JP5588918B2 - 超音波検査方法 - Google Patents
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Description
かかる方法により、総素子数を変えることなく、センサ開口の大型化できるとともに、オーバーピッチのセンサを用いても、斜角探傷においてノイズの低い検査画像を得ることができるものとなる。
最初に、図1〜図5を用いて、本実施形態による超音波検査方法の基本概念について説明する。
図1は、本発明の一実施形態による超音波検査方法の基本概念を示す説明図である。なお、図1(A)は断面図であり、図1(B)は平面図である。図2は、本発明の一実施形態による超音波検査方法の基本概念を示す斜視図である。図3は、本発明の一実施形態によるアレイセンサの第1の構成を示す平面図である。図4は、本発明の一実施形態による超音波検査方法により得られる信号の説明図である。図5は、本発明の一実施形態によるアレイセンサの第2の構成を示す平面図である。なお、図1〜図5において、同一符号は同一部分を示している。
図6は、本発明の一実施形態による超音波検査装置の構成を示すブロック図である。
図7は、本発明の一実施形態による超音波検査装置により検査方法の内容を示すフローチャートである。
図8は、本発明の一実施形態による超音波検査方法の変形例を示す説明図である。なお、図1〜図5と同一符号は、同一部分を示している。
最初に、図9を用いて、本実施形態によるアレイセンサの構成について説明する。
図9は、本発明の他の実施形態によるアレイセンサの構成を示す平面図である。
図10は、本発明の他の実施形態による超音波検査装置の構成を示すブロック図である。なお、図6と同一符号は同一部分を示している。
図11は、本発明の他の実施形態による超音波検査装置により検査方法の内容を示すフローチャートである。なお、図7と同一ステップは同一内容を示している。
Claims (2)
- 超音波を発振する複数の超音波発振素子を配列したアレイセンサと、
各素子に遅延時間を与えて検査対象の表面に対し斜角入射するように超音波を送信させ、前記検査対象からの反射波を受信させ、前記反射波から前記検査対象を検査する装置とを用い、
前記検査対象中の検査範囲に複数の焦点を設定し、前記複数の焦点のそれぞれに対し、前記検査対象の内部からの反射信号をそれぞれ収録し、得られた反射信号を閾値処理し、前記検査対象の内部を画像化して検査を行う超音波検査方法であって、
前記アレイセンサとして、前記複数の超音波発振素子のピッチが超音波の斜角入射方向に向かって大きくなっているアレイセンサを用い、
前記検査対象の検査範囲に近い側の前記超音波発信素子のピッチが遠い側の前記超音波発信素子のピッチよりも大きくなるように、前記アレイセンサが配置されることを特徴とする超音波検査方法。 - 請求項1記載の超音波検査方法において、
前記アレイセンサとして、第1の検査範囲に対して使用する複数の第1の超音波発信素子のピッチが第1の超音波の斜角入射方向に向かって大きく、且つ第2の検査範囲に対して使用する複数の第2の超音波発信素子のピッチが第2の超音波の斜角入射方向に向かって大きくなっているアレイセンサを用い、
前記第1の検査範囲に近い側の前記第1の超音波発信素子のピッチが遠い側の前記第1の超音波発信素子のピッチよりも大きくなるように、且つ前記第2の検査範囲に近い側の前記第2の超音波発信素子のピッチが遠い側の前記第2の超音波発信素子のピッチよりも大きくなるように、前記アレイセンサが配置されることを特徴とする超音波検査方法。
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