JP5596265B2 - 真空処理装置 - Google Patents
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Description
101 大気側ブロック
102 真空側ブロック
103a,103b,103c,104 処理ユニット
105 搬送ユニット
106 ベッド
107 チャンバ部
108 筐体
109 カセット台
111 位置合わせ部
113,113′ ロック室
201 接続インターフェース
202 基準位置
301 制御ユニット
302 電源ユニット
303 導波管
304 コイル
305 ジャッキ
306 真空容器
401 処理室
402 開口
403 弁
404 ソレノイドコイル
411 大気ゲートバルブ
412 試料台
413 端部
414 マグネトロン
415 石英プレート
416 シャワープレート
417 放電室
418 バッファ室
419 プロセスガスライン
420 遮断バルブ
421 制御器
422 下部リング
423 放電室外側壁部材
424 内側壁部材(石英)
425 放電室ベースプレート
426,428 内側チャンバ
427 支持梁
429 回転バルブ
430 ターボ分子ポンプ
431 プロセスゲートバルブ
Claims (3)
- 内部を大気圧下でウエハが搬送される大気搬送室と、この大気搬送室の前面に配置されてその上に前記ウエハが収納されたカセットが載置されるカセット台複数と、前記大気搬送室の背面側でこれと連結されて配置され平面形状が多角形状を有し減圧された内部を前記ウエハが搬送される真空搬送室と、この真空搬送室の側面に着脱可能に連結され隣り合って放射状に配置されて前記真空搬送室から内部に搬送された前記ウエハを処理する複数の真空処理ユニットと、前記真空搬送室内に配置され上下方向の軸周りの回転と前記真空処理ユニット内部への伸張またはこの内部からの収縮の動作の組み合わせにより前記ウエハを搬送する搬送ロボットとを備えた真空処理装置であって、
前記真空搬送室の前記大気搬送室との連結部側に配置されたヒンジ部の周りに回転して前記真空搬送室の上部を開閉する蓋を備え、
前記複数の真空処理ユニットを構成する複数のエッチング処理ユニットの各々が、真空容器とこの真空容器の内部に配置された円筒形状の処理室と前記真空容器の外側で前記処理室を囲んで配置され磁場を供給するコイルと前記真空容器の上方に配置され水平方向に延在する断面が矩形の管路及びこの管路の一端側の下方でこれと連結された垂直方向に延在する円筒形の管路を備えてその内部を前記水平方向に延在する管路の他端側から前記一端側と前記垂直方向に延在する管路とを介して前記処理室内部に供給される電界が伝播する導波管と前記処理室内部を排気する排気装置と前記処理室内部に配置されその上面にウエハが載せられる試料台と前記導波管及びコイルを前記真空容器上方に移動させるリフターとを備えたものであり、
前記各々のエッチング処理ユニットの前記導波管が、前記処理室と反対の側の端部に配置され前記電界を発振して形成する発振器及びこの発振器と前記処理室との間の前記導波管上に配置され内部を伝播する前記電界を調節するチューナと、前記水平方向の管路の他端側部で連結され前記回転する蓋と干渉しない位置で上方に延在するその断面が矩形の管路と、前記発振器と前記チューナとの間に前記上方に延在する管路と前記水平方向の管路の他端側部との連結部とを有し、
複数の前記エッチング処理ユニットの各々が前記真空搬送室の側面の各々に連結された状態で各々の前記エッチング処理ユニットは前記導波管の前記水平方向に延在する管路が前記真空搬送室側に延在しその水平方向の軸が前記搬送ロボットの前記上下方向の回転軸から前記試料台の中心軸に水平に向かう軸線に対して、上方から見て水平面内で所定の等しい角度だけ曲げられて配置されている真空処理装置。
- 請求項1に記載の真空処理装置であって、前記各々のエッチング処理ユニットは前記導波管が前記上下方向の軸に対して前記片寄せられた側の前記真空容器の側壁に連結された前記リフターを備えた真空処理装置。
- 請求項1または2に記載の真空処理装置であって、前記各々のエッチング処理ユニットの前記真空容器が直方体状の形を備え、隣り合うエッチング処理装置同士の間に使用者による保守用の空間を備えた真空処理装置。
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