコーダが提供される。
まず、図1を参照しつつ、本実施形態に係るエンコーダを備えたサーボモータの構成の概略について説明する。図1は、本実施形態に係るエンコーダを備えたサーボモータの概略構成について説明するための説明図である。
次に、図2〜図5を参照しつつ、本実施形態に係る反射型エンコーダ100の構成について説明する。図2は、本実施形態に係る反射型エンコーダの概略構成について説明するための説明図である。図3は、反射型エンコーダが有する回転ディスクのパターン形成面の一部を表す平面図である。図4は、反射型エンコーダが有する基板における受光素子の配置を表す配置図である。図5は、光源について説明するための図4中V−V断面による基板の縦断面図である。
回転ディスク110は、図3に示すように円板状に形成され、ディスク中心Oが回転軸AXとほぼ一致するように配置される。そして、回転ディスク110は、この回転軸AX周りに回転可能なシャフトSHに例えばハブ等を介して連結される。従って、回転ディスク110は、モータMの回転に応じて回転軸AX周りに回転可能に配置されることとなる。
図4に示すように、光学モジュール120は、回転ディスク110と対向する基板121を有する。そして、この基板121における回転ディスク110への対向側の表面には、回転ディスク110に向けて光を出射する光源130と、インクリメンタルパターンIPからの反射光を受光する複数のインクレ用受光素子141を含むインクレ用受光素子群140と、同心円パターンCPからの反射光を受光する複数の位置調整用受光素子151を含む位置調整用受光素子群150L,150Rと、が設けられている。位置調整用受光素子群150L,150Rは、基板121の中心線LCに対し軸対象となるように配置されている。なお、中心線LCは基板121の回転方向における対称軸と略一致する線であり、光源130は中心線LC上に配置されている。また、インクレ用受光素子群140及び位置調整用受光素子群150L,150Rは、例えばシリコンで形成された基板121上に、フォトリソグラフィ等を使用して形成されることが望ましい。この場合、インクレ用受光素子群140及び位置調整用受光素子群150L,150Rを非常に精度良く形成することが可能で、後述する基板121の位置合わせの精度を更に向上させる事が可能である。
次に、図6〜図11を参照しつつ、本実施形態に係るサーボモータ製造装置の構成の概略について説明する。本実施形態に係るサーボモータ製造装置MDは、回転ディスク110をシャフトSHに固定配置する際にシャフトSHに対する回転ディスク110の位置調整を行うとともに、光学モジュール120を回転ディスク110と対向させて固定配置する際に回転ディスク110に対する光学モジュール120の位置調整を行うものである。
次に、図12及び図13を用いて、サーボモータ製造装置MDによって上述した回転ディスク110の位置調整及び光学モジュール120の位置調整が行われる際に、制御装置180のCPUによって実行される制御内容を説明する。図12は、主に制御装置のCPUによって実行されるディスク位置調整時の制御内容を表すフローチャートである。図13は、制御装置のCPUによって実行されるモジュール位置調整時の制御内容を表すフローチャートである。なお、各制御処理を行う主体は実際には制御装置180のCPUであるが、以下では制御装置180を主体として説明する。また、ここでは、図12に示すディスク位置調整が行われた後に、図13に示すモジュール位置調整が行われる場合について説明する。
図12に示すように、まずステップS3では、回転ディスク110がシャフトSHに仮付けされる。この仮付けは、作業者によって行われ、例えばネジによる仮止めや、硬化前の接着剤の粘性による固定など、シャフトSHと共に回転する一方、リニアモータ171により面内で移動可能な方法又は移動時に弛緩させて移動可能な方法によってなされる。
図13に示すように、ステップS30では、制御装置180は、光学モジュール120の位置調整用受光素子群150L,150Rから出力される信号を入力する。
以上説明した本実施形態に係る反射型エンコーダ100においては、回転ディスク110のディスク中心O周りに同心円パターンCPが形成されている。これにより、上述したように、回転ディスク110の同心円パターンCP形成部分の円周方向一部領域に対向するように同心円パターンCPの半径方向の変化を検出可能なリニアエンコーダ160を配置することにより、回転ディスク110が固定配置されるシャフトSHの回転軸AXと回転ディスク110のディスク中心Oとが偏心している場合には、回転ディスク110を回転させた際にリニアエンコーダ160の配置位置において同心円パターンCPが半径方向に変化するため、リニアエンコーダ160によって偏心の有無を検出することができる。したがって、回転ディスク110をシャフトSHに配置する際に、リニアエンコーダ160の出力信号に基づき、シャフトSHの回転軸AXと回転ディスク110のディスク中心Oとが一致するように回転ディスク110の位置調整を行うことができる。
なお、本発明は、上記実施形態に限られるものではなく、その趣旨及び技術的思想を逸脱しない範囲内で種々の変形が可能である。
110 回転ディスク
120 光学モジュール
121 基板
130 光源
140 インクレ用受光素子群(位置検出用受光素子)
150L 位置調整用受光素子群(第1受光素子)
150R 位置調整用受光素子群(第2受光素子)
160 リニアエンコーダ(光学検出手段)
171 リニアモータ(ディスク位置調整手段)
172 リニアモータ(第1モジュール位置調整手段、モジュール位置調整手段)
173 リニアモータ(第2モジュール位置調整手段、モジュール位置調整手段)
180 制御装置(制御手段)
AX 回転軸
CP 同心円パターン
IP インクリメンタルパターン(位置検出用パターン)
LC 中心線
LR 放射状線
MD サーボモータ製造装置
O ディスク中心
SH シャフト(回転体)
Claims (2)
- ディスク中心周りに複数本の同心円パターンが形成された回転ディスクをモータのシャフトに対し固定配置する際に、前記シャフトに対する前記回転ディスクの位置調整を行うディスク位置調整ステップを有し、
前記ディスク位置調整ステップでは、
前記回転ディスクの円周方向一部領域における前記複数本の同心円パターンの半径方向の変化を検出可能なリニアエンコーダの出力信号に基づいて、前記回転ディスクを回転させた際の前記同心円パターンの半径方向の変化から前記ディスク中心の前記回転軸に対する偏心量及び偏心方向を特定し、
前記リニアエンコーダの位相の異なる複数の前記出力信号より位置信号を得つつディスク位置調整手段を駆動し、前記偏心量がなくなるような向き及び量により前記回転ディスクを半径方向に移動させて、前記シャフトの回転軸と前記回転ディスクのディスク中心とが一致するように前記回転ディスクの位置調整を行う
ことを特徴とするサーボモータ製造方法。 - 回転ディスクのディスク中心周りに形成された複数本の同心円パターンの円周方向一部領域における半径方向の変化を検出可能なリニアエンコーダと、
前記回転ディスクが固定配置されるモータのシャフトの回転軸と前記回転ディスクのディスク中心とが一致するように前記回転ディスクの位置調整を行うディスク位置調整手段と、
前記リニアエンコーダの出力信号に基づいて、前記回転ディスクを回転させた際の前記同心円パターンの半径方向の変化から前記ディスク中心の前記回転軸に対する偏心量及び偏心方向を特定し、前記リニアエンコーダの位相の異なる複数の前記出力信号より位置信号を得つつ前記ディスク位置調整手段を駆動し、前記偏心量がなくなるような向き及び量により前記回転ディスクを半径方向に移動させるように前記ディスク位置調整手段を制御する制御手段と、を有する
ことを特徴とするサーボモータ製造装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011030294A JP5692584B2 (ja) | 2011-02-15 | 2011-02-15 | サーボモータ製造方法、サーボモータ製造装置、サーボモータ、エンコーダ |
US13/350,818 US20120206024A1 (en) | 2011-02-15 | 2012-01-16 | Servo motor manufacturing method, servo motor manufacturing apparatus, servo motor, and encoder |
EP12152251.0A EP2489988A3 (en) | 2011-02-15 | 2012-01-24 | Servo motor manufacturing method, servo motor manufacturing apparatus, servo motor, and encoder |
KR1020120015037A KR20120093786A (ko) | 2011-02-15 | 2012-02-14 | 서보 모터 제조 방법, 서보 모터 제조 장치, 서보 모터, 인코더 |
CN201210033248.9A CN102636195B (zh) | 2011-02-15 | 2012-02-14 | 伺服马达及其制造方法和制造设备以及编码器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011030294A JP5692584B2 (ja) | 2011-02-15 | 2011-02-15 | サーボモータ製造方法、サーボモータ製造装置、サーボモータ、エンコーダ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012168066A JP2012168066A (ja) | 2012-09-06 |
JP5692584B2 true JP5692584B2 (ja) | 2015-04-01 |
Family
ID=45497898
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011030294A Active JP5692584B2 (ja) | 2011-02-15 | 2011-02-15 | サーボモータ製造方法、サーボモータ製造装置、サーボモータ、エンコーダ |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20120206024A1 (ja) |
EP (1) | EP2489988A3 (ja) |
JP (1) | JP5692584B2 (ja) |
KR (1) | KR20120093786A (ja) |
CN (1) | CN102636195B (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105008864B (zh) * | 2013-03-10 | 2017-10-24 | 兰多夫·卡尔·霍彻 | 将结构施加到元件尤其是角度测量***的元件的方法 |
JP5821109B2 (ja) * | 2013-06-17 | 2015-11-24 | 株式会社安川電機 | エンコーダ付きモータ |
JP6811610B2 (ja) * | 2013-10-01 | 2021-01-13 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニーRenishaw Public Limited Company | 電子コンポーネントを製造する方法 |
JP6313571B2 (ja) * | 2013-11-12 | 2018-04-18 | キヤノン株式会社 | 位置検出装置及びそれを有するレンズ装置及び撮影装置 |
US10807248B2 (en) | 2014-01-31 | 2020-10-20 | Systems, Machines, Automation Components Corporation | Direct drive brushless motor for robotic finger |
US9871435B2 (en) * | 2014-01-31 | 2018-01-16 | Systems, Machines, Automation Components Corporation | Direct drive motor for robotic finger |
US10429211B2 (en) | 2015-07-10 | 2019-10-01 | Systems, Machines, Automation Components Corporation | Apparatus and methods for linear actuator with piston assembly having an integrated controller and encoder |
EP3353558A1 (en) | 2015-09-24 | 2018-08-01 | Systems, Machines, Automation Components Corporation | Magnetically-latched actuator |
US10675723B1 (en) | 2016-04-08 | 2020-06-09 | Systems, Machines, Automation Components Corporation | Methods and apparatus for inserting a threaded fastener using a linear rotary actuator |
US10865085B1 (en) | 2016-04-08 | 2020-12-15 | Systems, Machines, Automation Components Corporation | Methods and apparatus for applying a threaded cap using a linear rotary actuator |
