JP5653324B2 - スプリングプローブ、スプリングプローブの摩耗検出装置及びスプリングプローブの摩耗検出方法 - Google Patents
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Description
図1は、この発明を実施するための実施の形態1における外ばね式のスプリングプローブの摩耗検出装置の構成ブロック図を示すものである。
また、図2は、図1のスプリングプローブの摩耗検出装置におけるスプリングプローブのみを分解して示した断面図である。以下、これらの図に基づき説明する。
図1、図2において、スプリングプローブ26は被検査体25と直接接触して検査を行うものであり、導電体であるコンタクトヘッド10を先端部に有し、例えばベリリウム銅で構成される導電性のプランジャ11と、このプランジャ11が摺動可能に挿入され、プランジャ11に有するプランジャ側摺動接点14と接触して摺動するバレル側摺動接点23を有する、例えばベリリウム銅でなる導電性の筒状のバレル13と、プランジャ11と電気的に接続され、バレル13とは電気的に絶縁されており、導電性、例えばピアノ線(炭素鋼)からなるスプリング12と、このスプリング12とバレル13の間に位置しており、スプリング12とバレル13を電気的に絶縁する絶縁物からなる絶縁体15、スプリング12と電気的に接続され導電性、例えばベリリウム銅であるスプリング端子(スプリング側電気的接続部)16から構成されている。図3はスプリング端子16及び絶縁体15を図の上方向から見た断面図(図2のA―A断面)であり、図5は、バレル13を図の上方向から見た断面図(図2のB―B断面)である。また、27はバレル13に設けられ、スプリング端子16とは電気的に絶縁されているバレル端子(バレル側電気的接続部)である。また、図4における28はスプリング端子16及び絶縁体15の中心部をプランジャ11が貫通するための貫通孔、29はスプリング端子16及び絶縁体15に設けられた貫通孔28から外側に向かう切り欠きである。
上記実施の形態1では外ばね式のスプリングプローブの摺動接点の摩耗検出装置について説明したが、次に、内ばね式のスプリングプローブの摺動接点の摩耗検出装置の場合の実施の形態を説明する。図8は、内ばね式のスプリングプローブの摺動接点の摩耗検出装置の実施の形態を示す構成ブロック図である。また、図9は、図8のスプリングプローブの摩耗検査装置におけるスプリングプローブのみを示した断面図である。図8において、相当部分には図1、図2と同一符号を付してその説明を省略する。
次に、この発明の実施の形態3について説明する。図11はこの発明の実施の形態3におけるスプリングプローブの摩耗検出方法の手順を示すフローチャートであり、スプリングプローブ26を用いて被検査体25の検査を行うと同時に、スプリングプローブ26の摺動接点抵抗の摩耗を検出する方法を示している。図1、図8に示す実施の形態1、実施の形態2を参照して説明する。
11 プランジャ
12 スプリング
13 バレル
14 プランジャ側摺動接点
15 絶縁体
16 スプリング端子
18 ソケット
19 ソケットバレル端子
20 ソケット絶縁体
21 ソケットスプリング端子
23 バレル側摺動接点
25 被検査体
26 スプリングプローブ
27 バレル端子
28 貫通孔
29 切り欠き
31 バレル支持基板
32 バレル挿入用スルーホール
33 スプリング電圧測定パターン
34 ランプ制御信号パターン
35 ランプ制御信号GNDパターン
41 ナット
42 ランプ
43 ランプ制御信号配線
44 ランプ制御信号GND配線
45 ランプ付きキャップ
51 制御計算機
52 信号発生器
53 電流測定器
54 電圧測定器
55 ディジタル信号出力器
56 負荷抵抗器
Claims (13)
- 検査時に被検査体に接触する端部を有する導電性のプランジャ、
前記プランジャが摺動可能に挿入された導電性のバレル、
一端側が前記プランジャに接続され且つ検査時に前記プランジャを被検査体の方向に付勢するスプリング、
前記バレルに設けられ測定機器に接続可能なバレル側電気的接続部、
前記スプリングの他端側に設けられ測定機器に接続可能なスプリング側電気的接続部、
および前記バレルと前記スプリング側電気的接続部との間を電気絶縁する絶縁体
を備えたスプリングプローブ。 - スプリングの一端は前記プランジャの反コンタクトヘッド側に接続され、前記絶縁体は前記スプリングを覆うように前記バレルの一端に配置され、前記スプリング側電気的接続部は前記絶縁体を貫通して設けられていることを特徴とする請求項1に記載のスプリングプローブ。
- スプリングは前記スプリング側電気的接続部と前記プランジャのコンタクトヘッドの間に位置しており、前記プランジャが貫通するよう配置され、前記スプリング側電気的接続部は前記絶縁体と前記スプリングの間に位置し、前記絶縁体は前記バレルと前記スプリング側電気的接続部の間に位置していることを特徴とする請求項1に記載のスプリングプローブ。
- 絶縁体及び前記バレルが挿入されるソケットを更に備え、前記ソケットは前記バレルと電気的に接続されるソケットバレル端子と、前記スプリング側電気的接続部と電気的に接続されるソケットスプリング側電気的接続部と、前記ソケットバレル端子と前記ソケットスプリング側電気的接続部を電気的に絶縁させるソケット絶縁体とを備えたことを特徴とする請求項2に記載のスプリングプローブ。
- スプリング側電気的接続部及び前記絶縁体は、前記プランジャが貫通する貫通孔が形成された円盤形状であることを特徴とする請求項3に記載のスプリングプローブ。
- スプリング側電気的接続部は、貫通孔に対して切り欠き部が形成されていることを特徴とする請求項5に記載のスプリングプローブ。
- 検査時に被検査体に当接するプランジャが摺動可能に挿入されたバレルと、前記バレルに設けられたバレル側電気的接続部と、一端側が前記プランジャに接続され、検査時に前記プランジャを被検査体の方向に付勢するスプリングと、前記スプリングの他端側に設けられたスプリング側電気的接続部と、前記スプリングと前記バレルとの間を電気的に絶縁する絶縁体とを備えたスプリングプローブの、前記バレルと前記プランジャとの摺動接点の摩耗を検出する装置であって、前記バレル側電気的接続部に接続され、前記摺動接点に流れる電流を測定する電流測定器、前記バレル側電気的接続部と前記スプリング側電気的接続部に接続され、前記摺動接点の電圧降下を測定する電圧測定器、および前記電流測定器及び前記電圧測定器からの信号に基づき検出された前記摺動接点の接触抵抗値と前記摺動接点の基準抵抗値とを比較し、その比較差が設定した値に達すれば摩耗検出信号を出力する制御計算機を備えたスプリングプローブの摩耗検出装置。
- 前記スプリングプローブが、請求項2乃至6のいずれか1項に記載のスプリングプローブであることを特徴とする請求項7に記載のスプリングプローブの摩耗検出装置。
- スプリングプローブのバレルがスルーホールに挿入されて実装される基板と、前記スプリングプローブを前記基板に固定するナットを更に備え、前記基板には、前記スプリング側電気的接続部と前記電圧測定器とを電気的に接続するスプリング用配線接続部と、前記バレル側電気的接続部と前記電流測定器とを電気的に接続するバレル用配線接続部が設けられていることを特徴とする請求項7または8のいずれかに記載のスプリングプローブの摩耗検出装置。
- 表示器が内蔵され、前記ナットを覆うように前記基板に固定されたキャップと、前記制御計算機からの制御により前記表示器を点灯するための信号を発信する信号出力器を更に備え、前記基板には、前記表示器と前記信号出力器とを電気的に接続する表示用配線接続部が設けられていることを特徴とする請求項9に記載のスプリングプローブの摩耗検出装置。
- 表示器はLEDであることを特徴とする請求項10に記載のスプリングプローブの摩耗検出装置。
- 検査時に被検査体に当接するプランジャが摺動可能に挿入されたバレルと、前記バレルに設けられたバレル側電気的接続部と、一端側が前記プランジャに接続され、検査時に前記プランジャを被検査体の方向に付勢するスプリングと、前記スプリングの他端側に設けられたスプリング側電気的接続部と、前記スプリングと前記バレルとの間を電気的に絶縁する絶縁体とを備えたスプリングプローブの、前記バレルと前記プランジャとの摺動接点の摩耗を検出する方法であって、
前記プランジャと前記バレルとの摺動接点を流れる電流を測定し、
前記プランジャと前記バレルの摺動接点の電圧降下を測定し、
前記両測定の結果から前記摺動接点の接触抵抗値を算出し、
前記摺動接点の基準抵抗値と算出された前記接触抵抗値とを比較して前記摺動接点の摩耗を検出することを特徴とするスプリングプローブの摩耗検出方法。 - 検出された前記プランジャと前記バレルの摺動接点の摩耗が所定値になれば、表示器を表示させることを特徴とする請求項12に記載のスプリングプローブの摩耗検出方法。
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