JP5686394B1 - ペリクル検査装置 - Google Patents
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 82
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims abstract description 164
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 74
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 59
- 238000011109 contamination Methods 0.000 claims abstract description 54
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims abstract description 19
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 232
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 107
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 17
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 13
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 13
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 238000001900 extreme ultraviolet lithography Methods 0.000 claims description 6
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 14
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 10
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 9
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 9
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 9
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 6
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 6
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 4
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 4
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 3
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 description 2
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 2
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 238000000671 immersion lithography Methods 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
- 238000000790 scattering method Methods 0.000 description 1
- 150000003376 silicon Chemical class 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000000233 ultraviolet lithography Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
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Abstract
Description
さらに、本発明の目的は、EUVマスクに撓みやしわ寄りが形成されても、高精度な検査を行うことができるペリクル検査装置を実現することにある。
さらに、本発明の別の目的は、異物及びコンタミネーションの両方を検出することが可能なペリクル検査装置を提供することにある。
検査すべきペリクル膜に向けて集束性の照明ビームを投射する照明光学系と、
ペリクル膜とほぼ直交する光軸を有する対物レンズを含み、ペリクル膜に存在する異物から出射する散乱光を集光する集光光学系と、
集光光学系により集光された散乱光を検出する検出系とを具え、
前記照明ビームの集束角(半角)をθ0とし、前記対物レンズの最大受光角(半角)をθ1とした場合に、
前記照明ビームのペリクル膜に対する入射角θ2は、式
θ2−θ0>θ1+23°
を満たすことを特徴とする。
θ2−θ0>θ1+23°
上記式を満たすように照明ビームの入射角を設定すれば、ペリクル膜に撓みが形成されても、ペリクル膜からの正反射光が対物レンズに入射する不具合が回避され、高精度なペリクル検査を行うことが可能になる。
検査すべきペリクル膜に向けて集束性の照明ビームを投射する照明光学系と、
ペリクル膜に対してほぼ直交する光軸を有する対物レンズを含み、ペリクル膜に存在する異物から出射する散乱光を集光する集光光学系と、
集光光学系により集光された散乱光を検出する第1の光検出手段と、
ペリクル膜から出射する反射光を検出する第2の光検出手段と、
前記第1及び第2の光検出手段からの出力信号を受け取り、ペリクル膜に存在する異物及びペリクル膜の表面に薄い膜状に形成されたコンタミネーションを検出する信号処理装置とを具え、
前記照明ビームの集光角(半角)をθ0とし、前記対物レンズの最大受光角(半角)をθ1とした場合に、
前記照明ビームのペリクル膜に対する前記対物レンズの光軸を基準とした入射角θ2は、式
θ2−θ0>θ1+23°
を満たし、
前記信号処理装置は、前記第1及び第2の光検出手段からの出力信号を用いてペリクル膜に存在する異物及びコンタミネーションを検出することを特徴とする。
前記欠陥分類手段は、第1及び第2の欠陥検出手段から同時に欠陥検出信号が出力された場合、検出された欠陥は異物として分類し、第2の欠陥検出手段からだけ欠陥検出信号が出力された場合、検出された欠陥はコンタミネーションとして分類することを特徴とする。
炭化物の皮膜は、照明光に対する反射率が低いため、正反射光の強度を検出することにより、コンタミネーションを検出することが可能である。しかしながら、異物により散乱光が発生すると、正反射光の強度も低下するため、正反射光検出だけではコンタミネーションを検出することができない。一方、異物検出の特性として、散乱光が発生すると、正反射光の強度も低下する。従って、2つの欠陥検出手段の両方から欠陥検出信号が発生した場合異物であると判定する。このように欠陥分類手段を設けることにより、発生要因の異なる欠陥を的確に分類することが可能になる。
検査すべきペリクル膜に向けて所定の入射角で集束性の照明ビームを投射する照明光学系と、
ペリクル膜に対してほぼ直交する光軸を有する対物レンズを含み、ペリクル膜に存在する異物から出射する散乱光を集光する集光光学系と、
前記ペリクル膜と対物レンズとの間に配置され、開口部を有する遮光手段と、
集光光学系により集光された散乱光を検出する第1の光検出手段と、
ペリクル膜から出射する正反射光を検出する第2の光検出手段と、
前記第1及び第2の光検出手段から出力される出力信号を受け取り、ペリクル膜に存在する異物及びペリクル膜の表面に薄い膜状に形成されたコンタミネーションを検出する信号処理装置とを具え、
前記照明ビームは遮光手段の開口部を介してペリクル膜に投射され、ペリクル膜に存在する異物から出射した散乱光は前記開口部を介して対物レンズにより集光されると共にペリクル膜から出射した正反射光は前記開口部を介して前記第2の光検出手段により受光され、
前記信号処理装置は、前記第1及び第2の光検出手段からの出力信号を用いてペリクル膜に存在する異物及びペリクル膜に形成された皮膜状のコンタミネーションを検出することを特徴とする。
特に、散乱光による欠陥検査と正反射光による欠陥検査を並行して行い、信号処理装置において、欠陥分類手段を用いて異物とコンタミネーションとを分類しているので、パーティクル等の異物と薄い膜状のコンタミネーションとを個別に検出することができ、発生要因の異なる欠陥を適切に検出することが可能になる。
θ2−θ0>θ1+23° 式(1)
ここで、θ0は照明ビームの集光角を示し、θ1は対物レンズの最大受光角(半角)を示し、θ2は照明ビームの入射角(半角)を示す。この場合において、ペリクル膜に11.5°の傾きがあるとすれば、ペリクル膜から出射した正反射光は、(60−11.5×2)°から(60+11.5×2)°の範囲、すなわち37〜83°の範囲に亘ることになる。これに対して、対物レンズには入射角30°以下の光しか受光できないため、ペリクル膜面での正反射光が対物レンズに入ることはない。このように、照明光の入射角を対物レンズのNAの角度よりも約23°(ペリクル膜の傾きの許容角の2倍)以上大きくすることで、ペリクル膜に撓みが形成されていても、ペリクル膜から出射した正反射光が対物レンズに入射する不具合が解消される。
10 ペリクル付きEUVマスク
11 EUVマスク
12 ペリクル
12a ペリクル枠
12b ペリクル膜
20 照明光源
21 集光レンズ
22 対物レンズ
23 結像レンズ
24 第1の光検出器
25 信号処理装置
26 集光レンズ
27 第2の光検出器
Claims (12)
- EUVリソグラフィーに用いられるペリクル付きEUVマスクのペリクル膜を検査するペリクル検査装置であって、
検査すべきペリクル膜に向けて集束性の照明ビームを投射する照明光学系と、
ペリクル膜とほぼ直交する光軸を有する対物レンズを含み、ペリクル膜に存在する異物から出射する散乱光を集光する集光光学系と、
集光光学系により集光された散乱光を検出する検出系とを具え、
前記照明ビームの集束角(半角)をθ0とし、前記対物レンズの最大受光角(半角)をθ1とした場合に、
前記照明ビームのペリクル膜に対する入射角θ2は、式
θ2−θ0>θ1+23°
を満たすことを特徴とするペリクル検査装置。 - 請求項1に記載のペリクル検査装置において、前記照明光学系は、ペリクル膜上に形成される照明点を中心にして円環状に整列した複数の照明ビームを投射し、ペリクル膜上の照明点を互いに異なる角度方向から照明することを特徴とするペリクル検査装置。
- 請求項1に記載のペリクル検査装置において、前記照明光学系は、前記対物レンズの光軸方向に見て、リング状の集束性照明ビームを投射することを特徴とするペリクル検査装置。
- 請求項3に記載のペリクル検査装置において、前記照明光学系は、光ビームを発生する照明光源と、照明光源から出射した光ビームをリング状の照明ビームに変換するアキシコンレンズと、アキシコンレンズから出射したリング状の照明ビームを前記対物レンズの光路に結合する光学手段とを有し、
前記照明ビームは、前記対物レンズを介してリング状の集束性ビームとしてペリクル膜に向けて投射されることを特徴とするペリクル検査装置。 - 請求項1から4までのいずれか1項に記載のペリクル検査装置において、前記ペリクル膜はシリコン膜により構成され、
前記照明ビームは、シリコン膜をほとんど透過しない紫外域の照明光により構成されることを特徴とするペリクル検査装置。 - 請求項5に記載のペリクル検査装置において、前記照明光学系は、YAGレーザの第3高調波を発生する固体レーザを含み、波長がほぼ355nmの照明ビームを発生することを特徴とするペリクル検査装置。
- 請求項1から6までのいずれか1項に記載のペリクル検査装置において、前記ペリクル膜と対物レンズとの間に、開口部を有する遮光手段が配置され、前記照明ビームは遮光手段の開口部を介してペリクル膜に投射され、ペリクル膜に存在する異物から出射した散乱光は前記開口部を介して対物レンズにより集光されることを特徴とするペリクル検査装置。
- 請求項7に記載のペリクル検査装置において、前記ペリクル膜を透過した照明ビームにより前記フォトマスクのパターン部から発生した散乱光は、前記遮光手段により遮光されて対物レンズにより集光されないように構成したことを特徴とする検査装置。
- EUVリソグラフィーに用いられるペリクル付きEUVマスクのペリクル膜を検査するペリクル検査装置であって、
検査すべきペリクル膜に向けて集束性の照明ビームを投射する照明光学系と、
ペリクル膜に対してほぼ直交する光軸を有する対物レンズを含み、ペリクル膜に存在する異物から出射する散乱光を集光する集光光学系と、
集光光学系により集光された散乱光を検出する第1の光検出手段と、
ペリクル膜から出射する反射光を検出する第2の光検出手段と、
前記第1及び第2の光検出手段からの出力信号を受け取り、ペリクル膜に存在する異物欠陥及びペリクル膜の表面に薄い膜状に形成されたコンタミネーション欠陥を検出する信号処理装置とを具え、
前記照明ビームの集光角(半角)をθ0とし、前記対物レンズの最大受光角(半角)をθ1とした場合に、
前記照明ビームのペリクル膜に対する前記対物レンズの光軸を基準とした入射角θ2は、式
θ2−θ0>θ1+23°
を満たし、
前記信号処理装置は、前記第1及び第2の光検出手段からの出力信号を用いてペリクル膜に存在する異物欠陥及びコンタミネーション欠陥を検出することを特徴とするペリクル検査装置。 - 請求項9に記載のペリクル検査装置において、前記信号処理装置は、前記第1の光検出手段から出力される出力信号から欠陥を検出する第1の欠陥検出手段と、前記第2の光検出手段からの出力信号から欠陥を検出する第2の欠陥検出手段と、第1及び第2の欠陥検出手段からの出力信号を受け取り、検出された欠陥を異物欠陥又はコンタミネーション欠陥に分類する欠陥分類手段とを含み、
前記欠陥分類手段は、第1及び第2の欠陥検出手段から同時に欠陥検出信号が出力された場合、検出された欠陥は異物欠陥として分類し、第2の欠陥検出手段からだけ欠陥検出信号が出力された場合、検出された欠陥はコンタミネーション欠陥として分類することを特徴とするペリクル検査装置。 - EUVリソグラフィーに用いられるペリクル付きEUVマスクのペリクル膜を検査するペリクル検査装置であって、
検査すべきペリクル膜に向けて所定の入射角で集束性の照明ビームを投射する照明光学系と、
ペリクル膜に対してほぼ直交する光軸を有する対物レンズを含み、ペリクル膜に存在する異物から出射する散乱光を集光する集光光学系と、
前記ペリクル膜と対物レンズとの間に配置され、開口部を有する遮光手段と、
集光光学系により集光された散乱光を検出する第1の光検出手段と、
ペリクル膜から出射する正反射光を検出する第2の光検出手段と、
前記第1及び第2の光検出手段から出力される出力信号を受け取り、ペリクル膜に存在する異物欠陥及びペリクル膜の表面に薄い膜状に形成されたコンタミネーション欠陥を検出する信号処理装置とを具え、
前記照明ビームは遮光手段の開口部を介してペリクル膜に投射され、ペリクル膜に存在する異物から出射した散乱光は前記開口部を介して対物レンズにより集光されると共にペリクル膜から出射した正反射光は前記開口部を介して前記第2の光検出手段により受光され、
前記信号処理装置は、前記第1及び第2の光検出手段からの出力信号を用いてペリクル膜に存在する異物欠陥及びペリクル膜に形成されたコンタミネーション欠陥を検出することを特徴とするペリクル検査装置。 - 請求項9、10又は11に記載のペリクル検査装置において、当該ペリクル検査装置は、EUV光によりペリクル付きEUVマスクのマスクパターンをウエハ上に投影するEUV露光装置に搭載されていることを特徴とするペリクル検査装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014082284A JP5686394B1 (ja) | 2014-04-11 | 2014-04-11 | ペリクル検査装置 |
US14/683,560 US9588421B2 (en) | 2014-04-11 | 2015-04-10 | Pellicle inspection apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014082284A JP5686394B1 (ja) | 2014-04-11 | 2014-04-11 | ペリクル検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP5686394B1 true JP5686394B1 (ja) | 2015-03-18 |
JP2015204339A JP2015204339A (ja) | 2015-11-16 |
Family
ID=52822341
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014082284A Active JP5686394B1 (ja) | 2014-04-11 | 2014-04-11 | ペリクル検査装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9588421B2 (ja) |
JP (1) | JP5686394B1 (ja) |
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A621 | Written request for application examination |
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A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
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A975 | Report on accelerated examination |
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