JP5574912B2 - スズめっき液 - Google Patents

スズめっき液 Download PDF

Info

Publication number
JP5574912B2
JP5574912B2 JP2010237220A JP2010237220A JP5574912B2 JP 5574912 B2 JP5574912 B2 JP 5574912B2 JP 2010237220 A JP2010237220 A JP 2010237220A JP 2010237220 A JP2010237220 A JP 2010237220A JP 5574912 B2 JP5574912 B2 JP 5574912B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plating
tin
plating solution
surfactant
tin plating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2010237220A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2012087393A (ja
Inventor
慎二朗 林
誠 酒井
睦子 齊藤
Original Assignee
ローム・アンド・ハース電子材料株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ローム・アンド・ハース電子材料株式会社 filed Critical ローム・アンド・ハース電子材料株式会社
Priority to JP2010237220A priority Critical patent/JP5574912B2/ja
Priority to TW100138031A priority patent/TWI480430B/zh
Priority to EP11185970.8A priority patent/EP2444527B1/en
Priority to KR1020110108046A priority patent/KR101826103B1/ko
Priority to US13/279,280 priority patent/US20120132530A1/en
Priority to CN201110403211.6A priority patent/CN102660760B/zh
Publication of JP2012087393A publication Critical patent/JP2012087393A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5574912B2 publication Critical patent/JP5574912B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D3/00Electroplating: Baths therefor
    • C25D3/02Electroplating: Baths therefor from solutions
    • C25D3/30Electroplating: Baths therefor from solutions of tin
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D3/00Electroplating: Baths therefor
    • C25D3/02Electroplating: Baths therefor from solutions
    • C25D3/30Electroplating: Baths therefor from solutions of tin
    • C25D3/32Electroplating: Baths therefor from solutions of tin characterised by the organic bath constituents used
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/02Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
    • H05K3/06Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding the conductive material being removed chemically or electrolytically, e.g. by photo-etch process
    • H05K3/061Etching masks
    • H05K3/062Etching masks consisting of metals or alloys or metallic inorganic compounds

Description

本発明はスズめっき液に関し、詳しくは、プリント基板用の金属レジストとして有用な無光沢スズめっきに用いるめっき液に関する。
スズめっきやスズ−鉛合金めっきは、従来よりはんだ付けやエッチングレジストに利用されている。しかし、近年の技術革新によってプリント基板の配線パターンが複雑になったことに伴い、めっき対象の形状も複雑となり、微細な箇所と広い箇所の双方に同時に均一なめっき皮膜を形成することが求められるようになってきた。さらにめっき対象となるプリント基板がスルーホールを有する場合には、スルーホール内にも均一なめっき皮膜を形成することが望まれる。
従来のスズめっき液のうち、スルーホールへ均一性の高いめっき皮膜を形成することが可能なめっき浴は、強いめっき抑制作用を有する物質を含有するため、高い電流密度部分では析出粒子が大きく変化し、ヤケ(樹枝状析出や粉体状析出)が生じやすい。これを防止するために金属イオンの量を増やしたり、温度を上げてめっきを行うと、高い電流密度部分でのヤケはなくなるが、微細な箇所と広い箇所で膜厚が大きく異なってしまい、いわゆる面内膜厚分布が悪くなる。また、電流密度を下げるとヤケは少なくなるが、単位時間当たりのめっき効率が下がるため、実用的ではない。
さらに、ハイスロー浴(低金属濃度・高酸濃度)では、均一電着性は向上するものの、限界電流密度が下がるため、低電流密度での作業が強いられるという問題が生じる。
特許文献1には、金属イオンと、伝導性酸またはその塩と、非イオン性界面活性剤とを含み、酸性ないし弱酸性の組成液を基本とし、かつ少なくとも一種のフェナントロリン系化合物を含むスズめっき用組成液が開示されている。しかし、界面活性剤として非イオン性界面活性剤を用いるのみでは、後述するように、電流密度の低い箇所でのめっき皮膜が薄くなってしまい、面内膜厚分布が悪くなるという問題が生じる。
また、特許文献2には、少なくとも2個の窒素原子を有する複素環化合物を含むスズ−鉛合金めっき液が開示されている。しかし、同文献で好ましいとされている少なくとも2個の窒素原子を有する化合物であっても、化合物の種類によっては後述するように、スルーホールを有する基板上のめっき外観が不均一になるという問題が生じる。
特許第336621号公報 米国特許第492376号明細書
本発明は、上記の従来の問題点に鑑みてなされたものであり、近年の高度に複雑化したプリント基板のめっきにおいてもヤケがなく、面内膜厚分布の均一性に優れ、スルーホールめっきの均一性にも優れるスズめっき液を提供することを目的とする。
本発明者らは、スズめっき液の研究において、従来はそれぞれがめっき液の組成として知られていた特定の化合物を組み合わせることにより、面内膜厚分布が均一で、ヤケが少なく、さらにスルーホール内のめっき均一性(スローイングパワー)に優れたスズめっき液が得られることを知見し、鋭意研究の結果本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明は、スズイオン源、少なくとも1種の非イオン性界面活性剤、イミダゾリンジカルボキシレート及び1,10−フェナントロリンを含有するスズめっき液に関する。非イオン性界面活性剤は、ポリアルキレンオキシド基をその分子中に含有する非イオン性界面活性剤が好ましい。また、本発明のスズめっき液は、さらに酸化防止剤を含有することができる。
本明細書全体で用いられている次の省略形は、文脈から明らかに他の意味が示されていない限り、次の意味を有するものとする。℃=摂氏度、g=グラム、mL=ミリリットル、L=リットル、wt%=重量%、A/dm及びASD=1平方デシメートルあたりのアンペア、μm=マイクロメートル。
本発明のスズめっき液は、スズイオン源、少なくとも1種の非イオン性界面活性剤、イミダゾリンジカルボキシレート及び1,10−フェナントロリンを含有する。
スズイオン源は、めっき液として溶解させた際にスズイオンを形成するものであればよく、無機又は有機のスズ塩を用いることができる。スズイオン源の具体例としては、硫酸スズ、ほうフッ化スズ、ハロゲン化スズ、メタンスルホン酸スズ、エタンスルホン酸スズ、プロパンスルホン酸スズ、2−ヒドロキシエタン1−スルホン酸スズ、2−ヒドロキシプロパンー1−スルホン酸スズ、1−ヒドロキシプロパン−2−スルホン酸スズ等が挙げられる。これらは単独または2種以上の混合物として使用することができる。
めっき液中のスズイオン源の濃度は、金属スズとして好ましくは5〜35g/L、より好ましくは10〜30g/L、さらに好ましくは15〜25g/Lである。
非イオン性界面活性剤としては、任意の非イオン性界面活性剤を用いることができ、例えばポリオキシアルキレンアルキルフェニルエーテル系界面活性剤、ポリオキシアルキレングリコール系界面活性剤等を用いることができる。具体的には、ポリエチレングリコール、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンプロピレンコポリマー等が挙げられる。中でも、ポリアルキレンオキシド基をその分子中に有する非イオン性界面活性剤が好ましい。具体的には、エチレンオキシド基を分子中に7モル以上、好ましくは7モル〜20モル含むアルキルアルコールエチレンオキサイド付加物が好ましい。これらの非イオン性界面活性剤は単独で用いても、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
めっき液中の非イオン性界面活性剤の濃度は、好ましくは1〜4.5g/L、より好ましくは1.5〜3g/L、さらに好ましくは2〜2.5g/Lである。
本発明に用いるイミダゾリンジカルボキシレートは、下記構造を有する化合物である。なお、下記構造式ではイミダゾリンジカルボキシレートをナトリウム塩として表しているが、本発明に用いるイミダゾリンジカルボキシレートはナトリウム塩に限られず、任意の塩であってよい。
Figure 0005574912
ここで、Rは炭素数1〜20のアルキル基であり、R及びRはそれぞれ同一又は異なって、直接結合または炭素数1〜5のアルキレン基である。めっき液中のイミダゾリンジカルボキシレートの濃度は、好ましくは0.2〜1.0g/L、より好ましくは0.3〜0.7g/L、さらに好ましくは0.4〜0.6g/Lである。
1,10−フェナントロリンは市販のものを用いることができる。めっき液中の1,10−フェナントロリンの濃度は、重量基準で好ましくは0.5〜4ppm、より好ましくは1〜3ppm、さらに好ましくは1.5〜2.5ppmである。
本発明のスズめっき液は、任意成分として酸化防止剤、pH調整剤、気泡防止剤、消泡剤等をさらに含有することができる。
酸化防止剤は一般にめっき液に用いられるものであってよい。好ましい酸化防止剤としては、カテコール、ヒドロキシベンゼンスルホン酸、アスコルビン酸等が挙げられる。
本発明のスズめっき液は、プリント基板のエッチングレジスト用めっき液として有用である。プリント基板のエッチングレジストとは、回路形成に用いられるアルカリエッチング液に対して保護皮膜として作用するものである。例えば、穴あけ加工、洗浄、表面粗化、無電解銅めっきによる導電化処理、めっきレジストによるパターニング、電解銅めっき(パターンめっき)を行った基板に対し、回路配線をエッチング液から保護することを目的として、本発明のめっき液を用いてパターンめっきを行い、次いでめっきレジストを剥離し、エッチング液によるエッチングを行う。その後めっき層を剥離し、適宜必要とする工程を行い、部品を実装する。
本発明を以下の実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はそれらに限定されるものではない。
(評価試験)
各実施例及び比較例で調製しためっき液の性能を評価するため、下記条件でハルセルテスト及びスリットハルセルテストを行った。また、スルーホールへのめっき均一性を評価するため、スローイングパワーを測定した。なお、ハルセルテストは広範囲の電流密度でのめっき外観と膜厚分布を評価する試験法であり、スリットハルセルテストは低電流密度での析出性を評価する試験法である。
<条件>
[ハルセルテスト]
電流:1アンペア
めっき時間:5分
撹拌速度:2m/分
浴温度:23℃
[スリットハルセルテスト]
電流:0.1アンペア
めっき時間:3分
撹拌:なし
浴温度:23℃
[スローイングパワー]
浴温度:23℃
撹拌速度:1.2m/分
めっきセル:ハーリングセル
浴液量:1.5L
めっき厚:7μm
電流密度:1.5ASD
(実施例1〜3及び比較例1〜6)
下記表1に示す組成のスズめっき液を調製し、ハルセルテスト及びテスト基板へのめっき試験を行った。なお、テスト基板へのめっき試験は、いわゆるベタ部や広いランド部分(グラウンドエリア;Ground area)と独立箇所(Isolated area)を同時に有する基板を用いて電気メッキを行うことにより、高電流密度部分と低電流密度部分のそれぞれの析出状態を確認した。
Figure 0005574912
界面活性剤A:アルキルアルコールエチレンオキサイド、RO(CHCHO)xH,R=C1021,X=8
界面活性剤B:下記構造を有するイミダゾリンジカルボキシレート(商品名:Amphoterge K−2、ロンザ社(LONZA Inc.)製)
Figure 0005574912
(式中、Rはココアルキルを表す。)
*1:スローイングパワー測定結果は、150以上:◎、90以上:○、80以上90未満:△、80未満:× と表記した。
結果を表1に示す。界面活性剤Bを含有しない例(比較例1〜3)は、スローイングパワー測定において、良好な結果が得られなかった。また、1,10−フェナントロリンを使用しない例(比較例4−6)では、ハルセルテストにおいていずれもヤケが見られ、また、比較例6ではグラウンドエリア(Ground area)のめっき析出状態が不良であり、比較例5ではスローイングパワー測定結果が不良であった。これに対し、本発明のスズめっき液(実施例1〜3)では、ハルセルテストグラウンドエリアめっき析出状態、及びスローイングパワー測定のいずれにおいても良好な結果が得られた。
(実施例4及び比較例7〜10)
下記表2に示す組成のスズめっき液を調製し、ハルセルテスト及びテスト基板へのめっきを行った。
Figure 0005574912
界面活性剤A:アルキルアルコールエチレンオキサイド、RO(CHCHO)xH,R=C1021,X=8
界面活性剤B:イミダゾリンジカルボキシレート(商品名:Amphoterge K−2、ロンザ社(LONZA Inc.)製)
ビピリジンの構造:
Figure 0005574912
*1:スローイングパワー測定結果は、90以上:○、80以上90未満:△、80未満:× により評価した。
結果を表2に示す。1,10−フェナントロリンの代わりにビピリジンを使用した例(比較例7〜10)では、2ppm以上でハルセルテストにおいてヤケが生じ、また、2ppm未満でもスローイングパワーが80未満であった。
(実施例5及び比較例11〜17)
下記表3に示す組成のスズめっき液を調製し、ハルセルテスト及びスリットハルセルテストを行った。ハルセルテスト及びスリットハルセルテストにおいては、もっとも低い電流密度箇所でのめっき膜厚を測定した。めっき膜厚の測定は、ハルセルパネルの左から1cm、下から1cmの箇所から右に1cm間隔で計9点について蛍光X線微小膜圧計を用いて行った(9点目の膜厚を#9膜厚として表3に示す)。
Figure 0005574912
界面活性剤A:アルキルアルコールエチレンオキサイド、RO(CHCHO)xH,R=C1021,X=8
界面活性剤B:イミダゾリンジカルボキシレート(商品名:Amphoterge K−2、ロンザ社(LONZA Inc.)製)
界面活性剤C:アミンアルキレンオキサイド付加物(非イオン性界面活性剤、商品名:Ethomeen C25、ライオン・アクゾ株式会社製)、アルキル基−ヤシアルキル、エチレンオキサイド付加モル数15
Figure 0005574912
界面活性剤D:アミンアルキレンオキサイド付加物(非イオン性界面活性剤、商品名:Ethomeen T25、ライオン・アクゾ株式会社製)、アルキル基−牛脂アルキル、エチレンオキサイド付加モル数15
界面活性剤E:アミンアルキレンオキサイド付加物(非イオン性界面活性剤、商品名:Ethopropomeen C18/18、ライオン・アクゾ株式会社製)、アルキル基−ココアルキル、エチレンオキサイド・プロピレンオキサイド付加モル数16
Figure 0005574912
界面活性剤F:ジアミンアルキレンオキサイド付加物(非イオン性界面活性剤、商品名:Ethoduomeen T25、ライオン・アクゾ株式会社製)、アルキル基−牛脂アルキル、エチレンオキサイド付加モル数15
Figure 0005574912
界面活性剤G:N−メチル−N−オレイルタウリンナトリウム塩(スルホン酸型ノニオン系界面活性剤)
Figure 0005574912
界面活性剤H:イミダゾリンモノカルボキシレート(商品名:ニッサンアノンGLM−R、日油株式会社製)
Figure 0005574912
界面活性剤I:1−メチル−1−ヒドロキシエチル−2−牛脂アルキル−イミダゾリニウムクロライド(カチオン性界面活性剤、商品名:ニッサンカチオンAR−4、日油株式会社製)
Figure 0005574912
結果を表3に示す。界面活性剤Bの代わりに界面活性剤C〜Iを用いた例(比較例11〜17)は、いずれもめっき膜厚が薄いか、まったくめっき皮膜が形成されなかった。なお、比較例16で用いた界面活性剤(イミダゾリンモノカルボキシレート)は本願のイミダゾリンジカルボキシレートに比べ効果が低く、また比較例17で用いた界面活性剤(イミダゾール環を有するカチオン系界面活性剤)は本発明と異なり、まったくめっきされなかった。

Claims (4)

  1. スズイオン源、少なくとも1種の非イオン性界面活性剤、下記式で表されるイミダゾリンジカルボキシレート(式中、R は炭素数1〜20のアルキル基であり、R 及びR はそれぞれ同一又は異なって、直接結合又は炭素数1〜5のアルキレン基であり、M はカルボン酸イオンと塩を形成する陽イオンである)及び1,10−フェナントロリンを含有するスズめっき液。
    Figure 0005574912
  2. 非イオン性界面活性剤が、ポリアルキレンオキシド基をその分子中に有する、請求項1に記載のスズめっき液。
  3. さらに酸化防止剤を含有する、請求項1又は2に記載のスズめっき液。
  4. スルーホール及び微細パターンを有する基板に対して導電めっきを行う方法であって、請求項1〜3のいずれかに記載のスズめっき液を金属レジストの形成に用いる、めっき方法。
JP2010237220A 2010-10-22 2010-10-22 スズめっき液 Expired - Fee Related JP5574912B2 (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010237220A JP5574912B2 (ja) 2010-10-22 2010-10-22 スズめっき液
TW100138031A TWI480430B (zh) 2010-10-22 2011-10-20 錫鍍覆溶液
EP11185970.8A EP2444527B1 (en) 2010-10-22 2011-10-20 Tin plating solution
KR1020110108046A KR101826103B1 (ko) 2010-10-22 2011-10-21 주석 도금액
US13/279,280 US20120132530A1 (en) 2010-10-22 2011-10-22 Tin plating solution
CN201110403211.6A CN102660760B (zh) 2010-10-22 2011-10-24 镀锡液

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010237220A JP5574912B2 (ja) 2010-10-22 2010-10-22 スズめっき液

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2012087393A JP2012087393A (ja) 2012-05-10
JP5574912B2 true JP5574912B2 (ja) 2014-08-20

Family

ID=44862615

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010237220A Expired - Fee Related JP5574912B2 (ja) 2010-10-22 2010-10-22 スズめっき液

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20120132530A1 (ja)
EP (1) EP2444527B1 (ja)
JP (1) JP5574912B2 (ja)
KR (1) KR101826103B1 (ja)
CN (1) CN102660760B (ja)
TW (1) TWI480430B (ja)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2476779B1 (en) * 2011-01-13 2013-03-20 Atotech Deutschland GmbH Immersion tin or tin alloy plating bath with improved removal of cupurous ions
EP2481835B1 (en) * 2011-01-28 2013-09-11 Atotech Deutschland GmbH Autocatalytic plating bath composition for deposition of tin and tin alloys
JP6006683B2 (ja) * 2013-06-26 2016-10-12 株式会社Jcu スズまたはスズ合金用電気メッキ液およびその用途
KR102233334B1 (ko) * 2014-04-28 2021-03-29 삼성전자주식회사 주석 도금액, 주석 도금 장치 및 상기 주석 도금액을 이용한 반도체 장치 제조 방법
WO2016079167A1 (en) 2014-11-21 2016-05-26 Akzo Nobel Chemicals International B.V. Collector for froth flotation of clay minerals from potash ores
JP6631349B2 (ja) 2015-03-26 2020-01-15 三菱マテリアル株式会社 アンモニウム塩を用いためっき液
JP6631348B2 (ja) 2015-03-26 2020-01-15 三菱マテリアル株式会社 ホスホニウム塩を用いためっき液
JP6607106B2 (ja) 2015-03-26 2019-11-20 三菱マテリアル株式会社 スルホニウム塩を用いためっき液
JP7015975B2 (ja) 2017-03-27 2022-02-04 三菱マテリアル株式会社 錫又は錫合金めっき液
CN110462108B (zh) 2017-03-27 2022-02-01 三菱综合材料株式会社 电镀液
KR102601784B1 (ko) 2017-06-01 2023-11-13 바스프 에스이 레벨링제를 포함하는 주석 합금 전기 도금용 조성물
CN108103515A (zh) * 2017-12-25 2018-06-01 横琴国际知识产权交易中心有限公司 一种铝合金的加工方法
CN108130459A (zh) * 2017-12-25 2018-06-08 横琴国际知识产权交易中心有限公司 一种耐腐蚀的铝合金及其加工方法
CN107937766A (zh) * 2017-12-25 2018-04-20 横琴国际知识产权交易中心有限公司 一种铝合金及其加工方法
CN107937942A (zh) * 2017-12-25 2018-04-20 横琴国际知识产权交易中心有限公司 一种铝合金电镀锡的处理方法

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3772101A (en) * 1972-05-01 1973-11-13 Ibm Landless plated-through hole photoresist making process
US4871429A (en) * 1981-09-11 1989-10-03 Learonal, Inc Limiting tin sludge formation in tin or tin/lead electroplating solutions
US4617097A (en) * 1983-12-22 1986-10-14 Learonal, Inc. Process and electrolyte for electroplating tin, lead or tin-lead alloys
US4701244A (en) * 1983-12-22 1987-10-20 Learonal, Inc. Bath and process for electroplating tin, lead and tin/alloys
US4601916A (en) * 1984-07-18 1986-07-22 Kollmorgen Technologies Corporation Process for bonding metals to electrophoretically deposited resin coatings
US4923576A (en) * 1988-07-06 1990-05-08 Technic, Inc. Additives for electroplating compositions and methods for their use
JP2667323B2 (ja) * 1991-04-01 1997-10-27 川崎製鉄株式会社 酸化防止剤、めっき浴用助剤およびこれを用いためっき浴
JP3336621B2 (ja) 1991-12-17 2002-10-21 ユケン工業株式会社 めっき用組成液とめっき方法
JP3013150B2 (ja) * 1995-05-25 2000-02-28 石原薬品株式会社 電着皮膜組成比安定用の錫―鉛合金メッキ浴
JP3538499B2 (ja) * 1996-05-15 2004-06-14 株式会社大和化成研究所 錫−銀合金電気めっき浴
JP4094143B2 (ja) * 1998-12-21 2008-06-04 イビデン株式会社 多層プリント配線板の製造方法
JP4077119B2 (ja) * 1999-06-30 2008-04-16 エヌ・イーケムキャット株式会社 錫−ビスマス合金電気めっき浴およびめっき方法
EP1091023A3 (en) * 1999-10-08 2003-05-14 Shipley Company LLC Alloy composition and plating method
US6322686B1 (en) * 2000-03-31 2001-11-27 Shipley Company, L.L.C. Tin electrolyte
JP4897187B2 (ja) * 2002-03-05 2012-03-14 ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー. スズメッキ方法
US6860981B2 (en) * 2002-04-30 2005-03-01 Technic, Inc. Minimizing whisker growth in tin electrodeposits
FR2842831B1 (fr) * 2002-07-29 2004-11-19 Micropulse Plating Concepts Bains electrolytiques pour depot d'etain ou d'alliage d'etain
DE60336539D1 (de) * 2002-12-20 2011-05-12 Shipley Co Llc Methode zum Elektroplattieren mit Umkehrpulsstrom
CN101151401A (zh) * 2004-05-11 2008-03-26 技术公司 用于金-锡共晶合金的电镀液
CN100595342C (zh) * 2005-03-24 2010-03-24 肇庆市羚光电子化学品材料科技有限公司 用于甲基磺酸锡系镀纯锡电镀液的添加剂
JP5503111B2 (ja) * 2007-04-03 2014-05-28 ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー. 金属メッキ組成物および方法
JP5622360B2 (ja) * 2009-01-16 2014-11-12 ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー. 電気錫めっき液および電気錫めっき方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR20120042678A (ko) 2012-05-03
KR101826103B1 (ko) 2018-02-06
EP2444527A3 (en) 2013-02-27
TWI480430B (zh) 2015-04-11
EP2444527A2 (en) 2012-04-25
EP2444527B1 (en) 2019-02-20
US20120132530A1 (en) 2012-05-31
JP2012087393A (ja) 2012-05-10
TW201226635A (en) 2012-07-01
CN102660760B (zh) 2015-09-23
CN102660760A (zh) 2012-09-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5574912B2 (ja) スズめっき液
KR101739410B1 (ko) 도금조 및 방법
JP6227722B2 (ja) 銅層を均一にする電気めっき方法
KR101739413B1 (ko) 도금조 및 방법
TWI399462B (zh) 酸性銅電鍍浴組成物
KR101319863B1 (ko) 주석 전기도금액 및 주석 전기도금 방법
KR101779414B1 (ko) 아미노산과 에폭시류의 반응 생성물
EP3045569B1 (en) Amino sulfonic acid based polymers for copper electroplating
JP2009041096A (ja) 銅めっき液組成物
JP4258011B2 (ja) 電気銅メッキ浴及び当該メッキ浴により銅配線形成した半導体デバイス
US10201097B2 (en) Polymers containing benzimidazole moieties as levelers
JP6608590B2 (ja) 電気めっき浴のための添加剤
CN105683250A (zh) 作为调平剂的含氮聚合物
KR20160081803A (ko) 구리 전기도금용 술폰아미드계 폴리머
US10435380B2 (en) Metal plating compositions
CN108026128A (zh) 含有胺和醌的反应产物的化合物的铜电镀浴
EP3037572B1 (en) Electrolytic copper plating solution

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20131021

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20140128

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140218

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140416

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20140602

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140701

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5574912

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees