JP5679636B2 - 液体噴射ヘッド及びアクチュエーター装置 - Google Patents
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Description
(インクジェット式記録ヘッド)
図1は、本発明の実施形態1に係るインクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図であり、図2は、図1の平面図及びそのA−A′断面図であり、図3は、インクジェット式記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。
図4〜図8を用いて本実施形態のインクジェット式記録ヘッドの製造方法について説明する。図4〜図8は、本実施形態のインクジェット式記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。
これらインクジェット式記録ヘッドIは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図9は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、導電性向上のため、クロム層61の上層又は下層に白金層をクロム層61よりも薄く設けてもよい。
Claims (2)
- 液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子とを具備し、
該圧電素子が、第一電極と、該第一電極上に形成された圧電体層と、該圧電体層の前記第一電極とは反対側に形成された第二電極とを具備し、
前記第一電極が、前記圧電体層側から、酸化イリジウムを主成分とした導電性酸化物層とクロムを主成分とするクロム層とがこの順で積層されてなり、
前記圧電体層が、前記第一電極上にエピタキシャル成長により形成されたチタン酸ジルコン酸鉛であり、(100)面に優先配向したものであり、
前記クロム層の上層又は下層には白金層が前記クロム層よりも薄く設けられている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 第一電極と、該第一電極上に形成された圧電体層と、該圧電体層の前記第一電極とは反対側に形成された第二電極とを具備し、
前記第一電極が、前記圧電体層側から、酸化イリジウムを主成分とした導電性酸化物層とクロムを主成分とするクロム層とがこの順で積層されてなり、
前記圧電体層が、前記第一電極上にエピタキシャル成長により形成されたチタン酸ジルコン酸鉛であり、(100)面に優先配向したものであり、
前記クロム層の上層又は下層には白金層が前記クロム層よりも薄く設けられていることを特徴とするアクチュエーター装置。
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