JP5610427B2 - Displacement measuring device - Google Patents

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Description

本発明は、変位計測装置に関し、特に二平面を備える層の層間変位を計測する場合に適用して好適なものである。   The present invention relates to a displacement measuring device, and is particularly suitable for application to measuring an inter-layer displacement of a layer having two planes.

この種の変位計測装置としては、レーザー光と撮像手段とを用いて、観測点から見た変位検出対象物の観察軸と垂直平面上との変位、或いは垂直平面の傾きを測定している計測システムが知られている(例えば、特許文献1、2参照)。このような計測システムでは、変位検出対象物に向けて照射したレーザー光の入射部位の光点位置を、カメラ等の撮像手段で撮像し、得られた画像に所定の画像処理を施して変位検出対象物の三方向の変位を計測し得るようになされている。   As this type of displacement measuring device, measurement using a laser beam and imaging means is used to measure the displacement between the observation axis of the displacement detection object viewed from the observation point and the vertical plane, or the inclination of the vertical plane. A system is known (for example, refer to Patent Documents 1 and 2). In such a measurement system, the light spot position of the incident portion of the laser beam irradiated toward the displacement detection target is imaged by an imaging means such as a camera, and the obtained image is subjected to predetermined image processing to detect displacement. The displacement of the object in three directions can be measured.

ところが、上記特許文献1に係る発明では、レーザーや撮像手段を設置する天井又は床が、局所的に変形すると、この変形によって水平方向の変位に誤差が生じる。このような局所的な変形による角度誤差は、地震によって発生することが知られている。なお、局所的な変形は天井又は床の回転と考えることができ、これによって水平方向の変位に生じる誤差を本明細書では角度誤差と呼ぶ。この角度誤差が生じることにより、従来の計測システムでは、測定した層間変位に角度誤差が混合されて出力されてしまうので、正確な変位計測が困難であった。   However, in the invention according to Patent Document 1, when the ceiling or floor on which the laser and the imaging means are installed is locally deformed, an error occurs in the displacement in the horizontal direction due to this deformation. It is known that such an angle error due to local deformation is caused by an earthquake. Note that the local deformation can be considered as a rotation of the ceiling or the floor, and an error caused by the displacement in the horizontal direction is referred to as an angle error in this specification. Due to the occurrence of this angle error, the conventional measurement system outputs the angle error mixed with the measured interlayer displacement, which makes it difficult to accurately measure the displacement.

また、複数の受光素子を用いて測定対象のx、y、z座標および3軸回転を計測可能としたセンサが開示されている(例えば、特許文献3、および非特許文献1)。これらのセンサを用いることにより、天井または床の角度を検出することが一応可能となる。   In addition, sensors that can measure x, y, z coordinates and three-axis rotation of a measurement target using a plurality of light receiving elements are disclosed (for example, Patent Document 3 and Non-Patent Document 1). By using these sensors, it is possible to detect the angle of the ceiling or floor.

特許第2970867号公報Japanese Patent No. 2970867 特開2009−216402公報JP 2009-216402 A 米国特許第5,883,803号明細書US Pat. No. 5,883,803

「Measurement of fine 6-degrees-of-freedom displacement of rigid bodies through splitting a laser beam: experimental investigation」、2002年Optical Engineering、Opt. Eng.41(4)、p.860-871`` Measurement of fine 6-degrees-of-freedom displacement of rigid bodies through splitting a laser beam: experimental investigation '', 2002 Optical Engineering, Opt. Eng. 41 (4), p.860-871

上記特許文献3または非特許文献1では、いずれも測定器本体を固定点に配置することを前提としているので、例えば天井にセンサを取り付けた場合、天井は回転しないものと仮定する必要がある。したがって、センサを取り付けた箇所の回転による角度誤差を分離することができないので、天井および床の両方に局所的な変位が生じ得る系では、正確に層間変位を計測することができない、という問題があった。   In any of Patent Document 3 and Non-Patent Document 1, it is assumed that the measuring instrument main body is arranged at a fixed point. Therefore, for example, when a sensor is attached to the ceiling, it is necessary to assume that the ceiling does not rotate. Therefore, since the angle error due to the rotation of the location where the sensor is attached cannot be separated, there is a problem that the interlayer displacement cannot be measured accurately in a system where local displacement can occur on both the ceiling and the floor. there were.

そこで、本発明は、二平面を備える層の両方の面に局所的な変形が生じた場合にも、より正確に層間変位を計測することができる変位計測装置を提供することを目的とする。   Therefore, an object of the present invention is to provide a displacement measuring apparatus that can measure interlayer displacement more accurately even when local deformation occurs on both surfaces of a layer having two planes.

本発明の請求項1に係る発明は、第1平面と、前記第1平面に対し所定間隔を隔てて設けられた第2平面とを備える層間の水平方向の変位を光学的に計測する変位計測装置において、前記第1平面から前記第2平面に向かって基準光を照射して、前記第1平面と前記第2平面の相対変位を検出する基準変位計測部と、前記第1平面または前記第2平面に第1及び第2参照受光部が配置され、前記第1平面前記第2平面とを連結する部材から前記第1及び第2参照受光部に第1及び第2参照光を照射して、前記第1平面と前記第2平面とを連結する部材に対する前記第1平面または前記第2平面の相対変位を検出する参照変位計測部とを備え、前記基準変位計測部は、前記第2平面に前記基準光を受光する基準受光部が配置され、前記基準受光部を原点とするXY座標及びこのXY座標に直交するZ軸に対して、前記基準受光部に前記基準光をZ軸方向に向かって照射し、前記参照変位計測部は、前記第1平面と前記第2平面とを連結する部材に第1及び第2参照照射部を配置し、前記第1参照照射部は、前記第1参照受光部に前記第1参照光をX軸方向に向かって照射し、前記第2参照照射部は、前記第2参照受光部に前記第2参照光をY軸方向に向かって照射することを特徴とする。
本発明の請求項2に係る発明は、第1平面と、前記第1平面に対し所定間隔を隔てて設けられた第2平面とを備える層間の水平方向の変位を光学的に計測する変位計測装置において、前記第1平面から前記第2平面に向かって基準光を照射して、前記第1平面と前記第2平面の相対変位を検出する基準変位計測部と、前記第1平面と前記第2平面とを連結する部材に第1及び第2参照受光部が設けられ、前記第1平面または第2平面から前記第1及び第2参照受光部に第1及び第2参照光を照射して、前記第1平面と前記第2平面とを連結する部材に対する前記第1平面または前記第2平面の相対変位を検出する参照変位計測部とを備え、前記基準変位計測部は、前記第2平面に前記基準光を受光する基準受光部が配置され、前記基準受光部を原点とするXY座標及びこのXY座標に直交するZ軸に対して、前記基準受光部に前記基準光をZ軸方向に向かって照射し、前記参照変位計測部は、前記第1平面または第2平面に第1及び第2参照照射部を配置し、前記第1参照照射部は、前記第1参照受光部に前記第1参照光をX軸方向に向かって照射し、前記第2参照照射部は、前記第2参照受光部に前記第2参照光をY軸方向に向かって照射することを特徴とする。
The invention according to claim 1 of the present invention is a displacement measurement for optically measuring a horizontal displacement between layers including a first plane and a second plane provided at a predetermined interval with respect to the first plane. In the apparatus, a reference displacement measuring unit that irradiates reference light from the first plane toward the second plane and detects a relative displacement between the first plane and the second plane; and the first plane or the first plane First and second reference light receiving units are disposed on two planes, and the first and second reference light receiving units are irradiated with the first and second reference light beams from a member connecting the first plane and the second plane. Te, and a reference displacement measuring unit for detecting the relative displacement of the first plane or the second plane to the member for connecting the second plane and the first plane, the reference displacement measuring unit, the second A reference light receiving portion for receiving the reference light is disposed on two planes, and the reference The reference light receiving unit is irradiated with the reference light in the Z-axis direction with respect to an XY coordinate having an optical part as an origin and a Z axis orthogonal to the XY coordinate, and the reference displacement measuring unit And a second reference irradiating unit disposed on a member connecting the first plane and the second plane, and the first reference irradiating unit directs the first reference light to the first reference light receiving unit in the X-axis direction. The second reference irradiation unit irradiates the second reference light receiving unit with the second reference light toward the Y-axis direction .
The invention according to claim 2 of the present invention is a displacement measurement for optically measuring a horizontal displacement between layers including a first plane and a second plane provided at a predetermined interval with respect to the first plane. In the apparatus, a reference displacement measuring unit that irradiates reference light from the first plane toward the second plane and detects a relative displacement between the first plane and the second plane, the first plane, and the first plane First and second reference light receiving units are provided on a member connecting the two planes, and the first and second reference light receiving units are irradiated with the first and second reference light beams from the first plane or the second plane. , and a reference displacement measuring unit for detecting the relative displacement of the first plane or the second plane to the member for connecting the second plane and the first plane, the reference displacement measuring unit, the second A reference light receiving unit for receiving the reference light is disposed on a plane, Irradiates the reference light to the reference light receiving portion in the Z-axis direction with respect to the XY coordinates with the origin as XY coordinates and the Z-axis orthogonal to the XY coordinates, and the reference displacement measuring portion First and second reference irradiating units are arranged on two planes, and the first reference irradiating unit irradiates the first reference light receiving unit with the first reference light in the X-axis direction, and the second reference irradiating unit. The unit irradiates the second reference light receiving unit with the second reference light in the Y-axis direction .

本発明の請求項に係る発明は、前記基準変位計測部は、放射状に前記基準光を照射する基準照射部を有し、前記参照変位計測部は、放射状に前記第1及び第2参照光を照射する前記第1及び第2参照照射部を有することを特徴とする。 The invention according to claim 3 of the present invention, the reference displacement measuring unit includes a reference irradiation unit that irradiates the reference light radially, the reference displacement measuring unit, said the shape radiate the first and second It has the said 1st and 2nd reference irradiation part which irradiates reference light, It is characterized by the above-mentioned.

本発明の請求項に係る発明は、第1平面と、前記第1平面に対し所定間隔を隔てて設けられた第2平面とを備える層間の水平方向の変位を光学的に計測する変位計測装置において、前記第1平面から前記第2平面に向かって基準光を照射して、前記第1平面と前記第2平面の相対変位を検出する基準変位計測部と、前記第2平面に第1,第2及び第3参照受光部が配置され、前記第1平面と前記第2平面とを連結する部材から前記第1,第2及び第3参照受光部に第1,第2及び第3参照光を照射して、前記第1平面と前記第2平面とを連結する部材に対する前記第2平面の相対変位を検出する参照変位計測部と、を備え、前記基準変位計測部は、前記第2平面に前記基準光を受光する基準受光部が配置され、前記参照変位計測部は、前記第1平面と前記第2平面とを連結する部材から前記第2平面に配置した前記第1参照受光部に向かって第1参照光を照射する第1参照照射部と、前記第1参照照射部を原点とするZY座標のZ軸上から前記第2平面に配置した前記第2参照受光部に向かって、前記第1参照光に対し所定角度傾いた第2参照光を照射する第2参照照射部と、前記ZY座標のY軸上から前記第2平面に配置した前記第3参照受光部に向かって、前記第1参照光に対し所定角度傾いた第3参照光を照射する第3参照照射部と
を有することを特徴とす
The invention according to claim 4 of the present invention is a displacement measurement for optically measuring a horizontal displacement between layers including a first plane and a second plane provided at a predetermined interval with respect to the first plane. In the apparatus, a reference displacement measuring unit that irradiates reference light from the first plane toward the second plane and detects a relative displacement between the first plane and the second plane, and a first on the second plane. , Second and third reference light receiving parts are arranged, and the first, second and third references are made from the member connecting the first plane and the second plane to the first, second and third reference light receiving parts . A reference displacement measuring unit that irradiates light and detects a relative displacement of the second plane with respect to a member that connects the first plane and the second plane, and the reference displacement measuring unit includes the second displacement reference light receiving unit for receiving the reference light plane is disposed, the reference displacement measuring unit, the A first reference irradiation unit for irradiating the first reference beam toward the first reference light receiving unit disposed in the second plane from the member for connecting the first plane and the second plane, the first reference irradiation unit A second reference irradiating unit that irradiates a second reference light inclined at a predetermined angle with respect to the first reference light toward the second reference light receiving unit disposed on the second plane from the Z axis of the ZY coordinate as an origin. And a third reference irradiating unit that irradiates a third reference light inclined at a predetermined angle with respect to the first reference light toward the third reference light receiving unit disposed on the second plane from the Y axis of the ZY coordinate. and,
It characterized in that it has a.

本発明の請求項に係る発明は、前記基準変位計測部は、放射状に前記基準光を照射する基準照射部を有し、前記参照変位計測部は、レーザー光からなる前記第1及び第2参照光を照射する前記第1及び第2参照照射部を有することを特徴とする。 The invention according to claim 5 of the present invention, the reference displacement measuring unit includes a reference irradiation unit that irradiates the reference light radially, the reference displacement measuring unit includes the first and consisting Les Za light It has the said 1st and 2nd reference irradiation part which irradiates 2 reference light, It is characterized by the above-mentioned.

本発明の請求項に係る発明は、前記基準変位計測部は、レーザー光からなる前記基準光を照射する基準照射部を有し、前記参照変位計測部は、レーザー光からなる前記第1及び第2参照光を照射する前記第1及び第2参照照射部を有することを特徴とする。 The invention according to claim 6 of the present invention, the reference displacement measuring unit includes a reference irradiation unit for irradiating the reference light composed of laser beams, the reference displacement measuring unit, the first consisting of Les Za light And the first and second reference irradiators for irradiating the second reference light.

本発明の請求項に係る発明は、前記基準変位計測部は、レーザー光からなる前記基準光を照射する基準照射部を有し、前記参照変位計測部は、放射状に前記第1及び第2参照光を照射する前記第1及び第2参照照射部を有することを特徴とする。 The invention according to claim 7 of the present invention, the reference displacement measuring unit includes a reference irradiation unit for irradiating the reference light composed of laser beams, the reference displacement measuring unit includes the first and the like radiate It has the said 1st and 2nd reference irradiation part which irradiates 2nd reference light, It is characterized by the above-mentioned.

本発明によれば、検出された基準変位、参照変位から、層間変位と角度誤差を分離することにより、より正確な層間変位を計測することができる。   According to the present invention, it is possible to measure a more accurate interlayer displacement by separating the interlayer displacement and the angle error from the detected standard displacement and reference displacement.

第1実施形態に係る変位計測装置の全体構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the whole structure of the displacement measuring device which concerns on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る変位計測装置の各部の配置箇所を模式的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows typically the arrangement | positioning location of each part of the displacement measuring device which concerns on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る変位計測装置の使用状態を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the use condition of the displacement measuring device which concerns on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る変位計測装置の全体構成を示す模式図であり、傾きが生じた状態を示す図である。It is a schematic diagram which shows the whole structure of the displacement measuring device which concerns on 1st Embodiment, and is a figure which shows the state which the inclination produced. 第2実施形態に係る変位計測装置の全体構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the whole structure of the displacement measuring device which concerns on 2nd Embodiment. 第2実施形態に係る変位計測装置の各部の配置箇所を模式的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows typically the arrangement | positioning location of each part of the displacement measuring device which concerns on 2nd Embodiment. 第3実施形態に係る変位計測装置の全体構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the whole structure of the displacement measuring device which concerns on 3rd Embodiment. 第3実施形態に係る参照変位計測部の配置箇所を模式的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows typically the arrangement | positioning location of the reference displacement measuring part which concerns on 3rd Embodiment. 第4実施形態に係る変位計測装置の全体構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the whole structure of the displacement measuring device which concerns on 4th Embodiment. 第4実施形態に係る変位計測装置の各部の配置箇所を模式的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows typically the arrangement | positioning location of each part of the displacement measuring device which concerns on 4th Embodiment. 第5実施形態に係る変位計測装置の全体構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the whole structure of the displacement measuring device which concerns on 5th Embodiment.

(1)第1実施形態
図1に示す変位計測装置1Aは、第1平面としての建物の天井部2と、当該天井部2に対向して所定間隔Hだけ隔てて略平行に形成された第2平面としての床部3とで構成される層間に設置されている。天井部2と床部3とは側壁4で接続されている。この変位計測装置1Aは、例えば地震等の災害によって天井部2に生じる水平方向の変位(以下、層間変位という)を計測し得るように設置されている。
(1) First Embodiment A displacement measuring apparatus 1A shown in FIG. 1 is formed in a substantially parallel manner with a ceiling portion 2 of a building as a first plane and a predetermined interval H facing the ceiling portion 2. It is installed between the layers composed of the floor 3 as two planes. The ceiling part 2 and the floor part 3 are connected by a side wall 4. The displacement measuring apparatus 1A is installed so as to be able to measure a horizontal displacement (hereinafter referred to as an interlayer displacement) generated in the ceiling portion 2 due to a disaster such as an earthquake.

変位計測装置1Aは、天井部2と床部3の間に垂直に基準光LSを照射して天井部2と床部3の相対変位である基準変位を計測する基準変位計測部7と、床部3と不動点部材の間に参照光LRを照射して不動点部材に対する床部3の相対変位である参照変位を検出する参照変位計測部8Aとを備える。基準変位計測部7と、参照変位計測部8Aとは、それぞれ照射部と、受光部と、当該受光部と対となるレンズとを有する。レンズは凸レンズが用いられる。なお、不動点部材とは、天井部2および床部3が変形しても上下方向に動かない不動点とみなすことができる部材をいう。本実施形態では、不動点部材として側壁4が用いられる。   The displacement measuring apparatus 1A includes a reference displacement measuring unit 7 that irradiates the reference light LS vertically between the ceiling 2 and the floor 3 to measure a reference displacement that is a relative displacement between the ceiling 2 and the floor 3, and a floor A reference displacement measuring unit 8A that detects a reference displacement that is a relative displacement of the floor 3 with respect to the fixed point member by irradiating the reference light LR between the fixed point member 3 and the fixed point member. Each of the reference displacement measuring unit 7 and the reference displacement measuring unit 8A includes an irradiation unit, a light receiving unit, and a lens paired with the light receiving unit. A convex lens is used as the lens. The fixed point member is a member that can be regarded as a fixed point that does not move in the vertical direction even when the ceiling 2 and the floor 3 are deformed. In the present embodiment, the side wall 4 is used as the fixed point member.

照射部は、放射状に伝播する拡散光を照射する光源からなる。本実施形態の場合、照射部は、LED(Light Emitting Diode)が用いられている。なお、拡散光を照射する光源の場合、当該光源の設置箇所の回転は基準変位および参照変位に影響を与えないことが実験により確認されている。したがって、照射部として拡散光を照射する光源を用いることにより、照射部の設置箇所の回転を無視し得る。   The irradiation unit includes a light source that irradiates diffused light that propagates radially. In the case of the present embodiment, an LED (Light Emitting Diode) is used for the irradiation unit. In the case of a light source that irradiates diffused light, it has been experimentally confirmed that the rotation of the installation location of the light source does not affect the standard displacement and the reference displacement. Therefore, by using a light source that irradiates diffused light as the irradiating unit, rotation of the installation location of the irradiating unit can be ignored.

受光部は、種々のものを選択することができるが、例えば、平板状の光位置センサ(PSD; Position Sensitive Detector)を好適に用いることができる。また、受光部は、算出部9に電気的に接続されている。算出部9は、検出された基準変位および参照変位から層間変位を算出し得るように構成されている。   Various light receiving units can be selected. For example, a plate-shaped optical position sensor (PSD) can be preferably used. Further, the light receiving unit is electrically connected to the calculation unit 9. The calculation unit 9 is configured to be able to calculate the interlayer displacement from the detected standard displacement and reference displacement.

基準変位計測部7は、照射部としての基準照射部12と、受光部としての基準受光部13とを有する。基準照射部12は、天井部2から鉛直下方に向かって基準光LSを照射し得るように設けられている。基準受光部13は、レンズとしての基準レンズ14を通過した基準光LSを垂直に受光し得るように、受光面が床部3に対し平行に配置されている。   The reference displacement measuring unit 7 includes a reference irradiation unit 12 as an irradiation unit and a reference light receiving unit 13 as a light receiving unit. The reference irradiation unit 12 is provided so as to be able to irradiate the reference light LS vertically downward from the ceiling 2. The light receiving surface of the reference light receiving unit 13 is arranged in parallel to the floor 3 so that the reference light LS that has passed through the reference lens 14 as a lens can be received vertically.

本実施形態の場合、基準照射部12は、天井部2に設置されている。基準受光部13と基準レンズ14とは変位検出部16に設けられている。変位検出部16は、床部3に配置され、筐体17を有する。基準レンズ14は、光軸を鉛直方向とした状態で筐体17上面に保持されている。基準受光部13は、受光面が基準レンズ14に対向するように床部3に対し平行に配置した状態で、筐体17に固定されている。これにより、変位検出部16は、基準照射部12から照射された基準光LSを基準レンズ14によって前記基準受光部13に集光させ得るように構成されている。   In the case of this embodiment, the reference irradiation part 12 is installed in the ceiling part 2. The reference light receiving unit 13 and the reference lens 14 are provided in the displacement detection unit 16. The displacement detector 16 is disposed on the floor 3 and has a housing 17. The reference lens 14 is held on the upper surface of the housing 17 with the optical axis set in the vertical direction. The reference light receiving unit 13 is fixed to the housing 17 in a state where the reference light receiving unit 13 is arranged in parallel to the floor 3 so that the light receiving surface faces the reference lens 14. Thereby, the displacement detection unit 16 is configured to be able to collect the reference light LS emitted from the reference irradiation unit 12 on the reference light receiving unit 13 by the reference lens 14.

参照変位計測部8Aは、照射部としての参照照射部20Aと、受光部としての参照受光部30Aとを有する。参照照射部20Aは、側壁4に設けられている。参照受光部30Aは、レンズとしての参照レンズ40を通過した参照光LRを垂直に受光するように床部3に配置された前記変位検出部16に設けられている。   The reference displacement measuring unit 8A includes a reference irradiation unit 20A as an irradiation unit and a reference light receiving unit 30A as a light receiving unit. The reference irradiation unit 20A is provided on the side wall 4. The reference light receiving unit 30A is provided in the displacement detection unit 16 disposed on the floor 3 so as to vertically receive the reference light LR that has passed through the reference lens 40 as a lens.

参照変位計測部8Aの構成について、図2を参照してさらに詳細に説明する。本図において、側壁4は、第1側壁41と第2側壁42とを端部同士で接続して形成される。参照照射部20Aは、第1側壁41に設置される第1参照照射部21Aと第2側壁42に設置される第2参照照射部22Aからなる。なお、本図は、天井部2、床部3、側壁4がそれぞれ独立して変形し得ることを示すために互いに連結されていない構成で模式的に示されているが、実際上は天井部2、床部3、側壁4が一体的に形成されている。   The configuration of the reference displacement measuring unit 8A will be described in more detail with reference to FIG. In this figure, the side wall 4 is formed by connecting a first side wall 41 and a second side wall 42 at ends. The reference irradiation unit 20 </ b> A includes a first reference irradiation unit 21 </ b> A installed on the first side wall 41 and a second reference irradiation unit 22 </ b> A installed on the second side wall 42. In addition, although this figure is typically shown with the structure which is not mutually connected, in order to show that the ceiling part 2, the floor part 3, and the side wall 4 can each deform | transform independently, ceiling part is actually shown. 2, the floor part 3 and the side wall 4 are integrally formed.

なお、以下の説明において、床部3に配置された基準受光部13の中心を原点oとする床部3のxy座標を考える。この場合、基準受光部13そのものの座標をx座標とする。この基準受光部13によって検出される変位を基準変位(x、y)と呼ぶ。 In the following description, the xy coordinates of the floor 3 with the origin o as the center of the reference light receiving unit 13 disposed on the floor 3 will be considered. In this case, the coordinates of the reference light receiving unit 13 itself are set to x 1 y 1 coordinates. The displacement detected by the reference light receiving unit 13 is referred to as a reference displacement (x 1 , y 1 ).

参照受光部30Aは、x軸上に配置され第1参照光LR1を受光する第1参照受光部31Aと、y軸上に配置され第2参照光LRを受光する第2参照受光部32Aとからなる。本図に示すように、第1参照受光部31Aそのものの座標をx座標、第2参照受光部32Aそのものの座標をx座標とする。この第1参照受光部31Aで検出される変位を第1参照変位(x、y)、第2参照受光部32Aで検出される変位を第2参照変位(x、y)とそれぞれ呼ぶ。 The reference light receiving unit 30A includes a first reference light receiving unit 31A that is disposed on the x axis and receives the first reference light LR1, and a second reference light receiving unit 32A that is disposed on the y axis and receives the second reference light LR. Become. As shown in the figure, the coordinates of the first reference light receiving unit 31A itself are x 2 y 2 coordinates, and the coordinates of the second reference light receiving unit 32A itself are x 3 y 3 coordinates. The displacement detected by the first reference light receiving unit 31A is the first reference displacement (x 2 , y 2 ), and the displacement detected by the second reference light receiving unit 32A is the second reference displacement (x 3 , y 3 ). Call.

本実施形態の場合、第1参照受光部31Aと第2参照受光部32Aと参照レンズ40とは、基準受光部13および基準レンズ14と共に、変位検出部16に設けられている。参照レンズ40は、光軸が第1側壁41、第2側壁42にそれぞれ直交するように保持されている。第1参照受光部31Aと第2参照受光部32Aとは、受光面が参照レンズ40に対向するように筐体17に保持されている。第1参照受光部31Aと第1参照照射部21Aとの距離、および第2参照受光部32Aと第2参照照射部22Aとの距離は、それぞれlとする。lの長さは、側壁4のz軸方向の変位が0と仮定できる程度に十分大きいものとする。   In the case of the present embodiment, the first reference light receiving unit 31 </ b> A, the second reference light receiving unit 32 </ b> A, and the reference lens 40 are provided in the displacement detection unit 16 together with the reference light receiving unit 13 and the reference lens 14. The reference lens 40 is held so that the optical axes are orthogonal to the first side wall 41 and the second side wall 42, respectively. The first reference light receiving unit 31 </ b> A and the second reference light receiving unit 32 </ b> A are held by the housing 17 so that the light receiving surface faces the reference lens 40. The distance between the first reference light receiving unit 31A and the first reference irradiation unit 21A and the distance between the second reference light receiving unit 32A and the second reference irradiation unit 22A are each set to l. The length of l is sufficiently large so that the displacement of the side wall 4 in the z-axis direction can be assumed to be zero.

このように配置された第1参照照射部21Aは、床部表面に略平行に第1参照光LR1を第1参照受光部31Aに向かって照射する。第2参照照射部22Aは、床部表面に略平行に第2参照光LR2を第2参照受光部32Aに向かって照射する。   21 A of 1st reference irradiation parts arrange | positioned in this way irradiate 1 A reference light LR1 toward 31 A of 1st reference light substantially parallel to a floor part surface. The second reference irradiator 22A irradiates the second reference light LR2 toward the second reference light receiver 32A substantially parallel to the floor surface.

これにより、変位検出部16は、第1参照照射部21Aから照射された第1参照光LR1を参照レンズ40によって第1参照受光部31Aに集光させ得るように構成されている。また、変位検出部16は、第2参照照射部22Aから照射された第2参照光LR2を参照レンズ40によって第2参照受光部32Aに集光させ得るように構成されている。   Thereby, the displacement detection part 16 is comprised so that the 1st reference light LR1 irradiated from 21 A of 1st reference irradiation parts can be condensed on 31 A of 1st reference light receivers with the reference lens 40. FIG. Further, the displacement detection unit 16 is configured so that the second reference light LR2 irradiated from the second reference irradiation unit 22A can be condensed on the second reference light receiving unit 32A by the reference lens 40.

なお、原点oを通りxy座標に直交する軸をz軸とする。天井部2と床部3の相対的なねじれ回転の角度は、z軸回りを正としてψと表記する。また、床部3の回転角度は、x軸周りの回転角度をθ、y軸周りの回転角度をθと表記する。 Note that an axis passing through the origin o and orthogonal to the xy coordinates is defined as a z-axis. The relative torsional rotation angle between the ceiling part 2 and the floor part 3 is expressed as ψ with the z axis being positive. Further, regarding the rotation angle of the floor 3, the rotation angle around the x axis is expressed as θ x , and the rotation angle around the y axis is expressed as θ y .

(作用および効果)
本実施形態に係る変位計測装置1Aの作用および効果について説明する。天井部2に基準照射部12を設置すると共に、第1側壁41に第1参照照射部21Aを、第2側壁42に第2参照照射部22Aをそれぞれ設置する。また、床部3に変位検出部16を配置する。この場合、変位検出部16は、第1側壁41と第2側壁42とで形成される角部の近傍であって、第1参照受光部31Aを第1側壁41に設けられた第1参照照射部21Aに対向させ、第2参照受光部32Aを第2側壁42に設けられた第2参照照射部22Aに対向させた状態で配置される。
(Function and effect)
The operation and effect of the displacement measuring apparatus 1A according to the present embodiment will be described. The reference irradiation unit 12 is installed on the ceiling 2, the first reference irradiation unit 21 </ b> A is installed on the first side wall 41, and the second reference irradiation unit 22 </ b> A is installed on the second side wall 42. Further, the displacement detector 16 is disposed on the floor 3. In this case, the displacement detection unit 16 is in the vicinity of a corner formed by the first side wall 41 and the second side wall 42, and the first reference light receiving unit 31 </ b> A is provided on the first side wall 41. The second reference light receiving unit 32A is disposed in a state of facing the portion 21A and facing the second reference irradiation unit 22A provided on the second side wall 42.

図示しない電源をオンすることにより、基準照射部12は基準光LSを照射する。また、第1参照照射部21Aは第1参照光LR1を照射する。さらに、第2参照照射部22Aは第2参照光LR2を照射する。   By turning on a power source (not shown), the reference irradiation unit 12 emits the reference light LS. The first reference irradiation unit 21A emits the first reference light LR1. Further, the second reference irradiation unit 22A emits the second reference light LR2.

基準照射部12から照射された基準光LSは、鉛直下方に向かって放射状に照射される。この基準光LSは、基準レンズ14を通過して基準受光部13で受光され基準受光位置13Pとして検出される。   The reference light LS emitted from the reference irradiation unit 12 is emitted radially downward. The reference light LS passes through the reference lens 14 and is received by the reference light receiving unit 13 and detected as a reference light receiving position 13P.

また、第1参照照射部21Aから照射された第1参照光LR1は、第1側壁41から床部3に対し略平行であって放射状に照射される。この第1参照光LR1は対応する参照レンズ40を通過して第1参照受光部31Aで受光され第1参照受光位置31Pとして検出される。   Further, the first reference light LR1 irradiated from the first reference irradiation unit 21A is irradiated in a radial manner from the first side wall 41 to the floor 3 in a substantially parallel manner. The first reference light LR1 passes through the corresponding reference lens 40, is received by the first reference light receiving unit 31A, and is detected as the first reference light receiving position 31P.

さらに、第2参照照射部22Aから照射された第2参照光LR2は、床部3に対し略平行であって放射状に照射される。この第2参照光LR2は対応する参照レンズ40を通過して第2参照受光部32Aで受光され第2参照受光位置32Pとして検出される。   Further, the second reference light LR2 irradiated from the second reference irradiation unit 22A is irradiated in a radial manner substantially parallel to the floor 3. The second reference light LR2 passes through the corresponding reference lens 40 and is received by the second reference light receiving unit 32A and detected as the second reference light receiving position 32P.

この状態で、層間変位、および床部3に回転方向の変位が生じたとすると、変位検出部16において、基準受光位置13P、第1参照受光位置31P、および第2参照受光位置32Pもそれぞれ移動する。これにより、変位検出部16は、基準受光位置13Pの移動量から基準変位(x、y)を検出し、第1参照受光位置31Pの移動量から第1参照変位(x、y)を検出し、第2参照受光位置32Pの移動量から第2参照変位(x、y)を検出する。 In this state, if an interlayer displacement and a displacement in the rotational direction occur in the floor 3, the displacement detection unit 16 also moves the reference light receiving position 13P, the first reference light receiving position 31P, and the second reference light receiving position 32P, respectively. . Thereby, the displacement detection unit 16 detects the reference displacement (x 1 , y 1 ) from the movement amount of the reference light receiving position 13P, and the first reference displacement (x 2 , y 2 ) from the movement amount of the first reference light receiving position 31P. ) And the second reference displacement (x 3 , y 3 ) is detected from the amount of movement of the second reference light receiving position 32P.

このようにして検出された基準変位(x、y)、第1参照変位(x、y)、および第2参照変位(x、y)から、算出部9は、層間変位と角度誤差を分離する。これにより、変位計測装置1Aは、より正確な層間変位を計測することができる。なお、x軸方向の層間変位をδ、y軸方向の層間変位をδとする。 From the reference displacement (x 1 , y 1 ), the first reference displacement (x 2 , y 2 ), and the second reference displacement (x 3 , y 3 ) thus detected, the calculation unit 9 calculates the interlayer displacement. And angular error are separated. Thereby, 1 A of displacement measuring apparatuses can measure a more exact interlayer displacement. Note that the interlayer displacement in the x-axis direction is δ x , and the interlayer displacement in the y-axis direction is δ y .

なお、本実施形態の場合、基準照射部12、第1参照照射部21A、および第2参照照射部22Aは、照射部として拡散光を照射する光源が用いられていることにより、照射部の設置箇所すなわち天井部2および側壁4の回転を無視し得る構成とした。したがって、変位計測装置1Aは、床部3の角度誤差のみを基準変位(x、y)から分離することにより、より正確に層間変位を計測することができる。 In the case of the present embodiment, the reference irradiating unit 12, the first reference irradiating unit 21A, and the second reference irradiating unit 22A are provided with an irradiating unit by using a light source that irradiates diffused light. It was set as the structure which can disregard rotation of a location, ie, the ceiling part 2, and the side wall 4. Therefore, the displacement measuring apparatus 1A can measure the interlayer displacement more accurately by separating only the angular error of the floor 3 from the reference displacement (x 1 , y 1 ).

層間変位δおよびδを計測する手順について、以下、具体的に説明する。なお、基準受光部13の受光面と床部表面の間の距離は、天井部2と床部3の距離に比較して微少であるので、実際上、受光面と床部表面は一致しているものとして考える。また、側壁4はz軸方向に変位しないものとする。 The procedure for measuring the interlayer displacements δ x and δ y will be specifically described below. In addition, since the distance between the light receiving surface of the reference light receiving unit 13 and the floor surface is very small compared to the distance between the ceiling 2 and the floor 3, the light receiving surface and the floor surface are actually coincident. Think of it as being. The side wall 4 is not displaced in the z-axis direction.

(基準変位)
基準受光部13で検出される基準変位(x、y)について説明する。図3は、変位が生じる前の床部3の模式図(xz座標)である。この場合の基準受光位置13Pを原点oとする。この状態で、床部3がy軸を中心として角度θだけ回転した場合は、図4に示すように、基準照射部12がHθだけ相対変位した状態と同様に考えることができる。そうすると、基準受光位置13Pは、基準レンズ14の焦点距離による倍率をb/aとすると、x方向に[b/a×(Hθ)]だけ移動する。
(Reference displacement)
The reference displacement (x 1 , y 1 ) detected by the reference light receiving unit 13 will be described. FIG. 3 is a schematic diagram (xz coordinates) of the floor 3 before the displacement occurs. The reference light receiving position 13P in this case is set as the origin o. In this state, when the floor 3 rotates about the y-axis by the angle θ y , it can be considered as in the state where the reference irradiation unit 12 is relatively displaced by Hθ y as shown in FIG. Then, the reference light receiving position 13P moves by [b / a × (Hθ y )] in the x direction when the magnification by the focal length of the reference lens 14 is b / a.

したがって、x方向の基準変位xは、次式で表される。 Accordingly, reference displacement x 1 of the x-direction is expressed by the following equation.

Figure 0005610427
Figure 0005610427

同様に、床部3がx軸を中心として角度θだけ回転した場合は、基準照射部12がHθだけ相対変位した状態と同様に考えることができる。そうすると、基準受光位置13Pは、基準レンズ14の焦点距離による倍率をb/aとするとy方向に[b/a×(Hθ)]だけ移動する。 Similarly, when the floor 3 rotates about the x-axis by an angle θ x , it can be considered as if the reference irradiation unit 12 is relatively displaced by Hθ x . Then, the reference light receiving position 13P moves by [b / a × (Hθ x )] in the y direction when the magnification by the focal length of the reference lens 14 is b / a.

したがって、y方向の基準変位yは、次式で表される。 Accordingly, reference displacement y 1 in the y direction is expressed by the following equation.

Figure 0005610427
Figure 0005610427

(参照変位)
まず、第1参照受光部31Aで検出される第1参照変位(x、y)について説明する。層間変位をδおよびδ、y軸を中心とする回転角度をθ、z軸を中心とする回転角度をψ、第1参照照射部21Aと第1参照受光部31Aとの距離をl、参照レンズ40の焦点距離による倍率をb’/a’とする。床部3がy軸を中心として角度θだけ回転した場合は、第1参照照射部21Aがlθだけ相対変位した状態と同様に考えることができる。また、天井部2がz軸を中心として角度ψだけ回転した場合は、第1参照照射部21Aが(c/H)・lψだけ相対変位した状態と同様に考えることができる。なお、cは床部表面と第1参照照射部21Aの距離である。この場合、第1参照変位(x、y)は、次式で表される。
(Reference displacement)
First, the first reference displacement (x 2 , y 2 ) detected by the first reference light receiving unit 31A will be described. Interlayer displacements are δ x and δ y , the rotation angle about the y axis is θ y , the rotation angle about the z axis is ψ, and the distance between the first reference irradiation unit 21A and the first reference light receiving unit 31A is l The magnification according to the focal length of the reference lens 40 is b ′ / a ′. When the floor 3 rotates about the y axis by an angle θ y , it can be considered in the same manner as the state where the first reference irradiation unit 21A is relatively displaced by lθ y . Further, when the ceiling portion 2 is rotated by an angle ψ about the z axis, it can be considered in the same manner as the state in which the first reference irradiation portion 21A is relatively displaced by (c / H) · lψ. C is the distance between the floor surface and the first reference irradiation unit 21A. In this case, the first reference displacement (x 2 , y 2 ) is expressed by the following equation.

Figure 0005610427
Figure 0005610427

次に、第2参照受光部32Aで検出される第2参照変位(x、y)について説明する。層間変位をδおよびδ、y軸を中心とする回転角度をθ、z軸を中心とする回転角度をψ、第2参照照射部22Aと第2参照受光部32Aとの距離をl、参照レンズ40の焦点距離による倍率をb’/a’とする。床部3がx軸を中心として角度θだけ回転した場合は、第1参照照射部21Aがlθだけ相対変位した状態と同様に考えることができる。また、天井部2がz軸を中心として角度ψだけ回転した場合は、第2参照照射部22Aが(c/H)・lψだけ相対変位した状態と同様に考えることができる。なお、cは床部表面と第2参照照射部22Aの距離である。この場合、第2参照変位(x、y)は、次式で表される。 Next, the second reference displacement (x 3 , y 3 ) detected by the second reference light receiving unit 32A will be described. Interlayer displacements are δ x and δ y , a rotation angle about the y axis is θ y , a rotation angle about the z axis is ψ, and the distance between the second reference irradiation unit 22A and the second reference light receiving unit 32A is l The magnification according to the focal length of the reference lens 40 is b ′ / a ′. When the floor 3 rotates about the x axis by an angle θ x , it can be considered in the same manner as the state where the first reference irradiation unit 21A is relatively displaced by lθ x . Further, when the ceiling 2 is rotated about the z axis by an angle ψ, it can be considered in the same manner as the state in which the second reference irradiation unit 22A is relatively displaced by (c / H) · lψ. C is the distance between the floor surface and the second reference irradiation unit 22A. In this case, the second reference displacement (x 3 , y 3 ) is expressed by the following equation.

Figure 0005610427
Figure 0005610427

以上の式からδ、δ、θ、θ、ψをそれぞれ算出することにより、変位計測装置1Aは基準変位(x、y)から層間変位δおよびδを分離することができる。 By calculating δ x , δ y , θ x , θ y , and ψ from the above equations, the displacement measuring device 1A separates the interlayer displacements δ x and δ y from the reference displacement (x 1 , y 1 ). Can do.

本実施形態に係る変位計測装置1Aは、天井部2から床部3へ基準光LSを照射して基準変位を計測する基準変位計測部7と、側壁4から床部3へ床部表面に平行に参照光LRを照射して参照変位を計測する参照変位計測部8Aとを備えることにより、基準変位から角度誤差を分離することができるので、天井部2および床部3において局所的な変形が生じた場合にもより正確に層間変位を計測することができる。   1 A of displacement measuring apparatuses which concern on this embodiment are parallel to the floor part surface from the side wall 4 to the floor part 3, and the reference | standard displacement measuring part 7 which irradiates the reference light LS to the floor part 3 from the ceiling part 2, and measures a reference displacement. By providing the reference displacement measuring unit 8A for measuring the reference displacement by irradiating the reference light LR, the angle error can be separated from the standard displacement, so that local deformation in the ceiling 2 and the floor 3 occurs. Even if it occurs, the interlayer displacement can be measured more accurately.

特に変位計測装置1Aは、照射部として拡散光を照射する光源が用いられていることにより、天井部2の回転を無視し得る構成とした。これにより、変位計測装置1Aは、天井部2および床部3において局所的に変形が生じた場合でも、床部3の角度誤差のみを基準変位から分離することにより、精度のよい層間変位を計測することができるので、全体として構成を簡略化することができる。   In particular, the displacement measuring apparatus 1 </ b> A has a configuration in which the rotation of the ceiling part 2 can be ignored by using a light source that emits diffused light as the irradiation part. As a result, the displacement measuring apparatus 1A measures the interlayer displacement with high accuracy by separating only the angular error of the floor 3 from the reference displacement even when the ceiling 2 and the floor 3 are locally deformed. Therefore, the configuration as a whole can be simplified.

また、参照変位計測部8Aは、に接続されてなる第1側壁41および第2側壁42にそれぞれ参照照射部20Aを設け、第1参照変位および第2参照変位をそれぞれ検出し得る構成とした。これにより、変位計測装置1Aは、θおよびθと、層間変位δ、δとをより確実に分離することができるので、より正確に層間変位を計測することができる。 Further, the reference displacement measuring unit 8A has a configuration in which the reference irradiation unit 20A is provided on each of the first side wall 41 and the second side wall 42 that are connected to each other to detect the first reference displacement and the second reference displacement, respectively. Thereby, the displacement measuring apparatus 1A can more reliably separate θ x and θ y and interlayer displacements δ x , δ y, and therefore can measure the interlayer displacement more accurately.

なお、第1参照光LR1および第2参照光LR2は、床部表面に対し略平行に照射される場合について説明したが、本発明はこれに限らず、第1受光部31Aおよび第2受光部32Aの表面に対しそれぞれ垂直であれば床部表面に対し傾いた角度で照射されることとしてもよい。
(2)第2実施形態
本実施形態に係る変位計測装置1Bは、参照変位計測部の構成のみが上記第1実施形態と異なる。すなわち、上記実施形態と同様の構成について同様の符号を付した図5に示すように、参照変位計測部8Bは、変位検出部16に設けられた参照照射部20Bと、側壁4に設けられた参照受光部30Bとからなる。
In addition, although the case where the first reference light LR1 and the second reference light LR2 are irradiated substantially parallel to the floor surface has been described, the present invention is not limited thereto, and the first light receiving unit 31A and the second light receiving unit. If it is perpendicular to the surface of 32A, it may be irradiated at an angle inclined with respect to the floor surface.
(2) Second Embodiment A displacement measuring apparatus 1B according to this embodiment is different from the first embodiment only in the configuration of a reference displacement measuring unit. That is, as shown in FIG. 5 in which the same reference numerals are assigned to the same configurations as those in the above embodiment, the reference displacement measuring unit 8B is provided on the reference irradiation unit 20B provided on the displacement detecting unit 16 and on the side wall 4. It consists of a reference light receiving unit 30B.

参照照射部20Bは、側壁4に向かって床部表面に平行にレーザー光からなる参照光LRを照射し得るように変位検出部16に設けられている。側壁4には、参照光LRを受光する参照受光部30Bが設けられている。因みに、照射部がレーザー光を照射する光源の場合、受光部の設置箇所、この場合側壁4の回転は参照変位に影響を与えないことが実験により確認されている。したがって、本実施形態の場合、側壁4の回転は無視し得る。   The reference irradiation unit 20B is provided in the displacement detection unit 16 so as to be able to irradiate the reference light LR made of laser light in parallel with the floor surface toward the side wall 4. The side wall 4 is provided with a reference light receiving unit 30B that receives the reference light LR. Incidentally, it has been confirmed by experiments that, in the case where the irradiating unit is a light source that emits laser light, the location where the light receiving unit is installed, in this case, the rotation of the side wall 4 does not affect the reference displacement. Therefore, in the present embodiment, the rotation of the side wall 4 can be ignored.

図6に示すように、第1参照照射部21Bと第2参照照射部22Bとは、床部3に配置された変位検出部16に設けられている。第1参照照射部21Bは、第1側壁41に向かって第1参照光LR1を照射し得るように構成されている。また、第2参照照射部22Bは、第2側壁42に向かって第1参照光LR1を照射し得るように構成されている。なお、本図は、天井部2、床部3、側壁4がそれぞれ独立して変形し得ることを示すために互いに連結されていない構成で模式的に示されているが、実際上は天井部2、床部3、側壁4が一体的に形成されている。   As shown in FIG. 6, the first reference irradiation unit 21 </ b> B and the second reference irradiation unit 22 </ b> B are provided in the displacement detection unit 16 disposed on the floor 3. The first reference irradiation unit 21B is configured to be able to irradiate the first reference light LR1 toward the first side wall 41. The second reference irradiation unit 22B is configured to be able to irradiate the first reference light LR1 toward the second side wall 42. In addition, although this figure is typically shown with the structure which is not mutually connected, in order to show that the ceiling part 2, the floor part 3, and the side wall 4 can each deform | transform independently, ceiling part is actually shown. 2, the floor part 3 and the side wall 4 are integrally formed.

基準受光部13の中心を原点oとするxy座標において、参照受光部30Bは、x軸上の第1側壁41に配置され第1参照光LR1を受光する第1参照受光部31Bと、y軸上の第2側壁42に配置され、第2参照光LR2を受光する第2参照受光部32Bとからなる。   In the xy coordinates with the center of the reference light receiving unit 13 as the origin o, the reference light receiving unit 30B is disposed on the first side wall 41 on the x axis, and the first reference light receiving unit 31B that receives the first reference light LR1, and the y axis The second reference light receiving unit 32B is disposed on the second side wall 42 and receives the second reference light LR2.

本図に示すように、第1参照受光部31Bそのものの座標をx座標、第2参照受光部32Bそのものの座標をx座標とする。この第1参照受光部31Bで検出される変位を第1参照変位(x、y)、第2参照受光部32Bで検出される変位を第2参照変位(x、y)とそれぞれ呼ぶ。 As shown in the figure, the coordinates of the first reference light receiving unit 31B itself are x 2 y 2 coordinates, and the coordinates of the second reference light receiving unit 32B itself are x 3 y 3 coordinates. The displacement detected by the first reference light receiving unit 31B is the first reference displacement (x 2 , y 2 ), and the displacement detected by the second reference light receiving unit 32B is the second reference displacement (x 3 , y 3 ). Call.

この場合、第1参照変位(x、y)、第2参照変位(x、y)は、それぞれ次式で表される。 In this case, the first reference displacement (x 2 , y 2 ) and the second reference displacement (x 3 , y 3 ) are respectively expressed by the following equations.

Figure 0005610427
Figure 0005610427

本実施形態に係る変位計測装置1Bは、基準変位を計測する基準変位計測部7と、参照変位を計測する参照変位計測部8Bとを備えるので、上記第1実施形態と同様の効果を得ることができる。
(3)第3実施形態
本実施形態に係る変位計測装置1Cは、参照変位計測部の構成のみが上記第1実施形態と異なる。すなわち、上記実施形態と同様の構成について同様の符号を付した図7に示すように、参照変位計測部8Cは、照射部としての参照照射部20Cと、受光部としての参照受光部30Cとを有する。参照照射部20Cは、第1参照光LR1と、第1参照光LR1に対し所定角度αだけ傾けた第2参照光LR2および第3参照光LR3(本図には図示しない)を照射し得る様に構成されている。参照受光部30Cは、レンズとしての参照レンズ40を通過した各参照光LRを垂直に受光するように変位検出部16に設けられている。
Since the displacement measuring apparatus 1B according to the present embodiment includes the reference displacement measuring unit 7 that measures the reference displacement and the reference displacement measuring unit 8B that measures the reference displacement, the same effect as the first embodiment can be obtained. Can do.
(3) Third Embodiment A displacement measuring apparatus 1C according to the present embodiment is different from the first embodiment only in the configuration of the reference displacement measuring unit. That is, as shown in FIG. 7 in which the same reference numerals are given to the same configurations as those in the above embodiment, the reference displacement measuring unit 8C includes a reference irradiation unit 20C as an irradiation unit and a reference light receiving unit 30C as a light receiving unit. Have. The reference irradiation unit 20C can irradiate the first reference light LR1, the second reference light LR2 and the third reference light LR3 (not shown in the drawing) inclined by a predetermined angle α with respect to the first reference light LR1. It is configured. The reference light receiving unit 30C is provided in the displacement detection unit 16 so as to vertically receive each reference light LR that has passed through a reference lens 40 as a lens.

参照変位計測部8Cの構成について、図8を参照してさらに詳細に説明する。参照照射部20Cは、水平方向に第1参照光LR1を照射する第1参照照射部21Cと、第2参照光LR2を照射する第2参照照射部22Cと、第3参照光LR3を照射する第3参照照射部23Cとからなる。なお、本実施形態の場合、第1参照照射部21C、第2参照照射部22C、および第3参照照射部23Cは、拡散光を照射するLEDが用いられている。   The configuration of the reference displacement measuring unit 8C will be described in more detail with reference to FIG. The reference irradiation unit 20C includes a first reference irradiation unit 21C that irradiates the first reference light LR1 in the horizontal direction, a second reference irradiation unit 22C that irradiates the second reference light LR2, and a third reference light LR3. 3 reference irradiation unit 23C. In the case of the present embodiment, the first reference irradiation unit 21C, the second reference irradiation unit 22C, and the third reference irradiation unit 23C use LEDs that emit diffused light.

本図において、第1参照照射部21Cを設置する側壁4の位置を原点Oとする側壁表面のZY座標を考える。第2参照照射部22Cは、ZY座標のZ軸上に設置される。また、第3参照照射部23Cは、Y軸上に設置される。ZY座標において、第2参照照射部22Cの位置を(d,0)、第3参照照射部23Cの位置を(0,d)とする。 In this figure, consider the ZY coordinates of the side wall surface with the origin O as the position of the side wall 4 where the first reference irradiation unit 21C is installed. The second reference irradiation unit 22C is installed on the Z axis of the ZY coordinate. The third reference irradiation unit 23C is installed on the Y axis. In the ZY coordinates, the position of the second reference irradiation unit 22C is (d 0 , 0), and the position of the third reference irradiation unit 23C is (0, d 0 ).

また、参照受光部30Cは、第1参照光LR1を受光する第1参照受光部31Cと、第2参照光LR2を受光する第2参照受光部32Cと、第3参照光LR3を受光する第3参照受光部33Cとからなる。原点Oと平行な床部表面上の点であって第1参照受光部31Cを設置する位置を原点oとする側壁表面のZY座標に平行なzy座標を考える。第2参照受光部32Cは、zy座標のz軸上に設置される。第3参照受光部33Cは、y軸上に設置される。zy座標において、第2参照受光部32Cの位置を(−l,0)、第3参照受光部33Cの位置を(0,−l)とする。なお、参照受光部30Cと参照照射部20Cの距離は、hとする。第1参照受光部31Cで検出される変位を第1参照変位(z、y)、第2参照受光部32Cで検出される変位を第2参照変位(z、y)、第3参照受光部33Cで検出される変位を第3参照変位(z、y)とそれぞれ呼ぶ。 The reference light receiving unit 30C receives the first reference light receiving unit 31C that receives the first reference light LR1, the second reference light receiving unit 32C that receives the second reference light LR2, and the third reference light LR3. It consists of a reference light receiving part 33C. Consider a zy coordinate that is a point on the floor surface parallel to the origin O and parallel to the ZY coordinate of the side wall surface with the position where the first reference light receiving unit 31C is installed as the origin o. The second reference light receiving unit 32C is installed on the z axis of the zy coordinates. The third reference light receiving unit 33C is installed on the y axis. In the zy coordinates, the position of the second reference light receiving unit 32C is (−l 0 , 0), and the position of the third reference light receiving unit 33C is (0, −l 0 ). The distance between the reference light receiving unit 30C and the reference irradiation unit 20C is h. The displacement detected by the first reference light receiving unit 31C is the first reference displacement (z 2 , y 2 ), the displacement detected by the second reference light receiving unit 32C is the second reference displacement (z 3 , y 3 ), and the third The displacement detected by the reference light receiving unit 33C is referred to as a third reference displacement (z 4 , y 4 ).

本実施形態の場合、第1参照受光部31Cと第2参照受光部32Cと第3参照受光部33Cと参照レンズ40とは、基準受光部13と基準レンズ14と共に、変位検出部16に設けられている。   In the present embodiment, the first reference light receiving unit 31C, the second reference light receiving unit 32C, the third reference light receiving unit 33C, and the reference lens 40 are provided in the displacement detection unit 16 together with the reference light receiving unit 13 and the reference lens 14. ing.

参照レンズ40は、第1参照受光部31Cと対となる第1参照レンズ51と、第2参照受光部32Cと対となる第2参照レンズ52と、第3参照受光部33Cと対となる第3参照レンズ53とからなる。第2参照レンズ52と第3参照レンズ53とは、光軸が第1参照光LR1に対し角度αだけ傾けた状態で保持されている。   The reference lens 40 includes a first reference lens 51 that is paired with the first reference light receiving unit 31C, a second reference lens 52 that is paired with the second reference light receiving unit 32C, and a third reference light receiving unit 33C that is paired with the third reference light receiving unit 33C. 3 reference lens 53. The second reference lens 52 and the third reference lens 53 are held in a state where the optical axis is inclined by an angle α with respect to the first reference light LR1.

第2参照受光部32Cと第3参照受光部33Cとは、受光面が参照レンズ40に対向するように角度αだけ傾けた状態で固定されている。すなわち、第1参照受光部31Cは受光面がz軸に対し角度αだけ傾けた状態で固定されている。また、第2参照受光部32Cは受光面がy軸に対し角度αだけ傾けた状態で固定されている。   The second reference light receiving unit 32C and the third reference light receiving unit 33C are fixed in a state where the light receiving surface is inclined by an angle α so that the light receiving surface faces the reference lens 40. That is, the first reference light receiving unit 31C is fixed in a state where the light receiving surface is inclined by an angle α with respect to the z axis. The second reference light receiving unit 32C is fixed in a state where the light receiving surface is inclined by an angle α with respect to the y axis.

第2参照照射部22Cは、第1参照光LR1に対し角度αだけ傾いた第2参照光LR2をz軸上の第2参照受光部32Cに向かって照射する。また、第3参照照射部23Cは、第1参照光LR1に対し角度αだけ傾いた第3参照光LR3をy軸上の第3参照受光部33Cに向かって照射する。   The second reference irradiator 22C irradiates the second reference light LR2 inclined by the angle α with respect to the first reference light LR1 toward the second reference light receiver 32C on the z axis. Further, the third reference irradiation unit 23C irradiates the third reference light receiving unit 33C on the y axis with the third reference light LR3 inclined by the angle α with respect to the first reference light LR1.

これにより、変位検出部16は、第1参照照射部21Cから照射された第1参照光LR1を第1参照レンズ51によって第1参照受光部31Cに集光させ得るように構成されている。また、変位検出部16は、第2参照照射部22Cから照射された第2参照光LR2を第2参照レンズ52によって第2参照受光部32Cに集光させ得るように構成されている。さらに、変位検出部16は、第3参照照射部23Cから照射された第3参照光LR3を第3参照レンズ53によって第3参照受光部33Cに集光させ得るように構成されている。
(作用および効果)
本実施形態に係る変位計測装置1Cの作用および効果について説明する。なお、以下では本実施形態の特徴的部分である参照変位計測部8Cの作用および効果について主に説明する。
Accordingly, the displacement detection unit 16 is configured to be able to focus the first reference light LR1 irradiated from the first reference irradiation unit 21C on the first reference light receiving unit 31C by the first reference lens 51. Further, the displacement detector 16 is configured so that the second reference light LR2 emitted from the second reference irradiator 22C can be condensed on the second reference light receiver 32C by the second reference lens 52. Further, the displacement detection unit 16 is configured so that the third reference light LR3 irradiated from the third reference irradiation unit 23C can be condensed on the third reference light receiving unit 33C by the third reference lens 53.
(Function and effect)
The operation and effect of the displacement measuring apparatus 1C according to the present embodiment will be described. Hereinafter, the operation and effect of the reference displacement measuring unit 8C, which is a characteristic part of the present embodiment, will be mainly described.

天井部2に基準照射部12を設置すると共に、側壁4に第1参照照射部21Cと第2参照照射部22Cと第3参照照射部23Cとを設置する。さらに、床部3に変位検出部16を配置する。図示しない電源をオンすることにより、基準照射部12は基準光LSを照射する。また、第1参照照射部21Cは第1参照光LR1を照射する。第2参照照射部22Cは第2参照光LR2を照射する。第3参照照射部23Cは第3参照光LR3を照射する。   The reference irradiation unit 12 is installed on the ceiling 2, and the first reference irradiation unit 21 </ b> C, the second reference irradiation unit 22 </ b> C, and the third reference irradiation unit 23 </ b> C are installed on the side wall 4. Further, the displacement detector 16 is disposed on the floor 3. By turning on a power source (not shown), the reference irradiation unit 12 emits the reference light LS. The first reference irradiation unit 21C emits the first reference light LR1. The second reference irradiation unit 22C emits the second reference light LR2. The third reference irradiation unit 23C emits the third reference light LR3.

第1参照照射部21Cから照射された第1参照光LR1は、水平方向に照射される。この第1参照光LR1は第1参照レンズ51を通過して第1参照受光部31Cで受光され第1参照受光位置31Pとして検出される。   The first reference light LR1 irradiated from the first reference irradiation unit 21C is irradiated in the horizontal direction. The first reference light LR1 passes through the first reference lens 51, is received by the first reference light receiving unit 31C, and is detected as the first reference light receiving position 31P.

また、第2参照照射部22Cから照射された第2参照光LR2は、第1参照光LR1に対し角度αだけ傾いた方向に放射状に照射される。この第2参照光LR2は第2参照レンズ52を通過して第2参照受光部32Cで受光され第2参照受光位置32Pとして検出される。   Further, the second reference light LR2 irradiated from the second reference irradiation unit 22C is irradiated radially in a direction inclined by an angle α with respect to the first reference light LR1. The second reference light LR2 passes through the second reference lens 52, is received by the second reference light receiving unit 32C, and is detected as the second reference light receiving position 32P.

さらに、第3参照照射部23Cから照射された第3参照光LR3は、第1参照光LR1に対し角度αだけ傾いた方向に放射状に照射される。この第3参照光LR3は第3参照レンズ53を通過して第3参照受光部33Cで受光され第3参照受光位置33Pとして検出される。   Further, the third reference light LR3 irradiated from the third reference irradiation unit 23C is irradiated radially in a direction inclined by an angle α with respect to the first reference light LR1. The third reference light LR3 passes through the third reference lens 53, is received by the third reference light receiving unit 33C, and is detected as the third reference light receiving position 33P.

この状態で、層間変位、および天井部2にz軸に関する回転方向の変位が生じたとすると、変位検出部16において、第1参照受光位置31P、第2参照受光位置32P、および第3参照受光位置33Pもそれぞれ移動する。これにより、変位検出部16は、基準受光位置13Pの移動量から第1参照変位(z、y)を検出し、第2参照受光位置32Pの移動量から第2参照変位(z、y)を検出し、第3参照受光位置33Pの移動量から第3参照変位(z、y)を検出する。なお、上記したとおり、天井部2のz軸に関する回転以外の回転は無視し得る。 In this state, if an interlayer displacement and a displacement in the rotational direction with respect to the z-axis occur in the ceiling portion 2, the displacement detection unit 16 uses the first reference light receiving position 31P, the second reference light receiving position 32P, and the third reference light receiving position. 33P also moves. Thereby, the displacement detector 16 detects the first reference displacement (z 2 , y 2 ) from the movement amount of the reference light receiving position 13P, and the second reference displacement (z 3 , y 2 ) from the movement amount of the second reference light receiving position 32P. y 3 ) is detected, and the third reference displacement (z 4 , y 4 ) is detected from the amount of movement of the third reference light receiving position 33P. As described above, the rotation other than the rotation about the z-axis of the ceiling portion 2 can be ignored.

このようにして検出された第1参照変位(z、y)、第2参照変位(z、y)、および第3参照変位(z、y)から、算出部9は、層間変位と角度誤差を分離する。これにより、変位計測装置1Cは、より正確な層間変位を計測することができる。 From the first reference displacement (z 2 , y 2 ), the second reference displacement (z 3 , y 3 ), and the third reference displacement (z 4 , y 4 ) thus detected, the calculation unit 9 Separates the interlayer displacement from the angular error. Thereby, 1 C of displacement measuring devices can measure a more exact interlayer displacement.

なお、本実施形態の場合、第1参照照射部21C、第2参照照射部22C、および第3参照照射部23Cは、照射部6として拡散光を照射する光源が用いられていることにより、側壁4の回転を無視し得る構成とした。したがって、参照変位計測部8Cは、第1参照変位(z、y)、第2参照変位(z、y)、および第3参照変位(z、y)から、側壁4に対する床部3の相対変位を算出することにより角度誤差を算出し得る。これにより、変位計測装置1Cは、角度誤差を基準変位(x、y)から分離することにより、より正確に層間変位を計測することができる。 In the case of the present embodiment, the first reference irradiation unit 21C, the second reference irradiation unit 22C, and the third reference irradiation unit 23C have sidewalls by using a light source that emits diffused light as the irradiation unit 6. The rotation of 4 was negligible. Therefore, the reference displacement measurement unit 8C is configured to apply the first reference displacement (z 2 , y 2 ), the second reference displacement (z 3 , y 3 ), and the third reference displacement (z 4 , y 4 ) to the side wall 4. The angle error can be calculated by calculating the relative displacement of the floor 3. Thereby, the displacement measuring apparatus 1C can measure the interlayer displacement more accurately by separating the angular error from the reference displacement (x 1 , y 1 ).

層間変位δおよびδを計測する手順について、以下、具体的に説明する。なお、基準受光部13の受光面と床部表面の間の距離は、天井部2と床部3との距離に比較して微少であるので、実際上、受光面と床部3の表面とは一致しているものとして考える。また、基準変位については上記第1実施形態と同様であるので、説明を省略する。 The procedure for measuring the interlayer displacements δ x and δ y will be specifically described below. Note that the distance between the light receiving surface of the reference light receiving unit 13 and the floor surface is very small compared to the distance between the ceiling 2 and the floor 3, so in practice, the distance between the light receiving surface and the surface of the floor 3 is Are considered to be in agreement. Further, since the reference displacement is the same as that of the first embodiment, description thereof is omitted.

(第1参照変位)
第1参照受光部31Cで検出される第1参照変位(z、y)について説明する。床部3がy軸を中心として角度θだけ回転した場合は、第1参照照射部21Cがhθだけ相対変位した状態と同様に考えることができる。そうすると、第1参照受光位置31Pは、第1参照レンズ51の焦点距離による倍率をb’/a’とすると、z方向に[b’/a’×(hθ)]だけ移動する。
(First reference displacement)
The first reference displacement (z 2 , y 2 ) detected by the first reference light receiving unit 31C will be described. When the floor 3 is rotated about the y axis by an angle θ y , it can be considered in the same manner as the state in which the first reference irradiation unit 21C is relatively displaced by hθ y . Then, the first reference light receiving position 31P moves by [b ′ / a ′ × (hθ y )] in the z direction when the magnification according to the focal length of the first reference lens 51 is b ′ / a ′.

したがって、z方向の第1参照変位zは、z軸方向の相対変位をδとすると、次式で表される。 Accordingly, the first reference displacement z 2 in the z-direction, when the relative displacement in the z-axis direction and [delta] z, is expressed by the following equation.

Figure 0005610427
Figure 0005610427

同様に、層間変位をδ、天井部2がz軸を中心として角度ψだけ回転した場合は、第1参照照射部21Cがhψだけ相対変位した状態と同様に考えることができる。そうすると、第1参照受光位置31Pは、第1参照レンズ51の焦点距離による倍率をb’/a’とするとy方向に[b’/a’×(c/H)・(hψ)]だけ移動する。なお、cは床部表面と第1参照照射部21Cの距離である。 Similarly, when the interlayer displacement is δ y and the ceiling 2 is rotated by an angle ψ about the z-axis, it can be considered in the same manner as the state in which the first reference irradiation unit 21C is relatively displaced by hψ. Then, the first reference light receiving position 31P moves by [b ′ / a ′ × (c / H) · (hψ)] in the y direction when the magnification according to the focal length of the first reference lens 51 is b ′ / a ′. To do. Here, c is the distance between the floor surface and the first reference irradiation unit 21C.

したがって、y方向の第1参照変位yは、次式で表される。 Accordingly, the first reference displacement y 2 in the y direction is expressed by the following equation.

Figure 0005610427
Figure 0005610427

(第2参照変位)
次に、第2参照受光部32Cで検出される第2参照変位(z、y)について説明する。y軸を中心とする回転角度をθ、第1参照受光部31Cと第2参照受光部32Cとの距離をl、第2参照レンズ52の焦点距離による倍率をb’’/a’’とする。
(Second reference displacement)
Next, the second reference displacement (z 3 , y 3 ) detected by the second reference light receiving unit 32C will be described. The rotation angle about the y-axis is θ y , the distance between the first reference light receiving unit 31C and the second reference light receiving unit 32C is l 0 , and the magnification according to the focal length of the second reference lens 52 is b ″ / a ″. And

第2参照照射部22Cと第2参照受光部32Cとの距離は、h/cosαである。床部3がy軸を中心として角度θだけ回転した場合は、第2参照照射部22Cが(hθ/cosα)だけ相対変位した状態と同様に考えることができる。そうすると、第2参照受光位置32Pは、z方向に[b’’/a’’×(hθ/cosα)]だけ移動する。 The distance between the second reference irradiation unit 22C and the second reference light receiving unit 32C is h / cos α. When the floor 3 is rotated about the y-axis by an angle θ y , it can be considered in the same manner as when the second reference irradiation unit 22C is relatively displaced by (hθ y / cos α). Then, the second reference light receiving position 32P moves by [b ″ / a ″ × (hθ y / cos α)] in the z direction.

この場合、z方向の第2参照変位zは、次式で得られる。 In this case, the second reference displacement z 3 in the z direction is obtained by the following equation.

Figure 0005610427
Figure 0005610427

なお、(lsinα・θ)の項は、床部3がy軸を中心として回転したことにより、第2参照受光部32Cがlθだけ移動することによって生じる相対変位である。 Note that the term (l 0 sin α · θ y ) is a relative displacement caused by the movement of the second reference light receiving unit 32C by l 0 θ y due to the rotation of the floor 3 about the y axis.

また、層間変位をδ、z軸を中心とする回転角度をψ、x軸を中心とする回転角度をθ、第1参照受光部31Cと第2参照受光部32Cとの距離をlとする。天井部2がz軸を中心として角度ψだけ回転した場合は、第2参照照射部22Cが(c/H)・hψだけ相対変位した状態と同様に考えることができる。そうすると、第2参照受光位置32Pは、y方向に[b’’/a’’×(c/H)・(hψ)]だけ移動する。なお、cは床部表面と第2参照照射部22Cの距離である。 Further, the interlayer displacement is δ y , the rotation angle about the z axis is ψ, the rotation angle about the x axis is θ x , and the distance between the first reference light receiving unit 31C and the second reference light receiving unit 32C is l 0. And When the ceiling part 2 rotates about the z axis by an angle ψ, the second reference irradiation unit 22C can be considered similarly to a state in which the second reference irradiation unit 22C is relatively displaced by (c 1 / H) · hψ. Then, the second reference light receiving position 32P moves in the y direction by [b ″ / a ″ × (c 1 / H) · (hψ)]. Incidentally, c 1 is the distance of the floor surface and the second reference irradiation unit 22C.

この場合、y方向の第2参照変位yは、次式で表される。 In this case, the second reference displacement y 3 in the y direction is expressed by the following equation.

Figure 0005610427
Figure 0005610427

(第3参照変位)
次に、第3参照受光部33Cで検出される第3参照変位(z、y)について説明する。y軸を中心とする回転角度をθ、x軸を中心とする回転角度をθ、第1参照受光部31Cと第3参照受光部33Cとの距離をl、第3参照レンズ53の焦点距離による倍率をb’’/a’’とする。床部3がy軸を中心として角度θだけ回転した場合は、第3参照照射部23Cがhθだけ相対変位した状態と同様に考えることができる。そうすると、第3参照受光位置33Pは、z方向に[b’’/a’’×(hθ)]だけ移動する。
(3rd reference displacement)
Next, the third reference displacement (z 4 , y 4 ) detected by the third reference light receiving unit 33C will be described. The rotation angle about the y-axis is θ y , the rotation angle about the x-axis is θ x , the distance between the first reference light receiving unit 31C and the third reference light receiving unit 33C is l 0 , and the third reference lens 53 The magnification according to the focal length is b ″ / a ″. When the floor 3 is rotated about the y axis by an angle θ y , it can be considered in the same manner as the state in which the third reference irradiation unit 23C is relatively displaced by hθ y . Then, the third reference light receiving position 33P moves by [b ″ / a ″ × (hθ y )] in the z direction.

この場合、z方向の第3参照変位zは、z軸方向の相対変位をδとすると、次式で表される。 In this case, the third reference displacement z 4 in the z-direction, when the relative displacement in the z-axis direction and [delta] z, is expressed by the following equation.

Figure 0005610427
Figure 0005610427

また、層間変位をδ、z軸を中心とする回転角度をψ、第1参照受光部31Cと第3参照受光部33Cとの距離をlとする。第3参照照射部23Cと第3参照受光部33Cとの距離は、h/cosαである。第3参照受光部33Cはy軸に対し角度αだけ傾いて設置されているので、第3参照受光位置のy方向の移動量はcosα倍となる。また、天上部2がz軸を中心として角度ψだけ回転した場合は、第3参照照射部23Cが(c/H)・hψだけ相対変位した状態と同様に考えることができる。そうすると、第3参照受光位置は、y方向に[b’’/a’’×(c/H)・(hψ/cosα)]だけ移動する。なお、cは床部表面と第3参照照射部23Cの距離である。 Further, it is assumed that the interlayer displacement is δ y , the rotation angle about the z axis is ψ, and the distance between the first reference light receiving unit 31C and the third reference light receiving unit 33C is l 0 . The distance between the third reference irradiation unit 23C and the third reference light receiving unit 33C is h / cos α. Since the third reference light receiving unit 33C is installed at an angle α with respect to the y axis, the amount of movement in the y direction of the third reference light receiving position is cos α times. Further, when the top 2 is rotated about the z-axis by an angle ψ, it can be considered as if the third reference irradiating unit 23C is relatively displaced by (c / H) · hψ. Then, the third reference light receiving position moves by [b ″ / a ″ × (c / H) · (hψ / cosα)] in the y direction. Here, c is the distance between the floor surface and the third reference irradiation unit 23C.

この場合、y方向の第2参照変位yは、次式で表される。 In this case, the second reference displacement y 4 in the y direction is expressed by the following equation.

Figure 0005610427
Figure 0005610427

なお、(lsinα・ψ)の項は、天井部2がz軸を中心として回転したことにより、第3参照受光部33Cがlψだけ移動することによって生じる相対変位である。 Note that the term (l 0 sin α · ψ) is a relative displacement caused by the movement of the third reference light receiving unit 33C by l 0 ψ due to the rotation of the ceiling 2 about the z axis.

以上の式からδ、δ、θ、θ、ψをそれぞれ算出することにより、変位計測装置1Cは基準変位(x、y)から層間変位δおよびδを分離することができる。 By calculating δ x , δ y , θ x , θ y , and ψ from the above equations, the displacement measuring device 1C separates the interlayer displacements δ x and δ y from the reference displacement (x 1 , y 1 ). Can do.

本実施形態に係る変位計測装置1Cは、基準変位を計測する基準変位計測部7と、参照変位を計測する参照変位計測部8Cとを備えるので、上記第1実施形態と同様の効果を得ることができる。   Since the displacement measuring apparatus 1C according to the present embodiment includes the reference displacement measuring unit 7 that measures the reference displacement and the reference displacement measuring unit 8C that measures the reference displacement, the same effect as the first embodiment can be obtained. Can do.

本実施形態の場合、参照受光部30Cと参照照射部20Cとの距離hは、例えば、h=100mmであっても、焦点距離f=25mmのレンズを使えば倍率は1倍となるため、相対変位の分解能は約1μm、角度分解能は約1×10−5rad、となり十分な性能が確保できるので、比較的小さく設定することができる。したがって、変位計測装置1Cは、空間的占有率を小さくすることができ、角度αを大きく取っても各参照照射部20C間の相対的な変位を小さくすることができる。 In the case of the present embodiment, the distance h between the reference light receiving unit 30C and the reference irradiation unit 20C is, for example, h = 100 mm, but if the lens with the focal length f = 25 mm is used, the magnification is 1 times. The displacement resolution is about 1 μm and the angle resolution is about 1 × 10 −5 rad, so that sufficient performance can be ensured, so that the displacement can be set relatively small. Therefore, the displacement measuring apparatus 1C can reduce the spatial occupancy, and can reduce the relative displacement between the reference irradiation units 20C even when the angle α is large.

また、参照照射部20Cは、第1参照光LR1と、第1参照光LR1に対し所定角度αだけ傾けた第2参照光LR2および第3参照光LR3を照射し得る様に構成されていることにより、参照照射部20Cを単一の側壁4に設けるだけで、より正確な層間変位を測定することができる。したがって、変位計測装置1Cは、第1の側壁41と第2の側壁42とにそれぞれ参照照射部20Cを設ける上記第1実施形態に比べ、側壁4を一つ省略することができるので、その分、設置自由度(建物への適用性)を向上することができる。   The reference irradiation unit 20C is configured to be able to irradiate the first reference light LR1, and the second reference light LR2 and the third reference light LR3 that are inclined by a predetermined angle α with respect to the first reference light LR1. Thus, more accurate interlayer displacement can be measured simply by providing the reference irradiation unit 20C on the single side wall 4. Accordingly, the displacement measuring apparatus 1C can omit one side wall 4 compared to the first embodiment in which the reference irradiation unit 20C is provided on each of the first side wall 41 and the second side wall 42. , Installation flexibility (applicability to buildings) can be improved.

さらに、変位計測装置1Cは、側壁4と床部3のz方向の相対変位δを検出することができるので、より正確に層間変位を計測することができる。 Furthermore, the displacement measurement apparatus 1C, since it is possible to detect the relative displacement [delta] z in the z direction of the side wall 4 and the floor portion 3 can be measured more accurately interlayer displacement.

本実施形態において、第2参照光LR2および第3参照光LR3は、いずれも第1参照光LR1に対し角度αだけ傾いている場合について説明したが、本発明はこれに限らず、第1参照光LR1に対し互いに異なる角度だけ傾けることとしてもよい。   In the present embodiment, the case where both the second reference light LR2 and the third reference light LR3 are inclined by the angle α with respect to the first reference light LR1 has been described, but the present invention is not limited thereto, and the first reference The light LR1 may be inclined at different angles.

本実施形態において、参照レンズ40は、第1参照レンズ51と、第2参照レンズ52と、第3参照レンズ53とで構成した場合について説明したが、単一の結像光学系によって3個の受光素子に集光する方式を用いることとしてもよい。   In the present embodiment, the case where the reference lens 40 is configured by the first reference lens 51, the second reference lens 52, and the third reference lens 53 has been described. However, three reference lenses 40 are formed by a single imaging optical system. It is good also as using the system which condenses to a light receiving element.

(4)第4実施形態
本実施形態に係る変位計測装置1Dは、基準光LSとしてレーザー光を用い、参照変位として側壁4に対する天井部2の相対変位を計測し得るように構成されている点が異なる。上記第1実施形態と同様の構成について同様の符号を付した図9に示すように、変位計測装置1Dは、基準変位計測部7Dと参照変位計測部8Dとを備える。
(4) Fourth Embodiment Displacement measuring apparatus 1D according to the present embodiment is configured such that laser light is used as reference light LS and relative displacement of ceiling portion 2 with respect to side wall 4 can be measured as reference displacement. Is different. As shown in FIG. 9 in which the same reference numerals are assigned to the same configurations as those in the first embodiment, the displacement measuring device 1D includes a standard displacement measuring unit 7D and a reference displacement measuring unit 8D.

基準変位計測部7Dは、基準照射部12Dが、天井部2から床部3に向かってレーザー光からなる基準光LSを照射し得るように構成されている。床部3には当該基準光LSを受光する基準受光部13が設けられている。   The reference displacement measuring unit 7D is configured such that the reference irradiating unit 12D can irradiate the reference light LS made of laser light from the ceiling 2 to the floor 3. The floor 3 is provided with a reference light receiving unit 13 that receives the reference light LS.

参照変位計測部8Dは、天井部2に対する側壁4の相対変位を検出することにより、天井部2の回転角度φおよびφを算出し得るように構成されている。参照照射部20Dは、天井部2から側壁4に向かってレーザー光からなる参照光LRを照射し得るように構成されている。側壁4には、当該参照光LRを受光する参照受光部30Dが設けられている。参照照射部20Dと参照受光部30Dとの距離をlとする。 Referring displacement measuring unit. 8D, by detecting the relative displacement of the side wall 4 with respect to the ceiling portion 2 is configured so as to calculate the rotation angle phi X and phi Y of the ceiling portion 2. The reference irradiation unit 20D is configured to be able to irradiate the reference light LR made of laser light from the ceiling part 2 toward the side wall 4. The side wall 4 is provided with a reference light receiving unit 30D that receives the reference light LR. The distance between the reference irradiation unit 20D and the reference light receiving unit 30D is assumed to be l.

なお、照射部がレーザー光を照射する光源の場合、受光部の設置箇所、この場合、床部3と側壁4の回転は基準変位および参照変位に影響を与えないことが実験により確認されている。したがって、本実施形態の場合、床部3と側壁4の回転は無視し得る。   In addition, when the irradiation unit is a light source that irradiates laser light, it has been experimentally confirmed that the installation location of the light receiving unit, in this case, the rotation of the floor 3 and the side wall 4 does not affect the standard displacement and the reference displacement. . Therefore, in the present embodiment, the rotation of the floor 3 and the side wall 4 can be ignored.

図10に示すように、基準照射部12Dを原点Oとする天井部表面のXY座標を考える。参照照射部20Dは、X軸方向に第1参照光LR1を照射する第1参照照射部21Dと、Y軸方向に第2参照光LR2を照射する第2参照照射部22Dとからなる。本実施形態の場合、参照照射部20Dは、基準照射部12Dと共に照射部本体55に一体的に設けられている。   As shown in FIG. 10, the XY coordinates of the ceiling surface with the reference irradiation unit 12D as the origin O are considered. The reference irradiation unit 20D includes a first reference irradiation unit 21D that irradiates the first reference light LR1 in the X-axis direction and a second reference irradiation unit 22D that irradiates the second reference light LR2 in the Y-axis direction. In the case of the present embodiment, the reference irradiation unit 20D is provided integrally with the irradiation unit main body 55 together with the reference irradiation unit 12D.

参照受光部30Dは、X軸方向に配置された第1側壁41に設けられ第1参照光LR1を受光する第1参照受光部31Dと、Y軸方向に配置された第2側壁42に設けられ第2参照光LR2を受光する第2参照受光部32Dとからなる。   The reference light receiving unit 30D is provided on the first side wall 41 disposed on the first side wall 41 disposed in the X-axis direction, and is disposed on the second side wall 42 disposed on the Y-axis direction, and receives the first reference light LR1. The second reference light receiving unit 32D receives the second reference light LR2.

(作用および効果)
本実施形態に係る変位計測装置1Dの作用および効果について説明する。天井部2に基準照射部12Dおよび参照照射部20Dを設けた照射部本体55を設置すると共に、第1側壁41に第1参照受光部31Dを、第2側壁42に第2参照受光部32Dをそれぞれ設置する。また、床部3に基準受光部13を配置する。図示しない電源をオンすることにより、基準照射部12Dは基準光LSを照射する。また、第1参照照射部21Dは第1参照光LR1を照射する。さらに、第2参照照射部22Dは第2参照光LR2を照射する。
(Function and effect)
The operation and effect of the displacement measuring apparatus 1D according to this embodiment will be described. The irradiation unit body 55 provided with the reference irradiation unit 12D and the reference irradiation unit 20D is installed on the ceiling 2, and the first reference light receiving unit 31D is provided on the first side wall 41, and the second reference light receiving unit 32D is provided on the second side wall 42. Install each. Further, the reference light receiving unit 13 is disposed on the floor 3. By turning on a power supply (not shown), the reference irradiation unit 12D emits the reference light LS. The first reference irradiation unit 21D emits the first reference light LR1. Further, the second reference irradiation unit 22D emits the second reference light LR2.

基準照射部12Dから照射された基準光LSは、鉛直下方に向かって照射される。この基準光LSは、基準受光部13で受光され基準受光位置13Pとして検出される。また、第1参照照射部21Dから照射された第1参照光LR1は、天井部2に対し略平行に照射される。この第1参照光LR1は第1参照受光部31Dで受光され第1参照受光位置31Pとして検出される。さらに、第2参照照射部22Dから照射された第2参照光LR2は、天井部2に対し略平行に照射される。この第2参照光LR2は第2参照受光部32Dで受光され第2参照受光位置32Pとして検出される。   The reference light LS irradiated from the reference irradiation unit 12D is irradiated vertically downward. The reference light LS is received by the reference light receiving unit 13 and detected as a reference light receiving position 13P. Further, the first reference light LR1 irradiated from the first reference irradiation unit 21D is irradiated substantially parallel to the ceiling part 2. The first reference light LR1 is received by the first reference light receiving unit 31D and detected as the first reference light receiving position 31P. Furthermore, the second reference light LR2 irradiated from the second reference irradiation unit 22D is irradiated substantially parallel to the ceiling part 2. The second reference light LR2 is received by the second reference light receiving unit 32D and detected as the second reference light receiving position 32P.

この状態で、層間変位、および天井部2に回転方向の変位が生じたとすると、基準受光位置13P、第1参照受光位置31P、および第2参照受光位置32Pもそれぞれ移動する。これにより、各受光部は、基準受光位置13Pの移動量から基準変位(x、y)を検出し、第1参照受光位置31Pの移動量から第1参照変位(x、y)を検出し、第2参照受光位置32Pの移動量から第2参照変位(x、y)を検出する。なお、上記したとおり、床部3と側壁4の回転は無視し得る。 In this state, if an interlayer displacement and a displacement in the rotational direction occur on the ceiling portion 2, the reference light receiving position 13P, the first reference light receiving position 31P, and the second reference light receiving position 32P also move. Accordingly, each light receiving unit detects the reference displacement (x 1 , y 1 ) from the movement amount of the reference light reception position 13P, and the first reference displacement (x 2 , y 2 ) from the movement amount of the first reference light reception position 31P. And the second reference displacement (x 3 , y 3 ) is detected from the amount of movement of the second reference light receiving position 32P. In addition, as above-mentioned, rotation of the floor part 3 and the side wall 4 can be disregarded.

このようにして検出された基準変位(x、y)、第1参照変位(x、y)、および第2参照変位(x、y)から、算出部9は、層間変位と天井部2の回転によって生じる角度誤差を分離する。これにより、変位計測装置1Dは、より正確な層間変位を計測することができる。 From the reference displacement (x 1 , y 1 ), the first reference displacement (x 2 , y 2 ), and the second reference displacement (x 3 , y 3 ) thus detected, the calculation unit 9 calculates the interlayer displacement. And the angular error caused by the rotation of the ceiling part 2 is separated. Thereby, displacement measuring device 1D can measure a more exact interlayer displacement.

なお、本実施形態の場合、基準照射部12D、第1参照照射部21D、および第2参照照射部22Dは、照射部としてレーザー光を照射する光源が用いられていることにより、床部3および側壁4の回転を無視し得る構成とした。したがって、変位計測装置1Dは、天井部2の角度誤差のみを基準変位(x、y)から分離することにより、より正確に層間変位を計測することができる。層間変位δおよびδを計測する手順について、以下、具体的に説明する。 In the case of the present embodiment, the reference irradiation unit 12D, the first reference irradiation unit 21D, and the second reference irradiation unit 22D use a light source that emits laser light as the irradiation unit, so that the floor 3 and The rotation of the side wall 4 can be ignored. Therefore, the displacement measuring device 1D can measure the interlayer displacement more accurately by separating only the angle error of the ceiling portion 2 from the reference displacement (x 1 , y 1 ). The procedure for measuring the interlayer displacements δ x and δ y will be specifically described below.

基準受光部13で検出される基準変位(x、y)は、層間変位をδ、δ、天井部2のX軸を中心とする回転角度をφ、Y軸を中心とする回転角度をφとすると、次式で表される。 The reference displacements (x 1 , y 1 ) detected by the reference light receiving unit 13 are the interlayer displacements δ x , δ y , the rotation angle around the X axis of the ceiling 2 is φ X , and the Y axis is the center When the rotation angle is phi Y, it is expressed by the following equation.

Figure 0005610427
Figure 0005610427

第1参照変位(x、y)は、層間変位をδ、Y軸を中心とする回転角度をφ、z軸を中心とする回転角度をψとすると、次式で表される。 The first reference displacement (x 2 , y 2 ) is expressed by the following equation, where the interlayer displacement is δ y , the rotation angle about the Y axis is φ Y , and the rotation angle about the z axis is ψ. .

Figure 0005610427
Figure 0005610427

第2参照変位(x、y)は、層間変位をδ、X軸を中心とする回転角度をφ、z軸を中心とする回転角度をψとすると、次式で表される。 The second reference displacement (x 3 , y 3 ) is expressed by the following equation, where the interlayer displacement is δ y , the rotation angle about the X axis is φ X , and the rotation angle about the z axis is ψ. .

Figure 0005610427
Figure 0005610427

以上の式からδ、δ、φ、φ、ψをそれぞれ算出することにより、変位計測装置1Dは基準変位(x、y)から層間変位δおよびδを分離することができる。 By calculating δ x , δ y , φ X , φ Y , and ψ from the above equations, the displacement measuring device 1D separates the interlayer displacements δ x and δ y from the reference displacement (x 1 , y 1 ). Can do.

このように、本実施形態に係る変位計測装置1Dによれば、参照照射部20Dを基準照射部12Dと共に天井部2に設けた場合でも、より正確に層間変位を計測することができる。   Thus, according to displacement measuring device 1D concerning this embodiment, even when reference irradiation part 20D is provided in ceiling part 2 with standard irradiation part 12D, interlayer displacement can be measured more correctly.

本実施形態に係る変位計測装置1Dは、基準変位を計測する基準変位計測部7Dと、参照変位を計測する参照変位計測部8Dとを備えるので、上記第1実施形態と同様の効果を得ることができる。
(5)第5実施形態
本実施形態に係る変位計測装置1Eは、上記第4実施形態に対し、参照変位計測部の構成のみが異なる。上記第4実施形態と同様の構成について同様の符号を付した図11に示すように、参照変位計測部8Eは、参照照射部20Eが側壁4から天井部2に向かって拡散光からなる参照光LRを照射し得るように構成されている。参照受光部30Eは、前記参照光LRを受光し得るように、基準照射部12Dと共に天井部2に設けられている。
Since the displacement measuring apparatus 1D according to the present embodiment includes the reference displacement measuring unit 7D that measures the reference displacement and the reference displacement measuring unit 8D that measures the reference displacement, the same effect as the first embodiment can be obtained. Can do.
(5) Fifth Embodiment A displacement measuring apparatus 1E according to the present embodiment differs from the fourth embodiment only in the configuration of the reference displacement measuring unit. As shown in FIG. 11 in which the same reference numerals are assigned to the same configurations as those in the fourth embodiment, the reference displacement measuring unit 8E is a reference light in which the reference irradiation unit 20E is diffused light from the side wall 4 toward the ceiling portion 2. It is comprised so that LR can be irradiated. The reference light receiving unit 30E is provided on the ceiling 2 together with the standard irradiation unit 12D so as to receive the reference light LR.

この場合、第1参照変位(x、y)は、層間変位をδ、Y軸を中心とする回転角度をφ、z軸を中心とする回転角度をψとすると、次式で表される。 In this case, the first reference displacement (x 2 , y 2 ) is expressed by the following equation, where the interlayer displacement is δ y , the rotation angle about the Y axis is φ Y , and the rotation angle about the z axis is ψ. expressed.

Figure 0005610427
Figure 0005610427

第2参照変位(x、y)は、層間変位をδ、X軸を中心とする回転角度をφ、z軸を中心とする回転角度をψとすると、次式で表される。 The second reference displacement (x 3 , y 3 ) is expressed by the following equation, where the interlayer displacement is δ y , the rotation angle about the X axis is φ X , and the rotation angle about the z axis is ψ. .

Figure 0005610427
Figure 0005610427

以上の式からδ、δ、φ、φ、ψをそれぞれ算出することにより、変位計測装置1Eは基準変位(x、y)から層間変位δおよびδを分離することができる。 By calculating δ x , δ y , φ X , φ Y , and ψ from the above equations, the displacement measuring device 1E separates the interlayer displacements δ x and δ y from the reference displacement (x 1 , y 1 ). Can do.

このように、本実施形態に係る変位計測装置1Eによれば、参照受光部30Eを基準照射部12Dと共に天井部2に設けた場合でも、より正確に層間変位を計測することができる。   As described above, according to the displacement measuring apparatus 1E according to the present embodiment, even when the reference light receiving unit 30E is provided on the ceiling 2 together with the standard irradiation unit 12D, the interlayer displacement can be measured more accurately.

本実施形態に係る変位計測装置1Eは、基準変位を計測する基準変位計測部7Dと、参照変位を計測する参照変位計測部8Eとを備えるので、上記第1および第4実施形態と同様の効果を得ることができる。
(6)変形例
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲内で適宜変更することが可能である。例えば、上記実施形態では、二平面として天井部と床部で構成される層間に適用した場合について説明したが、本発明はこれに限らず、相対向して設けられる二平面であればよく、例えば側壁やその他機械構造物に含まれる二平面に適用することもできる。
Since the displacement measuring apparatus 1E according to the present embodiment includes the standard displacement measuring unit 7D that measures the standard displacement and the reference displacement measuring unit 8E that measures the reference displacement, the same effects as those of the first and fourth embodiments described above. Can be obtained.
(6) Modifications The present invention is not limited to the above embodiment, and can be appropriately changed within the scope of the gist of the present invention. For example, in the above-described embodiment, the case where the two planes are applied between the layers formed by the ceiling portion and the floor portion has been described, but the present invention is not limited thereto, and may be two planes provided to face each other. For example, the present invention can be applied to two planes included in side walls and other mechanical structures.

また、第1平面は天井部、第2平面は床部である場合について説明したが、本発明はこれに限らず、それぞれ、天井、床、梁などであってもよい。   Moreover, although the case where the first plane is a ceiling portion and the second plane is a floor portion has been described, the present invention is not limited to this and may be a ceiling, a floor, a beam, or the like.

また、第1平面と第2平面とを連結する部材は、側壁である場合について説明したが、本発明はこれに限らない。 Moreover, although the member which connects a 1st plane and a 2nd plane demonstrated the case where it was a side wall, this invention is not limited to this .

また、上記実施形態において、レンズに凸レンズを用いた場合について説明したが、本発明はこれに限らず、結像光学系を構成できればよく、例えば、反射式望遠鏡のように凹面鏡と凸面鏡の組み合わせによる結像光学系を用いることとしてもよい。   In the above-described embodiment, the case where a convex lens is used as the lens has been described. However, the present invention is not limited to this, and any imaging optical system may be configured. For example, a combination of a concave mirror and a convex mirror such as a reflective telescope is used. An imaging optical system may be used.

1A 変位計測装置
1B 変位計測装置
1C 変位計測装置
1D 変位計測装置
1E 変位計測装置
2 天井部(第1平面)
3 床部(第2平面)
4 側壁(第1平面と第2平面とを連結する部材、不動点部材)
7 基準変位計測部
7D 基準変位計測部
8A 参照変位計測部
8B 参照変位計測部
8C 参照変位計測部
8D 参照変位計測部
8E 参照変位計測部
12 基準照射部
12D 基準照射部
13 基準受光部
16 変位検出部
20A 参照照射部
20B 参照照射部
20C 参照照射部
20D 参照照射部
20E 参照照射部
21A 第1参照照射部
21B 第1参照照射部
21C 第1参照照射部
21D 第1参照照射部
22A 第2参照照射部
22B 第2参照照射部
22C 第2参照照射部
22D 第2参照照射部
23C 第3参照照射部
H 所定間隔
LR 参照光
LR1 第1参照光
LR2 第2参照光
LR3 第3参照光
LS 基準光
O 原点
1 基準変位
1 基準変位
2 第1参照変位
3 第2参照変位
4 第3参照変位
2 第1参照変位
3 第2参照変位
4 第3参照変位
α 角度
δx 層間変位
δy 層間変位
δz 相対変位
1A Displacement measuring device 1B Displacement measuring device 1C Displacement measuring device 1D Displacement measuring device 1E Displacement measuring device 2 Ceiling (first plane)
3 Floor (second plane)
4 side wall ( member connecting the first plane and the second plane, fixed point member)
7 Reference displacement measurement unit 7D Reference displacement measurement unit 8A Reference displacement measurement unit 8B Reference displacement measurement unit 8C Reference displacement measurement unit 8D Reference displacement measurement unit 8E Reference displacement measurement unit 12 Reference irradiation unit 12D Reference irradiation unit 13 Reference light reception unit 16 Displacement detection Unit 20A Reference irradiation unit 20B Reference irradiation unit 20C Reference irradiation unit 20D Reference irradiation unit 20E Reference irradiation unit 21A First reference irradiation unit 21B First reference irradiation unit 21C First reference irradiation unit 21D First reference irradiation unit 22A Second reference irradiation Unit 22B second reference irradiation unit 22C second reference irradiation unit 22D second reference irradiation unit 23C third reference irradiation unit H predetermined interval LR reference light LR1 first reference light LR2 second reference light LR3 third reference light LS reference light O origin x 1 reference displacement y 1 reference displacement y 2 first reference displacement y 3 second reference displacement y 4 third reference displacement z 2 first reference displacement z 3 second reference displacement z 4 third reference displacement α angle [delta] x interlayer displacement [delta] y interlayer displacement [delta] z relative displacement

Claims (7)

第1平面と、前記第1平面に対し所定間隔を隔てて設けられた第2平面とを備える層間の水平方向の変位を光学的に計測する変位計測装置において、
前記第1平面から前記第2平面に向かって基準光を照射して、前記第1平面と前記第2平面の相対変位を検出する基準変位計測部と、
前記第1平面または前記第2平面に第1及び第2参照受光部が配置され、前記第1平面前記第2平面とを連結する部材から前記第1及び第2参照受光部に第1及び第2参照光を照射して、前記第1平面と前記第2平面とを連結する部材に対する前記第1平面または前記第2平面の相対変位を検出する参照変位計測部と
を備え
前記基準変位計測部は、
前記第2平面に前記基準光を受光する基準受光部が配置され、
前記基準受光部を原点とするXY座標及びこのXY座標に直交するZ軸に対して、前記基準受光部に前記基準光をZ軸方向に向かって照射し、
前記参照変位計測部は、
前記第1平面と前記第2平面とを連結する部材に第1及び第2参照照射部を配置し、
前記第1参照照射部は、前記第1参照受光部に前記第1参照光をX軸方向に向かって照射し、前記第2参照照射部は、前記第2参照受光部に前記第2参照光をY軸方向に向かって照射することを特徴とする変位計測装置。
In a displacement measuring device for optically measuring a horizontal displacement between layers comprising a first plane and a second plane provided at a predetermined interval with respect to the first plane,
A reference displacement measuring unit configured to irradiate reference light from the first plane toward the second plane and detect a relative displacement between the first plane and the second plane;
First and second reference light receiving units are disposed on the first plane or the second plane , and first and second reference light receiving units are connected to the first and second reference light receiving units from a member connecting the first plane and the second plane. A reference displacement measuring unit that irradiates a second reference light and detects a relative displacement of the first plane or the second plane with respect to a member that connects the first plane and the second plane ;
Equipped with a,
The reference displacement measuring unit is
A reference light receiving portion for receiving the reference light is disposed on the second plane,
Irradiating the reference light receiving unit in the Z-axis direction with respect to the XY coordinate having the reference light receiving unit as an origin and the Z axis orthogonal to the XY coordinate,
The reference displacement measuring unit is
The first and second reference irradiators are arranged on a member connecting the first plane and the second plane,
The first reference irradiation unit irradiates the first reference light receiving unit with the first reference light toward the X-axis direction, and the second reference irradiation unit applies the second reference light to the second reference light receiving unit. Is radiated toward the Y-axis direction .
第1平面と、前記第1平面に対し所定間隔を隔てて設けられた第2平面とを備える層間の水平方向の変位を光学的に計測する変位計測装置において、
前記第1平面から前記第2平面に向かって基準光を照射して、前記第1平面と前記第2平面の相対変位を検出する基準変位計測部と、
前記第1平面と前記第2平面とを連結する部材に第1及び第2参照受光部が設けられ、前記第1平面または第2平面から前記第1及び第2参照受光部に第1及び第2参照光を照射して、前記第1平面と前記第2平面とを連結する部材に対する前記第1平面または前記第2平面の相対変位を検出する参照変位計測部と
を備え
前記基準変位計測部は、
前記第2平面に前記基準光を受光する基準受光部が配置され、
前記基準受光部を原点とするXY座標及びこのXY座標に直交するZ軸に対して、前記基準受光部に前記基準光をZ軸方向に向かって照射し、
前記参照変位計測部は、
前記第1平面または第2平面に第1及び第2参照照射部を配置し、
前記第1参照照射部は、前記第1参照受光部に前記第1参照光をX軸方向に向かって照射し、前記第2参照照射部は、前記第2参照受光部に前記第2参照光をY軸方向に向かって照射することを特徴とする変位計測装置。
In a displacement measuring device for optically measuring a horizontal displacement between layers comprising a first plane and a second plane provided at a predetermined interval with respect to the first plane,
A reference displacement measuring unit configured to irradiate reference light from the first plane toward the second plane and detect a relative displacement between the first plane and the second plane;
First and second reference light receiving units are provided on a member connecting the first plane and the second plane, and the first and second reference light receiving units are provided from the first plane or the second plane to the first and second reference light receiving units. A reference displacement measuring unit that irradiates two reference lights and detects a relative displacement of the first plane or the second plane with respect to a member connecting the first plane and the second plane ;
Equipped with a,
The reference displacement measuring unit is
A reference light receiving portion for receiving the reference light is disposed on the second plane,
Irradiating the reference light receiving unit in the Z-axis direction with respect to the XY coordinate having the reference light receiving unit as an origin and the Z axis orthogonal to the XY coordinate,
The reference displacement measuring unit is
Arranging the first and second reference irradiators on the first plane or the second plane;
The first reference irradiation unit irradiates the first reference light receiving unit with the first reference light toward the X-axis direction, and the second reference irradiation unit applies the second reference light to the second reference light receiving unit. Is radiated toward the Y-axis direction .
前記基準変位計測部は、放射状に前記基準光を照射する基準照射部を有し、
前記参照変位計測部は、放射状に前記第1及び第2参照光を照射する前記第1及び第2参照照射部を有することを特徴とする請求項1又は2記載の変位計測装置。
The reference displacement measurement unit includes a reference irradiation unit that radiates the reference light radially.
The reference displacement measuring unit includes a displacement measurement apparatus according to claim 1 or 2, wherein the having the first and second reference irradiation unit for irradiating the first and second reference light form radiate.
第1平面と、前記第1平面に対し所定間隔を隔てて設けられた第2平面とを備える層間の水平方向の変位を光学的に計測する変位計測装置において、
前記第1平面から前記第2平面に向かって基準光を照射して、前記第1平面と前記第2平面の相対変位を検出する基準変位計測部と、
前記第2平面に第1,第2及び第3参照受光部が配置され、前記第1平面と前記第2平面とを連結する部材から前記第1,第2及び第3参照受光部に第1,第2及び第3参照光を照射して、前記第1平面と前記第2平面とを連結する部材に対する前記第2平面の相対変位を検出する参照変位計測部と
を備え、
前記基準変位計測部は、
前記第2平面に前記基準光を受光する基準受光部が配置され、
前記参照変位計測部は、
前記第1平面と前記第2平面とを連結する部材から前記第2平面に配置した前記第1参照受光部に向かって第1参照光を照射する第1参照照射部と、
前記第1参照照射部を原点とするZY座標のZ軸上から前記第2平面に配置した前記第2参照受光部に向かって、前記第1参照光に対し所定角度傾いた第2参照光を照射する第2参照照射部と、
前記ZY座標のY軸上から前記第2平面に配置した前記第3参照受光部に向かって、前記第1参照光に対し所定角度傾いた第3参照光を照射する第3参照照射部と
を有することを特徴とする変位計測装置。
In a displacement measuring device for optically measuring a horizontal displacement between layers comprising a first plane and a second plane provided at a predetermined interval with respect to the first plane,
A reference displacement measuring unit configured to irradiate reference light from the first plane toward the second plane and detect a relative displacement between the first plane and the second plane;
First, second, and third reference light receiving portions are disposed on the second plane, and a first member is connected to the first, second, and third reference light receiving portions from a member that connects the first plane and the second plane. , A reference displacement measuring unit that irradiates the second and third reference lights and detects a relative displacement of the second plane with respect to a member connecting the first plane and the second plane ;
With
The reference displacement measuring unit is
A reference light receiving portion for receiving the reference light is disposed on the second plane,
The reference displacement measuring unit is
A first reference irradiating unit configured to irradiate a first reference light toward a first reference light receiving unit disposed on the second plane from a member connecting the first plane and the second plane ;
Second reference light inclined at a predetermined angle with respect to the first reference light from the Z-axis of the ZY coordinate with the first reference irradiating unit as an origin toward the second reference light receiving unit disposed on the second plane. A second reference irradiating unit for irradiating;
A third reference irradiating unit configured to irradiate a third reference light inclined at a predetermined angle with respect to the first reference light toward the third reference light receiving unit disposed on the second plane from the Y axis of the ZY coordinate ;
Displacement measuring device further comprising a.
前記基準変位計測部は、放射状に前記基準光を照射する基準照射部を有し、
前記参照変位計測部は、レーザー光からなる前記第1及び第2参照光を照射する前記第1及び第2参照照射部を有することを特徴とする請求項1又は2記載の変位計測装置。
The reference displacement measurement unit includes a reference irradiation unit that radiates the reference light radially.
The reference displacement measuring unit includes a displacement measurement apparatus according to claim 1 or 2, wherein the having the first and second reference irradiation unit irradiates the consisting Les Za light first and the second reference light.
前記基準変位計測部は、レーザー光からなる前記基準光を照射する基準照射部を有し、
前記参照変位計測部は、レーザー光からなる前記第1及び第2参照光を照射する前記第1及び第2参照照射部を有することを特徴とする請求項1又は2記載の変位計測装置。
The reference displacement measurement unit includes a reference irradiation unit that irradiates the reference light composed of laser light,
The reference displacement measuring unit includes a displacement measurement apparatus according to claim 1 or 2, wherein the having the first and second reference irradiation unit irradiates the consisting Les Za light first and the second reference light.
前記基準変位計測部は、レーザー光からなる前記基準光を照射する基準照射部を有し、
前記参照変位計測部は、放射状に前記第1及び第2参照光を照射する前記第1及び第2参照照射部を有することを特徴とする請求項1又は2記載の変位計測装置。
The reference displacement measurement unit includes a reference irradiation unit that irradiates the reference light composed of laser light,
The reference displacement measuring unit includes a displacement measurement apparatus according to claim 1 or 2, wherein the having the first and second reference irradiation unit for irradiating the first and second reference light form radiate.
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