JP5590851B2 - 回折光学素子、積層型回折光学素子及びその製造方法 - Google Patents
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Description
図3は、第1の実施形態による積層型回折光学素子10を示す断面図である。図中1はメニスカス形状の第1のガラス基板であり、2は凸形状の第2のガラス基板である。第1、第2のガラス基板1、2の間には、第1のガラス基板1側から、第1の樹脂層3と第2の樹脂層4が形成されておいる。第1の樹脂層3と第2の樹脂層4は、紫外光等の光により硬化する光硬化樹脂であり、第2の樹脂層4には、金属微粒子が分散している。第1の樹脂層3と第2の樹脂層4の境界面は鋸歯状断面の回折格子形状をなしており、この回折格子形状の境界面により積層型回折光学素子10は回折作用を発現する。回折格子形状の境界面は、光学有効面である格子斜面11と、格子の高さを形成する格子壁面112から形成されている。
第1の実施の形態では、光硬化樹脂材料3aへの紫外光の照射は、第1のガラス基板1を介して行われ、光硬化樹脂材料4aへの紫外光の照射は、第2のガラス基板2を介して行われている。第2実施形態では、図7(a)に示すように、成形型8に紫外光を透過する材料を用いることにより、成形型8側から光硬化樹脂材料4aを硬化させることも可能である。図7(b)の要部詳細図である。図7(a)、(b)において、紫外光30a、30bは紫外光の行路を示しており、それぞれ異なる格子斜面11に対して、垂直方向から入射している。成形型8としては、メタクリレートを主材とした紫外光硬化樹脂を、予めNiPめっき層を所望の格子形状を切削加工したマスター型を用いることができる。この場合レンズ群9は、紫外光30a、30bが樹脂材料4の全ての格子斜面11に対して垂直に入射するように設計されている。
3、4 樹脂層
5 金型
8 成形型
10 回折格子
100 回折格子形状
111 格子斜面
112 格子壁面
Claims (10)
- ガラス基板と、前記ガラス基板に積層された、光学有効面の格子斜面と格子の高さを形成する格子壁面とを複数有する回折格子形状を有する光硬化樹脂からなる樹脂層とを備え、前記樹脂層の屈折率が、前記回折格子形状の前記格子斜面から前記樹脂層の厚み方向に変化しており、前記屈折率が変化する方向が前記格子斜面に対して垂直方向であることを特徴とする回折光学素子。
- ガラス基板と、前記ガラス基板に積層された、光学有効面の格子斜面と格子の高さを形成する格子壁面とを複数有する回折格子形状を有する光硬化樹脂からなる樹脂層とを備え、前記樹脂層の屈折率が、前記回折格子形状の前記格子斜面において前記樹脂層の厚み方向に変化しており、前記屈折率が変化する方向が、前記格子斜面に対して垂直もしくは垂直方向よりも前記樹脂層の同一の格子斜面の薄肉側に傾斜していることを特徴とする回折光学素子。
- 前記樹脂層はフッ素系樹脂であり、金属微粒子が分散していることを特徴とする請求項1または2に記載の回折光学素子。
- 第1のガラス基板と、第2のガラス基板と、第1のガラス基板と第2のガラス基板の間に積層して配置され、お互いの境界面に光学有効面の格子斜面と格子の高さを形成する格子壁面とを複数有する回折格子形状を有する光硬化樹脂からなる第1の樹脂層と第2の樹脂層を備え、前記第2の樹脂層の屈折率が、前記回折格子形状の前記格子斜面において前記樹脂層の厚み方向に変化しており、前記屈折率が変化する方向が、前記格子斜面に対して垂直もしくは垂直方向よりも前記樹脂層の同一の格子斜面の薄肉側に傾斜していることを特徴とする積層型回折光学素子。
- 前記第2の樹脂層はフッ素系樹脂であり、金属微粒子が分散していることを特徴とする請求項4に記載の積層型回折光学素子。
- ガラス基板に、光学有効面の格子斜面と格子の高さを形成する格子壁面とを複数有する回折格子形状を有する樹脂層が積層された回折光学素子の製造方法において、前記回折格子形状を有する成形型に光硬化樹脂材料を供給する工程と、前記成形型に供給された光硬化樹脂材料の上から前記ガラス基板を接触させ、前記光硬化樹脂材料を前記成形型と前記ガラス基板の間に充填させる工程と、前記成形型の前記回折格子形状の前記格子斜面に対して、垂直もしくは垂直方向よりも前記樹脂層の同一の格子斜面の薄肉側に傾斜している方向から光を照射して前記光硬化樹脂材料を硬化させることで、前記ガラス基板と回折格子形状を有する樹脂層とを一体化する工程と、前記一体化した前記ガラス基板と樹脂層とを前記成形型から離型する工程を有することを特徴とする回折光学素子の製造方法。
- 前記光硬化樹脂材料は紫外光硬化樹脂であり、前記照射する光は紫外光であり、前記成形型は紫外光を透過する材料から形成されており、前記紫外光の照射は、前記成形型を介して行われることを特徴とする請求項6に記載の回折光学素子の製造方法。
- 前記光の照射方向は、光源と前記ガラス基板および樹脂層との間に配置されたレンズ群により定められていることを特徴とする請求項6または7のいずれか一方に記載の回折光学素子の製造方法。
- 第1のガラス基板と、第2のガラス基板と、第1のガラス基板と第2のガラス基板の間に積層して配置され、お互いの境界面に光学有効面の格子斜面と格子の高さを形成する格子壁面とを複数有する回折格子形状を有する光硬化樹脂からなる第1の樹脂層と第2の樹脂層を有する積層型回折光学素子の製造方法において、前記回折格子形状を有する成形型に第1の光硬化樹脂材料を供給する工程と、前記成形型に供給された第1の光硬化樹脂材料の上から前記第1のガラス基板を接触させ、前記第1の光硬化樹脂材料を前記成形型と前記第1のガラス基板の間に充填させる工程と、前記第1の光硬化樹脂材料に、光を照射して前記光硬化樹脂材料を硬化させることで、前記第1のガラス基板と前記第1の樹脂層とを一体化する工程と、前記一体化した前記ガラス基板と前記第1の樹脂層とを前記成形型から離型する工程と、前記第2のガラス基板に第2の光硬化樹脂材料を供給する工程と、前記第2のガラス基板に供給された第2の光硬化樹脂材料の上から、前記一体化した前記ガラス基板と前記第1の樹脂層を、前記第2の光硬化樹脂材料と前記第1の樹脂層が接触させ、前記第2の光硬化樹脂材料を前記第1の樹脂層と前記第2のガラス基板の間に充填させる工程と、前記回折格子形状の前記格子斜面に対して、垂直もしくは垂直方向よりも前記樹脂層の同一の格子斜面の薄肉側に傾斜している方向から光を照射して前記第2の光硬化樹脂材料を硬化させることで、一体化した前記第1のガラス基板と第1の樹脂層と、前記第2のガラス基板および第2の樹脂層とを一体化する工程と、を有することを特徴とする積層型回折光学素子の製造方法。
- 前記第2の樹脂層はフッ素系樹脂であり、金属微粒子が分散していることを特徴とする請求項9に記載の積層型回折光学素子の製造方法。
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