JP5594644B2 - カバー装置 - Google Patents

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Description

本発明は、上面に被加工物が積載されるテーブルと、テーブルを往復動させる駆動装置とを備える加工装置に設けられ、当該駆動装置を覆うカバー装置に関する。
加工装置は、例えば、平面研削盤である。平面研削盤では、次のように被加工物を加工(研削)する。テーブルに被加工物を積載する。テーブルを駆動装置により水平方向に往復動させながら、回転している砥石で被加工物を研削する。
このような加工装置では、テーブル上の被加工物または砥石に加工液(研削液)を供給しながら、被加工物を加工する。そのため、加工液が、テーブルから、テーブルの下方に配置された駆動装置へ流入しないようにカバーを設けている。
なお、本願の先行技術文献として、下記の特許文献1、2がある。特許文献1では、加工液が供給される回転工具と、これを回転可能に支持するハウジングとの間にラビリンスシール構造を設けている。特許文献2では、加工液が供給される研削盤のカバーを、テーブルの移動に合わせて伸縮可能に構成している。
特開2000−153426号公報 特開2005−1037号公報
しかし、従来においては、加工液が駆動装置へ流入することを完全に防ぐことができなかった。例えば、加工液の供給量が多い場合には、加工液が駆動装置内に流入することがあった。
そこで、本発明の目的は、往復動しているテーブル上に加工液を供給しながら、テーブル上の被加工物を加工する場合に、テーブルより下方にある駆動装置内へ加工液が流入することをより確実に防止できるカバー装置を提供することにある。
上述の目的を達成するため、第1の発明によると、上面に被加工物が積載されるテーブルと、テーブルより下方に位置してテーブルを往復動させる駆動装置とを備える加工装置に設けられ、前記駆動装置を覆うカバー装置であって、
前記加工装置は、テーブル上に加工液を供給しながらテーブル上の被加工物を加工するようになっており、
前記テーブルの往復動方向一方側に位置して前記駆動装置を上方から覆う移動カバーおよび固定カバーを備え、
移動カバーは、前記テーブルと一体的に往復動するように前記テーブルに水平方向に結合されており、かつ、移動カバーの上面には、前記テーブルから加工液が流入するようになっており、
固定カバーの上面は、移動カバーよりも下方に位置し、移動カバーの上面における往復動方向一方側の端部から落下する加工液を受けるようになっており、
前記固定カバーの前記上面には、移動カバーの往復動方向一方側の端部よりも往復動方向他方側において立ち上り部が設けられ、該立ち上り部は、前記固定カバーの前記上面から上方に立ち上るとともに往復動方向一方側を向く加工液阻止面を有し、
上下方向に関して、前記立ち上がり部の上縁の高さから移動カバーの下面まで延びる空間が設けられ、該空間は、往復動方向に関して、移動カバーの上面における往復動方向一方側の端部から前記立ち上がり部まで連続して延びている。
本発明の好ましい実施形態によると、前記移動カバーは、往復動方向と直交する水平方向における一方側部分と、当該水平方向における他方側部分と、を有し、
前記一方側部分の上面は、当該水平方向の一方側に移行するにつれ下がるように水平面に対し傾斜しており、前記他方側部分の上面は、当該水平方向の他方側に移行するにつれ下がるように水平面に対し傾斜している。
上述の目的を達成するため、第2の発明によると、上面に被加工物が積載されるテーブルと、テーブルより下方に位置してテーブルを水平方向に往復動させる駆動装置とを備える加工装置に設けられ、前記駆動装置を覆うカバー装置であって、
前記加工装置は、テーブル上に加工液を供給しながらテーブル上の被加工物を加工するものであり、
前記テーブルの往復動方向一方側に位置して前記駆動装置を上方から覆う第1の移動カバー、第1の固定カバーおよび第2の移動カバーと、前記テーブルの往復動方向一方側に位置して前記駆動装置を往復動方向一方側から覆う第2の固定カバーと、を備え、
第1の移動カバーは、前記テーブルと一体的に往復動するように前記テーブルに水平方向に結合されており、かつ、第1の移動カバーの上面には、前記テーブルから加工液が流入するようになっており、
第1の固定カバーの上面は、第1の移動カバーよりも下方に位置し、第1の移動カバーの上面における往復動方向一方側の端部から落下する加工液を受けるようになっており、
第1の固定カバーの前記上面には、移動カバーの往復動方向一方側の端部よりも往復動方向他方側において立ち上り部が設けられ、該立ち上り部は、前記固定カバーの前記上面から上方に立ち上るとともに往復動方向一方側を向く加工液阻止面を有し、
第2の移動カバーは、第1の固定カバーよりも下方に位置し、前記テーブルと一体的に往復動するように前記テーブルに水平方向に結合されており、
第2の固定カバーは、第2の移動カバーの上面の下方において往復動方向一方側を向く側面を有する、ことを特徴とするカバー装置が提供される。
上述した第1の発明では、前記固定カバーの前記上面には、移動カバーの往復動方向一方側(駆動装置と反対側)の端部よりも往復動方向他方側において立ち上り部が設けられ、該立ち上り部は、前記固定カバーの前記上面から上方に立ち上るとともに往復動方向一方側を向く加工液阻止面を有するので、移動カバーから固定カバーに流れてきた加工液は、加工液阻止面により駆動装置側へ流れることが防止される。
さらに、第1の発明では、上下方向に関して、前記立ち上がり部の上縁の高さから移動カバーの下面まで延びる空間が設けられ、該空間は、往復動方向に関して、移動カバーの上面における往復動方向一方側の端部から前記立ち上がり部まで連続して延びているので、移動カバーが駆動装置側(往復動方向他方側)へ移動することで、移動カバーと立ち上がり部との間で往復動方向に空気が圧縮されることがない。従って、駆動装置側へ流れ込む空気流(例えば、図3(C)の空気流A)の発生が防止される。その結果、加工液が、このような空気流に巻き込まれて駆動装置側へ進入することが防止される。
よって、第1の発明では、テーブルの駆動装置内へ加工液が流入することをより確実に防止できる。
上述した第2の発明では、第1の移動カバーから第1の固定カバーに流れて来た加工液は、第1の固定カバーの加工液阻止面により、駆動装置側(往復動方向他方側)へ進入することが防止される。
また、第2の発明では、仮に、第2の移動カバーの上面へ加工液が進入した場合に、第2の移動カバーは、往復動方向他方側でテーブルに結合されているので、第2の移動カバー上の加工液が、駆動装置側(往復動方向他方側)へ進入することが防止される。
さらに、第2の発明では、第1の固定カバーよりも下方に第2の移動カバーを設けており、この第2の移動カバー上の加工液が進入し、当該加工液が、第2の移動カバーにおける往復動方向一方側の端部から落下した場合には、当該加工液は、第2の固定カバーの側面により、駆動装置側(往復動方向他方側)へ進入することが防止される。
よって、第2の発明では、テーブルの駆動装置内へ加工液が流入することをより確実に防止できる。
本発明の実施形態によるカバー装置を備えた加工装置を示す。 図1のII−II矢視断面図である。 (A)と(B)は、本発明の実施形態による図1の部分拡大図であり、(C)は、比較対象の構成図である。 (A)は、図1のIVA−IVA矢視図であり、(B)は、図1のIVB−IVB矢視断面図であり、(C)は、図1のIVC−IVC矢視断面図である。 テーブル3が往復動方向一方側(図の左側)へ最も移動した状態を示す。 (A)〜(D)は、図4(C)のX−X矢視図であり、それぞれ、第1の移動カバー、第1の固定カバー、第2の移動カバー、第2の固定カバーを示す。
本発明の好ましい実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各図において共通する部分には同一の符号を付し、重複した説明を省略する。
図1は、本発明の実施形態によるカバー装置10を備える加工装置20の構成図である。図2は、図1のII−II矢視断面図である。なお、図1は、図2のA−A矢視断面図に相当する。
加工装置20は、水平面である上面3aに被加工物1が積載されるテーブル3と、テーブル3より下方に位置してテーブル3を水平方向に往復動させる駆動装置5とを備える。加工装置20は、テーブル3の上面3aに加工液を供給しながらテーブル3上の被加工物1を加工するようになっている。図1の例では、加工装置20は、平面研削盤であり、被加工物1を研削加工する工具2または被加工物1に加工液(研削液)を供給しつつ、駆動装置5がテーブル3を往復動させながら、回転している工具(砥石)2により被加工物1を研削する装置である。
駆動装置5は、駆動モータ7、減速軸9、傘歯車11a、11b、回転軸13、歯車15a、15b、および偏心ピン17を備える。駆動モータ7は、自身の出力軸7aを回転駆動する。駆動モータ7は、好ましくはサーボモータである。出力軸7aと減速軸9には、それぞれ傘歯車11a、11bが固定されている。出力軸7aは、これらの傘歯車11a、11bを介して、減速軸9を回転させる。減速軸9と回転軸13には、それぞれ歯車15a、15bが固定されている。減速軸9は、これらの歯車15a、15bを介して回転軸13を回転させる。回転軸13には、自身の回転中心に対し偏心した偏心ピン17が固定されている。偏心ピン17は、テーブル3の長孔3b(図2を参照)に嵌合している。この嵌合により、回転軸13が回転すると、偏心ピン17の回転によりテーブル3が図1の左右方向に往復動させられる。なお、テーブル3は、図示しないガイド(例えば、LMガイド)によりテーブル3の往復動方向(以下、単に往復動方向という)に案内させられる。
カバー装置10は、駆動装置5を覆うために、第1の移動カバー19、第1の固定カバー21、第2の移動カバー23、および第2の固定カバー25を備える。これらの第1の移動カバー19、第1の固定カバー21、第2の移動カバー23、および第2の固定カバー25を1組のカバー装置10として、同じ構成を持つ2組のカバー装置10が、テーブル3の往復動方向一方側(図1の左側)と往復動方向他方側(図1の右側)にそれぞれ設けられる。
2組のカバー装置10は、同様の構成を有するので、以下において、図1の左側に設けた組のカバー装置10を説明し、図1の右側に設けた組のカバー装置10の説明を省略する。
第1の移動カバー19は、テーブル3の往復動方向一方側に位置して駆動装置5を上方から覆う。第1の移動カバー19は、テーブル3と一体的に往復動するようにテーブル3に水平方向に結合されている。また、第1の移動カバー19の上面19aには、テーブル3の上面3aから加工液が流入するようになっている。
第1の固定カバー21の上面21aは、第1の移動カバー19の上面19aよりも下方に位置する。また、第1の固定カバー21の上面21aは、第1の移動カバー19の上面19aにおける往復動方向一方側の端部19cから落下する加工液を受けるようになっている。
第1の固定カバー21の上面21aには、第1の移動カバー19の上面19aの往復動方向一方側の端部19cよりも往復動方向他方側において立ち上り部27が設けられている。図1の例では、立ち上り部27は、第1の固定カバー21の上面21aにおける往復動方向他方側の端部に設けられている。立ち上り部27は、第1の固定カバー21の上面21aから上方に立ち上るとともに往復動方向一方側を向く加工液阻止面27aを有する。
第1の固定カバー21は、その上面21aにおける往復動方向一方側の端部から下方に延びて往復動方向一方側を向く側面21bを有する。
図3(A)は、図5の左側のカバー装置10における部分拡大図である(なお、図5は、テーブル3が往復動方向一方側(図の左側)へ最も移動した状態を示す)。図3(A)において破線で囲んだ空間S1は、上下方向に関して、立ち上り部27の上縁の高さから第1の移動カバー19の下面まで連続して延びている。また、この空間S1は、往復動方向に関して、第1の移動カバー19の上面19aにおける往復動方向一方側の端部19cから立ち上り部27まで連続して延びている。さらに、この空間S1は、往復動方向に直交する水平方向に関して、第1の固定カバー21の上面21aにおける当該水平方向の一端から当該水平方向の他端まで連続して延びている。
第2の移動カバー23の上面23aは、第1の固定カバー21よりも下方に位置する。第2の移動カバー23は、テーブル3と一体的に往復動するようにテーブル3に水平方向に結合されている。
第2の移動カバー23において、上面23aを形成している部分の往復動方向他方側(駆動装置5側)端部は、テーブル3の側面3cに水密に結合されている。これにより、仮に、第1および第2の移動カバー19、23の間に加工液が進入しても、第2の移動カバー23の上面23aにおける駆動装置5側の端部から駆動装置5内へ当該加工液が進入(落下)することがなくなる。なお、第1の移動カバー19において、上面19aを形成している部分の往復動方向他方側(駆動装置5側)端部も、テーブル3の側面3cに水密に結合されている。
第1および第2の移動カバー19、23がテーブル3と共に往復動方向一方側へ移動すると、第1および第2の移動カバー19、23の上面19a、23aと第1の固定カバー21の上面21aとが上下に重複する範囲が増加し、第1および第2の移動カバー19、23がテーブル3と共に往復動方向他方側へ移動すると、第1および第2の移動カバー19、23の上面19a、23aと第1の固定カバー21の上面21aとが上下に重複する範囲が減少するようになっている。
第2の固定カバー25は、第2の移動カバー23の上面23aの下方において往復動方向一方側を向く側面25aを有する。
図3(B)は、図5の左側のカバー装置10における部分拡大図である。図3(B)において破線で囲んだ空間S2は、上下方向に関して、第2の固定カバー25の側面25aにおける上縁の高さから第2の移動カバー23の下面まで連続して延びている。また、この空間S2は、往復動方向に関して、第2の移動カバー23の上面23aにおける往復動方向一方側の端部23cから第2の固定カバー25の側面25aまで連続して延びている。さらに、この空間S2は、往復動方向に直交する水平方向に関して、第2の固定カバー25の側面25aにおける当該水平方向の一端から当該水平方向の他端まで連続して延びている。
図4(A)は、図1のIVA−IVA矢視図である。図4(B)は、図1のIVB−IVB矢視断面図である。図4(C)は、図1のIVC−IVC矢視断面図である。なお、図4において、カバー装置10以外の構成は図示を省略している。
図4(A)、図4(B)のように、第1の移動カバー19の上面19aおよび第1の固定カバー21の上面21aは、それぞれ、逆V字型を形成するように水平面に対し傾斜している。具体的には、次の通りである。
第1の移動カバー19は、往復動方向と直交する水平方向における一方側部分29と、当該水平方向における他方側部分31と、を有する。一方側部分29の上面19aは、当該水平方向の一方側に移行するにつれ下がるように水平面に対し傾斜している。他方側部分31の上面19aは、当該水平方向の他方側に移行するにつれ下がるように水平面に対し傾斜している。
同様に、第1の固定カバー21は、図4(B)のように、往復動方向と直交する水平方向における一方側部分33と、当該水平方向における他方側部分35と、を有する。一方側部分33の上面21aは、当該水平方向の一方側に移行するにつれ下がるように水平面に対し傾斜している。他方側部分35の上面21aは、当該水平方向の他方側に移行するにつれ下がるように水平面に対し傾斜している。
図4(C)のように、第2の移動カバー23の上面23aも、逆V字型を形成するように水平面に対し傾斜している。具体的には、次の通りである。
第2の移動カバー23は、往復動方向と直交する水平方向における一方側部分37と、当該水平方向における他方側部分39と、を有する。一方側部分37の上面23aは、当該水平方向の一方側に移行するにつれ下がるように水平面に対し傾斜している。他方側部分39の上面23aは、当該水平方向の他方側に移行するにつれ下がるように水平面に対し傾斜している。
上述のように、第1の移動カバー19、第1の固定カバー21、および第2の移動カバー23の上面19a、21a、23aは、逆V字型になっているので、加工液を、往復動方向と直交する水平方向に関して駆動装置5の外側へ導くことができ、かつ、各カバー19、21、23の薄板状に形成してもこれらの強度を確保できる。
図4(A)、図4(B)、図4(C)のように、第1の移動カバー19は、往復動方向と直交する水平方向の両端部において、第1の移動カバー19の上面19aから下方に延びる側面19bを有する。
同様に、第1の固定カバー21は、往復動方向と直交する水平方向の両端部において、第1の固定カバー21の上面21aから下方に延びる側面21cを有する。これら側面21cの間に駆動装置5が設けられている。
図5は、テーブル3が往復動方向一方側へ最も移動した状態を示す。なお、図1は、テーブル3が往復動方向他方側へ最も移動した状態を示す。
図1の状態と図5の状態のいずれにおいても、第1の移動カバー19の上面19aにおける往復動方向一方側の端部19cは、立ち上り部27よりも往復動方向一方側に位置している。これにより、立ち上がり部27よりも往復動方向他方側に、第1の移動カバー19の上面19aから加工液が落下しない。
図1の状態と図5の状態のいずれにおいても、第2の移動カバー23の上面23aにおける往復動方向一方側の端部は、第2の固定カバー25の側面25aよりも往復動方向一方側に位置している。これにより、第2の固定カバー25の側面25aよりも往復動方向他方側に、第2の移動カバー23の上面23aから加工液が落下しない。
上述した実施形態のカバー装置10によると、特に、以下の効果(A)、(B)、(C)が得られる。
(A)第1の固定カバー21の上面21aには、第1の移動カバー19の上面19aの往復動方向一方側の端部19cよりも往復動方向他方側に位置する立ち上り部27が設けられ、該立ち上り部27は、第1の固定カバー21の上面21aから上方に立ち上るとともに往復動方向一方側を向く加工液阻止面27aを有するので、第1の移動カバー19から第1の固定カバー21に流れてきた加工液は、加工液阻止面27aにより駆動装置5側へ流れることが防止される。
(B)上述した空間S1(図3(A)を参照)を確保することで、第1の移動カバー19が駆動装置5側(すなわち、往復動方向他方側)へ移動する時に、加工液が、この移動で発生する空気流に巻き込まれて、駆動装置5側へ進入することが防止される。具体的には、次の通りである。
仮に、図3(C)のように、第1の移動カバー19の往復動方向一方側端部19cに下方に折り曲げられた折り返し部Bが形成されている場合には、この折り返し部Bにより、第1の移動カバー19の上面19aにおける往復動方向一方側端部19cから落下する加工液が、駆動装置5側(往復動方向他方側)へ進入することが防止されるようにも考えられる。
ところが、第1の移動カバー19が駆動装置5側へ移動する時に、折り返し部Bと立ち上り部27との間で、空気が、当該移動方向に圧縮され、駆動装置5内へ流れ込む。その結果、図3(C)において矢印Aで示す空気流が発生し、加工液が、この空気流Aに巻き込まれて当該空気流Aと共に駆動装置5側へ進入してしまう。
そこで、本実施形態では、空間S1が、上下方向に関して、立ち上り部27の上縁の高さから第1の移動カバー19の下面まで連続して延びているとともに、往復動方向に関して、第1の移動カバー19の上面19aにおける往復動方向一方側の端部19cから立ち上り部27まで連続して延びるようにしたので、第1の移動カバー19が駆動装置5側へ移動することで、空気が、第1の移動カバー19と立ち上り部27との間で往復動方向に圧縮されることがない。従って、駆動装置5側(往復動方向他方側)へ流れ込む空気流の発生が防止される。その結果、加工液が、このような空気流に巻き込まれて駆動装置5内へ進入することが防止される。
なお、上述した図3(B)の空間S2によっても、空間S1と同様の効果が得られる。すなわち、第2の固定カバー25の側面25aより往復動方向一方側に、加工液(例えば、ミスト状の加工液)が存在する場合に、当該加工液が、上述の空気流Aと同様の空気流に巻きこまれて側面25aより往復動方向他方側に進入することが防止される。
(C)第1および第2の移動カバー19、23と、第1および第2の固定カバー21、25とにより、駆動装置5側(往復動方向他方側)へ加工液が進入することがより確実に防止される。具体的には、次の通りである。
上述のように、第1の移動カバー19の上面19aから第1の固定カバー21の上面21aに流れて来た加工液は、第1の固定カバー21の加工液阻止面27aにより、第1の固定カバー21の上面21aから駆動装置5側(往復動方向他方側)へ進入することが防止される。
また、仮に、第2の移動カバー23の上面23aへ加工液が進入した場合に、テーブルの側面3cにより、第2の移動カバー23の上面23aの加工液が駆動装置5側(往復動方向他方側)へ進入することが防止される。
さらに、第2の移動カバー23の上面23aにおける往復動方向一方側の端部から加工液が下方に落ちた場合に、当該加工液は、第2の固定カバー25の側面25aにより、駆動装置5側(往復動方向他方側)へ進入することが防止される。
このような4層のカバー構造を設けたので、加工液が多量であったり、加工液がミスト化しても、駆動装置5内へ加工液が進入することを防止できる。
上述では、図1の左側に設けた組のカバー装置10を説明したが、図1の右側に設けた組のカバー装置10の構成は、図1の左側に設けた組のカバー装置10と同じ構成を有する。
すなわち、図1の右側に設けた組のカバー装置10の構成については、上述において、往復動方向一方側を往復動方向他方側に読み替え、往復動方向他方側を往復動方向一方側に読み替え、他の点は、上述と同じである。
図6(A)は、図4(C)のX−X矢視図(図4(C)における右側から見た図)であるが、カバー装置10のうち第1の移動カバー19のみを示している。また、図6(A)では、駆動装置5を破線で透視して示し、他の構成については、テーブル3のみを示している。図6(A)のように、前記各組のカバー装置10における第1の移動カバー19の側面19bは、テーブル19の側面3dと1つの連続する側面を構成している。
図6(B)は、図4(C)のX−X矢視図であるが、カバー装置10のうち第1の固定カバー21のみを示している。また、図6(B)では、駆動装置5を破線で透視して示し、他の構成については、図示を省略している。図6(B)のように、前記各組のカバー装置10における第1の固定カバー21の側面21cは、1つの連続する側面を構成している。
図6(C)は、図4(C)のX−X矢視図であるが、カバー装置10のうち第2の移動カバー23のみを示している。また、図6(C)では、駆動装置5を破線で透視して示し、他の構成については、図示を省略している。図6(B)のように、前記各組のカバー装置10における第2の移動カバー23の側面23bは、1つの連続する側面を構成している。
図6(D)は、図4(C)のX−X矢視図であるが、カバー装置10のうち第2の固定カバー25のみを示している。また、図6(C)では、駆動装置5を破線で透視して示し、他の構成については、図示を省略している。図6(C)のように、前記各組のカバー装置10における第2の固定カバー25の側面25bは、1つの連続する側面を構成している。
なお、図4(C)における左側から見た場合においても、第1の移動カバー19の側面19b、テーブル3の側面3d、第1の固定カバー21の側面21c、第2の移動カバー23の側面23b、および第2の固定カバー25の側面25bは、図6(A)〜図6(D)の場合と同様に構成されている。
本発明は上述した実施の形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更を加え得ることは勿論である。例えば、以下の変更例1〜3を、任意に選択して組み合わせて採用してもよいし、以下の変更例1〜4のいずれかを単独で採用してよい。この場合、他の点は、上述と同じであってよい。
(変更例1)
上述では、加工装置20は、平面研削盤であったが、他の工作機械であってもよい。すなわち、加工装置20は、水平面である上面3aに被加工物1が積載されるテーブル3と、テーブル3より下方に位置してテーブル3を水平方向に往復動させる駆動装置5とを備え、テーブル3の上面3aに加工液(冷却用または潤滑用の液体)を供給しながらテーブル3上の被加工物1を切削工具または研削工具で切削加工または研削加工するようになっているもの(例えば、フライス盤)であればよい。
(変更例2)
駆動装置5は、テーブル3より下方に位置して、テーブル3を水平方向に往復動させることができさえすれば、上述した構成以外の構成を有していてもよい。
(変更例3)
上述において、第2の移動カバー23と第2の固定カバー25を省略してもよい。
(変更例4)
第1の移動カバー19、第1の固定カバー21、第2の移動カバー23、第2の固定カバー25を設ける場合には、上述の空間S1、S2を確保しなくてもよい。
1 被加工物、3 テーブル、3a テーブルの上面、3b テーブルの長孔、3c、3d テーブルの側面、5 駆動装置、19 第1の移動カバー、19a 第1の移動カバーの上面、19b 第1の移動カバーの側面、19c 第1の移動カバーの往復動方向端部、20 加工装置、21 第1の固定カバー、21b 側面、23 第2の移動カバー、25 第2の固定カバー、25a 第2の固定カバーの側面、27 立ち上り部、27a 加工液阻止面、29 第1の移動カバーの一方側部分、31 第1の移動カバーの他方側部分、33 第1の固定カバーの一方側部分、35 第1の固定カバーの他方側部分、37 第2の移動カバーの一方側部分、39 第2の移動カバーの他方側部分

Claims (3)

  1. 上面に被加工物が積載されるテーブルと、テーブルより下方に位置してテーブルを往復動させる駆動装置とを備える加工装置に設けられ、前記駆動装置を覆うカバー装置であって、
    前記加工装置は、テーブル上に加工液を供給しながらテーブル上の被加工物を加工するようになっており、
    前記テーブルの往復動方向一方側に位置して前記駆動装置を上方から覆う移動カバーおよび固定カバーを備え、
    前記移動カバーは、前記テーブルと一体的に往復動するように前記テーブルに前記往復動方向に結合されており、かつ、前記移動カバーの上面には、前記テーブルから加工液が流入するようになっており、
    前記固定カバーの上面は、前記移動カバーよりも下方に位置し、前記移動カバーの上面における前記往復動方向一方側の端部から落下する加工液を受けるようになっており、
    前記固定カバーの前記上面には、前記移動カバーの前記往復動方向一方側の端部よりも前記往復動方向他方側において立ち上り部が設けられ、該立ち上り部は、前記固定カバーの前記上面から上方に立ち上るとともに前記往復動方向一方側を向く加工液阻止面を有し、
    上下方向に関して、前記立ち上がり部の上縁の高さから前記移動カバーの下面まで延びる空間が設けられ、該空間は、水平方向である前記往復動方向に、前記立ち上がり部から、前記移動カバーにおける前記往復動方向一方側の端まで連続して延びて確保されており、そのまま、前記移動カバーの外側へ前記往復動方向の一方側に開放されており、前記移動カバーが前記往復動方向の他方側へ移動する時に、前記移動カバーと立ち上がり部との間で前記往復動方向に空気が圧縮されないようになっている、ことを特徴とするカバー装置。
  2. 前記移動カバーは、前記水平方向である前記往復動方向と直交する別の水平方向における一方側部分と、当該別の水平方向における他方側部分と、を有し、
    前記一方側部分の上面は、当該別の水平方向の一方側に移行するにつれ下がるように水平面に対し傾斜しており、前記他方側部分の上面は、当該水平方向の他方側に移行するにつれ下がるように水平面に対し傾斜している、ことを特徴とする請求項1に記載のカバー装置。
  3. 上面に被加工物が積載されるテーブルと、テーブルより下方に位置してテーブルを水平方向に往復動させる駆動装置とを備える加工装置に設けられ、前記駆動装置を覆うカバー装置であって、
    前記加工装置は、テーブル上に加工液を供給しながらテーブル上の被加工物を加工するものであり、
    前記テーブルの往復動方向一方側に位置して前記駆動装置を上方から覆う第1の移動カバー、第1の固定カバーおよび第2の移動カバーと、前記テーブルの往復動方向一方側に位置して前記駆動装置を往復動方向一方側から覆う第2の固定カバーと、を備え、
    第1の移動カバーは、前記テーブルと一体的に往復動するように前記テーブルに水平方向に結合されており、かつ、第1の移動カバーの上面には、前記テーブルから加工液が流入するようになっており、
    第1の固定カバーの上面は、第1の移動カバーよりも下方に位置し、第1の移動カバーの上面における往復動方向一方側の端部から落下する加工液を受けるようになっており、
    第1の固定カバーの前記上面には、移動カバーの往復動方向一方側の端部よりも往復動方向他方側において立ち上り部が設けられ、該立ち上り部は、第1の固定カバーの前記上面から上方に立ち上るとともに往復動方向一方側を向く加工液阻止面を有し、
    第2の移動カバーは、第1の固定カバーよりも下方に位置し、前記テーブルと一体的に往復動するように前記テーブルに水平方向に結合されており、
    第2の固定カバーは、第2の移動カバーの上面の下方において往復動方向一方側を向く側面を有する、ことを特徴とするカバー装置。
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