JP5651007B2 - X線検査装置 - Google Patents
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Description
D=logI0‐ logI (1)
として求められる検出する領域における単位X線吸収量Dが所定数集まった画像であり、X線の照射量I0は被検査物Wの単位X線吸収量DがゼロであるときのX線の透過量、すなわち搬送ベルト上に被検査物Wが無い状態で検出したX線の透過量から求めることができる。
を乗じたものであり、X線照射条件および被検査物Wの物性が同じならば被検査物Wの質量m は、質量換算数Aに単位X線吸収量Dの総和X(=ΣD)を乗じた次式で求めることができる。
m= AΣD
m= A1X1 + A2X2 + ・・・ (2)
X= X1 + X2 + ・・・ (3)
Pn×m=AnXn (4)
となる
100=AH2XH1 (高エネルギー帯)
100=AL2XL1 (低エネルギー帯)
成分1の換算計数(AH1、AL1)はサンプル2のX線吸収量(XH1 、XL1)とAH3、AL3 とから式(2)〜式(4)を用いて求めることができる。
97=AH1XH21 +AH2XH22、XH2=XH21+XH22、97×0.7=AH2XH22 (5)
97=AL1XL21 +AL2XL22、XL2=XL21+XL22、97×0.7=AL2XL22 (6)
m=AH1XH1+AH2XH2 、XH2=XH1+XH2 、pm=AH1XH1 、(1-p)m=AH2XH2 (7)
m=AL1XL1+AL2XL2 、XL2=XL1+XL2 、pm=AL1XL1 、(1-p)m=AL2XL2 (8)
となり、この方程式を解くことにより 副成分である成分1の成分比率、全体の質量を算出する。
本例のX線検査装置は、第1実施形態の構成のなかでX線検出部14が異なっているものであり、その他の構成は第1実施形態と同様なので、X線検出部14とX線検査装置の動作について説明し、その他の構成に関しては、第1実施形態の構成と対応する部分には図中に第1実施形態と同様の符号を付し、第1実施形態の説明を援用して再度の説明を省略するものとする。
100=AH3XH1 、100=AM3XM1、100=AL3XL1 (9)
成分2の換算計数(AH2、AM2、AL2)と成分1の換算計数(AH1、AM1、AL1)は、サンプル2のX線吸収量(XH2、XM2、XL2)とサンプル3のX線吸収量(XH3 、XM3、XL3)と式(10)で求めたAH3、AM3、AL3 とから式(2)〜式(4)を用いて求めることができる。
[サンプル2のX線吸収量]
96 =AH1XH21 +AH2XH22 +AH3XH23 、XH2=XH21+XH22+XH23、96×0.7=AH3XH23 (10)
96 =AM1XM21 +AM2XM22 +AM3XM23 、XM2=XM21+XM22+XM23、96×0.7=AM3XM23 (11)
96 =AL1XM21 +AL2XL22 +AL3XL23 、XM2=XH21+XH22+XH23、96×0.7=AL3XL23 (12)
[サンプル3のX線吸収量]
95 =AH1XH31 +AH2XH32 +AH3XH33 、X32=XH31+XH32+XH33、95×0.7=AH3XH33 (13)
95 =AM1XM31 +AM2XM32 +AM3XM33 、X32=XM31+XM32+XM33、95×0.7=AM3XM33 (14)
95 =AL1XM31 +AL2XL32 +AL3XL33 、X32=XH31+XH32+XH33、95×0.7=AL3XL33 (15)
m=AH1XH1 +AH2XH2 +AH3XH3 、XH2=XH1+XH2+XH3 、
P1m=AH1XH1 、P2m=AH2XH2 、(1-P1-P2)m=AH3XH3 (16)
m=AM1XM1 +AM2XM2 +AM3XM3 、XM=XM1+XM2+XM3、
P1m=AM1XM1 、P2m=AM2XM2 、(1-P1-P2)m=AM3XM3 (17)
m=AL1XL1 +AL2XL2 +AL3XL3 、XL=XL1+XL2+XL3、
P1m=AL1XL1 、P2m=AL2XL2 、(1-P1-P2)m=AL3XL3 (18)
となり、この方程式を解くことにより 副成分である成分1と成分2の成分比率、全体の質量を算出する。
本例のX線検査装置は、被検査物Wが連続的に搬送される連続体の被検査物Wに対応するために、第1実施形態の構成に分割領域設定手段33を追加したものであり、その他の構成は第1実施形態と同様なので、分割領域設定手段33とX線検査装置の動作について説明し、その他の構成に関しては、第1実施形態の構成と対応する部分には図中に第1実施形態と同様の符号を付し、第1実施形態の説明を援用して再度の説明を省略するものとする。
に示すように、表示・操作部40 に表示された設定画面の空欄に、表示・操作部40の別ウィンドウで表示されるテンキー(不図示)から入力するようになる。
11 搬送手段
13 X線源
14 X線検出部
14a、14b X線センサ
15 線質可変体
20 制御部
21 記憶手段
22 X線画像記憶手段
23 換算係数記憶手段
25 画像処理手段
26 X線画像生成手段
27 フィルタ処理手段
28 成分比率算出手段
29 換算係数算出手段
30 判定手段
31 異物判定手段
32 成分比率判定手段
33 分割領域設定手段
40 表示・操作部
Claims (4)
- 搬送される被検査物にX線を照射し、前記被検査物を透過した複数の異なるエネルギー帯のX線の透過量を検出する検出手段(10)と、前記検出手段が出力する前記エネルギー帯毎の透過量に応じた検出信号から前記複数の異なるエネルギー帯の数と同数分の前記被検査物を形成する成分についての質量を求めるための質量換算係数を記憶する換算係数記憶手段(23)と、前記検出手段が出力する前記複数の異なるエネルギー帯毎の検出信号と前記換算係数記憶手段に記憶された成分毎の質量換算係数に基づいて前記被検査物中に含まれる成分の比率を算出する成分比率算出手段(28)と、を備えたX線検査装置。
- 質量及び前記成分の比率が既知であるサンプルにX線を照射して得られる前記エネルギー帯毎の前記サンプルのX線透過量に基づいて前記エネルギー帯毎の質量換算係数を算出する換算係数算出手段(29)を有し、前記換算係数記憶手段に質量換算係数を設定する制御部(20)を備えたこと特徴とする請求項1に記載のX線検査装置。
- 前記成分比率算出手段で算出した成分の比率から、指定された成分の比率が所定の範囲内にあるか否かを判定する成分比率判定手段(32)を備えたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のX線検査装置。
- 前記複数の異なるエネルギー帯のX線の透過量に基づいて前記被検査物に異物が含まれているか否かを判定する異物判定手段(31)を備え、前記成分比率算出手段は、前記異物判定手段が異物が存在すると判定した前記被検査物の部位について成分比率算出から除くことを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のX線検査装置。
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