US10205355B2 (en) | 2017-01-03 | 2019-02-12 | Systems, Machines, Automation Components Corporation | High-torque, low-current brushless motor |
JP7096009B2 (ja) * | 2018-02-21 | 2022-07-05 | 株式会社ミツトヨ | 位置検出エンコーダ及び位置検出エンコーダの製造方法 |
DE102018219072A1 (de) * | 2018-11-08 | 2020-05-14 | Hiwin Mikrosystem Corp. | Codierer mit gezahnter Struktur und Vorrichtung mit demselben |
DE102019209862A1 (de) * | 2019-07-04 | 2021-01-07 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Winkelmesseinrichtung |
JP6924419B2 (ja) | 2019-09-06 | 2021-08-25 | 株式会社安川電機 | エンコーダ、サーボモータ、サーボシステム |
CN112217362B (zh) * | 2020-09-25 | 2023-04-21 | 哈尔滨东北泵业有限责任公司 | 一种可自动校正转子不平衡的离心泵及其校正方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0625673B2 (ja) * | 1986-11-27 | 1994-04-06 | フアナツク株式会社 | モ−タ組込型パルスエンコ−ダの取付方法 |
JPH06109481A (ja) * | 1992-09-28 | 1994-04-19 | Yokogawa Electric Corp | コード板取付位置調整装置 |
JP3430768B2 (ja) * | 1996-01-17 | 2003-07-28 | 三菱電機株式会社 | 芯ずれ調整装置及び調整方法 |
JP4433240B2 (ja) * | 2000-03-16 | 2010-03-17 | 株式会社安川電機 | ロータリエンコーダおよびその偏心補正方法 |
JP2001307446A (ja) * | 2000-04-21 | 2001-11-02 | Mitsubishi Chemicals Corp | ディスク、ディスクの製造方法および情報記録再生装置 |
JP4695776B2 (ja) * | 2001-05-16 | 2011-06-08 | 三菱電機株式会社 | 光電式ロータリーエンコーダ |
JP2005003539A (ja) * | 2003-06-12 | 2005-01-06 | Sharp Corp | 回転検出装置、及びそれを用いた入力機器 |
WO2008024606A2 (en) * | 2006-08-21 | 2008-02-28 | Gsi Group Corporation | Rotary optical encoder employing multiple sub-encoders with common reticle substrate |
JP2009042191A (ja) * | 2007-08-10 | 2009-02-26 | Toyohashi Univ Of Technology | 回転振れ測定装置およびスケール部 |
JP5294009B2 (ja) | 2008-10-14 | 2013-09-18 | 株式会社安川電機 | 絶対位置検出装置および絶対位置検出装置を搭載したモータ |
JP5287168B2 (ja) * | 2008-11-20 | 2013-09-11 | 株式会社リコー | 回転円板の偏心測定方法 |
JP2010276403A (ja) * | 2009-05-27 | 2010-12-09 | Mitsubishi Electric Corp | エンコーダ付モータシステムとエンコーダ、およびエンコーダ付モータシステムの製造方法 |
-
2011
- 2011-02-15 JP JP2011030294A patent/JP5692584B2/ja active Active
-
2012
- 2012-01-16 US US13/350,818 patent/US20120206024A1/en not_active Abandoned
- 2012-01-24 EP EP12152251.0A patent/EP2489988A3/en not_active Withdrawn
- 2012-02-14 CN CN201210033248.9A patent/CN102636195B/zh active Active
- 2012-02-14 KR KR1020120015037A patent/KR20120093786A/ko not_active Application Discontinuation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102636195A (zh) | 2012-08-15 |
US20120206024A1 (en) | 2012-08-16 |
EP2489988A2 (en) | 2012-08-22 |
CN102636195B (zh) | 2015-12-02 |
EP2489988A3 (en) | 2014-07-30 |
KR20120093786A (ko) | 2012-08-23 |
JP2012168066A (ja) | 2012-09-06 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121227 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130405 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130409 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130610 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20130705 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140401 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140530 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150108 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150121 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5692584 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |