JP5603037B2 - プローブの検査方法及び硬化性樹脂組成物 - Google Patents
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Description
(A)炭素数9〜12の飽和脂環式炭化水素基をエステル結合を介して有する単官能(メタ)アクリレート、
(B)炭素数5〜18の飽和炭化水素基(但し飽和脂環式炭化水素基を省く)をエステル結合を介して有する単官能(メタ)アクリレート及び/又は炭素数2〜8のアルコキシアルキル基をエステル結合を介して有する単官能(メタ)アクリレート、
(C)光重合開始剤、
(D)酸化防止剤
を含有し、
(A)と(B)との合計量100質量部中、
(A)50〜99質量部、(B)1〜50質量部であり、
(A)と(B)との合計量100質量部に対して、
(C)光重合開始剤0.1〜20質量部、(D)酸化防止剤0.001〜3質量部を含有し、
硬化性樹脂組成物の硬化体のガラス転移温度が40℃以上100℃未満であることを特徴とするプローブの検査方法であり、
(A)と(B)との合計量100質量部中、
(A)50〜90質量部、(B)10〜50質量部であり、
(A)がイソボルニル(メタ)アクリレート
及びジシクロペンタニル(メタ)アクリレートからなる群のうちの1種以上であり、(B)がイソアミル(メタ)アクリレート、イソデシル(メタ)アクリレート及びブトキシエチル(メタ)アクリレートからなる群のうちの1種以上であり、(C)がベンゾイン誘導体とα−アミノアルキルフェノン誘導体からなる群のうちの1種以上であり、(D)がヒンダードフェノールである該プローブの検査方法であり、
(A)炭素数9〜12の飽和脂環式炭化水素基をエステル結合を介して有する単官能(メタ)アクリレート、
(B)炭素数5〜18の飽和炭化水素基(但し飽和脂環式炭化水素基を省く)をエステル結合を介して有する単官能(メタ)アクリレート及び/又は炭素数2〜8のアルコキシアルキル基をエステル結合を介して有する単官能(メタ)アクリレート、
(C)光重合開始剤、
(D)酸化防止剤
を含有し、
(A)と(B)との合計量100質量部中、
(A)50〜99質量部、(B)1〜50質量部であり、
(A)と(B)との合計量100質量部に対して、
(C)光重合開始剤0.1〜20質量部、(D)酸化防止剤0.001〜3質量部を含有し、
硬化性樹脂組成物の硬化体のガラス転移温度が40℃以上100℃未満であるプローブの針跡を転写するための硬化性樹脂組成物であり、
(A)と(B)との合計量100質量部中、
(A)50〜90質量部、(B)10〜50質量部であり、
(A)がイソボルニル(メタ)アクリレート及びジシクロペンタニル(メタ)アクリレートからなる群のうちの1種以上であり、(B)がイソアミル(メタ)アクリレート、イソデシル(メタ)アクリレート及びブトキシエチル(メタ)アクリレートからなる群のうちの1種以上であり、(C)がベンゾイン誘導体とα−アミノアルキルフェノン誘導体からなる群のうちの1種以上であり、(D)がヒンダードフェノールである該硬化性樹脂組成物であり、
該硬化性樹脂組成物を硬化してなる硬化体であり、
該硬化体からなるシートと、
シートを載置する支持台と、
シートを硬化体のガラス転移温度以上に加熱するための加熱装置と、
被検査体を載置する載置台と、
プローブを有するプローブカードと、
シートに転写されたプローブの針跡の状態を確認するための撮像装置とを備える、被検査体の電気的特性を検査するための検査装置
である。
11 針跡
12 支持台
13 載置台
14 プローブカード
15 プローブ
16 CCDカメラ(撮像装置)
W ウエハ
本明細書において、「硬化性樹脂組成物」とは、光の照射や加熱によって硬化して硬化体となるような混合物のことを意味する。そして、一般的に、硬化性樹脂組成物は、次に説明するガラス転移温度なる温度領域を有する。
本発明者は、硬化性樹脂組成物の硬化体にプローブを接触させることで針跡を転写させることが可能であり、続いて、該硬化体をガラス転移温度以上に加熱することによって上記針跡を消去できること、更に、上記硬化性樹脂組成物の硬化体を薄膜として得ることで、硬化体上に転写された針跡とウエハ上に形成された基準位置とを同じフォーカスで同時に観察できるとの知見を得て、本発明に至ったものである。
本実施形態に係る硬化性樹脂組成物は、
(A)炭素数9〜12の飽和脂環式炭化水素基をエステル結合を介して有する単官能(メタ)アクリレート、
(B)炭素数5〜18の飽和炭化水素基(但し飽和脂環式炭化水素基を省く)をエステル結合を介して有する単官能(メタ)アクリレート及び/又は炭素数2〜8のアルコキシアルキル基をエステル結合を介して有する単官能(メタ)アクリレート、
(C)光重合開始剤、
(D)酸化防止剤
を含有し、硬化性樹脂組成物の硬化体のガラス転移温度が40℃以上100℃未満であるプローブの針跡を転写するための硬化性樹脂組成物である。
本実施形態に係るプローブの検査方法は、被検査体の電気的特性を検査するプローブに硬化性樹脂組成物の硬化体を接触させ、硬化体にプローブの針跡を転写して、転写された針跡を基にプローブの状態を確認し、かつ、プローブの針跡を転写した後に、硬化体を硬化体のガラス転移温度以上に加熱してプローブの針跡を消去する工程を含み、繰り返し検査に供するプローブの検査方法である。
上記プローブの検査には、図1に示すような、硬化体からなるシート10と、該シート10を載置する支持台12と、該シート10を該硬化体のガラス転移温度以上に加熱するための加熱装置(図示せず)と、該被検査体を載置する載置台13と、プローブ15を有するプローブカード14と、該シート10に転写された上記プローブ15の針跡11の状態を確認するための撮像装置16とを備える検査装置が好ましく用いられる。
実施形態1及び2に係る硬化性樹脂組成物は、硬化後にプローブを接触させて針跡を転写した後、ガラス転移温度以上に加熱することで針跡を消去することが可能である。
上記実施形態1及び2において、ガラス転移温度は、40℃以上100℃未満であることが好ましい。この範囲であれば、ICチップの電気的特性を検査する温度、例えば、室温や高温において良好な針跡転写性、針跡消去性を得ることができる。室温としては、20℃以上30℃以下が好ましい。高温としては、70℃以上100℃以下が好ましく、80℃以上90℃以下がより好ましい。更に、ガラス転移温度は、45℃以上95℃以下であることが好ましく、50℃以上90℃以下であることがより好ましい。この範囲であれば、電気ヒーター、乾燥機等で容易に加熱・冷却が行える。
以下の組成で各材料を配合し、硬化性樹脂組成物を作製した。
・(A)炭素数9〜12の飽和脂環式炭化水素基をエステル結合を介して有する単官能(メタ)アクリレート
イソボルニルアクリレート(共栄社化学社製、「ライトアクリレート IB−XA」、以下「IB−XA」と略す。)90質量部。
・(B)炭素数5〜18の飽和炭化水素基(但し飽和脂環式炭化水素基を省く)をエステル結合を介して有する単官能(メタ)アクリレート及び/又は炭素数2〜8のアルコキシアルキル基をエステル結合を介して有する単官能(メタ)アクリレート
イソアミルアクリレート(共栄社化学社製、「ライトアクリレート IAA」、以下「IAA」と略す。)10質量部。
・(C)光重合開始剤
上記(A)及び(B)からなる組成物100質量部に対して、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、「IRGACURE907」、以下「I−907」と略す。)1質量部。
・(D)酸化防止剤
上記(A)及び(B)からなる組成物100質量部に対して、2,2−メチレン−ビス(4−メチル−6−ターシャリーブチルフェノール)(以下、「MDP」と略す。)0.1質量部。
シリコンウェハ上に硬化性樹脂組成物を200μm厚で塗布して離型フィルムで覆ったのち、無電極放電ランプを使用したフュージョン社製硬化装置により、365nmの波長の積算光量4000mJ/cm2の条件にて硬化させた。その後離型フィルムを剥がして得られた硬化体を削り取り、示差走査熱量計「SII EXSTAR DSC6220」(セイコーインスツル社製)によりガラス転移温度を測定した(昇温速度10℃/min)。
引張せん断接着強さは、JIS K 6850に従い測定した。具体的には、被着材として耐熱パイレックス(登録商標)ガラス(25mm×25mm×2.0mm)を用いて、作製した硬化性樹脂組成物を直径8mmの円状に塗布し、接着面の形状が直径8mmの円形の状態になるようにして2枚の耐熱パイレックス(登録商標)ガラスを貼り合わせた。その後、無電極放電ランプを使用したフュージョン社製硬化装置により、365nmの波長の積算光量2000mJ/cm2の条件にて硬化させ、引張せん断接着強さ測定用の試験片を作製した。そして、引っ張り試験機を使用して、温度23℃、湿度50%の環境下、引張速度10mm/minで、作製した試験片の引張せん断接着強さを測定した。
シリコンウェハ上に硬化性樹脂組成物を50μmの厚さに塗布して離型フィルムで覆ったのち、無電極放電ランプを使用したフュージョン社製硬化装置により、365nmの波長の積算光量4000mJ/cm2の条件にて硬化させた。その後離型フィルムを剥がして試験片を得た。マニュアルプローバを用いて、プローブを速度約15μm/sの条件で40μm下降させ、シリコンウェハ上の硬化性樹脂組成物の硬化体に接触させた。その後、共焦点レーザー顕微鏡にて硬化性樹脂組成物の硬化体表面への針跡転写の有無を観察し、針跡が転写されていた場合、針跡の深さを測定した。針跡の深さは共焦点レーザー顕微鏡(オリンパス社製、「OLS1100」)により測定した。
上記試験において針跡が転写されていた試験片を用いて、オーブンにて140℃で10分間加熱した後、針跡が消去されているか確認した。針跡が消去されていなかった場合、針跡深さを測定した。針跡の有無及び針跡深さは共焦点レーザー顕微鏡にて確認した。
針跡転写性及び針跡消去性の評価用に作製した試験片(硬化性樹脂組成物の硬化体の大きさ:幅30mm×幅30mm×厚さ50μm)を140℃に加熱したホットプレートの上に5分間置いて、硬化体に溶融の挙動が見られるか観察した(加熱後の試験片の幅を測定した)。
表1に示す種類の原材料を表1に示す組成で使用したこと以外は実施例1と同様にして硬化性樹脂組成物を作製した。得られた硬化性樹脂組成物について、実施例1と同様に上記評価を行った。それらの実験結果を表1に示す。
尚、実施例3の針跡転写性は85℃にて評価した。
以下に、実施例2〜7で使用した各材料とその略称を明記する。尚、この略称は表1と対応している。
FA−512AS:ジシクロペンタニルアクリレート(日立化成工業社製、「FANCRYL FA−512AS」)
ID:イソデシルメタクリレート(共栄社化学社製、「ライトエステル ID」)
L:ラウリルメタクリレート(共栄社化学社製、「ライトエステル L」)
BO:ブトキシエチルメタクリレート(共栄社化学社製、「ライトエステル BO」)
BDK:ベンジルジメチルケタール
表1に示す種類の原材料を表1に示す組成で使用したこと以外は実施例1と同様にして樹脂組成物を作製した。得られた樹脂組成物に関して、実施例1と同様に評価を行った。それらの結果を表1に示す。
以下に、比較例2で使用した各材料とその略称を明記する。尚、この略称は表1と対応している。
ACMO:アクリロイルモルフォリン(興人社製、「ACMO」)
表1からわかるように、実施例1〜7では、針跡を転写することができ、かつ加熱によって針跡を消去することができた。即ち、本発明に係る硬化性樹脂組成物を使用することによって、針跡を転写する部材を検査毎若しくはウエハの種類毎に交換せずに、プローブの検査を繰り返し行うことができる。
Claims (6)
- 被検査体の電気的特性を検査するプローブに硬化性樹脂組成物の硬化体を接触させ、硬化体にプローブの針跡を転写して、転写された針跡を基にプローブの状態を確認し、かつ、プローブの針跡を転写した後に、硬化体を硬化体のガラス転移温度以上に加熱してプローブの針跡を消去する工程を含み、繰り返し検査に供するプローブの検査方法であり、硬化性樹脂組成物が、
(A)炭素数9〜12の飽和脂環式炭化水素基をエステル結合を介して有する単官能(メタ)アクリレート、
(B)炭素数5〜18の飽和炭化水素基(但し飽和脂環式炭化水素基を省く)をエステル結合を介して有する単官能(メタ)アクリレート及び/又は炭素数2〜8のアルコキシアルキル基をエステル結合を介して有する単官能(メタ)アクリレート、
(C)光重合開始剤、
(D)酸化防止剤
を含有し、
(A)と(B)との合計量100質量部中、
(A)50〜99質量部、(B)1〜50質量部であり、
(A)と(B)との合計量100質量部に対して、
(C)光重合開始剤0.1〜20質量部、(D)酸化防止剤0.001〜3質量部を含有し、
硬化性樹脂組成物の硬化体のガラス転移温度が40℃以上100℃未満であることを特徴とするプローブの検査方法。 - (A)と(B)との合計量100質量部中、
(A)50〜90質量部、(B)10〜50質量部であり、
(A)がイソボルニル(メタ)アクリレート
及びジシクロペンタニル(メタ)アクリレートからなる群のうちの1種以上であり、(B)がイソアミル(メタ)アクリレート、イソデシル(メタ)アクリレート及びブトキシエチル(メタ)アクリレートからなる群のうちの1種以上であり、(C)がベンゾイン誘導体とα−アミノアルキルフェノン誘導体からなる群のうちの1種以上であり、(D)がヒンダードフェノールである請求項1に記載のプローブの検査方法。 - (A)炭素数9〜12の飽和脂環式炭化水素基をエステル結合を介して有する単官能(メタ)アクリレート、
(B)炭素数5〜18の飽和炭化水素基(但し飽和脂環式炭化水素基を省く)をエステル結合を介して有する単官能(メタ)アクリレート及び/又は炭素数2〜8のアルコキシアルキル基をエステル結合を介して有する単官能(メタ)アクリレート、
(C)光重合開始剤、
(D)酸化防止剤
を含有し、
(A)と(B)との合計量100質量部中、
(A)50〜99質量部、(B)1〜50質量部であり、
(A)と(B)との合計量100質量部に対して、
(C)光重合開始剤0.1〜20質量部、(D)酸化防止剤0.001〜3質量部を含有し、
硬化性樹脂組成物の硬化体のガラス転移温度が40℃以上100℃未満であるプローブの針跡を転写するための硬化性樹脂組成物。 - (A)と(B)との合計量100質量部中、
(A)50〜90質量部、(B)10〜50質量部であり、
(A)がイソボルニル(メタ)アクリレート
及びジシクロペンタニル(メタ)アクリレートからなる群のうちの1種以上であり、(B)がイソアミル(メタ)アクリレート、イソデシル(メタ)アクリレート及びブトキシエチル(メタ)アクリレートからなる群のうちの1種以上であり、(C)がベンゾイン誘導体とα−アミノアルキルフェノン誘導体からなる群のうちの1種以上であり、(D)がヒンダードフェノールである請求項3に記載の硬化性樹脂組成物。 - 請求項3〜4に記載の硬化性樹脂組成物を硬化してなる硬化体。
- 請求項5に記載の硬化体からなるシートと、
シートを載置する支持台と、
シートを硬化体のガラス転移温度以上に加熱するための加熱装置と、
被検査体を載置する載置台と、
プローブを有するプローブカードと、
シートに転写されたプローブの針跡の状態を確認するための撮像装置とを備える、被検査体の電気的特性を検査するための検査装置。
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