JP5645429B2 - 液体供給装置 - Google Patents
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Description
4 研磨装置
6 液体供給装置
7 枠体
8 不定形液体容器
9 研磨剤原液
10 希釈タンク
12 供給タンク
18 混合液(スラリー)
20 吸い上げポンプ
38,40 重量測定器
48 袋部
49 液体
50 注出口
52 首部
54 環状フランジ
56 底板
57 開口
60 天井板
62 案内溝
66 液体供給手段
68 送出用パイプ
Claims (3)
- 柔軟なフィルム状部材からなる袋部と、該袋部の口に装着された筒状の首部と該首部の上端外周から外側へ張り出す環状フランジとを備えた注出口と、を有する不定形液体容器内の液体を送出する液体供給装置であって、
底部と、該底部から立設された側部と、該側部に支持され該側部から中央に向かって形成された該環状フランジの外径より小さく該首部の直径より大きい幅の案内溝を有する天井部とを含む枠体と、
該注出口から該袋部内に挿入される送出用パイプと、該送出用パイプの途中に介装された吸い上げポンプとを含む液体供給手段とを具備し、
該注出口の該環状フランジを該天井部より上方にして該首部を該案内溝に挿入しつつ、該袋部を該枠体内に収容して該首部を該案内溝の所定の位置に固定すると、該袋部内の液体の重量で該案内溝に該環状フランジが係合し該袋部が該枠体内に垂下して固定され、
該送出用パイプは該枠体内に垂下した該袋部の底部近傍に到達する長さを有し、
該枠体の該底部を構成する底板は、該案内溝の該所定の位置の直下に窪み部若しくは開口部を有し、該窪み部若しくは該開口部周囲の該底板の少なくとも一部は該窪み部若しくは該開口部に向かって下方に傾斜して形成されており、
該不定形液体容器内の液体が該傾斜によって該窪み部内若しくは該開口部内に落ち込んだ袋部に溜まり易くなっていることを特徴とする液体供給装置。 - 前記送出用パイプの吸引口は、前記窪み部内若しくは前記開口部内に落ち込んだ袋部付近に位置付けられることを特徴とする請求項1記載の液体供給装置。
- 前記枠体が重量測定器上に配設されていることを特徴とする請求項1又は2記載の液体供給装置。
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