JP4811598B2 - アクチュエータ装置及びその製造方法並びに液体噴射ヘッド - Google Patents
アクチュエータ装置及びその製造方法並びに液体噴射ヘッド Download PDFInfo
- Publication number
- JP4811598B2 JP4811598B2 JP2007005034A JP2007005034A JP4811598B2 JP 4811598 B2 JP4811598 B2 JP 4811598B2 JP 2007005034 A JP2007005034 A JP 2007005034A JP 2007005034 A JP2007005034 A JP 2007005034A JP 4811598 B2 JP4811598 B2 JP 4811598B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- piezoelectric
- lower electrode
- film
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
かかる態様では、圧電素子の下電極の基板側の最下層に、導体層に拡散しにくい密着層を設けることで、下電極と基板との密着性を向上することができ、圧電素子の駆動による剥離を防止することができる。また、導体層として、チタンが拡散された白金を用いることで、下電極全体の剛性を向上して、圧電素子の繰り返し駆動による下電極の変位劣化を防止して、長期信頼性を向上することができる。
かかる態様では、長期信頼性を向上した液体噴射ヘッドを実現できる。
かかる態様では、圧電素子の下電極の基板側の最下層に、導体層に拡散しにくい(密着層を容易に形成することができ、下電極と基板との密着性を向上することができる。また、導体層として、チタンが拡散された白金を容易に形成することができ、下電極全体の剛性を向上して、圧電素子の繰り返し駆動による下電極の変位劣化を防止して、長期信頼性を向上することができる。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図であり、図2は、図1の平面図及びそのA−A′断面図であり、図3は、図2の要部拡大断面図である。
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態1では、圧電体前駆体膜71を塗布、乾燥及び脱脂した後、焼成して圧電体膜72を形成するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、圧電体前駆体膜71を塗布、乾燥及び脱脂する工程を複数回、例えば、2回繰り返し行った後、焼成することで圧電体膜72を形成するようにしてもよい。
Claims (7)
- 基板上に変位可能に設けられた下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子を具備し、
前記下電極が、前記基板上に設けられた密着層と、該密着層上に形成された導体層とで構成され、
前記密着層は、前記基板との密着性を有すると共に、前記圧電体層の形成において前記導体層に対して拡散しにくい金属材料からなり、
前記導体層は、白金にチタンが拡散した金属材料からなることを特徴とするアクチュエータ装置。 - 前記下電極が、前記導体層上に設けられ、前記圧電体層の形成において前記導体層と前記圧電体層との間の拡散を防止する拡散防止層を具備することを特徴とする請求項1記載のアクチュエータ装置。
- 前記拡散防止層が酸化イリジウムからなることを特徴とする請求項2記載のアクチュエータ装置。
- 前記基板上には、前記下電極側に酸化ジルコニウムが設けられていることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載のアクチュエータ装置。
- 前記密着層が、ジルコニウム、タンタル、タングステン、ニッケル、ハフニウム、ニオブ、モリブデン、コバルトからなる群から選択される少なくとも1種の材料からなることを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載のアクチュエータ装置。
- 請求項1〜5の何れか一項に記載のアクチュエータ装置を液体を噴射する液体噴射手段として具備することを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 基板上に変位可能に設けられた下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子を具備し、前記下電極が、前記基板上に設けられた密着層と該密着層上に設けられた導体層とで構成されたアクチュエータ装置の製造方法であって、
前記基板上に、当該基板との密着性を有すると共に前記圧電体層の形成において前記導体層に対して拡散しにくい金属材料からなる前記密着層を形成する工程と、前記密着層上にチタンからなる拡散層を形成する工程と、該拡散層上に白金からなる白金層を形成して前記下電極を形成する工程と、前記下電極上に圧電体前駆体膜を形成し、該圧電体前駆体膜を加熱焼成することで前記圧電体層を形成すると共に、前記下電極を同時に加熱して前記拡散層を前記白金層に拡散させて前記導体層を形成する工程と、前記圧電体層上に前記上電極を形成することにより前記圧電素子を形成する工程とを具備することを特徴とするアクチュエータ装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007005034A JP4811598B2 (ja) | 2007-01-12 | 2007-01-12 | アクチュエータ装置及びその製造方法並びに液体噴射ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007005034A JP4811598B2 (ja) | 2007-01-12 | 2007-01-12 | アクチュエータ装置及びその製造方法並びに液体噴射ヘッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008172100A JP2008172100A (ja) | 2008-07-24 |
JP4811598B2 true JP4811598B2 (ja) | 2011-11-09 |
Family
ID=39699901
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007005034A Active JP4811598B2 (ja) | 2007-01-12 | 2007-01-12 | アクチュエータ装置及びその製造方法並びに液体噴射ヘッド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4811598B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9610771B2 (en) | 2014-12-26 | 2017-04-04 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Liquid discharge apparatus and method for producing the same |
US9682558B2 (en) | 2014-12-26 | 2017-06-20 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Liquid ejection apparatus and method of formimg liquid ejection apparatus |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5679636B2 (ja) * | 2009-03-26 | 2015-03-04 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド及びアクチュエーター装置 |
