JP5623230B2 - 表示装置の製造方法 - Google Patents
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Description
端部がテーパー状となる前記第1のカラーフィルタをパターニングする第1パターニング工程と、
前記第1のカラーフィルタのテーパー状にパターニングされた一方の端部の上層に、前記第2のカラーフィルタの一方の端部を重ね合わせて、該一方の端部が逆テーパー状となり、該一方の端部とは異なる他方の端部がテーパー状となる前記第2のカラーフィルタをパターニングする第2パターニング工程と、
前記第2のカラーフィルタの前記テーパー状にパターニングされた他方の端部の上層に、前記第3のカラーフィルタの一方の端部を重ね合わせて、該一方の端部が逆テーパー状となる前記第3のカラーフィルタをパターニングする第3パターニング工程とを有し、
前記第2パターニング工程は、第2のカラーレジスト膜を塗布した後に、前記第2のカラーレジスト膜を露光する第2の露光工程と、前記第2のカラーレジスト膜を現像する工程とを有し、
前記露光工程は、前記第2のカラーフィルタの前記逆テーパー状の一方の端部に相当する領域の露光量と、前記第2のカラーフィルタの前記テーパー状の他方の端部に相当する領域の露光量とが異なることを特徴とする。
前記第1パターニング工程は、第1のカラーレジスト膜を塗布した後に、前記第1のカラーレジスト膜を露光する第1の露光工程を有し、
前記第3パターニング工程は、第3のカラーレジスト膜を塗布した後に、前記第3のカラーレジスト膜を露光する第3の露光工程を有し、
前記第1の露光工程は、前記第1のカラーフィルタの前記テーパー状の一方の端部に相当する領域の露光量と、前記第1のカラーフィルタの前記テーパー状の他方の端部に相当する領域の露光量とが同じであり、
前記第3の露光工程は、前記第3のカラーフィルタの前記逆テーパー状の一方の端部に相当する領域の露光量と、前記第3のカラーフィルタの前記逆テーパー状の他方の端部に相当する領域の露光量とが同じであることを特徴とする。
前記フォトマスクは、前記第2のカラーフィルタの前記逆テーパー状の一方の端部及び前記テーパー状の他方の端部に相当する領域の光透過量が、前記逆テーパー状の一方の端部及び前記テーパー状の他方の端部以外の領域の光透過量よりも少ないハーフトーンマスクであり、
前記逆テーパー状の一方の端部に相当する領域の光透過量と前記テーパー状の他方の端部に相当する領域の光透過量とが異なることを特徴とする。
〈全体構成〉
図1は本発明の実施形態1の表示装置である液晶表示装置の概略構成を説明するための図であり、以下、図1に基づいて、実施形態1の液晶表示装置の全体構成を説明する。ただし、図1に示すX,YはそれぞれX軸、Y軸を示す。また、以下の説明では、第1基板SUB1の主面と平行な成分を有する電界を印加するIPS方式の液晶表示装置に本願発明を適用した場合について説明するが、他のTN方式やVA方式等の液晶表示装置にも適用可能である。さらには、以下の説明では、同一色の着色層(カラーフィルタ)がドレイン線に沿ってY方向に延在し、X方向に赤色(R)、緑色(G)、及び青色(B)のカラーフィルタが順番に並設される場合について説明するが、着色層の配置は他の方式であってもよい。
図2は本発明の実施形態1の液晶表示装置における画素の概略構成を説明するための上面図であり、図3は図2に示すB−B’線での断面図である。以下、図2及び図3に基づいて、実施形態1の液晶表示装置における画素構成を説明する。また、カラーフィルタを除く薄膜は公知のフォトリソグラフィ技術により形成可能であるので、形成方法の詳細な説明は省略する。
図4は本発明の実施形態1の液晶表示装置におけるカラーフィルタの概略構成を説明するための平面図であり、図5は図4に示すC−C’線での断面図である。ただし、図5では、説明を簡単にするために、第1基板SUB1の上面に形成される薄膜トランジスタTFTやゲート線等の各信号線を含む薄膜層は、薄膜トランジスタ層TLとして略記する。
次に、図7〜図9に本発明の実施形態1の液晶表示装置におけるカラーフィルタの形成方法を説明するための断面図を示し、以下、図7〜図9に基づいて、カラーフィルタの形成方法を説明する。ただし、図7はカラーフィルタCF(R)の形成工程を示す断面図であり、図8はカラーフィルタCF(G)の形成工程を示す断面図であり、図9はカラーフィルタCF(B)の形成工程を示す断面図である。
図10は本発明の実施形態2の液晶表示装置におけるカラーフィルタの概略構成を説明するための図であり、以下、図10に基づいて、実施形態2の液晶表示装置について説明する。
DL……ドレイン線、CT……共通電極、PX……画素電極、GL……ゲート線
TFT……薄膜トランジスタ、CL……コモン線、SL……シール材
SUB1……第1基板、SUB2……第2基板、DR……駆動回路、FG……半導体層
CF……カラーフィルタ、CH1〜3……コンタクトホール、ST……ソース電極
IN1〜3……層間絶縁膜、UC……下地膜、GI……ゲート絶縁膜、
OLA1,2……重畳領域、TL……薄膜トランジスタ層、RG……カラーレジスト膜
CCP……凹部、CVP……凸部
Claims (8)
- 対向配置される一対の基板の内の一方の基板に、互いに隣接して形成される第1のカラーフィルタと第2のカラーフィルタと第3のカラーフィルタとを有する液晶表示装置の製造方法であって、
端部がテーパー状となる前記第1のカラーフィルタをパターニングする第1パターニング工程と、
前記第1のカラーフィルタのテーパー状にパターニングされた一方の端部の上層に、前記第2のカラーフィルタの一方の端部を重ね合わせて、該一方の端部が逆テーパー状となり、該一方の端部とは異なる他方の端部がテーパー状となる前記第2のカラーフィルタをパターニングする第2パターニング工程と、
前記第2のカラーフィルタの前記テーパー状にパターニングされた他方の端部の上層に、前記第3のカラーフィルタの一方の端部を重ね合わせて、該一方の端部が逆テーパー状となる前記第3のカラーフィルタをパターニングする第3パターニング工程とを有し、
前記第2パターニング工程は、第2のカラーレジスト膜を塗布した後に、前記第2のカラーレジスト膜を露光する第2の露光工程と、前記第2のカラーレジスト膜を現像する工程とを有し、
前記露光工程は、前記第2のカラーフィルタの前記逆テーパー状の一方の端部に相当する領域の露光量と、前記第2のカラーフィルタの前記テーパー状の他方の端部に相当する領域の露光量とが異なることを特徴とする表示装置の製造方法。 - 前記第3パターニング工程は、前記第3のカラーフィルタの前記逆テーパー状の一方の端部とは異なる他方の端部は、前記第1のカラーフィルタの前記テーパー状の一方の端部とは異なるテーパー状の他方の端部の上層に、重ね合わせて逆テーパー状に形成する工程を含み、
前記第1パターニング工程は、第1のカラーレジスト膜を塗布した後に、前記第1のカラーレジスト膜を露光する第1の露光工程を有し、
前記第3パターニング工程は、第3のカラーレジスト膜を塗布した後に、前記第3のカラーレジスト膜を露光する第3の露光工程を有し、
前記第1の露光工程は、前記第1のカラーフィルタの前記テーパー状の一方の端部に相当する領域の露光量と、前記第1のカラーフィルタの前記テーパー状の他方の端部に相当する領域の露光量とが同じであり、
前記第3の露光工程は、前記第3のカラーフィルタの前記逆テーパー状の一方の端部に相当する領域の露光量と、前記第3のカラーフィルタの前記逆テーパー状の他方の端部に相当する領域の露光量とが同じであることを特徴とする請求項1に記載の表示装置の製造方法。 - 前記第2の露光工程は、フォトマスクを介して前記第2のカラーレジスト膜を露光し、
前記フォトマスクは、前記第2のカラーフィルタの前記逆テーパー状の一方の端部及び前記テーパー状の他方の端部に相当する領域の光透過量が、前記逆テーパー状の一方の端部及び前記テーパー状の他方の端部以外の領域の光透過量よりも少ないハーフトーンマスクであり、
前記逆テーパー状の一方の端部に相当する領域の光透過量と前記テーパー状の他方の端部に相当する領域の光透過量とが異なることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の表示装置の製造方法。 - 前記一方の基板には、画素電極と薄膜トランジスタを有する複数の画素が形成され、
前記第1のカラーフィルタと前記第2のカラーフィルタと前記第3のカラーフィルタとは、前記薄膜トランジスタの上層に形成されていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の表示装置の製造方法。 - 前記画素電極は、前記第1のカラーフィルタ、前記第2のカラーフィルタ、及び前記第3のカラーフィルタの上層に形成されていることを特徴とする請求項4に記載の表示装置の製造方法。
- 前記一方の基板には、映像信号を前記薄膜トランジスタを介して前記画素電極に供給する複数のドレイン線が形成され、
前記第1のカラーフィルタ、前記第2のカラーフィルタ、及び前記第3のカラーフィルタのいずれか2つが重ね合わされている領域は、前記ドレイン線と重畳していることを特徴とする請求項4または請求項5に記載の表示装置の製造方法。 - 前記第1のカラーフィルタ、前記第2のカラーフィルタ、及び前記第3のカラーフィルタは、互いに異なる色からなり、
前記互いに異なる色は、赤色、緑色、及び青色であることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の表示装置の製造方法。 - 前記第1のカラーフィルタ、前記第2のカラーフィルタ、及び前記第3のカラーフィルタのいずれか2つが重ね合わされている領域は、重ね合わされている領域の略円弧状の曲面を有し、前記曲面の曲率半径は1.0μm以上であることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の表示装置の製造方法。
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