JP5179609B2 (ja) * | 2011-02-28 | 2013-04-10 | 富士フイルム株式会社 | 流路構造体及びその製造方法並びに液体吐出ヘッド |
JP5716939B2 (ja) * | 2014-03-13 | 2015-05-13 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーター装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11205898A (ja) * | 1998-01-16 | 1999-07-30 | Mitsubishi Electric Corp | 誘電体薄膜素子用電極およびその製造方法とそれを用いた超音波振動子 |
JP2006021392A (ja) * | 2004-07-07 | 2006-01-26 | Seiko Epson Corp | アクチュエータ装置及びその製造方法並びに液体噴射装置 |
-
2007
- 2007-01-12 JP JP2007005034A patent/JP4811598B2/ja active Active
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9610771B2 (en) | 2014-12-26 | 2017-04-04 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Liquid discharge apparatus and method for producing the same |
US9682558B2 (en) | 2014-12-26 | 2017-06-20 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Liquid ejection apparatus and method of formimg liquid ejection apparatus |
US10377138B2 (en) | 2014-12-26 | 2019-08-13 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Method for producing liquid discharge apparatus |
USRE48990E1 (en) | 2014-12-26 | 2022-03-29 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Liquid ejection apparatus and method of forming liquid ejection apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008172100A (ja) | 2008-07-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5251031B2 (ja) | 圧電素子、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、センサー | |
JP4367654B2 (ja) | 圧電素子及び液体噴射ヘッド | |
JP4296441B2 (ja) | アクチュエータ装置の製造方法 | |
JP4333686B2 (ja) | アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置 | |
JP5083496B2 (ja) | アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド並びに画像記録装置 | |
JP4501917B2 (ja) | アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド | |
JP5187489B2 (ja) | アクチュエータ装置の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP5024518B2 (ja) | アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド並びに画像記録装置 | |
JP2008284781A (ja) | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 | |
JP4811598B2 (ja) | アクチュエータ装置及びその製造方法並びに液体噴射ヘッド | |
JP2009113419A (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法及び圧電素子の製造方法 | |
JP5105040B2 (ja) | 圧電素子の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP2009190351A (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法及び圧電素子の製造方法 | |
JP5152461B2 (ja) | 圧電素子及びその製造方法並びに液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2010214800A (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法、圧電素子の製造方法 | |
JP5376107B2 (ja) | 圧電素子及びその製造方法、アクチュエータ装置、液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置 | |
JP5104609B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子 | |
JP2008016586A (ja) | 誘電体膜の製造方法及び圧電素子の製造方法並びに液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP5304976B2 (ja) | 積層膜の製造方法及びアクチュエータ装置の製造方法並びに液体噴射ヘッドの製造方法、アクチュエータ装置 | |
JP2007173605A (ja) | 圧電素子の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP5365793B2 (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP2009208411A (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP5099303B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及びその製造方法 | |
JP2012199445A (ja) | 圧電素子の製造方法、圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2008066414A (ja) | アクチュエータ装置の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090902 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110721 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110727 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110809 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4811598 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140902 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |